JPH08159662A - ワーク載置用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 側面、または表面、あるいは側面と表面にペ
ーストを塗布したワークを複数個所定間隔で載置でき、
ワークの位置ずれ、ペーストだれによる治具へのペース
トの付着を防止できるワーク載置用治具を提供する。 【構成】 側面、または表面、あるいは側面と表面にペ
ーストを塗布したセラミック基板等の複数個のワークを
所定間隔で載置できる大きさの表面平坦性を有する耐熱
性板からなるワーク載置用治具において、耐熱性板の表
面の各ワーク載置対応位置に、ワーク裏面の外周縁を除
く一部と当接してワークを浮き上がらせる凸部を設け、
凸部が、少なくともペーストの乾燥温度に耐える耐熱性
を有し、かつＪＩＳＡ硬度が、３０度〜５０度の範囲の
熱硬化性樹脂で形成された構成よりなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワーク載置用治具に係
り、より詳細には、側面、または表面、あるいは側面と
表面にペーストを塗布したセラミック基板等のワークを
複数個載置するワーク載置用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体用セラミックパッケージにおいて
は、パッケージ本体を封止するためにパッケージ封止用
リッドの側面、または表面、あるいは側面と表面に半田
ペーストをメタライズしたり、また該パッケージ本体の
露出導体を電解メッキ処理するために側面、または表
面、あるいは側面と表面に金属導体をメタライズしてい
る。これらのパッケージ封止用リッドやパッケージ本体
（以下、ワークという）は、側面、または表面、あるい
は側面と表面メタライズ後に、ワーク載置用治具に載
せ、次の乾燥工程に搬送される。

【０００３】そして、このワークを載置するワーク載置
用治具としては、通常、表面平坦性を有し、複数枚のワ
ークを所定間隔で載置することができ、乾燥炉での乾燥
温度（１００〜２００℃）に耐えることができる耐熱鋼
板、アルミニウム板、銅板等の耐熱性板で形成した治具
が用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述したワー
ク載置用治具を用いて、側面、または表面、あるいは側
面と表面にペーストを塗布したワークを搬送する場合、
複数個のワークを所定間隔に並べて行うため、次のよう
な課題がある。すなわち、 ワークは、その側面にペーストが塗布されているた
め、乾燥が完了するまでに、該ペーストに『ダレ』が発
生し、該ペーストが治具に付着する。 治具表面が平坦性を有し、かつ複数個のワークが並
べられているので、搬送過程で、ワークの位置ずれが発
生し、ワーク同士が付着する。 これにより、治具表面に汚れが付着することになる
ため、再利用の際の洗浄等に手数を要する。等の課題が
ある。

【０００５】ところで、例えば、半導体用セラミックパ
ッケージのパッケージ封止用のセラミック製リッドは、
通常、成形・焼成した後、トレイ詰め→ワーク載置用治
具への移載（搬送）→側面メタライズ（導体ペースト印
刷）→ワーク載置用治具への移載（乾燥）→焼成用ベル
トへの移載（焼成）→トレイ詰め→ワーク載置用治具へ
の移載（搬送）→表面メタライズ（導体ペースト印刷）
→ワーク載置用治具への移載（乾燥）→焼成用ベルトへ
の移載（焼成）→トレイ詰め→ワーク載置用治具への移
載（搬送）→表面メタライズ（半田ペースト印刷）→ワ
ーク載置用治具への移載（乾燥）→側面メタライズ（半
田ペースト印刷）→ワーク載置用治具への移載（乾燥）
→リフローベルトへの移載（加熱）→洗浄→・・の工程
を経て、製品となる。

【０００６】このように、セラミック製リッドの場合、
側面メタライズ（導体ペースト印刷）工程、側面メタラ
イズ（半田ペースト印刷）工程を有し、これらの工程の
後、該ペーストを乾燥工程で乾燥する際、該ワークをワ
ーク載置用治具に複数回にわたっての移し替え作業が必
要となる。従って、該移し替えの際、該ワークに位置ず
れが発生したりたすると、これらの作業の自動化が難し
くなるという課題が発生する。

【０００７】本発明は、以上のような課題に対処して創
作したものであって、その目的とする処は、側面、また
は表面、あるいは側面と表面にペーストを塗布したワー
クを複数個所定間隔で載置でき、該ワークの位置ずれ、
該ペーストだれによる治具へのペーストの付着を防止で
きるワーク載置用治具を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】そして、上記課題を解決
するための手段としての本発明のワーク載置用治具は、
側面、または表面、あるいは側面と表面にペーストを塗
布したセラミック基板等の複数個のワークを所定間隔で
載置できる大きさの表面平坦性を有する耐熱性板からな
るワーク載置用治具において、該耐熱性板の表面の各ワ
ーク載置対応位置に、該ワーク裏面の外周縁を除く一部
と当接して該ワークを浮き上がらせる凸部を設け、該凸
部が、少なくとも前記ペーストの乾燥温度に耐える耐熱
性を有し、かつＪＩＳＡ硬度が、３０度〜５０度の範囲
の熱硬化性樹脂で形成されている構成よりなる。

【０００９】

【作用】本発明のワーク載置用治具は、側面、または表
面、あるいは側面と表面にペーストを塗布したセラミッ
ク基板等の複数個のワークを所定間隔で載せた際、該ワ
ークが凸部によって浮き上がった状態とされる。また凸
部は、該凸部が少なくとも前記ペーストの乾燥温度に耐
える耐熱性を有し、かつＪＩＳＡ硬度が、３０度〜５０
度の範囲の熱硬化性樹脂で形成されているので、前記ワ
ークの載置した状態で、ワーク側面、または表面、ある
いは側面と表面に塗布しているペーストを加熱乾燥する
ことができ、また該ワーク裏面を、前記凸部が保持する
ので、該ワーク搬送時、ワーク乾燥時において位置ずれ
の発生を防止できる。

【００１０】

【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明を具体化
した実施例について説明する。ここに、図１〜図３は、
本発明の実施例を示し、図１は斜視図、図２は側面図、
図３は本実施例で用いるワークの斜視図である。

【００１１】本実施例のワーク載置用治具は、概略する
と、複数個のワーク１を載置できる大きさの耐熱性板２
の表面の各ワーク載置対応位置に、ワーク裏面１１の外
周縁１２を除く一部と当接して、ワーク１を浮き上がら
せる凸部３を設けた構成よりなる。

【００１２】本実施例で用いるワーク１は、半導体用セ
ラミックパッケージのパッケージ本体を気密封止するた
めのセラミック製リッドである。このリッドは、前述し
た作業工程で説明したように、そのワーク側面１３と、
ワーク表面ペースト塗布部１４に、導体ペーストと半田
ペーストが塗布・乾燥され、これらのペースト塗布工
程、ペースト乾燥工程の前後において、ワーク載置用治
具に移し替えられる。

【００１３】このワーク載置用治具を形成する耐熱性板
２は、少なくとも、前記ワーク１の側面、または表面、
あるいは側面と表面に塗布したペーストを加熱乾燥させ
るための加熱温度（１００〜２００℃以上の温度）に耐
え、かつ表面が平坦な耐熱鋼（ＳＵＳ板が好ましい）で
形成されている。そして、耐熱性板２の表面には、載置
するワーク１に対応する位置に、このワーク１を浮き上
げ状態で保持する凸部３が設けられている。

【００１４】凸部３は、ワーク１の大きさより小さい相
似形で、表面が平坦な平板状部材により形成され、耐熱
性板２上に、所定間隔で、載置するワーク１の数だけ設
けられている。ここで、凸部３は、ペーストがだれによ
って耐熱性板２に付着し、耐熱性板２の表面を汚すのを
防止できる厚み（通常０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度の厚み）
を有し、耐熱性板２と同様に、少なくとも、前記ワーク
１の側面と表面に塗布したペーストを加熱乾燥させるた
めの加熱温度（１００〜２００℃以上の温度）に耐える
熱硬化樹脂で形成されている。例えば、シリコンゴムで
あって、未反応物の少ない、熱硬化性タイプのものが好
ましい。これは、このシリコンゴムからなる凸部３とワ
ーク１が接触した際、この未反応物を起因とするワーク
１への『シミ』の発生を排除することを考慮したことに
よる。

【００１５】また、このシリコンゴムの硬度は、ＪＩＳ
Ａ硬度が、３０度〜５０度の範囲のものが好ましい。こ
れは、３０度未満の場合、凸部３がワーク１に付着し易
くなり、前記した『シミ』の発生原因となり、また５０
度を越える場合は、前記『シミ』の発生という問題は生
じないが、ワーク１が滑りやすく、位置ずれの発生原因
となることを考慮したことによる。従って、凸部３は、
少なくとも、前記『シミ』の発生しない程度の摩擦係数
を有し、かつペースト乾燥温度に耐える耐熱性を有する
熱硬化タイプの樹脂であることが必要である。

【００１６】そして、本実施例のワーク載置用治具とし
て、耐熱性板２としてＳＵＳ板を用いて、その表面に、
熱硬化性接着剤を用い、ＪＩＳＡ硬度が４０度で、その
厚みが１ｍｍのシリコンゴムよりなる凸部３を接合した
ものを作製し、これを前述した半導体用セラミックパッ
ケージのパッケージ封止用リッドの側面及び／または表
面メタライズ印刷（導体ペースト印刷、半田ペースト印
刷）ラインおいて、１０枚用いて、４８０個のワークに
側面印刷を施した場合について、ペーストだれによる治
具へのペーストの付着の有無、ワーク位置ずれによるワ
ーク同士の付着の有無を調べた処、これらの不良品の発
生は確認できず、更にワーク裏面に『シミ』の発生もな
かった。また、従来のＳＵＳ板からなり、表面に凸部を
有しないワーク載置用治具についても同様に不良品の発
生の有無を調べた処、１０枚用いた全てのワーク載置用
治具にペーストの付着及び、ワーク同志の付着によるワ
ークの不良が確認できた。

【００１７】このように、本実施例のワーク載置用治具
は、ＳＵＳ板の上面にワーク載置位置にシリコンゴムよ
りなる凸部が形成されているので、該凸部によって、ワ
ークをＳＵＳ板から浮き上がらせた状態に保持でき、該
ワークの側面に印刷されているペーストが『だれ』によ
って、前記ＳＵＳ板に付着することがない。また、前記
凸部は、ＪＩＳＡ硬度が４０度の熱硬化タイプのシリコ
ンゴムを、ワークより小さい表面が平坦状に形成した凸
部であるため、ワークの裏面中央部に当接し、該ワーク
を確実に保持でき、ワーク搬送時の揺れや傾きによって
も、ワークの位置ずれが発生することがない。

【００１８】ところで、半導体用セラミックパッケージ
の製造工程での半田ペースト等のペースト印刷ラインに
おいては、ワークのトレイ詰め、ワーク載置用治具への
移載、焼成ベルトへの移載、リフローベルトへの移載、
等のワーク移載作業を複数回にわたって行うため、これ
らの作業を自動化する場合、その作業ラインで、ワーク
１に位置ずれの発生がすると、これらの連続作業に支障
を来すことになる。しかし、このラインにおいて、本実
施例のワーク載置用治具を用いた場合、前述したよう
に、ＳＵＳ板の表面に形成されている凸部によって、ワ
ークが確実に定位置に保持でき、ワークに位置ずれの発
生を解消できるので、前記支障を解決できる。

【００１９】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。因みに、前述した実施例にお
いては、前記凸部を、シリコンゴムで形成した構成で説
明したが、テフロン等を材料として用いた構成としても
よく、この凸部は、ワーク側面、または表面、あるいは
側面と表面に塗布するペーストの乾燥温度に耐える耐熱
性を有し、かつＪＩＳＡ硬度が、３０度〜５０度の範囲
の熱硬化性樹脂で形成されているものであればよい。ま
た、ワークとしては、半導体用セラミックパッケージに
用いるセラミック製リッドに限られるものでなく、例え
ば、パッケージ本体、その他、側面にペーストが印刷さ
れるワークであれば他のものであってもよいことは当然
である。

【００２０】また、前述した実施例のものの他に、例え
ば、図４〜図７に示すような構成としてもよい。図４〜
図５に示すワーク載置用治具は、凸部３が、複数個の突
起からなる構成であり、図６に示すものは、凸部３が、
リング状凸部からなる構成であり、図７に示すものは、
凸部３が円形や、楕円形凸部からなる構成である。この
ように、凸部３の形状は、ワーク裏面の外周縁を除く一
部と当接して該ワークを浮き上がらせる凸部形状であれ
ばよい。

【００２１】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
のワーク載置用治具によれば、耐熱性板の表面に凸部が
形成されているので、側面、または表面、あるいは側面
と表面にペーストを塗布したセラミック基板等の複数個
のワークを所定間隔で載せた際、該ワークが、該凸部に
よって浮き上がった状態に保持でき、ペーストだれによ
る治具表面へのペーストの付着を防止できる。また凸部
は、該凸部が少なくとも前記ペーストの乾燥温度に耐え
る耐熱性を有し、かつＪＩＳＡ硬度が、３０度〜５０度
の範囲の熱硬化性樹脂で形成されているので、前記ワー
クの載置した状態で、ワーク側面、または表面、あるい
は側面と表面に塗布しているペーストを加熱乾燥するこ
とができ、また該ワーク裏面を、前記凸部が保持するの
で、該ワーク搬送時、ワーク乾燥時において位置ずれの
発生を防止できるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例を示す斜視図である。

【図２】 側面図である。

【図３】 本実施例で用いるワークの斜視図である。

【図４】 本発明の他の実施例を示す斜視図である。

【図５】 図４の側面図である。

【図６】 本発明の他の実施例を示す斜視図である。

【図７】 本発明の他の実施例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１・・・ワーク、２・・・耐熱性板、３・・・凸部、１
１・・・ワーク裏面、１２・・・ワーク外周縁、１３・
・・ワーク側面、１４・・・ワーク表面ペースト塗布部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 側面、または表面、あるいは側面と表面
   にペーストを塗布したセラミック基板等の複数個のワー
   クを所定間隔で載置できる大きさの表面平坦性を有する
   耐熱性板からなるワーク載置用治具において、該耐熱性
   板の表面の各ワーク載置対応位置に、該ワーク裏面の外
   周縁を除く一部と当接して該ワークを浮き上がらせる凸
   部を設け、該凸部が、少なくとも前記ペーストの乾燥温
   度に耐える耐熱性を有し、かつＪＩＳＡ硬度が、３０度
   〜５０度の範囲の熱硬化性樹脂で形成されていることを
   特徴とするワーク載置用治具。