JPH08158818A - Ｓｉ３Ｎ４系セラミックス製滑りローラーを持つローラータペット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カムとの摺動部の耐摩耗性に優れ、軽量で耐
久性に優れるローラータペットを提供する。 【構成】 カム４と当接するローラーが金属内軸３に回
転自在に直接挿着されたＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製の滑
りローラー２であって、滑りローラー２を構成するＳｉ
₃Ｎ₄系セラミックスの３点曲げ強度が平均値で１００ｋ
ｇ／ｍｍ²以上であり、滑りローラー２のカム４との摺
動部である外周面及び金属内軸３との摺動部である内周
面の表面粗さがＲ_Zで０.５μｍ以下、好ましくは０.１
μｍ以下である滑りローラーを持つローラータペット。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、内燃機関の動弁機構に
おいて、吸排気バルブにカムからの動力を伝えるローラ
ータペットに関する。

【０００２】

【従来の技術】自動車のエンジン形式には各種の方式が
存在し、吸排気バルブを駆動する手段によって分類する
ことが可能であり、ＯＨＶ方式もその一つである。従
来、カムからの動力を伝えるバケット型タペットは、カ
ムとの当接部が主に滑り摺動を行い、そこに負荷される
面圧もかなり大きいことから、摺動部の摩耗という問題
を抱えていた。

【０００３】しかも、近年、エンジンの高出力化への要
望が高まってきていることから、エンジンの回転の高速
化は必至であり、動弁系駆動部の慣性荷重の低減の必要
性や、各摺動部に負荷される面圧の増加による摩耗とい
う新たな問題も生じている。

【０００４】又、最近では地球規模の環境問題が取り沙
汰されており、自動車の排気ガスではＣＯ₂やＮＯ_x等が
規制の対象となっている。特にディーゼルエンジンに限
って言えば、その排出するＮＯ_xが大きな問題となって
いる。これは、主に過剰燃焼によって発生するものであ
るため、その対策としては、燃料噴射時期の遅延化、燃
料の高圧噴射、排ガス再循環法（ＥＧＲ）の使用等が上
げられる。

【０００５】しかし、いずれの方法にしても、ＮＯ_xと
トレードオフの関係にあるＰ／Ｍ（Ｐａｒｔｉｃｕｌａ
ｔｅ Ｍａｔｔｅｒ）による摩耗の問題が深刻になって
おり、エンジン内の全ての摺動部における耐摩耗性の向
上が必要となっている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
の事情に鑑み、カムとの摺動部の耐摩耗性に優れ、軽量
で耐久性に優れるローラータペットを提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明が提供するローラタペットは、カムと当接す
るローラーが金属内軸に回転自在に直接挿着されたＳｉ
₃Ｎ₄系セラミックス製の滑りローラーであって、滑りロ
ーラーを構成するＳｉ₃Ｎ₄系セラミックスの曲げ強度が
ＪＩＳ Ｒ１６０１に準拠した３点曲げ強度の平均値で
１００ｋｇ／ｍｍ²以上であり、滑りローラーのカムと
の摺動部である外周面及び金属内軸との摺動部である内
周面の表面粗さが十点平均粗さで０.５μｍ以下、好ま
しくは０.１μｍ以下であることを特徴とする。

【０００８】本発明のローラータペットの滑りローラー
は、前記のごとくＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス焼結体からな
るものである。そのＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス焼結体は、
その結晶相にα−Ｓｉ₃Ｎ₄とβ’−サイアロンの両方を
含み、焼結体密度が９８％以上であることが好ましい。

【０００９】

【作用】本発明のローラータペットは、カムと当接する
ローラー部が窒化ケイ素（Ｓｉ₃Ｎ₄）系のセラミックス
製ローラーとなっており、回転可能に取り付けられたロ
ーラーの構造が簡単な滑りローラー方式となっているロ
ーラータペットである。

【００１０】本来、滑りローラー方式では、金属内軸と
ローラーとの摺動部の摩擦損失が大きいことや、局部的
な凝着による摩耗や焼き付きの問題があったが、本発明
ではローラーの材質として摩擦係数が小さく且つ表面活
性度が低いＳｉ₃Ｎ₄系セラミックスを使用することで、
金属内軸との摩擦及び摩耗の程度を少なくすることが可
能となり、滑りローラー方式の採用が可能となったもの
である。

【００１１】滑りローラー方式によれば、ローラーとカ
ムとの摺動のタイプが主に「転がり」となるため、カム
との当接部が滑り接触となっている従来のバケット型タ
ペットよりも摺動による摩耗の程度は少ない。かかるロ
ーラー方式のタペットは従来ニードルローラー方式が主
流であったが、本発明では滑りローラー方式を採用して
いる。滑りローラー方式は、ニードルローラー方式より
も構造が簡単であり、従って使用部品も少ないので安価
に製造でき、小型軽量化が可能であって、慣性荷重によ
る負荷の低減にも効果的であることから高回転型エンジ
ンの使用にも適している。

【００１２】本発明のローラータペットでは、セラミッ
クス製滑りローラーはＳｉ₃Ｎ₄系セラミックスで構成さ
れるが、滑りローラーには高い面圧がかかるから、Ｓｉ
₃Ｎ₄系セラミックスは高強度であることが必要であり、
具体的には曲げ強度がＪＩＳＲ１６０１に準拠する３点
曲げ強度の平均で１００ｋｇ／ｍｍ²以上であることが
必要である。３点曲げ強度の平均が１００ｋｇ／ｍｍ²
未満では、摺動時にかかる面圧によりセラミックス滑り
ローラーが破損する危険があるからである。

【００１３】かかる高強度のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックスと
しては、結晶相にα−Ｓｉ₃Ｎ₄とβ’−サイアロンとを
含み、焼結体密度が９８％以上であるＳｉ₃Ｎ₄系セラミ
ックス焼結体が望ましい。更に、エンジン稼働時にロー
ラータペットのローラー部に負荷される応力を考慮する
と、ローラーを構成するＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス材料
は、焼結体中のα−Ｓｉ₃Ｎ₄の含有量が３０体積％以下
であること、即ちα−Ｓｉ₃Ｎ₄とβ’−サイアロンの各
結晶相のＸ線回折におけるピーク強度が、両者のピーク
強度の和を１００％としたとき、０＜α−Ｓｉ₃Ｎ₄≦３
０％及び７０％≦β’−サイアロン＜１００％の関係に
あることが好ましい。

【００１４】又、エンジン部品の中でも動弁系の摺動条
件は過酷であり、その潤滑形態は主に流体潤滑と境界潤
滑とが混在する混合潤滑状態であるから、本発明のセラ
ミックス製滑りローラーとカム及びローラーと金属内軸
との間の潤滑も混合潤滑の形態を持ち、各部の摺動によ
って発生する摩擦損失は主に境界潤滑部による損失が支
配的である。そこで、これらの摺動部に安定した油膜の
形成を促進し、境界潤滑部を減少させることが必要であ
る。

【００１５】そのためには、摺動部の表面粗さを小さく
抑えることが効果的であるからであり、具体的には、本
発明のローラータペットのセラミッスク製滑りローラー
において、ローラーのカムとの摺動部である外周面及び
金属内軸との摺動部である内周面の表面粗さを、十点平
均粗さＲ_Zで０.５μｍ以下とすること、更には０.１μ
ｍ以下とすることが好ましい。

【００１６】摺動面粗度を小さくすることにより、他に
もセラミックス製滑りローラーを用いることによるメリ
ットを引き出すことが可能である。即ち、金属の熱膨張
率はＳｉ₃Ｎ₄系セラミックスの熱膨張率よりもかなり大
きいことから、ローラーと金属内軸とのクリアランスを
適切な値にすることにより、組み立て時には両者のクリ
アランスが大きく組み立てが容易であって、且つエンジ
ン運転時には熱膨張により両者のクリアランスが強固な
潤滑油膜が形成されるクリアランスにまで縮まり、良好
な潤滑性を得ることが可能である。そのためには、セラ
ミックス製滑りローラーの摺動面の表面粗さを小さく
し、ローラーと金属内軸との摺動面の局所的凸部の接触
を少なくしてやることが有効だからである。

【００１７】かかる構成を持つ本発明のローラータペッ
トでは、セラミックス製滑りローラーはニードルベアリ
ング等を介さずに金属内軸に直接支持され、しかもロー
ラーを支持する金属内軸には、ローラーとの潤滑性を向
上させるため、必ずしも潤滑油供給用の細管を設ける必
要はない。これは、Ｓｉ₃Ｎ₄系セラミックスが界面活性
度が低いため、セラミックス製滑りローラーと金属内軸
との間に局部的な凝着による摩耗や焼き付きの恐れがな
いこと、Ｓｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りローラーと金属
内軸との低い摩擦係数により、摩擦損失が小さいことに
よるものである。

【００１８】更に、本発明のローラータペットでは、セ
ラミックス製滑りローラーを直接支持する金属内軸の摺
動面には、ダイヤモンド状炭素（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉ
ｋｅＣａｒｂｏｎ；アモルファス状炭素又は水素化炭素
とも称する）膜を被覆することが好ましい。金属内軸の
摺動面にダイヤモンド状炭素被膜を設けることにより、
セラミックス製滑りローラーからの攻撃に対して耐摩耗
性を向上させることができ、摩擦損失をより一層低減さ
せる効果がある。尚、ダイヤモンド状炭素被膜の形成に
は、ＣＶＤ法等の公知の方法を用いることができる。

【００１９】

【実施例】実施例１ 本発明のローラータペットの滑りローラーとして、焼結
体中の結晶相にα−Ｓｉ₃Ｎ₄とβ’−サイアロンの両方
を含み、各結晶相のＸ線回折におけるピーク強度の比率
がα−Ｓｉ₃Ｎ₄：β’−サイアロン＝８.４：９１.６で
あり、且つ焼結体密度が９８％以上であるＳｉ₃Ｎ₄系焼
結体からなるセラミックス製滑りローラーを用意した。

【００２０】又、比較例のタペットとして、本実施例と
同じ構造を持つが、Ｓｉ₃Ｎ₄系焼結体以外のセラミック
ス（いずれも焼結体密度９８％以上）からなるセラミッ
クス滑りローラーを備えたローラータペットをそれぞれ
用意した。尚、本実施例を含めいずれの滑りローラー
も、カムとの摺動部である外周面及び金属内軸との摺動
部である内周面の表面粗さを、十点平均粗さＲ_Zで０.５
μｍとした。

【００２１】図２に示すように、上記の各セラミックス
製滑りローラー２を、ニードルベアリングを用いず、タ
ペット１の金属内軸３に直接挿着した。次に、得られた
各ローラータペットを、排気量４.２リットルのＯＨＶ
方式の動弁系を有する４気筒８バルブの市販車用ディー
ゼルエンジンに取り付けた。この動弁系に、図１に示す
ように、カム４のカム軸５を駆動するモーター６、及び
潤滑油供給用のポンプを取り付けて、カム軸駆動試験機
を構成した。尚、図１において、７はプッシュロッド、
８はロッカーアーム、９はバルブ、１０は弁バネ、及び
１１はバルブガイドである。

【００２２】この試験機を用いて、クランクシャフト回
転数換算にて２０００ｒｐｍで１００時間カム軸５を回
転させ、各試料ごとに１００時間後のタペット１の滑り
ローラー２とカム４の摩耗量を調べた。潤滑油温度は実
車搭載時を想定して８０℃、潤滑油圧は０.５ｋｇｆ／
ｍｍ²以上とした。尚、摩耗量の測定は、カム４につい
ては図５に示すように長軸方向の長さＬ、滑りローラー
２については図２に示すように半径方向の厚さＤ₁を、
試験前後に測定し、その差を摩耗量とした。得られた結
果を表１に示した。

【００２３】

【表１】 カム摩耗量 ローラー摺動部 ３点曲げ強度試 料 ローラータペット (μｍ) 摩耗量(μｍ) (kgf/mm²) 1−1 Si₃N₄系滑りローラー 6 1以下 124 1−2＊ SiC系滑りローラー 24 1以下 72 1−3＊ ZrO₂系滑りローラー 12 32 123 1−4＊ Al₂O₃系滑りローラー 試験中破壊のため測定不能 90 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００２４】表１の結果から、ＳｉＣ系セラミックス滑
りローラーの場合ローラー自体の摩耗はないが、相手側
カムへの攻撃性が大きく、ＺｒＯ₂系セラミックス滑り
ローラーは逆にローラー自体の摩耗が大きく、Ａｌ₂Ｏ₃
系セラミックス滑りローラーの場合は途中で破壊し、使
用に耐えないものであることが分かった。

【００２５】一方、本発明のＳｉ₃Ｎ₄系滑りローラー
は、Ｓｉ₃Ｎ₄系セラミックスの持つ高い硬度と低い表面
活性度によって、１００時間後の摺動部摩耗が殆どな
く、相手材であるカムへの攻撃性も他の比較例と比べ極
めて小さく、信頼性の上でも優れていることが分かる。

【００２６】実施例２ ３点曲げ強度の異なるＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス滑りロー
ラーで、カムとの摺動部である外周面及び金属内軸との
摺動部である内周面の表面粗さを十点平均粗さＲ_Zで約
０.１μｍのものを用意し、それぞれ実施例１と同様に
金属内軸に直接挿着してローラータペットを構成した。

【００２７】得られた各試料のローラータペットを実施
例１と同様に、排気量４.２リットルのＯＨＶ方式の動
弁系を有する４気筒８バルブの市販車用ディーゼルエン
ジンに取り付け、クランクシャフト回転数換算にて６０
００ｒｐｍ（使用エンジンのレッドゾーン）で１時間カ
ム軸を回転させた。潤滑油温度は実車搭載時を想定して
８０℃、潤滑油圧は１.０ｋｇｆ／ｍｍ²以上とした。各
試料ごとに１時間の運転終了時のローラーの破損の程度
（全バルブ数８中の破損数）を調べ、結果を表２に示し
た。

【００２８】

【表２】 ３点曲げ強度 破損の程度試 料 ローラータペット (kgf/mm²) (破損数/全数) 2−1 Si₃N₄系ローラー 152 0／8 2−2 〃 124 0／8 2−3＊ 〃 105 0／8 2−4＊ 〃 95 6／8 2−5＊ 〃 88 8／8 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００２９】表２の結果から明らかなように、本発明の
ローラータペットのＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス滑りローラ
ーは、使用に耐え得る強度として３点曲げ強度（ＪＩＳ
Ｒ１６０１）で１００ｋｇｆ／ｍｍ²以上必要であるこ
とが分かる。

【００３０】実施例３ 実施例１の試料１−１と同じ３点曲げ強度が１２４ｋｇ
／ｍｍ²であるＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス滑りローラーを
用意し、カムとの摺動部である外周面及び金属内軸との
摺動部である内周面の表面粗さを十点平均粗さＲ_Zで０.
０９μｍ、０.４９μｍ、０.９７μｍのものを用意し、
それぞれ実施例１と同様に金属内軸に直接挿着してロー
ラータペットを構成した。

【００３１】又、比較のために、摺動部の表面粗さＲ_Z
が０.０８μｍと０.４９μｍの図３に示すニードルロー
ラー式（従来品）と、摺動部の表面粗さＲ_Zが０.０９μ
ｍと０.４７μｍの図４に示すバケット式（従来品）の
タペットをそれぞれ用意した。尚、ニードルローラー式
タペットのローラー１２は高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ
２）製を使用し、金属内軸３との間にニードルベアリン
グ１３を備えている。バケット式タペットのカムとの摺
動部には超硬合金製チップ１４を用いた。

【００３２】これら各試料のタペットを実施例１と同様
に、排気量４.２リットルのＯＨＶ方式の動弁系を有す
る４気筒８バルブの市販車用ディーゼルエンジンに取り
付け、クランクシャフト回転数換算にて２０００ｒｐｍ
で１００時間カム軸を回転させた。潤滑油温度は実車搭
載時を想定して８０℃、潤滑油圧は０.５ｋｇｆ／ｍｍ²
以上とした。実施例１と同様に１００時間後のカムとロ
ーラー摺動部の摩耗量を測定し、その結果を表３に示し
た。尚、バケット式タペットの摺動部摩耗量は、図４に
示すように、試験前後の超硬合金製チップ１４の厚さＤ
₂の差を求めて摩耗量とした。

【００３３】

【表３】 表面粗さ カム摩耗量 タペット摺動部 試 料 タ ペ ッ ト Ｒ_Z(μｍ) (μｍ) 摩耗量(μｍ) 3−1 Si₃N₄系滑りローラー 0.49 6 1以下 3−2 Si₃N₄系滑りローラー 0.08 3 1以下 3−3＊ Si₃N₄系滑りローラー 0.97 38 1以下 3−4＊ バケット式 0.49 138 60 3−5＊ バケット式 0.09 52 33 3−6＊ ニードルローラー式 0.49 25 41 3−7＊ ニードルローラー式 0.08 16 26 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００３４】表３の結果から、従来のバケット式タペッ
トでは、相手材カムとの当接面で滑り接触が行われてお
り、転がり接触を主にするローラータペットと比較して
大きな摩耗が起こっていることが分かる。異なる摺動面
粗さを持つ試料３−４と３−５では、摺動部の表面粗さ
が大きい試料３−４ほど摩耗量も大きくなっている。

【００３５】又、従来の軸受鋼をローラー部材に用いた
ニードルローラー式タペットでは、ローラーとカムの間
に局部的な凝着が発生し、カム及びローラー摺動部の摩
耗が発生している。この場合においても、カムとローラ
ーそれぞれの摺動部の摩耗については、摺動部の表面粗
さが大きいほど摩耗が大きいことが分かる。

【００３６】一方、本発明のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス滑
りローラーを用いるタペットでは、その高い硬度と低い
表面活性度によって、それ自身１００時間後の摺動摩耗
が殆どなく、中でも摺動部の表面粗さＲ_Zが０.５μｍ以
下の試料３−１及び３−２では相手材であるカムへの攻
撃性も極めて小さく、更に０.１以下ではカムの摩耗が
一層小さくなることが分かる。しかし、同じＳｉ₃Ｎ₄系
滑りローラーでも、摺動部のＲ_Zが０.５μｍを越える試
料３−３ではカムへの攻撃性が一段と増していることが
分かる。

【００３７】実施例４ 同じＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス滑りローラーでも、α−Ｓ
ｉ₃Ｎ₄とβ’−サイアロンを含み、そのα−Ｓｉ₃Ｎ₄の
含有率が異なるセラミックス滑りローラーを用意し、各
試料とも摺動面の表面粗さＲ_Zを約０.１μｍとした。各
Ｓｉ₃Ｎ₄系滑りローラーを、実施例１と同様に金属内軸
に直接挿着してローラータペットを構成した。

【００３８】得られた各Ｓｉ₃Ｎ₄系滑りローラーを持つ
ローラータペットを、実施例２と同様に排気量４.２リ
ットルのＯＨＶ方式の動弁系を有する４気筒８バルブの
市販車用ディーゼルエンジンに取り付け、潤滑油温度は
実車搭載時を想定して８０℃、潤滑油圧は１.０ｋｇｆ
／ｍｍ²以上として、クランクシャフト回転数換算にて
６０００ｒｐｍでカム軸を１時間回転させた。

【００３９】表４に、各試料のα−Ｓｉ₃Ｎ₄含有率（α
−Ｓｉ₃Ｎ₄とβ−Ｓｉ₃Ｎ₄の各結晶相のＸ線回折におけ
る両者のピーク強度の和を１００％として算出）と共
に、運転終了時におけるローラーの破損の程度（全バル
ブ数８個中の破損の数）を示した。

【００４０】

【表４】 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００４１】表４の結果から分かるように、０＜α−Ｓ
ｉ₃Ｎ₄含有率≦３０体積％の条件を満たすＳｉ₃Ｎ₄系セ
ラミックス滑りローラーを用いることによって、本発明
の目的であるＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りローラータ
ペットとしてより高い信頼性を持つことが可能である。

【００４２】実施例５ 滑りローラーとの摺動面にＤＬＣ膜をコーティングした
金属内軸と、ＤＬＣ膜を有しない金属内軸とを用意し、
それぞれ前記実施例１の試料１−１と同じＳｉ₃Ｎ₄系セ
ラミックス製滑りローラーを直接挿着した本発明のロー
ラータペットと、比較例として軸受鋼製のローラーを直
接挿着したローラータペットを作製した。尚、いずれの
滑りローラーも、摺動部の表面粗さＲ_Zは約０.１μｍと
した。

【００４３】得られた各ローラータペットを、前記実施
例と同様に排気量４.２リットルのＯＨＶ方式の動弁系
を有する４気筒８バルブの市販車用ディーゼルエンジン
に取り付けて、潤滑油温度は実車搭載時を想定して８０
℃、潤滑油圧は１.０ｋｇｆ／ｍｍ²以上とし、クランク
シャフト回転数換算にて２０００ｒｐｍでカム軸を１０
０時間カム軸を回転させた。運転終了後、金属内軸の摩
耗量（軸直径の運転前後の差）を測定し、結果を表５に
示した。

【００４４】

【表５】試 料 ローラー 金属内軸 摩耗量(μｍ) 5−1 Si₃N₄ ＤＬＣ膜 3 5−2 Si₃N₄ 未処理 6 5−3＊ 軸受鋼 未処理 31 5−4＊ 軸受鋼 ＤＬＣ膜 21 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００４５】表５の結果から分かるように、滑りローラ
ーに本発明のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りローラーを
用いることによって、金属内軸の摩耗を効果的に抑制す
ることが可能であり、更に金属内軸にＤＬＣ膜をコーテ
ィングすることにより、一層の耐摩耗性の向上を図るこ
とができる。

【００４６】

【発明の効果】本発明によれば、従来のバケット型タペ
ットと比較して、カムとタペットの間の摩耗を大幅に低
減させることができる。したがって、本発明は、これか
らのエンジンの高回転化、高出力化への指向や、特にデ
ィーゼルエンジンに予想されるＰ／Ｍ問題など、益々過
酷になる摩耗問題に対する有効な解決手段となるもので
ある。

【００４７】又、本発明のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑
りローラータペットは、従来のニードルローラータペッ
トと比較して、ニードルベアリングを必要とせず、金属
内軸に直接挿着できるため構造が極めて簡単であるか
ら、経済的にも極めて有利である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りローラ
ーを備えたローラータペットをエンジン動弁系（ＯＨＶ
式）に取り付けたカム軸駆動試験機を示す概略の一部切
欠側面図である。

【図２】滑りローラー式のタペットを示す概略の側面図
である。

【図３】ニードルローラー式のタペットを示す概略の側
面図である。

【図４】バケット型のタペットを示す概略の側面図であ
る。

【図５】カムの摩耗量の測定箇所を示す概略の側面図で
ある。

【符号の説明】

１ タペット ２ 滑りローラー ３ 金属内軸 ４ カム ５ カム軸 ６ モーター ７ プッシュロッド ８ ロッカーアーム ９ バルブ １０ 弁バネ １１ バルブガイド １２ ローラー １３ ニードルベアリング １４ 超硬合金製チップ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０４Ｂ 35/599

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内燃機関の吸排気バルブにカムからの動
   力を伝えるローラータペットにおいて、カムと当接する
   ローラーが金属内軸に回転自在に直接挿着されたＳｉ₃
   Ｎ₄系セラミックス製の滑りローラーであって、該滑り
   ローラーを構成するＳｉ₃Ｎ₄系セラミックスの曲げ強度
   がＪＩＳ Ｒ１６０１に準拠した３点曲げ強度の平均値
   で１００ｋｇ／ｍｍ²以上であり、滑りローラーのカム
   との摺動部である外周面及び金属内軸との摺動部である
   内周面の表面粗さが十点平均粗さで０.５μｍ以下であ
   ることを特徴とするＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りロー
   ラーを持つローラータペット。
2. 【請求項２】 前記セラミッスク製滑りローラーのカム
   との摺動部である外周面及び金属内軸との摺動部である
   内周面の表面粗さが、十点平均粗さで０.１μｍ以下で
   あることを特徴とする、請求項１に記載のＳｉ₃Ｎ₄系セ
   ラミックス製滑りローラーを持つローラータペット。
3. 【請求項３】 前記セラミックス製滑りローラーを構成
   するＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス焼結体が、その結晶相にα
   −Ｓｉ₃Ｎ₄とβ’−サイアロンの両方を含み、焼結体密
   度が９８％以上であることを特徴とする、請求項１に記
   載のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りローラーを持つロー
   ラータペット。
4. 【請求項４】 Ｓｉ₃Ｎ₄系セラミックス焼結体中のα−
   Ｓｉ₃Ｎ₄とβ’−サイアロンの各結晶相のＸ線回折にお
   けるピーク強度が、両者のピーク強度の和を１００％と
   したとき、０＜α−Ｓｉ₃Ｎ₄≦３０％及び７０％≦β’
   −サイアロン＜１００％の関係にあることを特徴とす
   る、請求項３に記載のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りロ
   ーラーを持つローラータペット。
5. 【請求項５】 前記セラミックス製滑りローラーを直接
   支持する金属内軸が、滑りローラーとの潤滑性を向上さ
   せるための潤滑油供給用の細管又はブッシュを備えない
   ことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のＳ
   ｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りローラーを持つローラータ
   ペット。
6. 【請求項６】 前記セラミックス製滑りローラーを直接
   支持する金属内軸の摺動面が、ダイヤモンド状炭素膜で
   被覆されていることを特徴とする、請求項１〜５のいず
   れかに記載のＳｉ₃Ｎ₄系セラミックス製滑りローラーを
   持つローラータペット。