JPH0815630A - レーザ描画装置 - Google Patents
レーザ描画装置Info
- Publication number
- JPH0815630A JPH0815630A JP14423094A JP14423094A JPH0815630A JP H0815630 A JPH0815630 A JP H0815630A JP 14423094 A JP14423094 A JP 14423094A JP 14423094 A JP14423094 A JP 14423094A JP H0815630 A JPH0815630 A JP H0815630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- scanned
- error
- polygon mirror
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】印刷配線板の各種パターンをレーザ描画装置で
描画する場合に、光軸ズレから起こる直交誤差による描
画パターンの位置ズレを防ぐ。 【構成】描画テーブルの両側に平行配置された２つの光
位置検出センサーと、描画テーブルと走査されたレーザ
光との直交誤差を算出する直交誤差演算処理部と、描画
テーブルの移動方向と同じ方向に走査されたレーザ光を
移動させる音響光学偏向器を設ける。これにより、光軸
ズレによる直交誤差を検出し補正することで、より高精
度なパターンを得ることができる。
描画する場合に、光軸ズレから起こる直交誤差による描
画パターンの位置ズレを防ぐ。 【構成】描画テーブルの両側に平行配置された２つの光
位置検出センサーと、描画テーブルと走査されたレーザ
光との直交誤差を算出する直交誤差演算処理部と、描画
テーブルの移動方向と同じ方向に走査されたレーザ光を
移動させる音響光学偏向器を設ける。これにより、光軸
ズレによる直交誤差を検出し補正することで、より高精
度なパターンを得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ描画装置に関
し、特にフラットヘッド型ラスタ走査レーザ描画装置に
関する。
し、特にフラットヘッド型ラスタ走査レーザ描画装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ描画装置は、図４に示すよ
うに直線移動台２６の両側面に配置され直線移動台の移
動量を測る２つの光電式リニアエンコーダ２８と、光路
中の回転多面鏡２４と電気光学変調器２２との間に配置
され、直線移動台の移動方向にスポット２７を移動させ
る音響光学偏向器２３と、２つの光電式リニアエンコー
ダ２８から得られるそれぞれの検出ヘッド３１の移動量
ｙ１，ｙ２から直線移動台２６のヨーイング運動誤差
θ、さらに、このヨーイング運動誤差θに起因する描画
点の移動量Δｙを演算して、音響光学偏向器を駆動しレ
ーザ光軸を偏向してスポットを移動量Δｙ移動させる補
正処理部３２とを有している（例えば、特開昭６４−６
３９１８号公報と特開平１−１２０３４９号公報）。
うに直線移動台２６の両側面に配置され直線移動台の移
動量を測る２つの光電式リニアエンコーダ２８と、光路
中の回転多面鏡２４と電気光学変調器２２との間に配置
され、直線移動台の移動方向にスポット２７を移動させ
る音響光学偏向器２３と、２つの光電式リニアエンコー
ダ２８から得られるそれぞれの検出ヘッド３１の移動量
ｙ１，ｙ２から直線移動台２６のヨーイング運動誤差
θ、さらに、このヨーイング運動誤差θに起因する描画
点の移動量Δｙを演算して、音響光学偏向器を駆動しレ
ーザ光軸を偏向してスポットを移動量Δｙ移動させる補
正処理部３２とを有している（例えば、特開昭６４−６
３９１８号公報と特開平１−１２０３４９号公報）。
【０００３】これの動作について説明すると、補正処理
部３２は、２つの検出ヘッド３１の移動量ｙ１，ｙ２か
ら直線移動台のヨーイング誤差θをθ＝（ｙ２−ｙ１）
／Ｌなる関係から、描画点の座標（ｘ，ｙ）の移動量Δ
ｙをΔｙ＝−ｘθなる関係からそれぞれ求め、最後に、
音響光学偏向器２３から感光材までの光路長Ｌ１から補
正偏向角αをα＝Δｙ／Ｌ１なる関係で演算する。音響
光学偏向器２３はレーザ光軸を補正偏向角αだけ偏向し
感光材上でレーザ光のスポット２７をΔｙだけ移動させ
直線移動台２６のヨーイング運動誤差に起因する位置ず
れに追従させる。
部３２は、２つの検出ヘッド３１の移動量ｙ１，ｙ２か
ら直線移動台のヨーイング誤差θをθ＝（ｙ２−ｙ１）
／Ｌなる関係から、描画点の座標（ｘ，ｙ）の移動量Δ
ｙをΔｙ＝−ｘθなる関係からそれぞれ求め、最後に、
音響光学偏向器２３から感光材までの光路長Ｌ１から補
正偏向角αをα＝Δｙ／Ｌ１なる関係で演算する。音響
光学偏向器２３はレーザ光軸を補正偏向角αだけ偏向し
感光材上でレーザ光のスポット２７をΔｙだけ移動させ
直線移動台２６のヨーイング運動誤差に起因する位置ず
れに追従させる。
【０００４】以上の動作から従来のレーザ描画装置は、
直線移動台のヨーイング運動誤差を検出してそれにより
生ずるレーザ光スポットの位置誤差をレーザ光を予め偏
向させることにより相殺し、描画精度を良くしていた。
直線移動台のヨーイング運動誤差を検出してそれにより
生ずるレーザ光スポットの位置誤差をレーザ光を予め偏
向させることにより相殺し、描画精度を良くしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のレーザ描画装置では、直線移動台のヨーイング運動
誤差の補正が行なわれるだけで直線移動台と走査された
レーザ光との関係における光軸ズレと回転多面体鏡の面
倒れ誤差から生じる直交誤差については、レーザ光の走
査位置を検出する手段がなにもないため、光軸に起因す
る直交誤差が自動補正が出来ないという問題点があっ
た。
来のレーザ描画装置では、直線移動台のヨーイング運動
誤差の補正が行なわれるだけで直線移動台と走査された
レーザ光との関係における光軸ズレと回転多面体鏡の面
倒れ誤差から生じる直交誤差については、レーザ光の走
査位置を検出する手段がなにもないため、光軸に起因す
る直交誤差が自動補正が出来ないという問題点があっ
た。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ描画装置
は、描画テーブルと走査されたレーザ光との直交誤差検
出手段と、前記描画テーブルの移動方向にレーザ光スポ
ットを移動させるレーザ光偏向手段と、前記描画テーブ
ルと走査されたレーザ光との直交誤差からレーザ光偏向
角を演算し、前記レーザ偏向手段を制御する直交誤差演
算処理部を備えている。
は、描画テーブルと走査されたレーザ光との直交誤差検
出手段と、前記描画テーブルの移動方向にレーザ光スポ
ットを移動させるレーザ光偏向手段と、前記描画テーブ
ルと走査されたレーザ光との直交誤差からレーザ光偏向
角を演算し、前記レーザ偏向手段を制御する直交誤差演
算処理部を備えている。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明の一実施例を示す斜視図、図２は本
発明の補正処理部のブロック図である。本発明のレーザ
描画装置は、描画テーブル６の左右外側に平行に固定配
置された２つのＣＣＤ一次元ラインセンサー７と、光路
中の回転多面鏡４と電気光学変調器２との間に配置され
た描画テーブルの移動方向にレーザ光を偏向させる音響
光学偏向器３と、２つのＣＣＤ一次元ラインセンサー７
に接続されて描画テーブル６と走査されたレーザ光との
誤差を算出し補正する補正処理部１２を有している。こ
の補正処理部１２は、図２に示すように直交誤差を算出
する直交誤差演算処理部８と、回転多面鏡４の鏡面傾き
を補正する面倒れ処理部９と、直交誤差演算処理部８と
面倒れ処理部９に接続されて音響光学偏向器を制御する
偏向器制御部１０を含んでいる。回転多面鏡４の鏡面傾
きは、面倒れ処理部９から多面鏡の回転に同期して偏向
器制御１０へ信号を送り音響光学偏向器３に印加する周
波数を変えることにより補正される。本発明ではこれに
加えて描画テーブルと走査レーザ光との直交誤差をも補
正している。図３を用いて詳細に説明する。
る。図１は、本発明の一実施例を示す斜視図、図２は本
発明の補正処理部のブロック図である。本発明のレーザ
描画装置は、描画テーブル６の左右外側に平行に固定配
置された２つのＣＣＤ一次元ラインセンサー７と、光路
中の回転多面鏡４と電気光学変調器２との間に配置され
た描画テーブルの移動方向にレーザ光を偏向させる音響
光学偏向器３と、２つのＣＣＤ一次元ラインセンサー７
に接続されて描画テーブル６と走査されたレーザ光との
誤差を算出し補正する補正処理部１２を有している。こ
の補正処理部１２は、図２に示すように直交誤差を算出
する直交誤差演算処理部８と、回転多面鏡４の鏡面傾き
を補正する面倒れ処理部９と、直交誤差演算処理部８と
面倒れ処理部９に接続されて音響光学偏向器を制御する
偏向器制御部１０を含んでいる。回転多面鏡４の鏡面傾
きは、面倒れ処理部９から多面鏡の回転に同期して偏向
器制御１０へ信号を送り音響光学偏向器３に印加する周
波数を変えることにより補正される。本発明ではこれに
加えて描画テーブルと走査レーザ光との直交誤差をも補
正している。図３を用いて詳細に説明する。
【０００８】図３は、描画テーブルと走査されたレーザ
光の関係を示す説明図である。回転多面鏡４により走査
されたレーザ光は描画テーブル６の両側に距離Ｌだけ離
して平行配置された２つのＣＣＤ一次元ラインセンサー
７上を通過する。この時の通過点ｙ１，ｙ２より直交誤
差θはθ＝（ｙ１−ｙ２）／Ｌとなる。この関係式から
補正量Δｙ（＝ｙ１−ｙ２）が求まる。
光の関係を示す説明図である。回転多面鏡４により走査
されたレーザ光は描画テーブル６の両側に距離Ｌだけ離
して平行配置された２つのＣＣＤ一次元ラインセンサー
７上を通過する。この時の通過点ｙ１，ｙ２より直交誤
差θはθ＝（ｙ１−ｙ２）／Ｌとなる。この関係式から
補正量Δｙ（＝ｙ１−ｙ２）が求まる。
【０００９】音響光学偏向器３から感光材までの光路長
Ｌ１から補正偏向角α＝Δｙ／Ｌ１なる関係で演算す
る。これらは図２の直交誤差演算処理部８で行なわれ
る。この結果に基いて信号を偏向器制御部１０へ送り、
音響光学偏向器３は補正偏向角αだけレーザ光を偏向し
走査されたレーザ光をΔｙだけ移動させ描画テーブルと
の直交誤差を補正する。なお、この時描画テーブルの左
右外側に取り付けられたＣＣＤ一次元ラインセンサの平
行性が問題であるが、予め回転多面鏡の一面だけを用い
てレーザ光を走査し、一時的に原点を求めそれを基準に
して他面との差を求め補正を行ない、フィルムにパター
ンを描画し直交誤差を測定した後論理上ｙ０＝ｙ１＝ｙ
２となるようオフセット値を算出し加算することで平行
を固定化し再現性を高めている。
Ｌ１から補正偏向角α＝Δｙ／Ｌ１なる関係で演算す
る。これらは図２の直交誤差演算処理部８で行なわれ
る。この結果に基いて信号を偏向器制御部１０へ送り、
音響光学偏向器３は補正偏向角αだけレーザ光を偏向し
走査されたレーザ光をΔｙだけ移動させ描画テーブルと
の直交誤差を補正する。なお、この時描画テーブルの左
右外側に取り付けられたＣＣＤ一次元ラインセンサの平
行性が問題であるが、予め回転多面鏡の一面だけを用い
てレーザ光を走査し、一時的に原点を求めそれを基準に
して他面との差を求め補正を行ない、フィルムにパター
ンを描画し直交誤差を測定した後論理上ｙ０＝ｙ１＝ｙ
２となるようオフセット値を算出し加算することで平行
を固定化し再現性を高めている。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は描画テーブ
ルと走査されたレーザ光との直交誤差の検出手段とレー
ザ光軸を回転多面鏡による走査方向と直交する方向に偏
向させる手段とを追加することにより、光軸ズレと回転
多面鏡の面倒れ誤差から生ずる直交誤差をレーザ光を予
め偏向させることにより相殺することができるので装置
調整時の光軸合せを容易にし、かつ、安定した描画精度
が得られるという効果を有する。
ルと走査されたレーザ光との直交誤差の検出手段とレー
ザ光軸を回転多面鏡による走査方向と直交する方向に偏
向させる手段とを追加することにより、光軸ズレと回転
多面鏡の面倒れ誤差から生ずる直交誤差をレーザ光を予
め偏向させることにより相殺することができるので装置
調整時の光軸合せを容易にし、かつ、安定した描画精度
が得られるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の補正処理部の制御ブロック図である。
【図３】描画テーブルと走査されたレーザ光の関係を示
す説明図である。
す説明図である。
【図４】従来の一例を示す斜視図である。
１ レーザ発振器 ２ 電気光学変調器 ３ 音響光学偏向器 ４ 回転多面鏡 ５ ｆθレンズ ６ 描画テーブル ７ ＣＣＤ一次元ラインセンサー ８ 直交誤差演算処理部 ９ 面倒れ処理部 １０ 偏向器制御部 １２ 補正処理部 １３ 長尺ミラー
Claims (2)
- 【請求項１】 描画テーブルと回転多面鏡によりレーザ
光を前記描画テーブル上に載置された感光材上で走査
し、印刷配線板の各種パターンを描画するレーザ描画装
置において、描画テーブルと走査されたレーザ光との直
交誤差検出手段と、前記描画テーブルの移動方向にレー
ザ光スポットを移動させるレーザ光偏向手段と、前記描
画テーブルと走査されたレーザ光との直交誤差からレー
ザ光偏向角を演算し、前記レーザ光偏向手段を制御する
補正処理部を備えることを特徴とするレーザ描画装置。 - 【請求項２】 前記補正処理部は、描画テーブルと走査
されたレーザ光との直交誤差を算出する直交誤差演算処
理部と、回転多面鏡の鏡面傾きを補正する面倒れ処理部
と、これらと接続されて音響光学偏向器を制御する偏向
器制御部とから構成される請求項１記載のレーザ描画装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14423094A JPH0815630A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | レーザ描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14423094A JPH0815630A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | レーザ描画装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815630A true JPH0815630A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15357273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14423094A Pending JPH0815630A (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | レーザ描画装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815630A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183423A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の走査線むら補正方法および光走査装置 |
-
1994
- 1994-06-27 JP JP14423094A patent/JPH0815630A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62183423A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光走査装置の走査線むら補正方法および光走査装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970204 |