JPH0815539A - 光学結合装置 - Google Patents
光学結合装置Info
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- JPH0815539A JPH0815539A JP14913694A JP14913694A JPH0815539A JP H0815539 A JPH0815539 A JP H0815539A JP 14913694 A JP14913694 A JP 14913694A JP 14913694 A JP14913694 A JP 14913694A JP H0815539 A JPH0815539 A JP H0815539A
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- glass
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- optical fiber
- optical coupling
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 製作が容易で機械的強度も強いと共に各種の
特性を良好に維持できる光学結合装置を提供する。 【構成】 断面凹状のガラスホルダー１１の凹部内に保
持した光導波路基板２の入・出射部に入・出射光を導光
する光ファイバ装置１３及び１４の入・出射部をそれぞ
れ光結合するとともに、光導波路１１のガラスホルダー
１１及び光ファイバ装置１３，１４のガラスホルダー１
３ｂ，１４ｂを、それぞれＹＡＧレーザ光を吸収する熱
線吸収ガラスで構成した。
特性を良好に維持できる光学結合装置を提供する。 【構成】 断面凹状のガラスホルダー１１の凹部内に保
持した光導波路基板２の入・出射部に入・出射光を導光
する光ファイバ装置１３及び１４の入・出射部をそれぞ
れ光結合するとともに、光導波路１１のガラスホルダー
１１及び光ファイバ装置１３，１４のガラスホルダー１
３ｂ，１４ｂを、それぞれＹＡＧレーザ光を吸収する熱
線吸収ガラスで構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバー通信、光
計測、光センサ等に利用できる光学結合装置に関する。
計測、光センサ等に利用できる光学結合装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、光ファイバー通信や光計測等の
分野では、導波路型干渉計、光スプリッター、光分波
器、光スイッチ、レーザダイオードその他に光学結合装
置が用いられる。これらに用いられる光学結合装置は、
例えば、光ファイバの入・出射部を導波路基板の入・出
射部に光学的に結合させて所定の機能を備えた光学装置
を構成する場合が多い。それゆえ、これらの光学結合装
置の性能を左右する重要な要因の一つとして、光学的結
合部の挿入損失、反射損失、環境温度変化に対する特性
の安定性等があげられる。したがって、これらの特性を
良好に保持できるように、上記光学的結合部の接続構造
やパッケージング構造等が決定される。
分野では、導波路型干渉計、光スプリッター、光分波
器、光スイッチ、レーザダイオードその他に光学結合装
置が用いられる。これらに用いられる光学結合装置は、
例えば、光ファイバの入・出射部を導波路基板の入・出
射部に光学的に結合させて所定の機能を備えた光学装置
を構成する場合が多い。それゆえ、これらの光学結合装
置の性能を左右する重要な要因の一つとして、光学的結
合部の挿入損失、反射損失、環境温度変化に対する特性
の安定性等があげられる。したがって、これらの特性を
良好に保持できるように、上記光学的結合部の接続構造
やパッケージング構造等が決定される。
【０００３】図１５は従来の光スプリッター装置の構造
を示す一部破断平面図、図１６は図１５のＸＶＩーＸＶ
Ｉ線断面図である。これらの図面に示される光スプリッ
ター装置は、要するに、断面凹状の金属ホルダー１の凹
部内に保持した光導波路基板２の入・出射部に入・出射
光を導光する光ファイバ装置３及び４の入・出射部をそ
れぞれ光結合したものであるが、そのために具体的には
以下のような構造を採用している。
を示す一部破断平面図、図１６は図１５のＸＶＩーＸＶ
Ｉ線断面図である。これらの図面に示される光スプリッ
ター装置は、要するに、断面凹状の金属ホルダー１の凹
部内に保持した光導波路基板２の入・出射部に入・出射
光を導光する光ファイバ装置３及び４の入・出射部をそ
れぞれ光結合したものであるが、そのために具体的には
以下のような構造を採用している。
【０００４】光導波路基板２は、細長い板状のシリコン
製の基板２ａの表面部にクラッド２ｂ及びコア２ｃから
なる１×８光スプリッター回路２ｄを形成したもので、
１つの光ビームを８つの光ビームに分岐する機能を有す
るものである。この光導波路基板２は、その表面上に石
英製の保護板５が接着固定された後、断面凹状の金属ホ
ルダー１内に収納して接着固定され、さらに、その上に
は金属製の固定板６が接着固定されている。すなわち、
光導波路基板２の全側面の周囲は金属製のホルダー１及
び金属製の固定板６で覆われるようになっているが、そ
の長手方向の端面は露出されて、光の入・出射部が形成
されている。
製の基板２ａの表面部にクラッド２ｂ及びコア２ｃから
なる１×８光スプリッター回路２ｄを形成したもので、
１つの光ビームを８つの光ビームに分岐する機能を有す
るものである。この光導波路基板２は、その表面上に石
英製の保護板５が接着固定された後、断面凹状の金属ホ
ルダー１内に収納して接着固定され、さらに、その上に
は金属製の固定板６が接着固定されている。すなわち、
光導波路基板２の全側面の周囲は金属製のホルダー１及
び金属製の固定板６で覆われるようになっているが、そ
の長手方向の端面は露出されて、光の入・出射部が形成
されている。
【０００５】光ファイバ装置３及び４は、石英ガラス板
の表面部に所定本数のＶ溝を互いに平行になるように形
成したＶ溝基板のＶ溝にそれぞれ光ファイバの光入・出
射端部がガラス基板の一端部と一致するようにして収納
配置してその上に石英ガラス板を接着固定していわゆる
光ファイバアレイを構成し、これを上記金属ホルダー１
と同様の断面凹状をなした金属ホルダーの凹部内に収納
して接着固定し、同様に金属製の固定板を接着固定した
ものである。この場合、光ファイバアレイの全側面の周
囲は金属製のホルダー及び金属製の固定板で覆われるよ
うになっているが、その長手方向の１端面には、各光フ
ァイバの入射端または出射端が露出されているものであ
る。なお、光ファイバ装置３は１芯の光ファイバアレイ
であり、光ファイバ装置４は８芯の光ファイバアレイで
ある。
の表面部に所定本数のＶ溝を互いに平行になるように形
成したＶ溝基板のＶ溝にそれぞれ光ファイバの光入・出
射端部がガラス基板の一端部と一致するようにして収納
配置してその上に石英ガラス板を接着固定していわゆる
光ファイバアレイを構成し、これを上記金属ホルダー１
と同様の断面凹状をなした金属ホルダーの凹部内に収納
して接着固定し、同様に金属製の固定板を接着固定した
ものである。この場合、光ファイバアレイの全側面の周
囲は金属製のホルダー及び金属製の固定板で覆われるよ
うになっているが、その長手方向の１端面には、各光フ
ァイバの入射端または出射端が露出されているものであ
る。なお、光ファイバ装置３は１芯の光ファイバアレイ
であり、光ファイバ装置４は８芯の光ファイバアレイで
ある。
【０００６】光ファイバ装置３及び光ファイバ装置４
は、それぞれの光入射部及び光出射部を上記光導波路の
光入射部及び光出射部に光結合されて接合される。
は、それぞれの光入射部及び光出射部を上記光導波路の
光入射部及び光出射部に光結合されて接合される。
【０００７】この接合は、互いの光結合部の精密位置合
わせを行いつつ突き合わせた後、金属ホルダーどうしの
突き合わせ部分８をＹＡＧレーザによるレーザ溶接する
ことにより行っている。なお、光結合部分には必要に応
じて屈折率整合剤７を介在させる。これにより、１本の
光ファイバ３ａから導光されてきた光を、８本の光ファ
イバ４ａ，…，４ａに分岐させる光スプリッター装置が
得られる。
わせを行いつつ突き合わせた後、金属ホルダーどうしの
突き合わせ部分８をＹＡＧレーザによるレーザ溶接する
ことにより行っている。なお、光結合部分には必要に応
じて屈折率整合剤７を介在させる。これにより、１本の
光ファイバ３ａから導光されてきた光を、８本の光ファ
イバ４ａ，…，４ａに分岐させる光スプリッター装置が
得られる。
【０００８】上述の光スプリッター装置は、要するに、
光ファイバの入・出射端面と光導波路の入・出射端面と
の光結合部自体は機械的に固定することなく、光ファイ
バや光導波路を保持する互いのホルダーどうしを溶接に
よって接合固定することで、これらの光結合部の位置関
係を間接的に固定して光結合を行うとともに、この光結
合部に屈折率整合剤を介在させることにより反射損失の
低減を確保している。
光ファイバの入・出射端面と光導波路の入・出射端面と
の光結合部自体は機械的に固定することなく、光ファイ
バや光導波路を保持する互いのホルダーどうしを溶接に
よって接合固定することで、これらの光結合部の位置関
係を間接的に固定して光結合を行うとともに、この光結
合部に屈折率整合剤を介在させることにより反射損失の
低減を確保している。
【０００９】このような光結合方式は、上記光スプリッ
ター装置に限らず、例えば、光分波器、光スイッチ、レ
ーザダイオード等の他の光学結合装置の光結合にも採用
される場合が多い。
ター装置に限らず、例えば、光分波器、光スイッチ、レ
ーザダイオード等の他の光学結合装置の光結合にも採用
される場合が多い。
【００１０】この光結合方式は、機械加工が容易な金属
ホルダーを用い、かつ、光学素子どうしの光結合及び位
置固定はこの金属ホルダーどうしを接合固定するだけで
あって、個々の光ファイバー等を接合する必要がないの
で光結合作業が容易であり、しかも、金属ホルダーどう
しの接合固定には手軽なＹＡＧレーザ溶接を採用できる
ので、製作が容易であるという利点がある。
ホルダーを用い、かつ、光学素子どうしの光結合及び位
置固定はこの金属ホルダーどうしを接合固定するだけで
あって、個々の光ファイバー等を接合する必要がないの
で光結合作業が容易であり、しかも、金属ホルダーどう
しの接合固定には手軽なＹＡＧレーザ溶接を採用できる
ので、製作が容易であるという利点がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の金属
ホルダーを用いた光結合方式は、金属ホルダーと、この
金属ホルダー内に保持された光ファイバや光導波路基板
との熱膨張係数に大きな差が生じてしまう場合も少なく
ない。熱膨張係数に大きな差がある場合には、環境温度
変化があると、熱膨張差によって光ファイバや光導波路
基板に応力がかかって特性が変動するおそれが生ずる。
ホルダーを用いた光結合方式は、金属ホルダーと、この
金属ホルダー内に保持された光ファイバや光導波路基板
との熱膨張係数に大きな差が生じてしまう場合も少なく
ない。熱膨張係数に大きな差がある場合には、環境温度
変化があると、熱膨張差によって光ファイバや光導波路
基板に応力がかかって特性が変動するおそれが生ずる。
【００１２】また、金属どうしのＹＡＧレーザ溶接は、
溶接時の衝撃波の発生量が比較的大きくかつその減衰定
数が小さい（伝搬定数が大きい）ので、金属ホルダーど
うしの溶接の際に衝撃波によって光軸ずれをおこすおそ
れもあり、それによる光結合の損失増加を招くおそれも
あった。
溶接時の衝撃波の発生量が比較的大きくかつその減衰定
数が小さい（伝搬定数が大きい）ので、金属ホルダーど
うしの溶接の際に衝撃波によって光軸ずれをおこすおそ
れもあり、それによる光結合の損失増加を招くおそれも
あった。
【００１３】このようなおそれを除去する方法として
は、図１７に示されるように、金属ホルダーを用いるこ
となく、各光ファイバ３ａの入・出射端と光導波路２ｄ
の入・出射端とをそれぞれ直接ＣＯ2 レーザによって融
着する方法が考えられる。すなわち、この方法によれ
ば、光結合部を溶融して一体化してしまうので、光結合
部での反射損失が少なく、また、環境温度変化による特
性の変動も小さい。
は、図１７に示されるように、金属ホルダーを用いるこ
となく、各光ファイバ３ａの入・出射端と光導波路２ｄ
の入・出射端とをそれぞれ直接ＣＯ2 レーザによって融
着する方法が考えられる。すなわち、この方法によれ
ば、光結合部を溶融して一体化してしまうので、光結合
部での反射損失が少なく、また、環境温度変化による特
性の変動も小さい。
【００１４】しかしながら、この方法は、融着接合部の
断面積が光ファイバのクラッド断面積程度ということに
なるが、光ファイバクラッドの径は通常125 μｍ程度し
かないために接合部の機械的強度が弱いと共に光ファイ
バクラッド部で破断しやすく、これら結合体をさらにパ
ッケージケースに収める際等に破損してしまうおそれが
高い。また、個々の光ファイバー毎にＣＯ2 レーザ融着
する必要があるので、多数の光ファイバを有する場合に
は、融着作業に時間と手間を要し、しかも、融着のバラ
ツキによる特性のバラツキも生じやすい。さらに、１つ
の光ファイバを融着する際に隣り合う光ファイバにその
融着が拡がらないようにするためには通常光ファイバど
うしの間隙を250 μｍ程度より大きくする必要があり、
光ファイバをそれ以上近接して配置することができない
という制約が生ずる。さらには、光ファイバと光導波路
基板との材質の組み合わせが融着の可能なものに制限さ
れる。
断面積が光ファイバのクラッド断面積程度ということに
なるが、光ファイバクラッドの径は通常125 μｍ程度し
かないために接合部の機械的強度が弱いと共に光ファイ
バクラッド部で破断しやすく、これら結合体をさらにパ
ッケージケースに収める際等に破損してしまうおそれが
高い。また、個々の光ファイバー毎にＣＯ2 レーザ融着
する必要があるので、多数の光ファイバを有する場合に
は、融着作業に時間と手間を要し、しかも、融着のバラ
ツキによる特性のバラツキも生じやすい。さらに、１つ
の光ファイバを融着する際に隣り合う光ファイバにその
融着が拡がらないようにするためには通常光ファイバど
うしの間隙を250 μｍ程度より大きくする必要があり、
光ファイバをそれ以上近接して配置することができない
という制約が生ずる。さらには、光ファイバと光導波路
基板との材質の組み合わせが融着の可能なものに制限さ
れる。
【００１５】本発明は上述の背景のもとでなされたもの
であり、製作が容易で機械的強度も強いと共に各種の特
性を良好に維持できる光学結合装置を提供することを目
的としたものである。
であり、製作が容易で機械的強度も強いと共に各種の特
性を良好に維持できる光学結合装置を提供することを目
的としたものである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明にかかる光学結合装置は、 （構成１） 光の入射部及び出射部のいずれか一方又は
双方からなる入・出射部を備えた導光部を有する複数の
光学部材の入・出射部を互いに光学的に結合して構成さ
れた光学結合装置において、前記各光学部材は、これら
光学部材における導光部の入・出射部を光学的に結合さ
せたときに互いに当接される部分のうちの少なくとも一
部をＹＡＧレーザ光を吸収するガラスで構成したもので
あることを特徴とする構成とし、構成１の態様として、 （構成２） 構成１又は２の光学結合装置において、前
記各光学部材における導光部の入・出射部を光学的に結
合させたときに互いに当接される部分であって、前記Ｙ
ＡＧレーザ光を吸収するガラスで構成された部分をＹＡ
Ｇレーザ光を照射して溶接して接合したことを特徴とす
る構成とし、構成１又は２の態様として、 （構成３） 構成１又は２の光学結合装置において、前
記ＹＡＧレーザ光を吸収するガラスでは、紫外光を透過
する性質を兼ね備えたものであることを特徴とした構成
としたものである。
めに、本発明にかかる光学結合装置は、 （構成１） 光の入射部及び出射部のいずれか一方又は
双方からなる入・出射部を備えた導光部を有する複数の
光学部材の入・出射部を互いに光学的に結合して構成さ
れた光学結合装置において、前記各光学部材は、これら
光学部材における導光部の入・出射部を光学的に結合さ
せたときに互いに当接される部分のうちの少なくとも一
部をＹＡＧレーザ光を吸収するガラスで構成したもので
あることを特徴とする構成とし、構成１の態様として、 （構成２） 構成１又は２の光学結合装置において、前
記各光学部材における導光部の入・出射部を光学的に結
合させたときに互いに当接される部分であって、前記Ｙ
ＡＧレーザ光を吸収するガラスで構成された部分をＹＡ
Ｇレーザ光を照射して溶接して接合したことを特徴とす
る構成とし、構成１又は２の態様として、 （構成３） 構成１又は２の光学結合装置において、前
記ＹＡＧレーザ光を吸収するガラスでは、紫外光を透過
する性質を兼ね備えたものであることを特徴とした構成
としたものである。
【００１７】
【作用】上述の構成１及び２によれば、光学部材におけ
る導光部の入・出射部を光学的に結合させたときに互い
に当接される部分のうちの少なくとも一部をＹＡＧレー
ザ光を吸収するガラスで構成したことにより、このガラ
スの部分をＹＡＧレーザ溶接して互いの光学部材を接合
固定することが可能になり、これにより、金属どうしを
溶接する場合のように、溶接時の衝撃波による光軸ずれ
をおこすおそれを除去できるとともに、導光部の入・出
射部自体を融着等の手段により接合することなく光学的
に結合することが可能であり、さらに、光学部材の構成
要素に金属を含めるような必要がなくなり、光学部材全
体を光導波路基板の熱膨張係数に近い熱膨張係数の部材
によって構成することが可能となるから環境温度変化に
よる特性変化を小さく押さえることが可能になる。しか
も、光学部材の接合に手軽なＹＡＧレーザを用いること
ができるから製作も容易である等の効果を有する。
る導光部の入・出射部を光学的に結合させたときに互い
に当接される部分のうちの少なくとも一部をＹＡＧレー
ザ光を吸収するガラスで構成したことにより、このガラ
スの部分をＹＡＧレーザ溶接して互いの光学部材を接合
固定することが可能になり、これにより、金属どうしを
溶接する場合のように、溶接時の衝撃波による光軸ずれ
をおこすおそれを除去できるとともに、導光部の入・出
射部自体を融着等の手段により接合することなく光学的
に結合することが可能であり、さらに、光学部材の構成
要素に金属を含めるような必要がなくなり、光学部材全
体を光導波路基板の熱膨張係数に近い熱膨張係数の部材
によって構成することが可能となるから環境温度変化に
よる特性変化を小さく押さえることが可能になる。しか
も、光学部材の接合に手軽なＹＡＧレーザを用いること
ができるから製作も容易である等の効果を有する。
【００１８】構成３によれば、上記ＹＡＧレーザ光を吸
収するガラスを、紫外光を透過する性質を兼ね備えたも
ので構成したことにより、光学部材内で必要な接着箇所
に用いる接着剤として紫外線硬化接着剤を用いてもその
接着硬化を行うことを可能にし、これにより、製作をよ
り容易にする。
収するガラスを、紫外光を透過する性質を兼ね備えたも
ので構成したことにより、光学部材内で必要な接着箇所
に用いる接着剤として紫外線硬化接着剤を用いてもその
接着硬化を行うことを可能にし、これにより、製作をよ
り容易にする。
【００１９】
（第１実施例）図１は本発明の第１実施例にかかる光学
結合装置の一部破断平面図、図２は図１のＩＩーＩＩ線
断面図、図３は図１のＩＩＩーＩＩＩ線断面図、図４は
図１のＩＶーＩＶ線断面図、図５は図１のＶーＶ線断面
図、図６は第１実施例にかかる光学結合装置の斜視図で
ある。以下、これらの図面を参照にしながら第１実施例
を説明する。なお、この実施例の光学結合装置は、上述
の図１５に示した従来の光スプリッター装置における金
属ホルダー１のかわりにＹＡＧレーザ光を吸収するガラ
スで構成したガラスホルダー１１を用いた点を除く外の
基本的構成がほぼ同一の光スプリッター装置であるの
で、共通する部分には同一の符号を付して説明する。
結合装置の一部破断平面図、図２は図１のＩＩーＩＩ線
断面図、図３は図１のＩＩＩーＩＩＩ線断面図、図４は
図１のＩＶーＩＶ線断面図、図５は図１のＶーＶ線断面
図、図６は第１実施例にかかる光学結合装置の斜視図で
ある。以下、これらの図面を参照にしながら第１実施例
を説明する。なお、この実施例の光学結合装置は、上述
の図１５に示した従来の光スプリッター装置における金
属ホルダー１のかわりにＹＡＧレーザ光を吸収するガラ
スで構成したガラスホルダー１１を用いた点を除く外の
基本的構成がほぼ同一の光スプリッター装置であるの
で、共通する部分には同一の符号を付して説明する。
【００２０】これらの図面に示される光スプリッター装
置は、要するに、断面凹状のガラスホルダー１１の凹部
内に保持した光導波路基板２の入・出射部に入・出射光
を導光する光ファイバ装置１３及び１４の入・出射部を
それぞれ光結合したものであるが、そのために具体的に
は以下のような構造を採用している。
置は、要するに、断面凹状のガラスホルダー１１の凹部
内に保持した光導波路基板２の入・出射部に入・出射光
を導光する光ファイバ装置１３及び１４の入・出射部を
それぞれ光結合したものであるが、そのために具体的に
は以下のような構造を採用している。
【００２１】ガラスホルダー１１は、熱線吸収ガラスＨ
Ａー３０（ホーヤ株式会社の商品名）を断面凹状の長尺
材に形成したものである。
Ａー３０（ホーヤ株式会社の商品名）を断面凹状の長尺
材に形成したものである。
【００２２】図７は熱線吸収ガラスＨＡー３０の光の波
長に対する光透過率の特性を示すグラフである。図にお
いて、縦軸が透過率（単位；％）、横軸が波長（単位；
ｎｍ）である。このグラフから明らかなように、ＹＡＧ
レーザ光の波長である１０６０ｎｍの付近の光透過率は
ほぼゼロ（正確には、厚さ３．０ｍｍで表面と裏面との
フレネル反射を含む光透過率の値が０．０３％である）
であることから、このガラスは所定のＹＡＧレーザ光を
充分に吸収して瞬時に溶融する性質を有するので、ＹＡ
Ｇレーザ溶接が容易にできる。この熱線吸収ガラスにＹ
ＡＧレーザ光（波長；１．０６μｍ）を照射し、その溶
融試験を行なったところ、パルス幅１０ｎsec の場合、
１パルスの照射エネルギーが２８．０Ｊ／cm2 以上で溶
融した。また、繰り返し周波数が１０Ｈｚで照射した場
合には、１７．３Ｊ／cm2 以上で溶融した。
長に対する光透過率の特性を示すグラフである。図にお
いて、縦軸が透過率（単位；％）、横軸が波長（単位；
ｎｍ）である。このグラフから明らかなように、ＹＡＧ
レーザ光の波長である１０６０ｎｍの付近の光透過率は
ほぼゼロ（正確には、厚さ３．０ｍｍで表面と裏面との
フレネル反射を含む光透過率の値が０．０３％である）
であることから、このガラスは所定のＹＡＧレーザ光を
充分に吸収して瞬時に溶融する性質を有するので、ＹＡ
Ｇレーザ溶接が容易にできる。この熱線吸収ガラスにＹ
ＡＧレーザ光（波長；１．０６μｍ）を照射し、その溶
融試験を行なったところ、パルス幅１０ｎsec の場合、
１パルスの照射エネルギーが２８．０Ｊ／cm2 以上で溶
融した。また、繰り返し周波数が１０Ｈｚで照射した場
合には、１７．３Ｊ／cm2 以上で溶融した。
【００２３】光導波路基板２は、図２及び図３に示され
るように、細長い板状のシリコン製の基板２ａの表面部
にクラッド２ｂ及びコア２ｃからなる石英系シングルモ
ード光導波路によって１×８光スプリッター回路２ｄを
形成したもので、入力側が１芯で出力側がコアのピッチ
間隔が２５０μｍの８芯である。この光導波路基板２
は、その表面上にアルミノ珪酸ガラスＳＤー２（ホーヤ
株式会社の商品名）で構成された保護板１５が接着固定
された後、断面凹状のガラスホルダー１１内に収納して
接着固定され、さらに、その上には熱線吸収ガラスＨＡ
ー３０で構成された固定板１６が接着固定されている。
すなわち、光導波路基板２の全側面の周囲はガラスホル
ダー１１及びガラス製の固定板１６で覆われるようにな
っているが、その長手方向の端面は露出されて、光の入
・出射部が形成されている。なお、アルミノ珪酸ガラス
ＳＤー２の熱膨脹特性は、シリコン基板のそれとほぼ整
合しており、３０〜３００℃の線膨脹係数が３．２×１
０-6である。
るように、細長い板状のシリコン製の基板２ａの表面部
にクラッド２ｂ及びコア２ｃからなる石英系シングルモ
ード光導波路によって１×８光スプリッター回路２ｄを
形成したもので、入力側が１芯で出力側がコアのピッチ
間隔が２５０μｍの８芯である。この光導波路基板２
は、その表面上にアルミノ珪酸ガラスＳＤー２（ホーヤ
株式会社の商品名）で構成された保護板１５が接着固定
された後、断面凹状のガラスホルダー１１内に収納して
接着固定され、さらに、その上には熱線吸収ガラスＨＡ
ー３０で構成された固定板１６が接着固定されている。
すなわち、光導波路基板２の全側面の周囲はガラスホル
ダー１１及びガラス製の固定板１６で覆われるようにな
っているが、その長手方向の端面は露出されて、光の入
・出射部が形成されている。なお、アルミノ珪酸ガラス
ＳＤー２の熱膨脹特性は、シリコン基板のそれとほぼ整
合しており、３０〜３００℃の線膨脹係数が３．２×１
０-6である。
【００２４】光ファイバ装置１３及び１４は、アルミノ
珪酸ガラスＳＤー２で構成されたガラス板の表面部に所
定本数のＶ溝を互いに平行になるように形成したＶ溝基
板１３ｄ，１４ｄのＶ溝にそれぞれ光ファイバ１３ａ，
１４ａの光入・出射端部がガラス板の一端部と一致する
ようにして収納配置してその上にアルミノ珪酸ガラスＳ
Ｄー２で構成された押さえ板１３ｅ，１４ｅを接着固定
していわゆる光ファイバアレイを構成し、これを上記ガ
ラスホルダー１１と同様の断面凹状をなした熱線吸収ガ
ラスＨＡー３０で構成されたガラスホルダー１３ｂ，１
４ｂの凹部内に収納して接着固定し、同様に熱線吸収ガ
ラス製の固定板１３ｃ，１４ｃを接着固定したものであ
る。この場合、光ファイバアレイの全側面の周囲は熱線
吸収ガラス製のホルダー及び熱線吸収ガラス製の固定板
で覆われるようになっているが、その長手方向の１端面
には、各光ファイバの入射端または出射端が露出されて
いるものである。なお、光ファイバ装置１３は１芯の光
ファイバアレイであり、光ファイバ装置１４は８芯の光
ファイバアレイである。
珪酸ガラスＳＤー２で構成されたガラス板の表面部に所
定本数のＶ溝を互いに平行になるように形成したＶ溝基
板１３ｄ，１４ｄのＶ溝にそれぞれ光ファイバ１３ａ，
１４ａの光入・出射端部がガラス板の一端部と一致する
ようにして収納配置してその上にアルミノ珪酸ガラスＳ
Ｄー２で構成された押さえ板１３ｅ，１４ｅを接着固定
していわゆる光ファイバアレイを構成し、これを上記ガ
ラスホルダー１１と同様の断面凹状をなした熱線吸収ガ
ラスＨＡー３０で構成されたガラスホルダー１３ｂ，１
４ｂの凹部内に収納して接着固定し、同様に熱線吸収ガ
ラス製の固定板１３ｃ，１４ｃを接着固定したものであ
る。この場合、光ファイバアレイの全側面の周囲は熱線
吸収ガラス製のホルダー及び熱線吸収ガラス製の固定板
で覆われるようになっているが、その長手方向の１端面
には、各光ファイバの入射端または出射端が露出されて
いるものである。なお、光ファイバ装置１３は１芯の光
ファイバアレイであり、光ファイバ装置１４は８芯の光
ファイバアレイである。
【００２５】光ファイバ装置１３及び光ファイバ装置１
４は、それぞれの光入射部及び光出射部を上記光導波路
の光入射部及び光出射部に光結合されて接合される。こ
の接合は、図６に示したように、光結合部の精密位置合
わせを行いつつ突き合わせた後、ガラスホルダーどうし
の突き合わせ部分をＹＡＧレーザによるレーザ溶接する
ことにより行っている。なお、光結合部分には必要に応
じて屈折率整合剤７を介在させる。これにより、１本の
光ファイバ１３ａから導光されてきた光を、８本の光フ
ァイバ１４ａ，…，１４ａに分岐させる光スプリッター
装置が得られる。
４は、それぞれの光入射部及び光出射部を上記光導波路
の光入射部及び光出射部に光結合されて接合される。こ
の接合は、図６に示したように、光結合部の精密位置合
わせを行いつつ突き合わせた後、ガラスホルダーどうし
の突き合わせ部分をＹＡＧレーザによるレーザ溶接する
ことにより行っている。なお、光結合部分には必要に応
じて屈折率整合剤７を介在させる。これにより、１本の
光ファイバ１３ａから導光されてきた光を、８本の光フ
ァイバ１４ａ，…，１４ａに分岐させる光スプリッター
装置が得られる。
【００２６】なお、この実施例における接着部分に用い
る接着剤９としては、例えば、熱硬化型エポキシ樹脂接
着剤等を用いることができ、また、屈折率整合剤７とし
ては、光学用シリコーンイル等を用いることができる。
る接着剤９としては、例えば、熱硬化型エポキシ樹脂接
着剤等を用いることができ、また、屈折率整合剤７とし
ては、光学用シリコーンイル等を用いることができる。
【００２７】上述の光スプリッター装置は、要するに、
光ファイバの入・出射端面と光導波路の入・出射端面と
の光結合部自体は機械的に固定することなく、光ファイ
バや光導波路を保持する互いのホルダーどうしを溶接に
よって接合固定することで、これらの光結合部の位置関
係を間接的に固定して光結合を行うとともに、この光結
合部に屈折率整合剤を介在させることにより反射損失の
低減を確保している。すなわち、光学素子どうしの光結
合及び位置固定はこのガラスホルダーどうしを接合固定
するだけであって、個々の光ファイバー等を接合する必
要がないので光結合作業が容易であり、しかも、各ガラ
スホルダーをＹＡＧレーザ光を吸収できる熱線吸収ガラ
スで構成しているので、ガラスホルダーどうしの接合固
定には手軽なＹＡＧレーザ溶接を採用できるので、製作
が容易であるという利点がある。さらに、光導波路基板
２と、この光導波路基板２を保持するホルダー、あるい
は、光導波路２に光結合される光ファイバ装置１３，１
４等が、光導波路基板２の熱膨張特性に近似する熱膨張
特性を有するガラスで構成されていることから、環境温
度変化があっても熱膨張差が生ぜず、光ファイバや光導
波路基板に応力がかかるおそれがないので、環境変化に
よる特性の変動が少ない。さらには、金属どうしのＹＡ
Ｇレーザ溶接に比較して、溶接時の衝撃波の発生量が極
めて小さいので、溶接時の衝撃波によって光軸ずれをお
こすおそれも少ない。
光ファイバの入・出射端面と光導波路の入・出射端面と
の光結合部自体は機械的に固定することなく、光ファイ
バや光導波路を保持する互いのホルダーどうしを溶接に
よって接合固定することで、これらの光結合部の位置関
係を間接的に固定して光結合を行うとともに、この光結
合部に屈折率整合剤を介在させることにより反射損失の
低減を確保している。すなわち、光学素子どうしの光結
合及び位置固定はこのガラスホルダーどうしを接合固定
するだけであって、個々の光ファイバー等を接合する必
要がないので光結合作業が容易であり、しかも、各ガラ
スホルダーをＹＡＧレーザ光を吸収できる熱線吸収ガラ
スで構成しているので、ガラスホルダーどうしの接合固
定には手軽なＹＡＧレーザ溶接を採用できるので、製作
が容易であるという利点がある。さらに、光導波路基板
２と、この光導波路基板２を保持するホルダー、あるい
は、光導波路２に光結合される光ファイバ装置１３，１
４等が、光導波路基板２の熱膨張特性に近似する熱膨張
特性を有するガラスで構成されていることから、環境温
度変化があっても熱膨張差が生ぜず、光ファイバや光導
波路基板に応力がかかるおそれがないので、環境変化に
よる特性の変動が少ない。さらには、金属どうしのＹＡ
Ｇレーザ溶接に比較して、溶接時の衝撃波の発生量が極
めて小さいので、溶接時の衝撃波によって光軸ずれをお
こすおそれも少ない。
【００２８】上述の実施例の特性を実測した結果は以下
の通りであった。
の通りであった。
【００２９】まず、光導波路２の挿入損失については、
実装前の単独の挿入損失が平均９．５ｄＢであったが、
実装後は平均９．６ｄＢであった。すなわち、光導波路
２の特性が実装前・後でほとんど変化しておらず、極め
て良好な光結合が行われていることがわかる。また、−
４０〜＋８５℃の温度範囲での熱サイクルテストでの挿
入損失の変動幅（全幅）は０．１ｄＢ以下であった。す
なわち、実装後の挿入損失の温度依存性も極めて小さい
ことがわかる。
実装前の単独の挿入損失が平均９．５ｄＢであったが、
実装後は平均９．６ｄＢであった。すなわち、光導波路
２の特性が実装前・後でほとんど変化しておらず、極め
て良好な光結合が行われていることがわかる。また、−
４０〜＋８５℃の温度範囲での熱サイクルテストでの挿
入損失の変動幅（全幅）は０．１ｄＢ以下であった。す
なわち、実装後の挿入損失の温度依存性も極めて小さい
ことがわかる。
【００３０】（第２実施例）この実施例は、上述の第１
実施例において熱線吸収ガラスＨＡー３０で構成した部
分を、紫外光透過・近赤外光吸収ガラスＵー３４０（ホ
ーヤ株式会社の商品名）で構成した外は、第１実施例と
同一の構成を有するので、その説明は省略する。
実施例において熱線吸収ガラスＨＡー３０で構成した部
分を、紫外光透過・近赤外光吸収ガラスＵー３４０（ホ
ーヤ株式会社の商品名）で構成した外は、第１実施例と
同一の構成を有するので、その説明は省略する。
【００３１】図８は紫外光透過・近赤外光吸収ガラスＵ
ー３４０の光の波長に対する光透過率の特性を示すグラ
フである。図において、縦軸が透過率（単位；％）、横
軸が波長（単位；ｎｍ）である。このグラフから明らか
なように、ＹＡＧレーザ光の波長である１０６０ｎｍの
付近の光透過率はほぼゼロ（正確には、厚さ２．５ｍｍ
で表面と裏面とのフレネル反射を含む値が０．０３％で
ある）であることから、このガラスは所定のＹＡＧレー
ザ光を充分に吸収して瞬時に溶融する性質を有するの
で、ＹＡＧレーザ溶接が容易にできる。また、３００〜
３５５ｎｍにおける光透過率は、７０％以上（厚さ２．
５ｍｍで表面と裏面とのフレネル反射を含む値）である
ので、紫外光をよく透過する。それゆえ、接着剤９とし
て、紫外線硬化接着剤を用いることが可能になり、した
がって、ＹＡＧレーザによる溶接固定する前に所定箇所
に紫外線硬化接着剤を塗布しておき、光学結合する部材
間の端面どうしを突き合わせて精密位置合わせをした後
に紫外光を照射して硬化させて接着による固定を行な
い、しかる後にＹＡＧレーザ溶接による溶接固定を行な
う。これにより、溶接時の衝撃による光軸ずれをより完
全に防止することが可能になる。
ー３４０の光の波長に対する光透過率の特性を示すグラ
フである。図において、縦軸が透過率（単位；％）、横
軸が波長（単位；ｎｍ）である。このグラフから明らか
なように、ＹＡＧレーザ光の波長である１０６０ｎｍの
付近の光透過率はほぼゼロ（正確には、厚さ２．５ｍｍ
で表面と裏面とのフレネル反射を含む値が０．０３％で
ある）であることから、このガラスは所定のＹＡＧレー
ザ光を充分に吸収して瞬時に溶融する性質を有するの
で、ＹＡＧレーザ溶接が容易にできる。また、３００〜
３５５ｎｍにおける光透過率は、７０％以上（厚さ２．
５ｍｍで表面と裏面とのフレネル反射を含む値）である
ので、紫外光をよく透過する。それゆえ、接着剤９とし
て、紫外線硬化接着剤を用いることが可能になり、した
がって、ＹＡＧレーザによる溶接固定する前に所定箇所
に紫外線硬化接着剤を塗布しておき、光学結合する部材
間の端面どうしを突き合わせて精密位置合わせをした後
に紫外光を照射して硬化させて接着による固定を行な
い、しかる後にＹＡＧレーザ溶接による溶接固定を行な
う。これにより、溶接時の衝撃による光軸ずれをより完
全に防止することが可能になる。
【００３２】（第３実施例）図９は本発明の第３実施例
にかかる光学結合装置の一部破断平面図、図１０は図９
のＸーＸ線断面図、図１１は図９のＸＩーＸＩ線断面
図、図１２は図９のＸＩＩーＸＩＩ線断面図、図１３は
図９のＸＩＩＩーＸＩＩＩ線断面図、図１４は第３実施
例にかかる光学結合装置の斜視図である。以下、これら
の図面を参照にしながら第３実施例を説明する。なお、
この実施例の光学結合装置は、上述の第１実施例におけ
る光導波路基板２を保持するガラスホルダー１１や、光
ファイバー装置１３，１４におけるガラスホルダー１３
ｂ，１４ｂ等を用いることなく、光導波路を直接熱線吸
収ガラスに形成し、また、光ファイバを直接熱線吸収ガ
ラスに保持するようにしたものである。
にかかる光学結合装置の一部破断平面図、図１０は図９
のＸーＸ線断面図、図１１は図９のＸＩーＸＩ線断面
図、図１２は図９のＸＩＩーＸＩＩ線断面図、図１３は
図９のＸＩＩＩーＸＩＩＩ線断面図、図１４は第３実施
例にかかる光学結合装置の斜視図である。以下、これら
の図面を参照にしながら第３実施例を説明する。なお、
この実施例の光学結合装置は、上述の第１実施例におけ
る光導波路基板２を保持するガラスホルダー１１や、光
ファイバー装置１３，１４におけるガラスホルダー１３
ｂ，１４ｂ等を用いることなく、光導波路を直接熱線吸
収ガラスに形成し、また、光ファイバを直接熱線吸収ガ
ラスに保持するようにしたものである。
【００３３】図９ないし１４において、光導波路基板３
２は、細長い板状の熱線吸収ガラスＨＡー３０製の基板
３２ａの表面部にクラッド３２ｂ及びコア３２ｃからな
る石英系シングルモード光導波路によって１×８光スプ
リッター回路３２ｄを形成したもので、入力側が１芯で
出力側がコアのピッチ間隔が２５０μｍの８芯である。
この光導波路基板３２の両端部の表面上には、熱線吸収
ガラスＨＡー３０で構成された保護板３５ａ及び３５ｂ
がそれぞれ接着固定されている。
２は、細長い板状の熱線吸収ガラスＨＡー３０製の基板
３２ａの表面部にクラッド３２ｂ及びコア３２ｃからな
る石英系シングルモード光導波路によって１×８光スプ
リッター回路３２ｄを形成したもので、入力側が１芯で
出力側がコアのピッチ間隔が２５０μｍの８芯である。
この光導波路基板３２の両端部の表面上には、熱線吸収
ガラスＨＡー３０で構成された保護板３５ａ及び３５ｂ
がそれぞれ接着固定されている。
【００３４】光ファイバ装置３３及び３４は、熱線吸収
ガラスＨＡー３０で構成されたガラス板の表面部に所定
本数のＶ溝を互いに平行になるように形成したＶ溝基板
３３ｄ，３４ｄのＶ溝にそれぞれ光ファイバ３３ａ，３
４ａの光入・出射端部がガラス板の一端部と一致するよ
うにして収納配置してその上に熱線吸収ガラスＨＡー３
０で構成された押さえ板３３ｅ，３４ｅを接着固定して
いわゆる光ファイバアレイを構成したものである。この
場合、光ファイバアレイの光進行方向の１端面には、各
光ファイバの入射端または出射端が露出されているもの
である。なお、光ファイバ装置３３は１芯の光ファイバ
アレイであり、光ファイバ装置３４は８芯の光ファイバ
アレイである。
ガラスＨＡー３０で構成されたガラス板の表面部に所定
本数のＶ溝を互いに平行になるように形成したＶ溝基板
３３ｄ，３４ｄのＶ溝にそれぞれ光ファイバ３３ａ，３
４ａの光入・出射端部がガラス板の一端部と一致するよ
うにして収納配置してその上に熱線吸収ガラスＨＡー３
０で構成された押さえ板３３ｅ，３４ｅを接着固定して
いわゆる光ファイバアレイを構成したものである。この
場合、光ファイバアレイの光進行方向の１端面には、各
光ファイバの入射端または出射端が露出されているもの
である。なお、光ファイバ装置３３は１芯の光ファイバ
アレイであり、光ファイバ装置３４は８芯の光ファイバ
アレイである。
【００３５】光ファイバ装置３３及び光ファイバ装置３
４は、それぞれの光入射部及び光出射部を上記光導波路
３２の光入射部及び光出射部に光結合されて接合され
る。この接合は、図１４に示したように、光結合部の精
密位置合わせを行いつつ突き合わせた後、ガラスホルダ
ーどうしの突き合わせ部分をＹＡＧレーザによるレーザ
溶接することにより行っている。なお、光結合部分には
必要に応じて屈折率整合剤を介在させる。これにより、
１本の光ファイバ３３ａから導光されてきた光を、８本
の光ファイバ３４ａ，…，３４ａに分岐させる光スプリ
ッター装置が得られる。
４は、それぞれの光入射部及び光出射部を上記光導波路
３２の光入射部及び光出射部に光結合されて接合され
る。この接合は、図１４に示したように、光結合部の精
密位置合わせを行いつつ突き合わせた後、ガラスホルダ
ーどうしの突き合わせ部分をＹＡＧレーザによるレーザ
溶接することにより行っている。なお、光結合部分には
必要に応じて屈折率整合剤を介在させる。これにより、
１本の光ファイバ３３ａから導光されてきた光を、８本
の光ファイバ３４ａ，…，３４ａに分岐させる光スプリ
ッター装置が得られる。
【００３６】この実施例によれば、極めて簡単な構造を
もちながら実施例１の場合とほぼ同様の効果を得ること
ができる。なお、この実施例における熱線吸収ガラスＨ
Ａー３０で構成した部分を、紫外光透過・近赤外光吸収
ガラスＵー３４０で構成すれば、実施例２と同様の効果
を得ることも可能である。
もちながら実施例１の場合とほぼ同様の効果を得ること
ができる。なお、この実施例における熱線吸収ガラスＨ
Ａー３０で構成した部分を、紫外光透過・近赤外光吸収
ガラスＵー３４０で構成すれば、実施例２と同様の効果
を得ることも可能である。
【００３７】なお、以上述べた実施例はいずれも本発明
を光スプリッターに適用した場合の例を掲げたが、本発
明は、これに限られるものではなく、例えば、光ファイ
バと光結合光学系とよりなる結合光学結合装置、レーザ
半導体と光結合光学系と光ファイバとよりなるファイバ
付レーザ半導体、ファラデー媒体と偏光子とよりなる光
アイソレータ、ファラデー媒体と偏光子と光結合光学系
と光ファイバとよりなる光アイソレータ、音響光学媒体
と結合光学系と光ファイバとよりなる光ファイバ付音響
光学素子、その他の光学結合装置にも適用することがで
きる。
を光スプリッターに適用した場合の例を掲げたが、本発
明は、これに限られるものではなく、例えば、光ファイ
バと光結合光学系とよりなる結合光学結合装置、レーザ
半導体と光結合光学系と光ファイバとよりなるファイバ
付レーザ半導体、ファラデー媒体と偏光子とよりなる光
アイソレータ、ファラデー媒体と偏光子と光結合光学系
と光ファイバとよりなる光アイソレータ、音響光学媒体
と結合光学系と光ファイバとよりなる光ファイバ付音響
光学素子、その他の光学結合装置にも適用することがで
きる。
【００３８】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明にかかる光
学結合装置は、光の入射部及び出射部のいずれか一方又
は双方からなる入・出射部を備えた導光部を有する複数
の光学部材の入・出射部を互いに光学的に結合して構成
された光学結合装置において、各光学部材は、これら光
学部材における導光部の入・出射部を光学的に結合させ
たときに互いに当接される部分のうちの少なくとも一部
をＹＡＧレーザ光を吸収するガラスで構成したものであ
ることを特徴としたもので、これにより、製作が容易で
機械的強度も強いと共に各種の特性を良好に維持できる
光学結合装置を得ているものである。
学結合装置は、光の入射部及び出射部のいずれか一方又
は双方からなる入・出射部を備えた導光部を有する複数
の光学部材の入・出射部を互いに光学的に結合して構成
された光学結合装置において、各光学部材は、これら光
学部材における導光部の入・出射部を光学的に結合させ
たときに互いに当接される部分のうちの少なくとも一部
をＹＡＧレーザ光を吸収するガラスで構成したものであ
ることを特徴としたもので、これにより、製作が容易で
機械的強度も強いと共に各種の特性を良好に維持できる
光学結合装置を得ているものである。
【図１】本発明の第１実施例にかかる光学結合装置の一
部破断平面図である。
部破断平面図である。
【図２】図１のＩＩーＩＩ線断面図である。
【図３】図１のＩＩＩーＩＩＩ線断面図である。
【図４】図１のＩＶーＩＶ線断面図である。
【図５】図１のＶーＶ線断面図である。
【図６】第１実施例にかかる光学結合装置の斜視図であ
る。
る。
【図７】熱線吸収ガラスＨＡー３０の光の波長に対する
光透過率の特性を示すグラフである。
光透過率の特性を示すグラフである。
【図８】紫外光透過・近赤外光吸収ガラスＵー３４０の
光の波長に対する光透過率の特性を示すグラフである。
光の波長に対する光透過率の特性を示すグラフである。
【図９】本発明の第３実施例にかかる光学結合装置の一
部破断平面図である。
部破断平面図である。
【図１０】図９のＸーＸ線断面図である。
【図１１】図９のＸＩーＸＩ線断面図である。
【図１２】図９のＸＩＩーＸＩＩ線断面図である。
【図１３】図９のＸＩＩＩーＸＩＩＩ線断面図である。
【図１４】第３実施例にかかる光学結合装置の斜視図で
ある。
ある。
【図１５】従来の光スプリッター装置の構造を示す一部
破断平面図である。
破断平面図である。
【図１６】図１５のＸＶＩーＸＶＩ線断面図である。
【図１７】従来の光結合方式の説明図である。
１１…熱線吸収製ガラスホルダー、２，３２…光導波路
基板、１３，１４…光ファイバ装置、１３ａ，１４ａ，
３３ａ，３４ａ…光ファイバ。
基板、１３，１４…光ファイバ装置、１３ａ，１４ａ，
３３ａ，３４ａ…光ファイバ。
Claims (3)
- 【請求項１】 光の入射部及び出射部のいずれか一方又
は双方からなる入・出射部を備えた導光部を有する複数
の光学部材の入・出射部を互いに光学的に結合して構成
された光学結合装置において、 前記各光学部材は、これら光学部材における導光部の入
・出射部を光学的に結合させたときに互いに当接される
部分のうちの少なくとも一部をＹＡＧレーザ光を吸収す
るガラスで構成したものであることを特徴とする光学結
合装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の光学結合装置におい
て、 前記各光学部材における導光部の入・出射部を光学的に
結合させたときに互いに当接される部分であって、前記
ＹＡＧレーザ光を吸収するガラスで構成された部分をＹ
ＡＧレーザ光を照射して溶接して接合したことを特徴と
する光学結合装置。 - 【請求項３】請求項１又は２に記載の光学結合装置にお
いて、 前記ＹＡＧレーザ光を吸収するガラスは、紫外光を透過
する性質を兼ね備えたものであることを特徴とした光学
結合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14913694A JPH0815539A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光学結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14913694A JPH0815539A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光学結合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815539A true JPH0815539A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15468540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14913694A Pending JPH0815539A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光学結合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815539A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6172783B1 (en) | 1996-10-24 | 2001-01-09 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical bus and signal processor |
| JP2005215603A (ja) * | 2004-02-02 | 2005-08-11 | Omron Corp | 光導波路モジュール及び光ファイバ |
| WO2009063649A1 (ja) * | 2007-11-15 | 2009-05-22 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 光学接続構造 |
| US8915948B2 (en) | 2002-06-19 | 2014-12-23 | Palomar Medical Technologies, Llc | Method and apparatus for photothermal treatment of tissue at depth |
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-
1994
- 1994-06-30 JP JP14913694A patent/JPH0815539A/ja active Pending
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