JPH08152621A - Reflection diffusion plate and reflection type liquid crystal display device - Google Patents

Reflection diffusion plate and reflection type liquid crystal display device

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JPH08152621A
JPH08152621A JP6292996A JP29299694A JPH08152621A JP H08152621 A JPH08152621 A JP H08152621A JP 6292996 A JP6292996 A JP 6292996A JP 29299694 A JP29299694 A JP 29299694A JP H08152621 A JPH08152621 A JP H08152621A
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liquid crystal
reflective
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diffusion plate
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Hisakazu Nakamura
久和 中村
Kozo Nakamura
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Abstract

PURPOSE: To make it possible to obtain a reflection characteristic having good directivity by forming a diffusion layer having a refractive index distribution within a plane having a flat surface between the reflection layer on one substrate and another substrate. CONSTITUTION: Aluminum is formed by sputtering as a reflection film 22 on a glass substrate 21. Next, a liquid mixture composed of a photosensitive copolymer prepd. by adding a methyl methacrylate as a dopant to a chloromethacrylate and toluene sol. of 4wt.% is applied as an org. material film 23a on the substrate 21. This coating is then irradiated with UV light 25 via a prescribed photomask. The parts irradiated with the UV light 25 and the parts not irradiated therewith are formed by this photomask 24 and regions varying in refractive indices are formed in an org. material film 23b. The coating is then subjected to baking again, by which the reflection diffusion plate 20 formed with the org. material film 23 having the regions varying in the refractive index is obtd.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、周囲光を反射すること
によって表示を行う反射型液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reflective liquid crystal display device which displays by reflecting ambient light.

【0002】[0002]

【従来の技術】反射型液晶表示装置に要求される性能の
中で最も重要となるのは、液晶表示装置内に入射した周
囲光をいかに効率よく反射させて、表示に有効に活用で
きるかである。現在、明るい表示を得るために、反射板
の凹凸形状を最適化し、その表面に反射膜を設け反射板
とし、反射特性に指向性を持たせる方法が、例えば特開
平5−323371号公報に提案されている。
2. Description of the Related Art The most important performance required for a reflective liquid crystal display device is how efficiently the ambient light incident on the liquid crystal display device can be reflected and used effectively for display. is there. Currently, in order to obtain a bright display, a method of optimizing the concavo-convex shape of the reflection plate, providing a reflection film on the surface of the reflection plate, and making the reflection plate have directivity in reflection characteristics is proposed in, for example, JP-A-5-323371. Has been done.

【0003】以下に、特開平5−323371号公報に
記載された技術を説明する。図15は、反射型液晶表示
装置130の断面図であり、図16は図15に示される
反射板152の平面図である。ガラスなどから成る絶縁
性の基板131上に、クロム、タンタルなどから成る複
数のゲートバス配線132が互いに平行に設けられ、ゲ
ートバス配線132からはゲート電極133が分岐して
いる。ゲートバス配線132は、走査線として機能して
いる。
The technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 5-323371 will be described below. FIG. 15 is a cross-sectional view of the reflective liquid crystal display device 130, and FIG. 16 is a plan view of the reflecting plate 152 shown in FIG. A plurality of gate bus wirings 132 made of chromium, tantalum, or the like are provided in parallel to each other on an insulating substrate 131 made of glass or the like, and a gate electrode 133 branches from the gate bus wirings 132. The gate bus wiring 132 functions as a scanning line.

【0004】ゲート電極133を覆って基板131上の
全面に、窒化シリコン(SiNX )、酸化シリコン(S
iOX )などから成るゲート絶縁膜134が形成されて
いる。ゲート電極133の上方のゲート絶縁膜134上
には、非晶質シリコン(以下、a−Siと記す)、多結
晶シリコン、CdSeなどから成る半導体層135が形
成されている。半導体層135の両端部には、a−Si
などから成るコンタクト電極141が形成されている。
一方のコンタクト電極141上にはチタン、モリブデ
ン、アルミニウム等から成るソース電極136が重畳形
成され、他方のコンタクト電極141上にはソース電極
136と同様にチタン、モリブデン、アルミニウムなど
から成るドレイン電極137が重畳形成されている。
On the entire surface of the substrate 131 covering the gate electrode 133, silicon nitride (SiN x ), silicon oxide (S
A gate insulating film 134 made of, for example, iO x ) is formed. A semiconductor layer 135 made of amorphous silicon (hereinafter referred to as a-Si), polycrystalline silicon, CdSe, or the like is formed on the gate insulating film 134 above the gate electrode 133. At both ends of the semiconductor layer 135, a-Si is formed.
A contact electrode 141 made of, for example, is formed.
A source electrode 136 made of titanium, molybdenum, aluminum, or the like is overlaid on one contact electrode 141, and a drain electrode 137 made of titanium, molybdenum, aluminum, or the like is formed on the other contact electrode 141, similarly to the source electrode 136. It is formed to overlap.

【0005】図16に示すようにソース電極136に
は、ゲートバス配線132に上記のゲート絶縁膜134
を挟んで交差するソースバス配線139が接続されてい
る。ソースバス配線139は、信号線として機能してい
る。ソースバス配線139も、ソース電極136と同様
の金属で形成されている。ゲート電極133、ゲート絶
縁膜134、半導体層135、ソース電極136および
ドレイン電極137は、TFT140を構成し、該TF
T140はスイッチング素子の機能を有する。
As shown in FIG. 16, the source electrode 136, the gate bus line 132, and the gate insulating film 134 described above.
Source bus lines 139 intersecting with each other are connected. The source bus line 139 functions as a signal line. The source bus line 139 is also made of the same metal as the source electrode 136. The gate electrode 133, the gate insulating film 134, the semiconductor layer 135, the source electrode 136, and the drain electrode 137 form the TFT 140, and the TF
T140 has a function of a switching element.

【0006】ゲートバス配線132、ソースバス配線1
39およびTFT140を覆って、基板131上全面に
有機絶縁膜142が形成されている。有機絶縁膜142
の反射電極138が形成される領域には先細状で底面部
の断面形状が直径3〜20μmの凸部が高さHで、隣接
する凸部が1μm以上離れて形成されており、ドレイン
電極137部分にはコンタクトホール143が形成され
ている。有機絶縁膜142の形成方法やこれにコンタク
トホール143を形成する工程上の問題、および液晶表
示装置130を作成する際のセル厚のばらつきを小さく
するため、前記凸部の高さHは10μm以下が好まし
い。有機絶縁膜142の円形の凸部142aの形成領域
上にアルミニウム、銀などから成る反射電極138が形
成され、反射電極138はコンタクトホール143にお
いてドレイン電極137と接続される。さらにその上に
は配向膜144が形成される。
Gate bus wiring 132, source bus wiring 1
An organic insulating film 142 is formed on the entire surface of the substrate 131 so as to cover 39 and the TFT 140. Organic insulating film 142
In the region where the reflective electrode 138 is formed, a convex portion having a tapered bottom surface with a diameter of 3 to 20 μm is formed at a height H, and adjacent convex portions are formed at a distance of 1 μm or more. A contact hole 143 is formed in the portion. In order to reduce problems in the method of forming the organic insulating film 142, the process of forming the contact hole 143 in the organic insulating film 142, and variations in cell thickness when the liquid crystal display device 130 is formed, the height H of the convex portion is 10 μm or less. Is preferred. A reflective electrode 138 made of aluminum, silver, or the like is formed on a region where the circular convex portion 142a of the organic insulating film 142 is formed, and the reflective electrode 138 is connected to the drain electrode 137 in the contact hole 143. Further, an alignment film 144 is formed on it.

【0007】他方の基板145上には、カラーフィルタ
ー146が形成される。カラーフィルター146の基板
131の反射電極138に対向する位置にはマゼンタま
たは緑のフィルター146aが形成され、反射電極13
8に対向しない位置にはブラックのフィルター146b
が形成される。カラーフィルター146上の全面にはI
TOなどから成る透明電極147、さらにその上には配
向膜148が形成される。
A color filter 146 is formed on the other substrate 145. A magenta or green filter 146a is formed at a position of the color filter 146 facing the reflective electrode 138 of the substrate 131.
Black filter 146b at a position not facing 8
Is formed. I on the entire surface of the color filter 146
A transparent electrode 147 made of TO or the like, and an alignment film 148 are further formed thereon.

【0008】両基板131、145は、反射電極138
とフィルター146aとが一致するように対向して貼り
合わせられ、間に液晶149が注入されて反射型液晶表
示装置130が完成する。
Both substrates 131 and 145 are provided with a reflective electrode 138.
And the filter 146a are bonded so as to face each other so as to match with each other, and the liquid crystal 149 is injected therebetween to complete the reflective liquid crystal display device 130.

【0009】有機絶縁膜142上の凸部の形状は、マス
クの形状、ホトレジストの厚さ、ドライエッチングの時
間によって制御することができるが、さらに他の有機絶
縁膜を塗布してもよい。
The shape of the convex portion on the organic insulating film 142 can be controlled by the shape of the mask, the thickness of the photoresist, and the dry etching time, but another organic insulating film may be applied.

【0010】有機絶縁膜142のドライエッチング時間
を長くして、種々の半径の円形の凸部142aとのそれ
ぞれの高さHを1μmとした基板131を得ることがで
き、高さHが1μmである反射電極138を有する反射
板152を基板とする反射型液晶表示装置が得られる。
By making the dry etching time of the organic insulating film 142 longer, it is possible to obtain the substrate 131 in which the respective heights H of the circular convex portions 142a having various radii are 1 μm, and the height H is 1 μm. A reflective liquid crystal display device using the reflective plate 152 having a certain reflective electrode 138 as a substrate can be obtained.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の反射板をド
ライエッチングやウエットエッチングで作製すると、次
のような問題がある。ドライエッチングはエッチング槽
内でのガスの流れによるエッチング力の分布ができるた
め、面内での分布が悪く、均一な形状に制御できなく、
またウエットエッチングは全面が液につかっているた
め、均一な形状に制御するのが困難である。従って、上
記従来の反射板では指向性、散乱性を精度良く制御でき
ないという問題がある。
When the above-mentioned conventional reflector is manufactured by dry etching or wet etching, there are the following problems. In dry etching, since the etching force can be distributed by the gas flow in the etching tank, the in-plane distribution is poor and a uniform shape cannot be controlled.
In addition, since the entire surface of wet etching is submerged in the liquid, it is difficult to control the uniform shape. Therefore, there is a problem that the conventional reflector cannot control the directivity and the scattering property with high accuracy.

【0012】また、従来の反射型液晶表示装置では凹凸
形状の反射板を液晶層側に作成するとラビングなどの配
向処理を行った場合、基板界面の液晶分子が一定方向の
傾きをしないため、ディスクリネーションラインが生
じ、安定した配向にならないという問題がある。
Further, in the conventional reflection type liquid crystal display device, when an uneven reflection plate is formed on the liquid crystal layer side, when alignment treatment such as rubbing is performed, the liquid crystal molecules at the substrate interface do not tilt in a certain direction, and thus the disc There is a problem that a alignment line is generated and the orientation is not stable.

【0013】また、液晶層側に凹凸が形成されている基
板を用いると、凹部と凸部があるため、画面内で均一な
セル厚を達成することができなくなる。これはコントラ
スト低下、表示画面内でのムラなど表示品位の低下につ
ながるという問題がある。
Further, if a substrate having concave and convex portions on the liquid crystal layer side is used, it becomes impossible to achieve a uniform cell thickness within the screen because of the concave and convex portions. This causes a problem of lowering display quality such as lowering of contrast and unevenness on the display screen.

【0014】また、反射膜が凹凸表面であると反射電極
としてパターニングするとき、凹凸のためにパターニン
グ不良が起こる原因となるという問題がある。
Further, when the reflecting film has an uneven surface, there is a problem that when patterning as a reflective electrode, the unevenness causes patterning failure.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、反射層上に、
表面がほぼ平坦で面内に屈折率分布を有する拡散層を形
成したことを特徴とする反射拡散板である。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention comprises:
A reflective diffusion plate having a substantially flat surface and a diffusion layer having an in-plane refractive index distribution formed thereon.

【0016】また、本発明は、液晶層を介在して対向配
置される一対の基板のうちの少なくともどちらかの基板
が透明基板であり、一方の基板上の液晶層側に他方の基
板側からの入射光を反射する反射層を形成し、該他方の
基板の液晶層側にほぼ全面にわたって透光性を有する共
通電極を形成して構成される反射型液晶表示装置におい
て、前記一方の基板上の反射層と他方の基板の間に、表
面がほぼ平坦で面内に屈折率分布を有する拡散層を形成
したことを特徴とする反射型液晶表示装置。
Further, according to the present invention, at least one of the pair of substrates arranged to face each other with the liquid crystal layer interposed therebetween is a transparent substrate, and the liquid crystal layer side on one substrate is connected to the other substrate side. A reflective liquid crystal display device is formed by forming a reflective layer that reflects the incident light on the liquid crystal layer side of the other substrate, and forming a common electrode having translucency over substantially the entire surface of the other substrate. A reflective liquid crystal display device, wherein a diffusion layer having a substantially flat surface and a refractive index distribution within the surface is formed between the reflective layer and the other substrate.

【0017】[0017]

【作用】本発明の反射拡散板によれば、従来にない良好
な指向性を持った反射特性が得られる。
According to the reflective diffuser plate of the present invention, it is possible to obtain a reflection characteristic having a good directivity which has never been obtained.

【0018】また、この反射拡散板を反射型液晶表示装
置に適用した場合、液晶層と電極の間に絶縁膜を設けな
い構造を取ることができるので、ロスのない電圧印加が
行われる。
When this reflective diffusion plate is applied to a reflective liquid crystal display device, a structure can be adopted in which an insulating film is not provided between the liquid crystal layer and the electrodes, so that voltage can be applied without loss.

【0019】また、基板に凹凸を持たせて散乱光を得て
いるのではなく、平坦な反射拡散板を用いているため、
基板界面の液晶分子が一定方向の傾きをし、安定した配
向するという理由により、良好な配向状態が得られる。
Further, since the substrate is not provided with unevenness to obtain scattered light, but a flat reflecting / diffusing plate is used,
A good alignment state can be obtained because the liquid crystal molecules at the substrate interface are tilted in a certain direction and are stably aligned.

【0020】また、反射拡散板の表面が平坦であるた
め、表示領域で均一なセル厚が得られ、そのため液晶層
への均一な電圧印加がなされ、その結果、良好な均一表
示と視角特性が得られる。
Further, since the surface of the reflective diffuser plate is flat, a uniform cell thickness is obtained in the display area, so that a uniform voltage is applied to the liquid crystal layer, resulting in good uniform display and viewing angle characteristics. can get.

【0021】さらに、反射拡散板が平坦な膜であるため
に各膜のパターニングが良好に行われ、プロセス性に優
れた反射型液晶表示装置が得られる。
Further, since the reflective diffusion plate is a flat film, each film is well patterned, and a reflective liquid crystal display device excellent in processability can be obtained.

【0022】[0022]

【実施例】【Example】

(実施例1)本発明の第1の実施例である反射拡散板お
よびこれを用いた反射型液晶表示装置について説明す
る。実施例1である表面がほぼ平坦で屈折率の異なる分
布を有する膜を使用した反射拡散板20の形成工程を図
1に示す。
(Embodiment 1) A reflective diffuser plate and a reflective liquid crystal display device using the same according to a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 shows a process of forming a reflective diffusion plate 20 using a film having a substantially flat surface and a distribution having different refractive indexes, which is Embodiment 1.

【0023】まず、図1の(a)に示すように、ガラス
(コーニング社製7059)などから成る絶縁性の基板
21に反射膜22としてアルミニウムを300nmの均
一な厚さにスパッタリングして形成する。反射膜22は
アルミニウムに限定されるものではなく、Ti,Ta,
Cu,Ag,Ptなどの他の金属でもよく、またスパッ
タ法の他に蒸着などの方法で形成してもよい。また、反
射膜の膜厚も光を充分反射する範囲であればよい。この
後、アルミニウムをストライプ電極にパターニングし、
これを反射電極とする。
First, as shown in FIG. 1A, a reflective film 22 is formed by sputtering aluminum to a uniform thickness of 300 nm on an insulative substrate 21 made of glass (Corning 7059). . The reflective film 22 is not limited to aluminum, but Ti, Ta,
Other metals such as Cu, Ag, and Pt may be used, and they may be formed by a method such as vapor deposition other than the sputtering method. Further, the film thickness of the reflective film may be in the range that sufficiently reflects light. After this, aluminum is patterned into stripe electrodes,
This is used as a reflective electrode.

【0024】次に、図1の(b)に示すように、有機材
料膜23aとして、クロロメタクリレートにドーパント
としてメチルメタクリレートを加えた感光性共重合体
と、4重量%のトルエン溶液との混合液を、基板21上
にスピンコートで均一に塗布する。膜厚は好ましくは
0.5μm〜4μmがよい。膜厚が0.5μmより薄け
れば膜が形成しにくく、4μmより厚ければ、膜厚むら
が発生する。塗布後、オーブンで60℃、30分焼成す
る。
Next, as shown in FIG. 1B, a mixed solution of a photosensitive copolymer in which methyl methacrylate is added as a dopant to chloromethacrylate as an organic material film 23a and a 4 wt% toluene solution. Is uniformly applied onto the substrate 21 by spin coating. The film thickness is preferably 0.5 μm to 4 μm. If the film thickness is thinner than 0.5 μm, it is difficult to form the film, and if it is thicker than 4 μm, uneven film thickness occurs. After coating, baking is performed in an oven at 60 ° C. for 30 minutes.

【0025】次に、図1の(c)に示すように、所定の
フォトマスク24を介して紫外光(UV光)25を照射
する。このフォトマスク24により、紫外光(UV光)
25が照射した部分と照射しない部分ができるため、上
記の有機材料膜23bに屈折率が異なる領域を形成でき
る。
Next, as shown in FIG. 1C, ultraviolet light (UV light) 25 is irradiated through a predetermined photomask 24. With this photomask 24, ultraviolet light (UV light)
Since there are a portion irradiated with 25 and a portion not irradiated, a region having a different refractive index can be formed in the organic material film 23b.

【0026】フォトマスク24としては、上記スピンコ
ーティングにより形成した有機材料膜23が、一つの画
素内ではランダムな屈折率の分布をもち、その画素が多
数配列した表示部分全体で均一になるパターンのものを
用いた。
The photomask 24 has a pattern in which the organic material film 23 formed by the spin coating has a random refractive index distribution in one pixel and is uniform over the entire display portion in which a large number of the pixels are arranged. I used one.

【0027】図2にフォトマスク24の1例を示す。図
2(a)のフォトマスク24は一辺が100〜200μ
mの方形のFで示す単位パターンを基準にし、該単位パ
ターンを縦横に繰返し配列している。また、このフォト
マスクは図2(b)に示すように鏡面反転を利用して設
計したフォトマスクでもよい。
FIG. 2 shows an example of the photomask 24. The photomask 24 of FIG. 2A has a side of 100 to 200 μm.
The unit pattern shown by F in the square of m is used as a reference, and the unit patterns are repeatedly arranged vertically and horizontally. Further, this photomask may be a photomask designed by using mirror inversion as shown in FIG.

【0028】さらに、これら以外に、表示部分全体でラ
ンダムな屈折率分布になるようなフォトマスクでもよ
い。
In addition to these, a photomask may be used in which the refractive index distribution is random over the entire display portion.

【0029】また、この実施例ではフォトマスクを一枚
使用してランダムな屈折率の分布を形成させたが、複数
のマスクを積層して露光を一回させて作製させることも
可能であり、複数のマスクを1枚ずつ露光する操作を複
数回行って作製させることも可能である。
In this embodiment, one photomask is used to form a random refractive index distribution. However, it is also possible to stack a plurality of masks and perform exposure once to produce the same. It is also possible to perform the operation of exposing a plurality of masks one by one a plurality of times.

【0030】また、光の照射量と屈折率とは、例えば図
3に示すような相関関係があり、光の照射量が大きけれ
ば、屈折率の変化が大きくなるという結果が得られてい
る。このことにより、光の照射量を変化させることによ
り屈折率を変化させることが可能である。
Further, there is a correlation between the light irradiation amount and the refractive index, for example, as shown in FIG. 3, and the result is that the larger the light irradiation amount, the larger the change in the refractive index. As a result, it is possible to change the refractive index by changing the light irradiation amount.

【0031】次に、オーブンで95℃、5時間の再焼成
を行って、図1の(d)に示すように、屈折率が異なる
領域を有する有機材料膜23を形成した反射拡散板20
が完成する。
Next, re-baking is performed in an oven at 95 ° C. for 5 hours, and as shown in FIG. 1D, the reflective diffuser plate 20 having the organic material film 23 having regions having different refractive indexes is formed.
Is completed.

【0032】このようにして得られた反射拡散板20の
反射特性の測定方法を図4に示す。反射拡散板20を実
際の液晶表示装置に用いる場合と同じ条件にするため
に、液晶層とガラス基板の屈折率はいずれも約1.5と
ほぼ等しいので、反射拡散板20上に屈折率1.5の紫
外線硬化接着樹脂42を用いてガラス基板43を密着さ
せて、測定装置40を作製する。
FIG. 4 shows a method for measuring the reflection characteristics of the reflection / diffusion plate 20 thus obtained. In order to make the reflective diffusion plate 20 the same condition as when it is used in an actual liquid crystal display device, the refractive index of the liquid crystal layer and the glass substrate are both approximately equal to about 1.5, so that the refractive index of 1 on the reflective diffusion plate 20. The glass substrate 43 is brought into close contact with the ultraviolet curing adhesive resin 42 of No. 5 to manufacture the measuring device 40.

【0033】ガラス基板43の上部には、光の強度を測
定するフォトマルチメーター45が配置されている。フ
ォトマルチメータ45は、反射拡散板20に対して入射
角θで入射する入射光44のうち、反射拡散板20によ
って測定装置40の法線方向に反射する散乱光46を検
出するように、反射拡散板20の法線方向に固定されて
いる。
A photomultimeter 45 for measuring the intensity of light is arranged above the glass substrate 43. The photomultimeter 45 reflects the scattered light 46 that is reflected by the reflective diffusion plate 20 in the normal direction of the measuring device 40 from the incident light 44 that is incident on the reflective diffusion plate 20 at the incident angle θ. The diffusion plate 20 is fixed in the normal direction.

【0034】測定装置40に入射される入射光44の入
射角θを変化させて反射拡散板20による法線方向の散
乱光46を測定することにより、反射特性が得られる。
The reflection characteristic can be obtained by changing the incident angle θ of the incident light 44 incident on the measuring device 40 and measuring the scattered light 46 in the normal direction by the reflection / diffusion plate 20.

【0035】上述した反射拡散板の製造条件を変化させ
て、反射特性が異なる反射拡散板を作製し、その反射特
性を測定した結果を図5に示す。図5において、入射角
θをもって入射する光の反射強度はθ=0°の線に対す
る角度θの方向に原点0からの距離として表される。白
丸で示す反射特性曲線は標準白色板(酸化マグネシウ
ム)について測定したものである。反射特性31は指向
性の強い反射拡散板を示し、反射特性33は散乱性の強
い反射拡散板を示し、反射特性32はそれらの中間の反
射特性をもつ反射拡散板を示す。例えば、反射特性33
の反射拡散板はθが約±40°の範囲で標準白色板より
反射特性がよく、明るい表示が得られ、周囲光を有効に
利用していることがわかる。
FIG. 5 shows the results of measuring the reflection characteristics by producing reflection diffusion plates having different reflection characteristics by changing the manufacturing conditions of the reflection diffusion plate described above. In FIG. 5, the reflection intensity of light incident at the incident angle θ is represented as the distance from the origin 0 in the direction of the angle θ with respect to the line of θ = 0 °. The reflection characteristic curve indicated by a white circle is measured on a standard white plate (magnesium oxide). The reflection characteristic 31 indicates a reflection diffusion plate having a strong directivity, the reflection characteristic 33 indicates a reflection diffusion plate having a strong scattering property, and the reflection characteristic 32 indicates a reflection diffusion plate having a reflection characteristic between them. For example, the reflection characteristic 33
It can be seen that the reflective diffusion plate of No. 2 has better reflection characteristics than the standard white plate in the range of θ of about ± 40 °, a bright display is obtained, and ambient light is effectively used.

【0036】上記の方法で作製した反射拡散板を用いた
反射型液晶表示装置の断面図を図6に示す。反射拡散板
側基板56上には、ポリイミドをスピンコータで塗布し
た後、焼成することにより配向膜51を形成する。ガラ
ス(コーニング製7059)などから成る絶縁性の対向
基板52に、ITO膜(indium thin ox
side)53が膜厚0.1μmで形成され、ストライ
プ電極として所望の形状にパターニングされ、これを対
向電極とする。その上に反射拡散板側基板56と同様の
方法で配向膜51を形成する。上下の両配向膜51・5
1はフェルトでラビング処理を行う。
FIG. 6 shows a sectional view of a reflection type liquid crystal display device using the reflection diffusion plate manufactured by the above method. An alignment film 51 is formed on the reflection-diffusion plate-side substrate 56 by applying polyimide by a spin coater and baking it. An ITO film (indium thin ox) is formed on the insulating counter substrate 52 made of glass (Corning 7059).
The side) 53 is formed with a film thickness of 0.1 μm, and is patterned into a desired shape as a stripe electrode, which is used as a counter electrode. An alignment film 51 is formed on the reflective diffusion plate side substrate 56 in the same manner. Both upper and lower alignment films 51.5
Reference numeral 1 is a felt which is used for rubbing.

【0037】対向基板52と反射拡散板側基板56を例
えば6μmのスペーサを混入した接着性のシール材57
を用いてラビング方向が逆向きになるように貼合せ、真
空脱気することにより液晶54(メルク社製:ZLI2
459)を注入した後、注入口を樹脂で封止する。次
に、光の入射側に位置する対向基板52の外側に偏光板
55を設置して、反射型液晶表示装置50が完成する。
An adhesive sealing material 57, in which the counter substrate 52 and the reflection diffusion plate side substrate 56 are mixed with a spacer of 6 μm, for example, is used.
Liquid crystal 54 (manufactured by Merck & Co., Inc .: ZLI2)
After injecting 459), the injection port is sealed with resin. Next, the polarizing plate 55 is installed outside the counter substrate 52 located on the light incident side, and the reflective liquid crystal display device 50 is completed.

【0038】本反射型液晶表示装置によれば、良好な反
射特性が得られ、均一な表示で白表示時に極めて明る
く、コントラストも高い見やすい表示が得らる。
According to the present reflection type liquid crystal display device, good reflection characteristics can be obtained, and a uniform display can be obtained which is extremely bright when displaying white and has a high contrast and is easy to see.

【0039】(実施例2)本発明の第2の実施例である
反射型液晶表示装置について以下に説明する。実施例2
である表面がほぼ平坦で屈折率の異なる分布を有する膜
を使用した反射拡散板60の反射拡散板形成工程を図7
に示す。
(Second Embodiment) A reflective liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention will be described below. Example 2
FIG. 7 shows a reflective diffusion plate forming process of the reflective diffusion plate 60 using a film having a substantially flat surface and a distribution having different refractive indexes.
Shown in

【0040】まず、図7の(a)に示すように、実施例
1と同様にガラスなどから成る絶縁性の基板61上に反
射膜62を均一な厚さに形成する。
First, as shown in FIG. 7A, a reflective film 62 having a uniform thickness is formed on an insulating substrate 61 made of glass or the like as in the first embodiment.

【0041】次に、図7の(b)に示すように、有機材
料膜63aとして、クロロメタクリレートにドーパント
としてメチルメタクリレートを加えた感光性共重合体
と、4重量%のトルエン溶液との混合液を、基板61上
にスピンコートで均一に塗布する。塗布後、オーブンで
60℃、30分焼成する。
Next, as shown in FIG. 7B, a mixture of a photosensitive copolymer obtained by adding methyl methacrylate as a dopant to chloromethacrylate and a 4% by weight toluene solution as an organic material film 63a. Is uniformly applied onto the substrate 61 by spin coating. After coating, baking is performed in an oven at 60 ° C. for 30 minutes.

【0042】次に、図7の(c)に示すように、所定の
フォトマスク64を介して紫外光(UV光)65を照射
する。このフォトマスク64により、紫外光(UV光)
65が照射される部分と照射されない部分ができるた
め、上記の有機材料膜63bに屈折率が異なる領域を形
成できる。
Next, as shown in FIG. 7C, ultraviolet light (UV light) 65 is irradiated through a predetermined photomask 64. With this photomask 64, ultraviolet light (UV light)
Since there are a portion irradiated with 65 and a portion not irradiated, a region having a different refractive index can be formed in the organic material film 63b.

【0043】照射後、オーブンで95℃、5時間の再焼
成を行って、図7の(d)に示すような有機材料膜63
が完成する。その後、ITO膜66を0.1μmの膜厚
で形成し、ストライプ電極として所望の形状にパターニ
ングを行い、これを反射電極66とする反射拡散板60
が完成する。
After the irradiation, rebaking is performed in an oven at 95 ° C. for 5 hours, and an organic material film 63 as shown in FIG.
Is completed. After that, an ITO film 66 is formed with a film thickness of 0.1 μm, patterned into a desired shape as a stripe electrode, and the reflection diffusion plate 60 using this as a reflection electrode 66.
Is completed.

【0044】この構造にすることで、絶縁層による電圧
ロスがなく、液晶層に有効に電圧印加することが可能に
なる。
With this structure, it is possible to effectively apply a voltage to the liquid crystal layer without a voltage loss due to the insulating layer.

【0045】上記の方法で作成した反射拡散板を用いた
反射型液晶表示装置の断面図を図8に示す。反射拡散板
側基板76上には、ポリイミドをスピンコータで塗布し
た後、焼成することにより配向膜71を形成する。ガラ
ス(コーニング製7059)などから成る絶縁性の対向
基板72に、ITO膜(indium thin ox
side)73が膜厚0.1μmで形成され、ストライ
プ電極として所望の形状にパターニングされ、これを対
向電極とする。その上に反射拡散板側基板76と同様の
方法で配向膜71を形成する。上下の両配向膜71、7
1はフェルトでラビング処理を行う。
FIG. 8 is a sectional view of a reflection type liquid crystal display device using the reflection diffusion plate produced by the above method. An alignment film 71 is formed on the reflection / diffusion plate side substrate 76 by coating polyimide with a spin coater and baking it. An ITO film (indium thin ox) is formed on an insulating counter substrate 72 made of glass (Corning 7059).
The side) 73 is formed with a film thickness of 0.1 μm, and is patterned into a desired shape as a stripe electrode, which is used as a counter electrode. An alignment film 71 is formed thereon by the same method as that for the reflective diffusion plate side substrate 76. Both upper and lower alignment films 71, 7
Reference numeral 1 is a felt which is used for rubbing.

【0046】対向基板72と反射拡散板側基板76を例
えば6μmのスペーサを混入した接着性のシール材77
を用いてラビング方向が逆向きになるように貼合せ、真
空脱気することにより液晶74(メルク社製:ZLI2
459)を注入した後、注入口を樹脂で封止する。次
に、光の入射側に位置する対向基板72の外側に偏光板
75を設置して、反射型液晶表示装置70が完成する。
An adhesive sealing material 77, in which the counter substrate 72 and the reflection diffusion plate side substrate 76 are mixed with a spacer of 6 μm, for example, is used.
Liquid crystal 74 (Merck & Co .: ZLI2)
After injecting 459), the injection port is sealed with resin. Next, the polarizing plate 75 is installed outside the counter substrate 72 located on the light incident side, and the reflective liquid crystal display device 70 is completed.

【0047】本実施例の反射型液晶表示装置によれば、
良好な反射特性が得られ、かつ、低電圧駆動が可能で明
るい高コントラストな反射型液晶表示が可能となる。
According to the reflective liquid crystal display device of this embodiment,
It is possible to obtain good reflection characteristics, drive at a low voltage, and achieve a bright, high-contrast reflective liquid crystal display.

【0048】(実施例3)本発明の第3の実施例である
反射拡散板およびこれを用いた反射型液晶表示装置につ
いて説明する。実施例3である表面がほぼ平坦で屈折率
の異なる分布を有する膜を使用した反射拡散板80の形
成工程を図9に示す。
(Embodiment 3) A reflective diffuser plate and a reflective liquid crystal display device using the same according to a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 9 shows a process of forming the reflective diffusion plate 80 using a film having a substantially flat surface and a distribution having different refractive indexes, which is Embodiment 3.

【0049】まず、図9の(a)に示すように、ガラス
(コーニング社製7059)などから成る絶縁性の基板
81に反射膜82としてアルミニウムを300nmの均
一な厚さにスパッタリングして形成する。反射膜82は
アルミニウムに限定されるものではなく、Ti,Ta,
Cu,Ag,Ptなどの他の金属でもよく、またスパッ
タ法の他に蒸着などの方法で形成してもよい。また、反
射膜の膜厚も光を充分反射する範囲であればよい。この
後、アルミニウムをストライプ電極にパターニングし、
これを反射電極とする。
First, as shown in FIG. 9A, a reflective film 82 is formed by sputtering aluminum to a uniform thickness of 300 nm on an insulative substrate 81 made of glass (Corning 7059). . The reflective film 82 is not limited to aluminum, but Ti, Ta,
Other metals such as Cu, Ag, and Pt may be used, and they may be formed by a method such as vapor deposition other than the sputtering method. Further, the film thickness of the reflective film may be in the range that sufficiently reflects light. After this, aluminum is patterned into stripe electrodes,
This is used as a reflective electrode.

【0050】次に、図9の(b)に示すように、有機材
料膜83として、ポリイミド樹脂(大日本インキ社製H
NA−101)とアクリル系樹脂(日東電工製Td−1
1)を混合したものを上記アルミ反射電極82上にスピ
ンコートで均一に塗布する。その混合する樹脂の屈折率
は波長600nmでそれぞれ1.37と1.59であ
り、この屈折率の違いにより、光の拡散効果が生じる。
Next, as shown in FIG. 9B, a polyimide resin (H manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) is used as the organic material film 83.
NA-101) and acrylic resin (Nitto Denko Td-1
A mixture of 1) is uniformly applied onto the aluminum reflective electrode 82 by spin coating. The refractive indices of the mixed resins are 1.37 and 1.59 at a wavelength of 600 nm, respectively, and the difference in the refractive indices causes a light diffusion effect.

【0051】このとき、樹脂の違いによる屈折率の差を
変化させるか、あるいは膜厚を変化させることにより、
光の拡散強度を制御することが可能である。屈折率差に
より透過率がどのような変化するのかを図10に示す。
図10により、屈折率差が0.1より小さければほとん
どの光が透過してしまい、屈折率差が0.1以上であれ
ば光の散乱度が高くなっているのがわかる。よって、屈
折率の差は好ましくは0.1以上あればよい。有機材料
膜83の膜厚は好ましくは0.5μm〜10μmがよ
い。膜厚が0.5μmより薄ければ膜が形成しにくく、
10μmより厚ければ、電圧降下が問題となる。その場
合には、有機材料膜83上にITO膜を形成し、これを
表示電極とすることにより、電圧降下の問題を回避でき
る。
At this time, by changing the difference in refractive index due to the difference in resin or changing the film thickness,
It is possible to control the diffusion intensity of light. FIG. 10 shows how the transmittance changes due to the difference in refractive index.
It can be seen from FIG. 10 that almost all light is transmitted when the difference in refractive index is smaller than 0.1, and the degree of light scattering is high when the difference in refractive index is 0.1 or more. Therefore, the difference in refractive index should preferably be 0.1 or more. The thickness of the organic material film 83 is preferably 0.5 μm to 10 μm. If the film thickness is less than 0.5 μm, it is difficult to form the film,
If it is thicker than 10 μm, the voltage drop becomes a problem. In that case, the problem of voltage drop can be avoided by forming an ITO film on the organic material film 83 and using it as a display electrode.

【0052】また、実施例3では、有機材料膜83とし
て屈折率が異なる絶縁性の樹脂を2種類混合したが、屈
折率の異なる絶縁性の樹脂を少なくとも2種類以上混合
したものでもよい。
In the third embodiment, two kinds of insulating resins having different refractive indexes are mixed as the organic material film 83, but at least two kinds of insulating resins having different refractive indexes may be mixed.

【0053】また、樹脂の種類としては、本実施例3で
使用したポリイミド樹脂やアクリル系樹脂に限定される
ものではなく、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂など
でもよい。
The type of resin is not limited to the polyimide resin and acrylic resin used in the third embodiment, but may be polyimide resin, epoxy resin, or the like.

【0054】また、有機材料膜83である光拡散層は必
ずしも反射板82上に設ける必要はなく、上部基板に設
けても同様の効果が得られ、上部基板電極の下に、設け
た場合にも、有機材料膜83である光拡散層による電圧
降下を防ぐことができる。
Further, the light diffusion layer which is the organic material film 83 does not necessarily have to be provided on the reflection plate 82, and the same effect can be obtained even if it is provided on the upper substrate, and when it is provided under the upper substrate electrode. Also, the voltage drop due to the light diffusion layer which is the organic material film 83 can be prevented.

【0055】このようにして得られた反射拡散板80の
反射特性の測定方法を図11に示す。反射拡散板80を
実際の液晶表示装置に用いる場合と同じ条件にするため
に、液晶層とガラス基板の屈折率はいずれも約1.5と
ほぼ等しいので、反射拡散板80上に屈折率1.5の紫
外線硬化接着樹脂84を用いてガラス基板85を密着さ
せて、測定装置89を作製する。
FIG. 11 shows a method for measuring the reflection characteristics of the reflection diffusion plate 80 thus obtained. In order to make the reflective diffusion plate 80 the same condition as when it is used in an actual liquid crystal display device, the refractive index of the liquid crystal layer and the glass substrate are both approximately equal to about 1.5, so that the refractive index of 1 on the reflective diffusion plate 80. The glass substrate 85 is brought into close contact with the ultraviolet curing adhesive resin 84 of No. 5, and the measuring device 89 is manufactured.

【0056】ガラス基板85の上部には、光の強度を測
定するフォトマルチメーター45が配置されている。フ
ォトマルチメータ45は、反射拡散板80に対して入射
角θで入射する入射光44のうち、反射拡散板80によ
って測定装置89の法線方向に反射する散乱光46を検
出するように、反射拡散板80の法線方向に固定されて
いる。
A photomultimeter 45 for measuring the intensity of light is arranged above the glass substrate 85. The photomultimeter 45 reflects the scattered light 46 that is reflected by the reflective diffusion plate 80 in the normal direction of the measuring device 89 from the incident light 44 that is incident on the reflective diffusion plate 80 at the incident angle θ. It is fixed in the direction normal to the diffusion plate 80.

【0057】測定装置89に入射される入射光44の入
射角θを変化させて反射拡散板80による法線方向の散
乱光46を測定することにより、反射特性が得られる。
The reflection characteristic can be obtained by changing the incident angle θ of the incident light 44 incident on the measuring device 89 and measuring the scattered light 46 in the normal direction by the reflective diffusion plate 80.

【0058】上述した反射拡散板の製造条件を変化させ
て、反射特性が異なる反射拡散板を作製し、その反射特
性を測定した結果を図12に示す。図12において、入
射角θをもって入射する光の反射強度はθ=0°の線に
対する角度θの方向に原点0からの距離として表され
る。白丸で示す反射特性曲線は標準白色板(酸化マグネ
シウム)について測定したものである。反射特性86は
指向性の強い反射拡散板を示し、反射特性88は散乱性
の強い反射拡散板を示し、反射特性86はそれらの中間
の反射特性をもつ反射拡散板を示す。例えば、反射特性
88の反射拡散板はθが約±40°の範囲で標準白色板
より反射特性がよく、明るい表示が得られ、周囲光を有
効に利用していることがわかる。
FIG. 12 shows the results of measuring the reflection characteristics by producing the reflection diffusion plates having different reflection characteristics by changing the manufacturing conditions of the reflection diffusion plate described above. In FIG. 12, the reflection intensity of the light incident at the incident angle θ is represented as the distance from the origin 0 in the direction of the angle θ with respect to the line of θ = 0 °. The reflection characteristic curve indicated by a white circle is measured on a standard white plate (magnesium oxide). The reflection characteristic 86 indicates a reflection diffusion plate having a strong directivity, the reflection characteristic 88 indicates a reflection diffusion plate having a strong scattering property, and the reflection characteristic 86 indicates a reflection diffusion plate having a reflection characteristic between them. For example, it can be seen that the reflection diffusion plate having the reflection characteristic 88 has better reflection characteristics than the standard white plate in the range of θ of about ± 40 °, a bright display is obtained, and ambient light is effectively used.

【0059】上記の方法で作製した反射拡散板を用いた
反射型液晶表示装置の断面図を図13に示す。反射拡散
板側基板96上には、ポリイミドをスピンコータで塗布
した後、焼成することにより配向膜91を形成する。ガ
ラス(コーニング製7059)などから成る絶縁性の対
向基板92に、ITO膜(indium thinox
side)93が膜厚0.1μmで形成され、ストライ
プ電極として所望の形状にパターニングされ、これを対
向電極とする。その上に反射拡散板側基板96と同様の
方法で配向膜91を形成する。上下の両配向膜91・9
1はフェルトでラビング処理を行う。
FIG. 13 is a sectional view of a reflection type liquid crystal display device using the reflection diffusion plate manufactured by the above method. An alignment film 91 is formed on the reflection-diffusion-plate-side substrate 96 by applying polyimide with a spin coater and then baking it. An ITO film (indium thinox) is formed on an insulating counter substrate 92 made of glass (Corning 7059).
side) 93 is formed with a film thickness of 0.1 μm, and is patterned into a desired shape as a stripe electrode, which is used as a counter electrode. An alignment film 91 is formed thereon by the same method as that for the reflection diffusion plate side substrate 96. Both upper and lower alignment films 91.9
Reference numeral 1 is a felt which is used for rubbing.

【0060】対向基板52と反射拡散板側基板56を例
えば6μmのスペーサを混入した接着性のシール材97
をスクリーン印刷して、ラビング方向が左240°ツイ
ストになるように貼合せ、真空脱気することにより、カ
イラル剤(メルク社製:s−811)を混入した液晶9
4(メルク社製:ZLI4427)を注入した後、注入
口を樹脂で封止する。この液晶層のリタデーション値は
676nmである。
An adhesive sealing material 97, in which the counter substrate 52 and the reflection diffusion plate side substrate 56 are mixed with a spacer of 6 μm, for example, is used.
Is screen-printed, laminated so that the rubbing direction is a twist of 240 ° to the left, and vacuum degassed to obtain a liquid crystal 9 containing a chiral agent (s-811 manufactured by Merck & Co., Inc.).
After injecting 4 (ZLI4427 manufactured by Merck & Co., Inc.), the injection port is sealed with resin. The retardation value of this liquid crystal layer is 676 nm.

【0061】次に、光の入射側に位置する対向基板92
の外側にリタデーション値が400nmの位相差板95
と偏光板98を設置し、反射型液晶表示装置90が完成
する。このとき、偏光板98の偏光軸と光の入射側基板
のラビング方向との成す角を反時計回りに10°に設定
し、また位相差板の遅相軸と光の入射側基板のラビング
方向との成す角度を直交するように設定している。
Next, the counter substrate 92 located on the light incident side
Retardation plate 95 with a retardation value of 400 nm outside the
Then, the polarizing plate 98 is installed, and the reflective liquid crystal display device 90 is completed. At this time, the angle formed by the polarization axis of the polarizing plate 98 and the rubbing direction of the light incident side substrate is set to 10 ° counterclockwise, and the slow axis of the retardation plate and the rubbing direction of the light incident side substrate are set. The angle formed by and is set to be orthogonal.

【0062】このようにして作製した本反射型液晶表示
装置90と従来の凹凸付きの反射板を用いた反射型液晶
表示装置の電気光学特性を測定した結果を図14に示
す。図14において、電気光学特性101は本発明の反
射型液晶表示装置90の特性を示し、電気光学特性10
2は従来の凹凸付きの反射板を用いた反射型液晶表示装
置の特性を示している。図14より、電気光学特性の急
峻性が向上し、反射率の範囲も広くなっていることがわ
かる。
FIG. 14 shows the measurement results of the electro-optical characteristics of the reflection type liquid crystal display device 90 thus manufactured and the reflection type liquid crystal display device using the conventional reflection plate having projections and depressions. In FIG. 14, an electro-optical characteristic 101 indicates a characteristic of the reflective liquid crystal display device 90 of the present invention, and an electro-optical characteristic 10
Reference numeral 2 shows the characteristics of a conventional reflection type liquid crystal display device using a reflection plate having projections and depressions. It can be seen from FIG. 14 that the steepness of the electro-optical characteristics is improved and the range of reflectance is widened.

【0063】本反射型液晶表示装置によれば、反射板の
凹凸がない構造のため、電気光学特性の急峻性が向上
し、その結果、表示コントラスト比を改善することがで
きる。さらに、白表示に極めて明るく、コントラストも
高い見やすい表示が得られる。また、本実施例では反射
板として、鏡面反射板を利用したが、散乱性の反射板を
用いてもよく、これを用いた場合はさらに散乱効果が顕
著になる。
According to the present reflection type liquid crystal display device, since the reflection plate has no unevenness, the steepness of electro-optical characteristics is improved, and as a result, the display contrast ratio can be improved. Furthermore, an extremely bright white display and a high-contrast display that is easy to see can be obtained. Further, although the specular reflection plate is used as the reflection plate in the present embodiment, a scattering reflection plate may be used, and when this is used, the scattering effect becomes more remarkable.

【0064】また、本実施例では配向膜に屈折率の異な
る微粒子あるいは樹脂を配向膜の機能を損なわない程度
に混入することにより、有機材料膜である光拡散層と配
向膜を1つの層で構成することにより、プロセスの簡略
化が実現できる。
In the present embodiment, fine particles or resins having different refractive indexes are mixed in the alignment film to such an extent that the function of the alignment film is not impaired, so that the light diffusion layer, which is an organic material film, and the alignment film are formed in one layer. By configuring, simplification of the process can be realized.

【0065】なお、本実施例では偏光板付きの反射型S
TNモードを例に説明したが、表面に凹凸があることで
配向に影響のあるモード、例えばゲストホストモードの
ような光吸収モード、高分子分散型液晶表示装置のよう
な光散乱モード、強誘電型液晶表示装置で使用される複
屈折表示モードなどのいずれにも適用可能である。
In this embodiment, a reflective S with a polarizing plate is used.
Although the TN mode has been described as an example, a mode in which the unevenness of the surface affects the alignment, for example, a light absorption mode such as a guest-host mode, a light scattering mode such as a polymer dispersed liquid crystal display device, a ferroelectric The present invention can be applied to any of the birefringence display modes used in the liquid crystal display device.

【0066】また、スイッチング素子としてTFT(T
hin Film Transistor)、MIM
(Metal Insulator Metal)、ダ
イオード、バリスタ等を用いたアクティブマトリクス基
板にも適用することができる。また、カラーフィルター
や各種色素を組合せることでカラー表示への適用も可能
である。
Further, a TFT (T
Hin Film Transistor), MIM
It can also be applied to an active matrix substrate using a (Metal Insulator Metal), a diode, a varistor, or the like. Further, it can be applied to color display by combining a color filter and various dyes.

【0067】[0067]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、作製条
件を変化させることにより指向性、散乱性を精度良く制
御できる良好な反射拡散板が得られる。
As described above, according to the present invention, it is possible to obtain a good reflective diffuser plate in which the directivity and the scattering property can be accurately controlled by changing the manufacturing conditions.

【0068】また、この反射拡散板を反射型液晶表示装
置に用いることで、液晶が良好な配向性を有し、良好な
コントラトが得られる。
Further, by using this reflection diffusion plate in a reflection type liquid crystal display device, the liquid crystal has a good orientation and a good contrast can be obtained.

【0069】さらに、良好な反射電極のパターニング性
が得られ、液晶表示装置の低電圧化を図ることができ
る。
Furthermore, good patterning of the reflective electrode can be obtained, and the voltage of the liquid crystal display device can be lowered.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は実施例1の反射拡散板の断面および形成
工程を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a cross section and a forming process of a reflective diffusion plate according to a first embodiment.

【図2】図2はフォトマスクの1例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of a photomask.

【図3】図3は光の照射量と屈折率の変化量の特性を示
す図である。
FIG. 3 is a diagram showing characteristics of a light irradiation amount and a change amount of a refractive index.

【図4】図4は実施例1の反射拡散板の反射特性測定法
を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a method for measuring the reflection characteristic of the reflective diffusion plate of the first embodiment.

【図5】図5は実施例1の反射拡散板の反射特性を示す
図である。
FIG. 5 is a diagram showing a reflection characteristic of the reflection diffusion plate of the first embodiment.

【図6】図6は実施例1の反射拡散板を用いた反射型液
晶表示装置の断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view of a reflective liquid crystal display device using the reflective diffusion plate of Example 1.

【図7】図7は実施例2の反射拡散板の形成工程を示す
図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a process of forming a reflective diffusion plate according to the second embodiment.

【図8】図8は実施例2の反射拡散板を用いた反射型液
晶表示装置の断面図である。
FIG. 8 is a sectional view of a reflective liquid crystal display device using the reflective diffusion plate of the second embodiment.

【図9】図9は実施例3の反射拡散板の断面および形成
工程を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a cross section and a forming process of a reflective diffusion plate of Example 3;

【図10】図10は屈折率差と透過率の光学特性を示す
図である。
FIG. 10 is a diagram showing optical characteristics of refractive index difference and transmittance.

【図11】図11は実施例3の反射拡散板の反射特性測
定法を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing a method for measuring the reflection characteristic of the reflection / diffusion plate of Example 3;

【図12】図12は実施例3の反射拡散板の反射特性を
示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing the reflection characteristics of the reflective diffusion plate of Example 3;

【図13】図13は実施例3の反射拡散板を用いた反射
型液晶表示装置の断面図である。
FIG. 13 is a cross-sectional view of a reflective liquid crystal display device using the reflective diffusion plate of Example 3.

【図14】図14は反射型液晶表示装置の電気光学特性
を示す図である。
FIG. 14 is a diagram showing electro-optical characteristics of a reflective liquid crystal display device.

【図15】図15は従来技術である反射型液晶表示装置
の断面図である。
FIG. 15 is a cross-sectional view of a conventional reflective liquid crystal display device.

【図16】図16は図15に示されている基板の平面図
である。
16 is a plan view of the substrate shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20,60,80 反射拡散板 21,43,61,81,131,145 基板 22,62,82 反射膜 23,63,83 有機材料膜 24,64 フォトマスク 25,65 紫外光(UV光) 31,32,33,86,87,88 反射拡散板の反
射特性の特性曲線 40,89 測定装置 42,84 屈折率1.5の紫外線硬化接着樹脂 45 フォトマルチメーター 44 入射光 46 散乱光 50,70,90,130 反射型液晶表示装置 51,71,91,144,148 配向膜 52,72,92 対向基板 53,73 93 ITO 54,74 94 液晶 55,75,98 偏光板 56,76,96 反射拡散板側基板 57,77,97 シール材 66,93,ITO膜 95 位相差板 101 実施例3の反射型液晶表示装置の電気光学特性 102 従来の反射型液晶表示装置の電気光学特性 138 反射電極 140 TFT 142 有機絶縁膜 142a 円形の凸部 146 カラーフィルター 152 反射板
20, 60, 80 Reflective diffusion plate 21, 43, 61, 81, 131, 145 Substrate 22, 62, 82 Reflective film 23, 63, 83 Organic material film 24, 64 Photomask 25, 65 Ultraviolet light (UV light) 31 , 32, 33, 86, 87, 88 Characteristic curve of reflection characteristics of reflective diffuser plate 40, 89 Measuring device 42, 84 UV curable adhesive resin with refractive index of 1.5 45 Photomultimeter 44 Incident light 46 Scattered light 50, 70 , 90, 130 Reflective liquid crystal display device 51, 71, 91, 144, 148 Alignment film 52, 72, 92 Counter substrate 53, 73 93 ITO 54, 74 94 Liquid crystal 55, 75, 98 Polarizing plate 56, 76, 96 Reflection Diffusion plate side substrate 57, 77, 97 Sealing material 66, 93, ITO film 95 Phase difference plate 101 Electro-optical characteristics of reflective liquid crystal display device of Example 3 1 2 conventional reflective electro-optical characteristics of the liquid crystal display device 138 reflective electrode 140 TFT 142 organic insulating film 142a circular protrusion 146 color filter 152 reflector

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 反射層上に、表面がほぼ平坦で面内に屈
折率分布を有する拡散層を形成したことを特徴とする反
射拡散板。
1. A reflective diffusion plate comprising a diffusion layer having a substantially flat surface and an in-plane refractive index distribution formed on the reflective layer.
【請求項2】 液晶層を介在して対向配置される一対の
基板のうちの少なくともどちらかの基板が透明基板であ
り、一方の基板上の液晶層側に他方の基板側からの入射
光を反射する反射層を形成し、該他方の基板の液晶層側
にほぼ全面にわたって透光性を有する共通電極を形成し
て構成される反射型液晶表示装置において、 前記一方の基板上の反射層と他方の基板の間に、表面が
ほぼ平坦で面内に屈折率分布を有する拡散層を形成した
ことを特徴とする反射型液晶表示装置。
2. A transparent substrate is used for at least one of a pair of substrates arranged to face each other with a liquid crystal layer interposed therebetween, and incident light from the other substrate side is incident on the liquid crystal layer side of the one substrate. In a reflective liquid crystal display device formed by forming a reflective layer that reflects light, and forming a common electrode having a light-transmitting property over substantially the entire surface of the other substrate, the reflective layer on the one substrate. A reflective liquid crystal display device, characterized in that a diffusion layer having a substantially flat surface and a refractive index distribution within the surface is formed between the other substrates.
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