JPH08152581A - コリメータおよびコリメータアレイ - Google Patents
コリメータおよびコリメータアレイInfo
- Publication number
- JPH08152581A JPH08152581A JP29536694A JP29536694A JPH08152581A JP H08152581 A JPH08152581 A JP H08152581A JP 29536694 A JP29536694 A JP 29536694A JP 29536694 A JP29536694 A JP 29536694A JP H08152581 A JPH08152581 A JP H08152581A
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- JP
- Japan
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- core
- optical fiber
- light beam
- array
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ファイバと凸レンズの相対位置精度条件を
緩和し、作製が容易でかつ挿入損失が小さいコリメータ
およびコリメータアレイを実現する。 【構成】 本発明のコリメータは、端面のコア径が内部
のコア径より拡大されたコア拡大光ファイバと、光軸が
コア拡大光ファイバの光軸と一致し、かつ収束光ビーム
ウェスト位置がコア拡大光ファイバの出射光ビームウェ
スト位置と一致する凸レンズとにより構成される。
緩和し、作製が容易でかつ挿入損失が小さいコリメータ
およびコリメータアレイを実現する。 【構成】 本発明のコリメータは、端面のコア径が内部
のコア径より拡大されたコア拡大光ファイバと、光軸が
コア拡大光ファイバの光軸と一致し、かつ収束光ビーム
ウェスト位置がコア拡大光ファイバの出射光ビームウェ
スト位置と一致する凸レンズとにより構成される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバの出射光を
平行光ビームとして空間に放射する、あるいは光ファイ
バに入射する光を集光するコリメータおよびコリメータ
アレイに関する。
平行光ビームとして空間に放射する、あるいは光ファイ
バに入射する光を集光するコリメータおよびコリメータ
アレイに関する。
【0002】
【従来の技術】コリメータは、凸レンズにより収束され
る光ビームのウェスト位置(収束光ビームウェスト位置
=焦点位置)と、光ファイバから出射される光ビームの
ウェスト位置(出射光ビームウェスト位置)とを一致さ
せ、かつ凸レンズおよび光ファイバの光軸が一致するよ
うに両者を配置したものである。また、コリメータアレ
イは、このようなコリメータを複数個集積し、各コリメ
ータの光軸どうしが互いに平行になるように配置した構
成になっている。
る光ビームのウェスト位置(収束光ビームウェスト位置
=焦点位置)と、光ファイバから出射される光ビームの
ウェスト位置(出射光ビームウェスト位置)とを一致さ
せ、かつ凸レンズおよび光ファイバの光軸が一致するよ
うに両者を配置したものである。また、コリメータアレ
イは、このようなコリメータを複数個集積し、各コリメ
ータの光軸どうしが互いに平行になるように配置した構
成になっている。
【0003】ところで、コリメータアレイは個々のコリ
メータを高精度に位置合わせする必要があり、コリメー
タのサイズが小さくかつコリメータどうしの間隔が小さ
い場合はその製作が困難であった。したがって、従来の
コリメータアレイは、出射端面を高精度に位置合わせし
た光ファイバアレイと、光軸位置および焦点位置を高精
度に調整したレンズアレイとを個別に作製し、これらを
組み合わせる方法がとられている。
メータを高精度に位置合わせする必要があり、コリメー
タのサイズが小さくかつコリメータどうしの間隔が小さ
い場合はその製作が困難であった。したがって、従来の
コリメータアレイは、出射端面を高精度に位置合わせし
た光ファイバアレイと、光軸位置および焦点位置を高精
度に調整したレンズアレイとを個別に作製し、これらを
組み合わせる方法がとられている。
【0004】図5は、従来のコリメータアレイの概観構
成を示す。図において、51はレンズアレイであり、複
数の凸レンズ52−1〜52−nにより構成される。5
3は光ファイバアレイであり、複数の光ファイバ54−
1〜54−nにより構成される。図6は、従来のコリメ
ータアレイにおける光ファイバと凸レンズの位置関係を
示す。図において、光ファイバ54−kの端面とこれに
対応する凸レンズ52−kが対向する。光ファイバ54
−kの出射光は、その端面をウェストとする光ビームと
なって凸レンズ52−kに到達し、平行光ビームに変換
されて空間に放射される。また逆に、空間を伝搬した平
行光ビームは、凸レンズ52−kで収束されて光ファイ
バ54−kの端面に結合される。このとき、凸レンズ5
2−kと光ファイバ54−kの光軸に位置ずれがある
と、これに起因した結合損失が発生する。
成を示す。図において、51はレンズアレイであり、複
数の凸レンズ52−1〜52−nにより構成される。5
3は光ファイバアレイであり、複数の光ファイバ54−
1〜54−nにより構成される。図6は、従来のコリメ
ータアレイにおける光ファイバと凸レンズの位置関係を
示す。図において、光ファイバ54−kの端面とこれに
対応する凸レンズ52−kが対向する。光ファイバ54
−kの出射光は、その端面をウェストとする光ビームと
なって凸レンズ52−kに到達し、平行光ビームに変換
されて空間に放射される。また逆に、空間を伝搬した平
行光ビームは、凸レンズ52−kで収束されて光ファイ
バ54−kの端面に結合される。このとき、凸レンズ5
2−kと光ファイバ54−kの光軸に位置ずれがある
と、これに起因した結合損失が発生する。
【0005】ここで、凸レンズで収束された光ビームを
光ファイバに入射する際のビームスポット位置ずれによ
る結合損失α(dB)は、収束光ビームウェストのビームス
ポット半径をw0 、光ファイバの出射光ビームウェスト
のビームスポット半径をw1、ビームスポット位置ずれ
量をdとすると、
光ファイバに入射する際のビームスポット位置ずれによ
る結合損失α(dB)は、収束光ビームウェストのビームス
ポット半径をw0 、光ファイバの出射光ビームウェスト
のビームスポット半径をw1、ビームスポット位置ずれ
量をdとすると、
【0006】
【数1】
【0007】と表される。式の右辺第1項は位置ずれに
よる結合損失を表し、右辺第2項は両ビームスポット半
径の差異による結合損失を表している。この式から明ら
かなように、出射光ビームウェストのビームスポット半
径w1 を一定としたときは、収束光ビームウェストのビ
ームスポット半径w0 が大きいほど、光ファイバの位置
ずれによる結合損失を低減できる。しかし、両ビームス
ポット半径w0 ,w1 の差が大きくなると上式の第2項
の影響が顕著になり、結合損失が大きくなる。
よる結合損失を表し、右辺第2項は両ビームスポット半
径の差異による結合損失を表している。この式から明ら
かなように、出射光ビームウェストのビームスポット半
径w1 を一定としたときは、収束光ビームウェストのビ
ームスポット半径w0 が大きいほど、光ファイバの位置
ずれによる結合損失を低減できる。しかし、両ビームス
ポット半径w0 ,w1 の差が大きくなると上式の第2項
の影響が顕著になり、結合損失が大きくなる。
【0008】図7は、ビームスポット位置ずれ量と結合
損失との関係を示す。ここでは、出射光ビームウェスト
のビームスポット半径w1 が4μmとなる通常の 1.5μ
m帯零分散ファイバとの結合損失を示す。また、収束光
ビームウェスト位置と出射光ビームウェスト位置は一致
しているものとし、収束光ビームウェストのビームスポ
ット半径w0 が2μm、4μm、6μm、8μm、10μ
mの場合を示す。
損失との関係を示す。ここでは、出射光ビームウェスト
のビームスポット半径w1 が4μmとなる通常の 1.5μ
m帯零分散ファイバとの結合損失を示す。また、収束光
ビームウェスト位置と出射光ビームウェスト位置は一致
しているものとし、収束光ビームウェストのビームスポ
ット半径w0 が2μm、4μm、6μm、8μm、10μ
mの場合を示す。
【0009】図に示すように、ビームスポット位置ずれ
量dが1μm以下の場合には、両ビームスポット半径w
0 ,w1 の差が小さいほど結合損失は小さく、両ビーム
スポット半径w0 ,w1 を等しくすれば 0.5dB以下の低
損失が得られる。一方、ビームスポット位置ずれ量dが
5μm程度に増加すると、収束光ビームウェストのビー
ムスポット半径w0 を8μmあるいは10μmと大きくす
れば結合損失を小さく抑えることができるが、それでも
4dB以下にすることはできなかった。
量dが1μm以下の場合には、両ビームスポット半径w
0 ,w1 の差が小さいほど結合損失は小さく、両ビーム
スポット半径w0 ,w1 を等しくすれば 0.5dB以下の低
損失が得られる。一方、ビームスポット位置ずれ量dが
5μm程度に増加すると、収束光ビームウェストのビー
ムスポット半径w0 を8μmあるいは10μmと大きくす
れば結合損失を小さく抑えることができるが、それでも
4dB以下にすることはできなかった。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】現状では、光ファイバ
アレイのファイバ端面位置ずれを数μm以下に抑えるに
は特殊な技術が必要であり、このような高精度な光ファ
イバアレイの作製は容易ではない。また、レンズアレイ
も高精度なものを作製するには特殊な技術が必要であっ
た。したがって、通常の 1.5μm帯零分散ファイバに凸
レンズで収束させた光ビームを結合させる従来のコリメ
ータアレイでは、光ファイバおよび凸レンズの位置ずれ
に応じて大きな結合損失が生じ、コリメータアレイの性
能向上の大きな障害になっていた。
アレイのファイバ端面位置ずれを数μm以下に抑えるに
は特殊な技術が必要であり、このような高精度な光ファ
イバアレイの作製は容易ではない。また、レンズアレイ
も高精度なものを作製するには特殊な技術が必要であっ
た。したがって、通常の 1.5μm帯零分散ファイバに凸
レンズで収束させた光ビームを結合させる従来のコリメ
ータアレイでは、光ファイバおよび凸レンズの位置ずれ
に応じて大きな結合損失が生じ、コリメータアレイの性
能向上の大きな障害になっていた。
【0011】本発明は、光ファイバと凸レンズの相対位
置精度条件を緩和し、作製が容易でかつ挿入損失が小さ
いコリメータおよびコリメータアレイを提供することを
目的とする。
置精度条件を緩和し、作製が容易でかつ挿入損失が小さ
いコリメータおよびコリメータアレイを提供することを
目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明のコリメータは、
端面のコア径が内部のコア径より拡大されたコア拡大光
ファイバと、光軸がコア拡大光ファイバの光軸と一致
し、かつ収束光ビームウェスト位置がコア拡大光ファイ
バの出射光ビームウェスト位置と一致する凸レンズとに
より構成される。
端面のコア径が内部のコア径より拡大されたコア拡大光
ファイバと、光軸がコア拡大光ファイバの光軸と一致
し、かつ収束光ビームウェスト位置がコア拡大光ファイ
バの出射光ビームウェスト位置と一致する凸レンズとに
より構成される。
【0013】本発明のコリメータアレイは、複数のコア
拡大光ファイバを互いに光軸が平行になるように集積し
たコア拡大光ファイバアレイと、複数の凸レンズで構成
され、個々の凸レンズの光軸および収束光ビームウェス
ト位置が、コア拡大光ファイバアレイを構成する個々の
コア拡大光ファイバの光軸および出射光ビームウェスト
位置とそれぞれ一致するレンズアレイとを備える。
拡大光ファイバを互いに光軸が平行になるように集積し
たコア拡大光ファイバアレイと、複数の凸レンズで構成
され、個々の凸レンズの光軸および収束光ビームウェス
ト位置が、コア拡大光ファイバアレイを構成する個々の
コア拡大光ファイバの光軸および出射光ビームウェスト
位置とそれぞれ一致するレンズアレイとを備える。
【0014】また、コア拡大光ファイバは、端面のコア
拡大部分がセルフォックスレンズと見なしうる屈折率分
布を有し、かつコア拡大部分の光軸が内部の光軸と一致
する構成である。
拡大部分がセルフォックスレンズと見なしうる屈折率分
布を有し、かつコア拡大部分の光軸が内部の光軸と一致
する構成である。
【0015】
【作用】本発明のコリメータおよびコリメータアレイ
は、コア拡大光ファイバを用いることにより、結合する
光のビームスポット半径を大きくすることができる。し
たがって、位置ずれに対する結合損失が大幅に低減され
るので、コリメータおよびコリメータアレイを構成する
光ファイバと凸レンズの相対位置精度条件を緩和するこ
とができる。
は、コア拡大光ファイバを用いることにより、結合する
光のビームスポット半径を大きくすることができる。し
たがって、位置ずれに対する結合損失が大幅に低減され
るので、コリメータおよびコリメータアレイを構成する
光ファイバと凸レンズの相対位置精度条件を緩和するこ
とができる。
【0016】
【実施例】図1は、本発明のコリメータの断面構成を示
す。図において、11は凸レンズ、12は本発明の特徴
とする端面のコア径が内部のコア径より拡大されたコア
拡大光ファイバである。筐体13は、凸レンズ11の収
束光ビームウェスト位置(焦点位置)とコア拡大光ファ
イバ12の出射光ビームウェスト位置とを一致させ、か
つ双方の光軸が一致するように両者を保持する。
す。図において、11は凸レンズ、12は本発明の特徴
とする端面のコア径が内部のコア径より拡大されたコア
拡大光ファイバである。筐体13は、凸レンズ11の収
束光ビームウェスト位置(焦点位置)とコア拡大光ファ
イバ12の出射光ビームウェスト位置とを一致させ、か
つ双方の光軸が一致するように両者を保持する。
【0017】一般に、コア拡大光ファイバ12は通常の
単一モード光ファイバに比べて、出射光ビームウェスト
のビームスポット半径w1 が拡大される。したがって、
凸レンズ11を透過した収束光ビームウェストのビーム
スポット半径w0 を大きくしても結合損失が大きくなら
ない。これにより、収束光ビームウェストのビームスポ
ット半径w0 を大きくすることができ、凸レンズ11と
の相対位置精度条件を緩和することができる。
単一モード光ファイバに比べて、出射光ビームウェスト
のビームスポット半径w1 が拡大される。したがって、
凸レンズ11を透過した収束光ビームウェストのビーム
スポット半径w0 を大きくしても結合損失が大きくなら
ない。これにより、収束光ビームウェストのビームスポ
ット半径w0 を大きくすることができ、凸レンズ11と
の相対位置精度条件を緩和することができる。
【0018】ここで、光ファイバのコア拡大部分は、セ
ルフォックスレンズと見なしうる形状寸法であるとして
コア拡大部分の所要の長さを求める。一般に、セルフォ
ックスレンズの屈折率分布nは、レンズの分布常数をA
1/2、光軸からの距離をxとすると、 n=n0(1−Ax2/2) と表される。
ルフォックスレンズと見なしうる形状寸法であるとして
コア拡大部分の所要の長さを求める。一般に、セルフォ
ックスレンズの屈折率分布nは、レンズの分布常数をA
1/2、光軸からの距離をxとすると、 n=n0(1−Ax2/2) と表される。
【0019】コア部分のドーパントを拡散させてグレー
テッドな屈折率分布を形成させた場合、この部分をセル
フォックスレンズと見なすことができる。このとき、分
布常数A1/2 と、光ファイバ内でドーパントが拡散して
セルフォックスレンズを形成する領域の半径Rとの関係
は、もとの光ファイバのコア半径および比屈折率差をr
およびΔとすると、 A1/2 =(r/R2)(2Δ)1/2 となる。
テッドな屈折率分布を形成させた場合、この部分をセル
フォックスレンズと見なすことができる。このとき、分
布常数A1/2 と、光ファイバ内でドーパントが拡散して
セルフォックスレンズを形成する領域の半径Rとの関係
は、もとの光ファイバのコア半径および比屈折率差をr
およびΔとすると、 A1/2 =(r/R2)(2Δ)1/2 となる。
【0020】一方、光ファイバの出射光を平行光ビーム
にするために必要なコア拡大部分の長さLは、 L=π/2A1/2 =πR2/2r(2Δ)1/2 となる。ここで、r=5μm、Δ=0.32%とすると、コ
ア拡大部分の長さLはその領域の半径Rが20μmのとき
に約 1.6mmとなり、Rが30μmのときに約 3.5mmと
なる。したがって、20μmのビームスポット半径w1 を
確保するためには、少なくとも 1.6mmのコア拡大部分
の長さが必要となる。
にするために必要なコア拡大部分の長さLは、 L=π/2A1/2 =πR2/2r(2Δ)1/2 となる。ここで、r=5μm、Δ=0.32%とすると、コ
ア拡大部分の長さLはその領域の半径Rが20μmのとき
に約 1.6mmとなり、Rが30μmのときに約 3.5mmと
なる。したがって、20μmのビームスポット半径w1 を
確保するためには、少なくとも 1.6mmのコア拡大部分
の長さが必要となる。
【0021】図2は、本実施例のビームスポット位置ず
れ量と結合損失との関係を示す。ここでは、出射光ビー
ムウェストのビームスポット半径w1 が20μmとなるコ
ア拡大光ファイバ12との結合損失を示す。また、収束
光ビームウェスト位置と出射光ビームウェスト位置は一
致しているものとし、収束光ビームウェストのビームス
ポット半径w0 が10μm、15μm、20μm、25μm、30
μmの場合を示す。
れ量と結合損失との関係を示す。ここでは、出射光ビー
ムウェストのビームスポット半径w1 が20μmとなるコ
ア拡大光ファイバ12との結合損失を示す。また、収束
光ビームウェスト位置と出射光ビームウェスト位置は一
致しているものとし、収束光ビームウェストのビームス
ポット半径w0 が10μm、15μm、20μm、25μm、30
μmの場合を示す。
【0022】図に示すように、位置ずれによって生じる
結合損失は、図7に示す 1.5μm帯零分散ファイバを用
いた場合に比べて非常に小さくなり、両ビームスポット
半径w0 ,w1 の不一致による結合損失が主なものとな
る。図3は、両ビームスポット半径w0,w1 を一致させ
た場合におけるビームスポット半径と結合損失との関係
を示す。ここでは、位置ずれ量dが5μm、10μm、15
μm、20μmの場合を示す。
結合損失は、図7に示す 1.5μm帯零分散ファイバを用
いた場合に比べて非常に小さくなり、両ビームスポット
半径w0 ,w1 の不一致による結合損失が主なものとな
る。図3は、両ビームスポット半径w0,w1 を一致させ
た場合におけるビームスポット半径と結合損失との関係
を示す。ここでは、位置ずれ量dが5μm、10μm、15
μm、20μmの場合を示す。
【0023】図に示すように、ビームスポット半径w0,
w1 が大きくなるとともに結合損失が急激に減少するの
がわかる。たとえば、ビームスポット半径w0,w1 を20
μmに拡大すれば、10μmの位置ずれ量に対して結合損
失を約1dB以下に抑えることができ、実用上問題なくア
レイ化が可能となる。図4は、本発明のコリメータアレ
イの概観構成を示す。図において、14はレンズアレイ
であり、複数の凸レンズ11−1〜11−nにより構成
される。15はコア拡大光ファイバアレイであり、複数
のコア拡大光ファイバ12−1〜12−nにより構成さ
れる。ここで、コア拡大光ファイバ12−kの端面と、
これに対応する凸レンズ11−kは、図1と同様の配置
になっているものとする。
w1 が大きくなるとともに結合損失が急激に減少するの
がわかる。たとえば、ビームスポット半径w0,w1 を20
μmに拡大すれば、10μmの位置ずれ量に対して結合損
失を約1dB以下に抑えることができ、実用上問題なくア
レイ化が可能となる。図4は、本発明のコリメータアレ
イの概観構成を示す。図において、14はレンズアレイ
であり、複数の凸レンズ11−1〜11−nにより構成
される。15はコア拡大光ファイバアレイであり、複数
のコア拡大光ファイバ12−1〜12−nにより構成さ
れる。ここで、コア拡大光ファイバ12−kの端面と、
これに対応する凸レンズ11−kは、図1と同様の配置
になっているものとする。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のコリメー
タおよびコリメータアレイは、コア拡大光ファイバを用
いて結合する光のビームスポット半径を大きくすること
により、光ファイバと凸レンズの相対位置精度条件を大
幅に緩和することができる。すなわち、ファイバ端面の
位置精度が従来のものと同等であっても、位置ずれによ
る損失を大幅に減少させることができる。また、従来と
同等の製作技術を用いることができるので、大幅に結合
損失が小さいコリメータアレイを容易に作製することが
できる。
タおよびコリメータアレイは、コア拡大光ファイバを用
いて結合する光のビームスポット半径を大きくすること
により、光ファイバと凸レンズの相対位置精度条件を大
幅に緩和することができる。すなわち、ファイバ端面の
位置精度が従来のものと同等であっても、位置ずれによ
る損失を大幅に減少させることができる。また、従来と
同等の製作技術を用いることができるので、大幅に結合
損失が小さいコリメータアレイを容易に作製することが
できる。
【図1】本発明のコリメータの断面構成を示す図。
【図2】本実施例のビームスポット位置ずれ量と結合損
失との関係を示す図。
失との関係を示す図。
【図3】両ビームスポット半径w0,w1 を一致させた場
合におけるビームスポット半径と結合損失との関係を示
す図。
合におけるビームスポット半径と結合損失との関係を示
す図。
【図4】本発明のコリメータアレイの概観構成示す図。
【図5】従来のコリメータアレイの概観構成を示す図。
【図6】従来のコリメータアレイにおける光ファイバと
凸レンズの位置関係を示す図。
凸レンズの位置関係を示す図。
【図7】ビームスポット位置ずれ量と結合損失との関係
を示す図。
を示す図。
11 凸レンズ 12 コア拡大光ファイバ 13 筐体 14 レンズアレイ 15 コア拡大光ファイバアレイ 51 レンズアレイ 52 凸レンズ 53 光ファイバアレイ 54 光ファイバ
Claims (3)
- 【請求項1】 端面のコア径が内部のコア径より拡大さ
れたコア拡大光ファイバと、 光軸が前記コア拡大光ファイバの光軸と一致し、かつ収
束光ビームウェスト位置が前記コア拡大光ファイバの出
射光ビームウェスト位置と一致する凸レンズとを備えた
ことを特徴とするコリメータ。 - 【請求項2】 複数のコア拡大光ファイバを互いに光軸
が平行になるように集積したコア拡大光ファイバアレイ
と、 複数の凸レンズで構成され、個々の凸レンズの光軸およ
び収束光ビームウェスト位置が、前記コア拡大光ファイ
バアレイを構成する個々のコア拡大光ファイバの光軸お
よび出射光ビームウェスト位置とそれぞれ一致するレン
ズアレイとを備えたことを特徴とするコリメータアレ
イ。 - 【請求項3】 コア拡大光ファイバは、端面のコア拡大
部分がセルフォックスレンズと見なしうる屈折率分布を
有し、かつコア拡大部分の光軸が内部の光軸と一致する
構成であることを特徴とする請求項1に記載のコリメー
タまたは請求項2に記載のコリメータアレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29536694A JPH08152581A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | コリメータおよびコリメータアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29536694A JPH08152581A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | コリメータおよびコリメータアレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08152581A true JPH08152581A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=17819702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29536694A Pending JPH08152581A (ja) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | コリメータおよびコリメータアレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08152581A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102253458A (zh) * | 2011-08-08 | 2011-11-23 | 上海理工大学 | 一种宽光谱光纤准直器 |
CN102253457A (zh) * | 2011-08-08 | 2011-11-23 | 上海理工大学 | 一种热扩芯光纤准直器 |
KR101137229B1 (ko) * | 2011-06-29 | 2012-04-20 | (주)포스텍 | 비접촉식 광섬유 연결장치 |
CN102841409A (zh) * | 2012-08-28 | 2012-12-26 | 中国科学院光电研究院 | 细光束小发散角光纤耦合结构 |
US9726824B1 (en) | 2016-09-15 | 2017-08-08 | Google Inc. | Optical circuit switch collimator |
-
1994
- 1994-11-29 JP JP29536694A patent/JPH08152581A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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