JPH08150717A - インク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH08150717A JPH08150717A JP29288094A JP29288094A JPH08150717A JP H08150717 A JPH08150717 A JP H08150717A JP 29288094 A JP29288094 A JP 29288094A JP 29288094 A JP29288094 A JP 29288094A JP H08150717 A JPH08150717 A JP H08150717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- ink
- ink jet
- insulating film
- ink chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は電極表面からの漏れ電流を無くして
長期に渡って常に安定した沸騰気泡を形成することがで
きるインク噴射型プリンタ用ヘッド及びその製造方法を
提供することを目的とする。 【構成】 インク室１と、インク室１上部に形成された
ノズル孔２と、インク室１の底面に配設された電極３と
を備え、電極３の表面に金属酸化物絶縁膜４を形成し
た。 【効果】 電極３の表面からの漏れ電流を遮断すること
ができ、長期に渡って常に安定した沸騰気泡を形成する
ことができる。
長期に渡って常に安定した沸騰気泡を形成することがで
きるインク噴射型プリンタ用ヘッド及びその製造方法を
提供することを目的とする。 【構成】 インク室１と、インク室１上部に形成された
ノズル孔２と、インク室１の底面に配設された電極３と
を備え、電極３の表面に金属酸化物絶縁膜４を形成し
た。 【効果】 電極３の表面からの漏れ電流を遮断すること
ができ、長期に渡って常に安定した沸騰気泡を形成する
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインク噴射型プリンタに
用いられるインク滴を飛翔させてプリンタ用紙に記録さ
せるインク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法
に関するものである。
用いられるインク滴を飛翔させてプリンタ用紙に記録さ
せるインク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータの高性能化、小型
化、低価格に伴い、プリンタもコンピュータと同様な特
性が求められ、従来使われていたドットプリンタからレ
ーザープリンタ、インク噴射型プリンタへと印字方法が
変わりつつある。
化、低価格に伴い、プリンタもコンピュータと同様な特
性が求められ、従来使われていたドットプリンタからレ
ーザープリンタ、インク噴射型プリンタへと印字方法が
変わりつつある。
【０００３】インク噴射型プリンタとしては、ピエゾ圧
電素子の変形によりインクを押し出すタイプ、直流通電
方式による熱抵抗加熱でインクを沸騰させインクを吐出
させるタイプ及び交互通電による高周波加熱方式（交互
通電加熱方式）でインクを沸騰させインクを吐出させる
タイプ等がある。
電素子の変形によりインクを押し出すタイプ、直流通電
方式による熱抵抗加熱でインクを沸騰させインクを吐出
させるタイプ及び交互通電による高周波加熱方式（交互
通電加熱方式）でインクを沸騰させインクを吐出させる
タイプ等がある。
【０００４】以下に従来の交互通電加熱方式によるイン
ク噴射型プリンタ用ヘッドについて、図面を参照して説
明する。図４は従来のインク噴射型プリンタ用ヘッドの
要部断面図である。図４において、１はインク室、２は
インク室１上面に形成されたノズル孔、３はインク室１
の底面に配設された電極、５はインク室１の上面を形成
する樹脂シート、６は電極３の上面に積層された絶縁
膜、７はインク室１の底面を形成し電極３が配設されて
いる基板、８は配線１０を介して電極３と結線されてい
る制御部、９は制御部８に結線されている電源、１１は
ノズル孔２の上方に配されているプリンタ用紙、１２は
インク室１に充満しているインク、１３はノズル孔２か
ら吐出したインク滴、１４はインク滴１３がプリンタ用
紙１１に付着した印字、１５は電極３間に発生した気泡
である。
ク噴射型プリンタ用ヘッドについて、図面を参照して説
明する。図４は従来のインク噴射型プリンタ用ヘッドの
要部断面図である。図４において、１はインク室、２は
インク室１上面に形成されたノズル孔、３はインク室１
の底面に配設された電極、５はインク室１の上面を形成
する樹脂シート、６は電極３の上面に積層された絶縁
膜、７はインク室１の底面を形成し電極３が配設されて
いる基板、８は配線１０を介して電極３と結線されてい
る制御部、９は制御部８に結線されている電源、１１は
ノズル孔２の上方に配されているプリンタ用紙、１２は
インク室１に充満しているインク、１３はノズル孔２か
ら吐出したインク滴、１４はインク滴１３がプリンタ用
紙１１に付着した印字、１５は電極３間に発生した気泡
である。
【０００５】以上のように構成された従来の交互通電加
熱方式によるインク噴射型プリンタ用ヘッドについて、
以下にその製造方法を説明する。まず、ガラス、或い
は、シリコン等のセラミックスからなる非導電性の基板
７上にTi、Au、Pt、Ni等の導電性の金属膜を、蒸着法、
スパッタ法などの真空成膜法あるいはメッキ法等により
積層する。この金属膜を積層した基板７にフォトリソグ
ラフィー法により電極３のパターンを形成し、電極３以
外の部分をイオンミーリングまたはケミカルエッチング
により除去する。次に、電極３のインク室１に露出して
いる部分以外の部分と基板７上に有機高分子あるいはセ
ラミックス等の絶縁膜６を塗布またはスパッタ法により
形成する。この絶縁膜６と電極３とを積層した基板７上
にエキシマレーザ加工機により形成されたノズル孔２を
有する樹脂シート５をノズル孔２が二つの電極３の中心
部に位置するように接着する。
熱方式によるインク噴射型プリンタ用ヘッドについて、
以下にその製造方法を説明する。まず、ガラス、或い
は、シリコン等のセラミックスからなる非導電性の基板
７上にTi、Au、Pt、Ni等の導電性の金属膜を、蒸着法、
スパッタ法などの真空成膜法あるいはメッキ法等により
積層する。この金属膜を積層した基板７にフォトリソグ
ラフィー法により電極３のパターンを形成し、電極３以
外の部分をイオンミーリングまたはケミカルエッチング
により除去する。次に、電極３のインク室１に露出して
いる部分以外の部分と基板７上に有機高分子あるいはセ
ラミックス等の絶縁膜６を塗布またはスパッタ法により
形成する。この絶縁膜６と電極３とを積層した基板７上
にエキシマレーザ加工機により形成されたノズル孔２を
有する樹脂シート５をノズル孔２が二つの電極３の中心
部に位置するように接着する。
【０００６】以下にこのインク噴射型プリンタ用ヘッド
の動作について説明する。図６はインク１２吐出時のイ
ンク１２への印加電圧を示すタイムチャートである。ま
ず、図６に示すように電源９から制御部８を通じて電極
３間に、ドットを吐出する間隔である印字周期を５ＫＨ
ｚの間隔にし、交互電圧通電の頻度である電圧変化周期
を３ＭＨｚの間隔にして交互電圧を印加する。この印字
周期はインク１２が沸騰するのに必要な最大時間より長
く設定され、電圧変化周期は印字品質である分解能に応
じたインク１２のドットの飛翔頻度に一致するように決
定されている。電圧がインク１２に印加されると、図５
に示すように電気力線が発生しインク１２中の電解質が
振動運動を行い、ジュール熱が発生し、インク１２が加
熱される。インク１２が加熱されると、インク１２中に
沸騰が起こり、電極３の間に気泡１５が形成される。さ
らに、この気泡１５が膨張するにつれ、インク室１の内
側に充満するインク１２が押し上げられ、ノズル孔２か
らインク滴１３となって吐出し、プリンタ用紙１１に付
着することにより、印字１４となる。インク吐出の繰り
返し寿命は、記録ヘッドとインク容器とが一体型のカー
トリッジタイプでは数千万回、記録ヘッドをプリンター
本体に据え付けたパーマネントタイプでは数億回を通常
保証している。
の動作について説明する。図６はインク１２吐出時のイ
ンク１２への印加電圧を示すタイムチャートである。ま
ず、図６に示すように電源９から制御部８を通じて電極
３間に、ドットを吐出する間隔である印字周期を５ＫＨ
ｚの間隔にし、交互電圧通電の頻度である電圧変化周期
を３ＭＨｚの間隔にして交互電圧を印加する。この印字
周期はインク１２が沸騰するのに必要な最大時間より長
く設定され、電圧変化周期は印字品質である分解能に応
じたインク１２のドットの飛翔頻度に一致するように決
定されている。電圧がインク１２に印加されると、図５
に示すように電気力線が発生しインク１２中の電解質が
振動運動を行い、ジュール熱が発生し、インク１２が加
熱される。インク１２が加熱されると、インク１２中に
沸騰が起こり、電極３の間に気泡１５が形成される。さ
らに、この気泡１５が膨張するにつれ、インク室１の内
側に充満するインク１２が押し上げられ、ノズル孔２か
らインク滴１３となって吐出し、プリンタ用紙１１に付
着することにより、印字１４となる。インク吐出の繰り
返し寿命は、記録ヘッドとインク容器とが一体型のカー
トリッジタイプでは数千万回、記録ヘッドをプリンター
本体に据え付けたパーマネントタイプでは数億回を通常
保証している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、電極３の表面に電気二重層が形成されるこ
とにより、電極３の表面に酸化物が形成され、その酸化
物が電極３の材料の溶解やキャビテーションによる破壊
によって無くなるという過程の繰り返しが起きることに
よって電極３の表面からの漏れ電流が変化し、インク滴
１３を飛翔させるための気泡の発生が不安定になるとい
う問題点を有していた。
の構成では、電極３の表面に電気二重層が形成されるこ
とにより、電極３の表面に酸化物が形成され、その酸化
物が電極３の材料の溶解やキャビテーションによる破壊
によって無くなるという過程の繰り返しが起きることに
よって電極３の表面からの漏れ電流が変化し、インク滴
１３を飛翔させるための気泡の発生が不安定になるとい
う問題点を有していた。
【０００８】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、電極表面の電気二重層の形成を防止することがで
き、電極表面からの漏れ電流を遮断することによって、
安定な気泡の発生を実現できるインク噴射型プリンタ用
ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とす
る。
で、電極表面の電気二重層の形成を防止することがで
き、電極表面からの漏れ電流を遮断することによって、
安定な気泡の発生を実現できるインク噴射型プリンタ用
ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、インク室の底面に配設された電極表面上に
金属酸化絶縁膜を形成したもので、その製造方法として
電極の真空成膜中に酸素を導入することによって電極膜
と金属酸化絶縁膜を連続的に成膜するものである。
に本発明は、インク室の底面に配設された電極表面上に
金属酸化絶縁膜を形成したもので、その製造方法として
電極の真空成膜中に酸素を導入することによって電極膜
と金属酸化絶縁膜を連続的に成膜するものである。
【００１０】
【作用】本発明は上記構成により、金属酸化絶縁膜が電
極表面に形成されているので、電極表面の電気二重層が
形成されず、電極表面からの漏れ電流を遮断することが
でき、インク中を流れる電流が安定し、そのため常に安
定した沸騰気泡を形成することができる。
極表面に形成されているので、電極表面の電気二重層が
形成されず、電極表面からの漏れ電流を遮断することが
でき、インク中を流れる電流が安定し、そのため常に安
定した沸騰気泡を形成することができる。
【００１１】また、上記製造方法により、電極膜と金属
酸化絶縁膜を連続的に形成できるため、極めて簡便に非
常に安定した金属酸化絶縁膜を形成することができる。
酸化絶縁膜を連続的に形成できるため、極めて簡便に非
常に安定した金属酸化絶縁膜を形成することができる。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例を図面を参照しながら説明
する。図１は本発明の一実施例におけるインク噴射型プ
リンタ用ヘッドの要部断面図である。図１において、１
はインク室、２はノズル孔、３は電極、５は樹脂シー
ト、６は絶縁膜、７は基板、８は制御部、９は電源、１
０は配線、１１はプリンタ用紙、１２はインク、１３は
インク滴、１４は印字で、これらは従来例と同様である
ので、同一の符号を付けて説明を省略する。４は金属酸
化物絶縁膜であり、ＳｉＯ2，ＴｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3，Ｔａ
2Ｏ5等の酸化物からなっている。これらの金属酸化物絶
縁膜４は、真空成膜、塗布法、熱処理等の様々な方法で
形成可能である。しかしながら、電極３の膜を形成した
後に新たに他の膜を形成したり、電極３の膜を形成した
後真空室から取り出して各種の処理を行うことは、電極
３の膜が大気中に触れたり、繁雑な工程を経なければな
らないため、電極３の特性の不安定性の原因となり、か
つ新たに工数が発生するためコストアップにつながって
しまうものである。そこで、この金属酸化物絶縁膜４
を、電極３の材料が酸素と反応して形成される酸化物と
し、その酸化物が電気的絶縁体であるという特徴を持つ
よう電極３の材料を選定することによって、例えば反応
性スパッタリングのように電極３を真空成膜した後、装
置内に酸素を導入し酸化物を成膜するという手法を用い
て連続的に安定にかつ簡便に金属酸化物絶縁膜４が形成
できる。具体的な電極３の材料と金属酸化物絶縁膜４の
材料との組み合わせとしては、ＴｉとＴｉＯ2，Ａｌと
Ａｌ2Ｏ 3，ＴａとＴａ2Ｏ5等の様々な組み合わせが考え
られる。
する。図１は本発明の一実施例におけるインク噴射型プ
リンタ用ヘッドの要部断面図である。図１において、１
はインク室、２はノズル孔、３は電極、５は樹脂シー
ト、６は絶縁膜、７は基板、８は制御部、９は電源、１
０は配線、１１はプリンタ用紙、１２はインク、１３は
インク滴、１４は印字で、これらは従来例と同様である
ので、同一の符号を付けて説明を省略する。４は金属酸
化物絶縁膜であり、ＳｉＯ2，ＴｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3，Ｔａ
2Ｏ5等の酸化物からなっている。これらの金属酸化物絶
縁膜４は、真空成膜、塗布法、熱処理等の様々な方法で
形成可能である。しかしながら、電極３の膜を形成した
後に新たに他の膜を形成したり、電極３の膜を形成した
後真空室から取り出して各種の処理を行うことは、電極
３の膜が大気中に触れたり、繁雑な工程を経なければな
らないため、電極３の特性の不安定性の原因となり、か
つ新たに工数が発生するためコストアップにつながって
しまうものである。そこで、この金属酸化物絶縁膜４
を、電極３の材料が酸素と反応して形成される酸化物と
し、その酸化物が電気的絶縁体であるという特徴を持つ
よう電極３の材料を選定することによって、例えば反応
性スパッタリングのように電極３を真空成膜した後、装
置内に酸素を導入し酸化物を成膜するという手法を用い
て連続的に安定にかつ簡便に金属酸化物絶縁膜４が形成
できる。具体的な電極３の材料と金属酸化物絶縁膜４の
材料との組み合わせとしては、ＴｉとＴｉＯ2，Ａｌと
Ａｌ2Ｏ 3，ＴａとＴａ2Ｏ5等の様々な組み合わせが考え
られる。
【００１３】また、真空成膜方法もスパッタリングだけ
でなく蒸着やＣＶＤ等の他の真空成膜方法も考えられ
る。
でなく蒸着やＣＶＤ等の他の真空成膜方法も考えられ
る。
【００１４】（実施例１）ここで電極３の材料としてＴ
ｉ、金属酸化物絶縁膜４の材料としてＳｉＯ2を用いた
第１の実施例について説明する。まず、ガラスの基板７
上に電極３となるＴｉ膜をスパッタリングにより積層す
る。その上に更にスパッタリングにより金属酸化物絶縁
膜４となるＳｉＯ2を積層する。ここでこの２層の積層
においては、Ｔｉ成膜用真空室の排気，成膜，基板７の
移動，ＳｉＯ2成膜用真空室の排気，成膜，取り出しと
いう工程が必要となる。この積層した基板７上にフォト
リソグラフィー法によりレジストで電極３のパターンを
形成し、電極３以外の部分をイオンミーリングまたはケ
ミカルエッチングにより除去する。
ｉ、金属酸化物絶縁膜４の材料としてＳｉＯ2を用いた
第１の実施例について説明する。まず、ガラスの基板７
上に電極３となるＴｉ膜をスパッタリングにより積層す
る。その上に更にスパッタリングにより金属酸化物絶縁
膜４となるＳｉＯ2を積層する。ここでこの２層の積層
においては、Ｔｉ成膜用真空室の排気，成膜，基板７の
移動，ＳｉＯ2成膜用真空室の排気，成膜，取り出しと
いう工程が必要となる。この積層した基板７上にフォト
リソグラフィー法によりレジストで電極３のパターンを
形成し、電極３以外の部分をイオンミーリングまたはケ
ミカルエッチングにより除去する。
【００１５】次に、電極３のインク室１に露出している
以外の部分と基板７上に有機高分子あるいはセラミック
ス等の絶縁膜６を塗布またはスパッタ法により形成す
る。この絶縁膜６と電極３とを積層した基板７上にエキ
シマレーザ加工機により形成されたノズル孔２を有する
樹脂シート５をノズル孔２が二つの電極３の中心部に位
置するように接着する。
以外の部分と基板７上に有機高分子あるいはセラミック
ス等の絶縁膜６を塗布またはスパッタ法により形成す
る。この絶縁膜６と電極３とを積層した基板７上にエキ
シマレーザ加工機により形成されたノズル孔２を有する
樹脂シート５をノズル孔２が二つの電極３の中心部に位
置するように接着する。
【００１６】この第１の実施例ではＳｉＯ2はスパッタ
リング法で形成したが、塗布法やＳｉ成膜後の酸化処理
等でも形成可能である。
リング法で形成したが、塗布法やＳｉ成膜後の酸化処理
等でも形成可能である。
【００１７】（実施例２）次に、電極３の材料としてＴ
ｉ、金属酸化物絶縁膜４の材料としてＴｉＯ2を用いた
第２の実施例について説明する。まず、ガラスの基板７
上に電極３となるＴｉ膜をスパッタリングにより積層す
る。その上に更にスパッタリングにより金属酸化物絶縁
膜４となるＴｉＯ2を積層する。ここでこの２層の積層
においては、Ｔｉ成膜用真空室の排気，成膜，酸素導入
によるＴｉＯ2の連続成膜，取り出しという工程のみで
電極３となるＴｉ膜と金属酸化物絶縁膜４となるＴｉＯ
2膜が積層される。したがって電極３の材料としてＴ
ｉ、金属酸化絶縁膜４の材料としてＳｉＯ2を用いた第
１の実施例と比較して工程が簡便になる。この積層した
基板７上にフォトリソグラフィー法によりレジストで電
極３のパターンを形成し、電極３以外の部分をイオンミ
ーリングまたはケミカルエッチングにより除去する。次
に、電極３のインク室１に露出している以外の部分と基
板７上に有機高分子あるいはセラミックス等の絶縁膜６
を塗布またはスパッタ法により形成する。この絶縁膜６
と電極３とを積層した基板７上にエキシマレーザ加工機
により形成されたノズル孔２を有する樹脂シート５をノ
ズル孔２が二つの電極３の中心部に位置するように接着
する。
ｉ、金属酸化物絶縁膜４の材料としてＴｉＯ2を用いた
第２の実施例について説明する。まず、ガラスの基板７
上に電極３となるＴｉ膜をスパッタリングにより積層す
る。その上に更にスパッタリングにより金属酸化物絶縁
膜４となるＴｉＯ2を積層する。ここでこの２層の積層
においては、Ｔｉ成膜用真空室の排気，成膜，酸素導入
によるＴｉＯ2の連続成膜，取り出しという工程のみで
電極３となるＴｉ膜と金属酸化物絶縁膜４となるＴｉＯ
2膜が積層される。したがって電極３の材料としてＴ
ｉ、金属酸化絶縁膜４の材料としてＳｉＯ2を用いた第
１の実施例と比較して工程が簡便になる。この積層した
基板７上にフォトリソグラフィー法によりレジストで電
極３のパターンを形成し、電極３以外の部分をイオンミ
ーリングまたはケミカルエッチングにより除去する。次
に、電極３のインク室１に露出している以外の部分と基
板７上に有機高分子あるいはセラミックス等の絶縁膜６
を塗布またはスパッタ法により形成する。この絶縁膜６
と電極３とを積層した基板７上にエキシマレーザ加工機
により形成されたノズル孔２を有する樹脂シート５をノ
ズル孔２が二つの電極３の中心部に位置するように接着
する。
【００１８】図２は本発明の第１および第２の実施例に
おけるインク噴射型プリンタ用ヘッドの電極３の電流の
流れを示す図で、図５に示すように従来の構成であれば
電極３の表面から漏れ電流が発生し、電極３の表面の酸
化状態が変化することに伴いこの漏れ電流の大きさが変
化し、インク１２のジュール熱の発生による沸騰気泡の
形成にバラツキを生じていたが、第１および第２の実施
例の構成にすることによって、図２に示すように電極３
の表面からの漏れ電流が無くなり、電極３の断面からの
み一定の電流が供給されることによって安定に沸騰気泡
を形成することができる。図３は本発明の第１および第
２の実施例の構成と従来の構成のインク噴射型プリンタ
用ヘッドに、印可電圧を２５Ｖ，電圧変化周期を３ＭＨ
ｚ，印字周期を５ｋＨｚとして交互通電を行った結果を
示す図で、横軸に通電回数，縦軸にインク１２が吐出す
るまでに要した時間をとったものである。この図からわ
かるように第１および第２の実施例の構成にしたことに
よって、安定に沸騰気泡が形成できるようになり、イン
ク１２が吐出するまでに要した時間が通電回数に依らず
一定になる。
おけるインク噴射型プリンタ用ヘッドの電極３の電流の
流れを示す図で、図５に示すように従来の構成であれば
電極３の表面から漏れ電流が発生し、電極３の表面の酸
化状態が変化することに伴いこの漏れ電流の大きさが変
化し、インク１２のジュール熱の発生による沸騰気泡の
形成にバラツキを生じていたが、第１および第２の実施
例の構成にすることによって、図２に示すように電極３
の表面からの漏れ電流が無くなり、電極３の断面からの
み一定の電流が供給されることによって安定に沸騰気泡
を形成することができる。図３は本発明の第１および第
２の実施例の構成と従来の構成のインク噴射型プリンタ
用ヘッドに、印可電圧を２５Ｖ，電圧変化周期を３ＭＨ
ｚ，印字周期を５ｋＨｚとして交互通電を行った結果を
示す図で、横軸に通電回数，縦軸にインク１２が吐出す
るまでに要した時間をとったものである。この図からわ
かるように第１および第２の実施例の構成にしたことに
よって、安定に沸騰気泡が形成できるようになり、イン
ク１２が吐出するまでに要した時間が通電回数に依らず
一定になる。
【００１９】
【発明の効果】本発明はインク室の底面に配設された電
極表面上に金属酸化絶縁膜を形成したことにより、電極
表面に電気二重層を形成することなく、電極表面からの
漏れ電流を遮断することが可能になり、インクの吐出に
必要な沸騰気泡を常に安定に形成することができ、印字
品質を向上させることができる。
極表面上に金属酸化絶縁膜を形成したことにより、電極
表面に電気二重層を形成することなく、電極表面からの
漏れ電流を遮断することが可能になり、インクの吐出に
必要な沸騰気泡を常に安定に形成することができ、印字
品質を向上させることができる。
【００２０】また、電極の真空成膜中に酸素を導入する
ことによって電極膜と金属酸化絶縁膜を連続的に成膜す
ることにより、電極膜と金属酸化絶縁膜の界面が安定と
なり、かつ、高い歩留まりで低い原価により生産性よく
インク噴射型プリンタ用ヘッドを製造できる。
ことによって電極膜と金属酸化絶縁膜を連続的に成膜す
ることにより、電極膜と金属酸化絶縁膜の界面が安定と
なり、かつ、高い歩留まりで低い原価により生産性よく
インク噴射型プリンタ用ヘッドを製造できる。
【図１】本発明の一実施例におけるインク噴射型プリン
タ用ヘッドの要部断面図
タ用ヘッドの要部断面図
【図２】本発明の第１および第２の実施例におけるイン
ク噴射型プリンタ用ヘッドの電極の電流の流れを示す図
ク噴射型プリンタ用ヘッドの電極の電流の流れを示す図
【図３】本発明の第１および第２の実施例の構成と従来
の構成のインク噴射型プリンタ用ヘッドに交互通電を行
った結果を示す図
の構成のインク噴射型プリンタ用ヘッドに交互通電を行
った結果を示す図
【図４】従来のインク噴射型プリンタ用ヘッドの要部断
面図
面図
【図５】従来のインク噴射型プリンタ用ヘッドの電極の
電流の流れを示す図
電流の流れを示す図
【図６】従来のインク噴射型プリンタ用ヘッドのインク
吐出時のインクへの印可電圧を示すタイムチャート
吐出時のインクへの印可電圧を示すタイムチャート
１ インク室 ２ ノズル孔 ３ 電極 ４ 金属酸化物絶縁膜 ５ 樹脂シート ６ 絶縁膜 ７ 基板 ８ 制御部 ９ 電源 １０ 配線 １１ プリンタ用紙 １２ インク １３ インク滴 １４ 印字 １５ 気泡
Claims (3)
- 【請求項１】インク室と、前記インク室上部に形成され
たノズル孔と、前記インク室の底面に配設された電極と
を備えたインク噴射式プリンタ用ヘッドであって、前記
電極表面に金属酸化絶縁膜を形成したことを特徴とする
インク噴射型プリンタ用ヘッド。 - 【請求項２】前記金属酸化絶縁膜がＳｉＯ2，ＴｉＯ2，
Ａｌ2Ｏ3，またはＴａ 2Ｏ5であることを特徴とする請求
項１記載のインク噴射型プリンタ用ヘッド。 - 【請求項３】インク室と、前記インク室上部に形成され
たノズル孔と、前記インク室の底面に配設された電極と
を備えたインク噴射式プリンタ用ヘッドであって、前記
電極材料上に同材料の金属酸化絶縁膜を前記電極の真空
成膜中に酸素を導入する形成方法により連続的に成膜す
ることを特徴とするインク噴射型プリンタ用ヘッドの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29288094A JPH08150717A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | インク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29288094A JPH08150717A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | インク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08150717A true JPH08150717A (ja) | 1996-06-11 |
Family
ID=17787578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29288094A Pending JPH08150717A (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | インク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08150717A (ja) |
-
1994
- 1994-11-28 JP JP29288094A patent/JPH08150717A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1736716B (zh) | 喷墨头用基板、该基板的制造方法和使用上述基板的喷墨头 | |
| JP4654458B2 (ja) | シリコン部材の陽極接合法及びこれを用いたインクジェットヘッド製造方法並びにインクジェットヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置 | |
| KR100828362B1 (ko) | 잉크젯 프린트헤드용 히터 및 이 히터를 구비하는 잉크젯프린트헤드 | |
| JPH08150717A (ja) | インク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法 | |
| US6089700A (en) | Ink-jet printer head and ink spraying method for ink-jet printer | |
| JPH0872242A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3584509B2 (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
| JPH064326B2 (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| JPH08197734A (ja) | インク噴射型プリンタ用ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2000006411A (ja) | インクジェット記録素子及びこれを用いたインクジェット記録装置 | |
| JP2000006414A (ja) | インクジェット記録ヘッド及び該ヘッドを用いたインクジェット記録装置 | |
| JPH08174848A (ja) | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
| JP4258141B2 (ja) | サーマルインクジェットプリントヘッド | |
| JPH08295018A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2015000537A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JPH0825633A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP3903749B2 (ja) | サーマルインクジェットプリントヘッド及びその発熱抵抗体の製造方法 | |
| JPH1058689A (ja) | インクジェットプリンターの噴射装置及び噴射方法 | |
| JPH08169119A (ja) | インク噴射型プリンター用ヘッドの製造方法及びその方法で製造されたインク噴射型プリンター用ヘッド | |
| JPH08309991A (ja) | インク噴射型プリンター用ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH08187858A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JP2010240853A (ja) | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、及び、ノズル基板の製造方法 | |
| JP2002172777A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH07323551A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JPH09187942A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 |