JPH08147468A - Position recognizing method for bag by image processing - Google Patents
Position recognizing method for bag by image processingInfo
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- JPH08147468A JPH08147468A JP6283870A JP28387094A JPH08147468A JP H08147468 A JPH08147468 A JP H08147468A JP 6283870 A JP6283870 A JP 6283870A JP 28387094 A JP28387094 A JP 28387094A JP H08147468 A JPH08147468 A JP H08147468A
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】チップマウンタにおいて、BGA
(Ball Grid Array)を吸着ノズルで吸着した後、その
位置を補正してプリント基板上の所定の位置に搭載する
ために、吸着ノズルに吸着されたBGAの位置を画像処
理によって認識するBGAの位置認識方法に関する。[Industrial application] BGA in chip mounters
The position of the BGA that is picked up by the suction nozzle by image processing in order to correct the position after mounting the (Ball Grid Array) with the suction nozzle and mount it at a predetermined position on the printed circuit board. Regarding recognition method.
【0002】[0002]
【従来の技術】各種電子機器に搭載されるLSIの表面
実装型の多端子バッケージとしては、従来はQFP(Qu
ad Flat Package)が殆どであった。これは4辺の全て
の側面から多数のリード端子が出ているパッケージであ
り、その外形寸法を変えずに入出力端子数を増やすには
端子ピッチを狭くすることになるが、それは既に限界に
達している。また、微細ピッチのQFPはリード端子が
細く変形し易いため、実装工程で種々の問題が生じる。2. Description of the Related Art Conventionally, a QFP (Qu
Most were ad flat packages. This is a package with many lead terminals protruding from all four sides. To increase the number of input / output terminals without changing the external dimensions, the terminal pitch must be narrowed, but this is already the limit. Has reached Further, since the lead terminals of the fine pitch QFP are thin and easily deformed, various problems occur in the mounting process.
【0003】そのため、近年BGAという新しい多端子
パッケージが開発され、パソコンや携帯型通信機器など
のLSIパッケージとして使用されるようになってき
た。このBGAは、例えば図10,図11にその側面図
と下面図を示すように、ベースとなる基板11上に半導
体集積回路12をボンディングしてモールド樹脂13で
密封し、その基板11の下面に端子として多数のソルダ
ボール(球形のハンダ)14を2次元のアレイ状に配設
した表面実装型LSIバッケージである。For this reason, a new multi-terminal package called BGA has been developed in recent years and has come to be used as an LSI package for personal computers, portable communication devices and the like. This BGA has a semiconductor integrated circuit 12 bonded on a base substrate 11 and sealed with a mold resin 13 as shown in side views and bottom views of FIGS. This is a surface-mounted LSI package in which a large number of solder balls (spherical solders) 14 are arranged in a two-dimensional array as terminals.
【0004】したがって、このBGA1は多数のソルダ
ボールでプリント基板上の回路と接続するので、QFP
に比べて小型化し易く、端子であるソルダボールが変形
することはないので、その配設密度を高めても実装工程
においてさ程の問題は生じない。Therefore, since this BGA1 is connected to the circuit on the printed circuit board by a large number of solder balls, the QFP
Since the size of the solder balls is smaller than that of the solder balls, and the solder balls that are terminals are not deformed, even if the mounting density is increased, no serious problem occurs in the mounting process.
【0005】このようなBGAを、チップマウンタによ
ってプリント基板上に実装するためには、QFPを実装
する場合と同様に、吸着ノズルで吸着したBGAの吸着
位置の規定位置からのずれ及び傾きを補正して、プリン
ト基板上の所定の位置に正確に搭載するために、吸着ノ
ズルに吸着されたBGAの位置(傾きも含む)を認識す
る必要がある。In order to mount such a BGA on a printed circuit board by a chip mounter, as in the case of mounting the QFP, the deviation and inclination of the suction position of the BGA sucked by the suction nozzle from the specified position are corrected. Then, in order to accurately mount it on a predetermined position on the printed circuit board, it is necessary to recognize the position (including the inclination) of the BGA sucked by the suction nozzle.
【0006】そのため、従来のチップマウンタにおいて
は、例えば図12及び図13に示すように、吸着ノズル
2に吸着したBGA1の下面を、LED(発光ダイオー
ド)3を2次元に多数配列した照明装置4の発光による
照明光を散乱板5を通した散乱光によって照明し、その
反射光による画像を散乱板5の中心開孔5a及び照明装
置4の中心開孔4aを通して、CCDカメラ6によって
撮像する。7は吸着ノズル2を貫通させてBGA1の背
後に配置した黒い板である。Therefore, in the conventional chip mounter, for example, as shown in FIGS. 12 and 13, a lighting device 4 in which a plurality of LEDs (light emitting diodes) 3 are two-dimensionally arranged on the lower surface of the BGA 1 sucked by the suction nozzle 2 is provided. The illumination light by the light emission of is illuminated by the scattered light that has passed through the scattering plate 5, and the image by the reflected light is captured by the CCD camera 6 through the central opening 5a of the scattering plate 5 and the central opening 4a of the illuminating device 4. Reference numeral 7 is a black plate which is arranged behind the BGA 1 so as to penetrate the suction nozzle 2.
【0007】このように、吸着ノズル2に吸着されたた
BGA1の下面を、バックの黒い板7と散乱光による反
射照明によりコントラストの高い状態にしている。そし
て、CCDカメラ6によって撮像された画像データを画
像処理ユニット8に取り込んで、画像処理によりBGA
1の位置認識を行なう。In this way, the lower surface of the BGA 1 adsorbed by the adsorption nozzle 2 is brought into a high contrast state by the black plate 7 of the back and the reflected illumination by the scattered light. Then, the image data picked up by the CCD camera 6 is taken into the image processing unit 8, and the BGA is processed by the image processing.
1 position recognition is performed.
【0008】その画像処理ユニット8による従来のBG
Aの位置認識処理の例を、図14のフローチャートにし
たがって、図15〜図17も参照して説明する。CCD
カメラ6によって撮像した画像データ(図15に示すよ
うな多階調画像データ)を取り込んで図16に示すよう
に2値化し、2値画像データとして画像メモリに格納す
る。A conventional BG by the image processing unit 8
An example of the position recognition processing of A will be described according to the flowchart of FIG. 14 and also with reference to FIGS. CCD
Image data captured by the camera 6 (multi-tone image data as shown in FIG. 15) is taken in, binarized as shown in FIG. 16, and stored in the image memory as binary image data.
【0009】その画像データを外側から内側に図17に
示すようにエッジ(白画素の黒画素と接する点:図中に
小さい丸eで示す)をサーチして、検出した各エッジを
孤立した白領域Wごとにグループ化する。その各グルー
プ毎に各エッジの検出座標の平均をとってソルダボール
の中心点Oの座標を求める。As shown in FIG. 17, the image data is searched from the outside to an edge (a point of the white pixel which is in contact with a black pixel: indicated by a small circle e in the figure), and each detected edge is isolated white. The regions W are grouped. The coordinates of the center point O of the solder ball are obtained by averaging the detected coordinates of each edge for each group.
【0010】そして、BGAの画像の外周に最も近い列
のソルダボール(中心点座標)を抽出し、そのソルダボ
ールの各中心点(座標)群から、最小二乗法によって得
られる直線の傾きすなわちBGAの傾きを求める。ま
た、その外周に沿うソルダボールの各中心点座標の平均
からBGAの中心を求める。Then, the solder balls (center point coordinates) in the column closest to the outer periphery of the BGA image are extracted, and the slope of a straight line obtained by the least square method from each center point (coordinates) group of the solder balls, that is, BGA. Find the slope of. Further, the center of the BGA is obtained from the average of the coordinates of the respective center points of the solder balls along the outer circumference thereof.
【0011】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の画像処理によるBGAの位置認識方法では、
CCDカメラから取り込んだ多値画像データを2値画像
データに変換して画像処理をするが、BGAのソルダボ
ールの回りの下地(基板)がセラミックのような白っぽ
い色だったりすると、その撮像された画像データは図1
8に示すようになる。これを一部拡大して図19に示す
ように、ソルダボールの周辺の基板の像Kは明るく、ソ
ルダボールの像Sは中央部aは明るいが、その周辺部分
は照明光とその反射角度の関係でドーナツ状の暗い部分
bとなってしまう傾向がある。この場合、一列のソルダ
ボールの像の各中心を通るラインAに沿う輝度分布(ラ
イトマップ)は図20に示すようになる。However, in such a conventional BGA position recognition method by image processing,
Image processing is performed by converting multi-valued image data captured from a CCD camera into binary image data, but if the base (substrate) around the BGA solder ball is whitish color like ceramic, it was taken. Image data is shown in Figure 1.
As shown in 8. As shown in FIG. 19 by partially enlarging this, the image K of the substrate around the solder ball is bright, and the image S of the solder ball is bright at the central portion a, but the peripheral portion thereof shows the illumination light and its reflection angle. Due to the relationship, there is a tendency to become a donut-shaped dark portion b. In this case, the luminance distribution (light map) along the line A passing through the centers of the images of the solder balls in one row is as shown in FIG.
【0012】そのため、この画像データを2値化してエ
ッジを検出すると図21に小さい丸eで示すようにな
り、単に2値化画像データのエッジを検出しただけで
は、ソルダボールの像Sとそれ以外の画像の区別ができ
ず、誤認識をしてしまう場合があるという問題点があっ
た。Therefore, when this image data is binarized and edges are detected, it becomes as shown by a small circle e in FIG. 21, and if the edge of the binarized image data is simply detected, the image S of the solder ball and that However, there is a problem in that the images other than the above cannot be distinguished and may be erroneously recognized.
【0013】また、BGAの下地の基板が暗い色でも、
そこに明るいパターンが存在していると、その撮像され
た画像データは図22に示すようになる。その明るいパ
ターンの像Pを含む一部を拡大すると図23に示すよう
になり、そのラインBに沿う輝度分布(ライトマップ)
は図24に示すようになる。そのため、この画像データ
を2値化してエッジを検出すると図25に小さい丸eで
示すようになり、やはり単に2値化画像データのエッジ
を検出しただけでは、ソルダボールの像Sとそれ以外の
画像(明るいパターンの像P等)の区別ができず、誤認
識をしてしまうことになる。In addition, even if the underlying substrate of BGA is a dark color,
If a bright pattern exists there, the captured image data is as shown in FIG. FIG. 23 is an enlarged view of a part including the image P of the bright pattern, and the luminance distribution (light map) along the line B is shown.
Is as shown in FIG. Therefore, when this image data is binarized and edges are detected, it becomes as shown by a small circle e in FIG. 25. Even if the edges of the binarized image data are simply detected, the image S of the solder ball and other images are not detected. The images (bright pattern images P, etc.) cannot be distinguished, resulting in erroneous recognition.
【0014】この発明は上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、上述のようにBGAの基板が明るい色だっ
たり、ソルダボールの周辺部がドーナツ状の暗い画像に
なったり、BGAの基板上に明るいパターンがあったり
しても、吸着ノズルに吸着されたBGAの位置を常に正
確に認識できるようにすることを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and as described above, the BGA substrate has a bright color, the peripheral portion of the solder ball has a donut-shaped dark image, and the BGA substrate has a dark image. Even if there is a bright pattern on the upper side, the object is to always be able to accurately recognize the position of the BGA sucked by the suction nozzle.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の画像処理によるBGAの位置認識方法
は、図12及び図13に示したようなチップマウンタの
吸着ノズルに吸着されたBGAの下面を散乱光によって
照明して撮像し、その画像の少なくとも外周に近い部分
を走査して各ソルダボール候補の中心点座標を求め、そ
の求めたソルダボール候補点から演算により画像の外周
にあり、かつ中央部は明るく周辺部は暗い点を各ソルダ
ボールの中心点座標として抽出し、その抽出したソルダ
ボールの中心点座標からBGAの傾きと中心を求めるこ
とを特徴とする。In order to achieve the above object, the BGA position recognition method by image processing of the present invention is a BGA which is sucked by a suction nozzle of a chip mounter as shown in FIGS. 12 and 13. The lower surface of the image is illuminated with scattered light to be imaged, at least the portion near the outer periphery of the image is scanned to find the coordinates of the center point of each solder ball candidate, and the calculated solder ball candidate point is located on the outer periphery of the image. In addition, it is characterized in that a point which is bright in the central part and dark in the peripheral part is extracted as the center point coordinates of each solder ball, and the inclination and center of the BGA are obtained from the extracted center point coordinates of the solder ball.
【0016】あるいは、上記BGAの下面を撮像した画
像の少なくとも4辺に近い部分を水平方向にフィルタリ
ングして、明るさが設定レベル以上の各ソルダボール候
補の中心点座標を求めるとともに、垂直方向にもフィル
タリニングして、明るさが設定レベル以上の各ソルダボ
ール候補の中心点座標を求め、その両方向のフィルタリ
ングにより求めた中心点座標がそれぞれ略一致する点を
各ソルダボールの中心点座標として抽出し、その抽出し
たソルダボールの中心点座標からBGAの傾きと中心を
求めることができる。Alternatively, a portion of at least four sides of an image of the lower surface of the BGA is filtered in the horizontal direction to obtain the center point coordinates of each solder ball candidate having a brightness equal to or higher than a set level, and in the vertical direction. Also performs filter lining to find the center point coordinates of each solder ball candidate whose brightness is above the set level, and extracts the points where the center point coordinates found by filtering in both directions are approximately the same as the center point coordinates of each solder ball. Then, the inclination and center of the BGA can be obtained from the extracted center point coordinates of the solder ball.
【0017】このBGAの位置認識方法において、上記
BGAの下面を撮像した画像の少なくとも4辺に近い部
分を水平方向にフィルタリングして各ソルダボール候補
の中心点座標を求めるとともに、垂直方向にもフィルタ
リングして各ソルダボール候補の中心点座標を求める際
に、各方向のフイルタリングにおいて各走査ライン毎に
求まった中心点座標を各ソルダボール候補毎にグループ
化して平均することによって、該各ソルダボール候補の
中心点座標を求めるとよい。In this BGA position recognizing method, at least a portion close to four sides of an image of the lower surface of the BGA is horizontally filtered to obtain center point coordinates of each solder ball candidate, and vertically filtered. Then, when the center point coordinates of each solder ball candidate are obtained, the center point coordinates obtained for each scanning line in the filtering in each direction are grouped for each solder ball candidate and averaged to obtain each solder ball candidate. It is better to find the coordinates of the center point of the candidate.
【0018】また、上記水平方向及び垂直方向のフイル
タリングに際し、上記BGAの下面を撮像した画像中の
ソルダボールの明るい部分がある一定の範囲でボケてい
るとみなして、テンプレートマッチングによりソルダボ
ールの画像部分に強く反応する特性を持つようにしたフ
ィルタを使用するのが望ましい。Further, when filtering the horizontal and vertical directions, it is considered that a bright portion of the solder ball in the image of the lower surface of the BGA is out of focus within a certain range, and template matching is performed for the solder ball. It is desirable to use a filter having a characteristic that strongly reacts with the image portion.
【0019】[0019]
【作用】この発明の画像処理によるBGAの位置認識方
法を実施すれば、BGAの下面を撮像した画像の少なく
とも外周に近い部分を走査して各ソルダボール候補の中
心点座標を求め、その求めたソルダボール候補点から画
像の外周にあり、かつ中央部は明るく周辺部は暗い点を
各ソルダボールの中心点座標として抽出するので、ソル
ダボール以外の部分を抽出することは殆どなくなり、そ
の抽出したソルダボールの中心点座標からBGAの傾き
と中心を正確に求めることができる。If the BGA position recognition method by image processing of the present invention is implemented, at least a portion of the image of the lower surface of the BGA near the outer periphery is scanned to obtain the coordinates of the center point of each solder ball candidate, and the obtained coordinates are obtained. The points that are on the outer periphery of the image from the candidate points of the solder ball, and the central part is bright and the peripheral part is dark are extracted as the coordinates of the central point of each solder ball, so it is almost impossible to extract the parts other than the solder ball. The inclination and center of the BGA can be accurately obtained from the coordinates of the center point of the solder ball.
【0020】また、撮像された多値画像データを水平方
向及び垂直方向にフィルタリングすることによって、明
るさが設定レベル以上の孤立領域をソルダボール候補と
してその各中心点座標を求め、両方向のフィルタリング
によって求めた中心点座標が略一致する点の座標のみを
ソルダボールの中心点座標として抽出すれば、下地の部
分にソルダボール以外の明るいパターンがあっても、そ
れを誤検出することなく、略円形のソルダボールの中心
点座標のみを得ることができる。Further, by filtering the picked-up multi-valued image data in the horizontal and vertical directions, the coordinates of each central point of the isolated area having the brightness equal to or higher than the set level are determined as the solder ball candidates, and the filtering is performed in both directions. By extracting only the coordinates of the points where the calculated center point coordinates are approximately the same as the center point coordinates of the solder ball, even if there is a bright pattern other than the solder ball in the base area, it will not be detected incorrectly Only the center point coordinates of the solder ball can be obtained.
【0021】このように、画像データをフィルタリング
してからソルダボールが存在している部分をボール候補
として抽出すれば、そのフィルタ特性を適切に選ぶこと
により、好ましくはテンプレートマッチングによりソル
ダボールの画像部分に強く反応する特性を持つフィルタ
を使用することにより、照明の多少の変動やむらがあっ
ても、その影響を受けることなく常に正確に位置認識を
行なうことができる。さらに、BGAの基板の材質や色
が変わっても、それに応じてフィルタの特性を変更する
ことにより、画像処理のアルゴリズムを変更することな
く、正確な位置認識を行なうことが可能である。As described above, after filtering the image data and extracting the portion where the solder ball is present as a ball candidate, the filter characteristic is appropriately selected, preferably the image portion of the solder ball by template matching. By using a filter having a characteristic that strongly reacts to, even if there is some fluctuation or unevenness of the illumination, it is possible to always perform accurate position recognition without being affected by it. Further, even if the material or color of the substrate of the BGA changes, by changing the characteristics of the filter accordingly, accurate position recognition can be performed without changing the image processing algorithm.
【0022】[0022]
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて具
体的に説明する。この発明を実施するチップマウンタの
BGAの位置認識部のハード構成は、図12及び図13
に示したものと同様であり、その画像処理ユニット8に
おけるBGAの位置を認識するための画像処理のアルゴ
リズムが異なる。この画像処理ユニット8におけるBG
Aの位置を認識するための画像処理を、図1のフローチ
ャートにしたがって説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. The hardware configuration of the BGA position recognition unit of the chip mounter for carrying out the present invention is as shown in FIGS.
The image processing algorithm for recognizing the position of the BGA in the image processing unit 8 is different from that shown in FIG. BG in this image processing unit 8
Image processing for recognizing the position A will be described with reference to the flowchart of FIG.
【0023】まず、図12及び図13に示したCCDカ
メラ6によって、吸着ノズル2に吸着されたBGA1を
略中央に捉えて撮像した多値(多階調)の画像データ、例
えば図15,図18,図22に示したような画像データ
を取り込んで画像メモリに格納する。そして、水平方向
及び垂直方向のフィルタリング処理を行なってから、そ
れぞれソルダボール(像)の中心点を求める走査処理を
行なうが、この実施例ではこれらの処理を必要な部分だ
け効率をよく行なえるようにするため、図2に示すよう
にBGA1の画像1iに対して4つのウインドウ10a
〜10dを設定している。First, the CCD camera 6 shown in FIGS. 12 and 13 captures the BGA 1 adsorbed by the adsorption nozzle 2 at substantially the center, and multi-valued (multi-gradation) image data, for example, FIG. 15, FIG. 18, the image data as shown in FIG. 22 is fetched and stored in the image memory. Then, horizontal and vertical filtering processes are performed, and then scanning processes for determining the center points of the solder balls (images) are performed. In this embodiment, these processes can be performed efficiently only in the necessary portions. In order to achieve this, as shown in FIG. 2, four windows 10a are provided for the image 1i of BGA1.
-10d is set.
【0024】この4つのウインドウ10a〜10dは、
BGA1の画像1iがある程度位置ずれ及び傾斜して
も、その上下左右の4辺の内側を所要の幅でカバーでき
るように設定し、その各ウインドウ内の画像データに対
してのみ、フィルタリング処理及びソルダボール(像)
の中心点を求めるための走査処理を実行する。図2内の
矢示Hは水平方向のフィルタリング方向を、矢示Vは垂
直方向のフィルタリング方向を示している。なお、図1
2に示した例では4つのウインドウ10a〜10dに重
複する部分がないようにしているが、ウインドう10
c,10dを上下方向に伸ばして、4隅で水平方向のウ
インドウと垂直方向のウインドウとが重複するようにし
てもよい。The four windows 10a-10d are
Even if the image 1i of the BGA1 is displaced or tilted to some extent, it is set to cover the inside of the four sides of the top, bottom, left, and right with a required width, and filtering processing and soldering are performed only on the image data in each window Ball (statue)
The scanning process is performed to find the center point of. The arrow H in FIG. 2 indicates the horizontal filtering direction, and the arrow V indicates the vertical filtering direction. FIG.
In the example shown in FIG. 2, the four windows 10a to 10d have no overlapping portion, but the window 10
It is also possible to extend c and 10d in the vertical direction so that the horizontal window and the vertical window overlap at the four corners.
【0025】そこで、先ず図2の上辺のウインドウ10
a内の画像データに対して水平方向のフィルタリング処
理を行なう。このフィルタリングに使用するフィルタ
は、テンプレートマッチングによりソルダボールの画像
(特に直径部分)に強く反応する特性を有するように設
計されているが、それについては後述する。そして、図
3に示すように、水平方向の各走査の1ライン中のボー
ル候補S′(明るさが設定レベル以上の孤立領域)の中
心点(エッジ間の中点)Ch を検出する。Therefore, first, the window 10 on the upper side of FIG.
The horizontal filtering process is performed on the image data in a. The filter used for this filtering is designed to have a characteristic of strongly reacting to the image of the solder ball (particularly the diameter portion) by template matching, which will be described later. Then, as shown in FIG. 3, the center point (midpoint between edges) Ch of the ball candidate S '(isolated area whose brightness is equal to or higher than a set level) in one line of each horizontal scanning is detected.
【0026】この処理を1辺のウインドウ(最初は上辺
のウインドウ10a)分終了するまで行ないながら、図
3に示すように各走査ライン毎に求まった中心点Ch を
ボール候補S′毎にグループ化する。すなわち、フィル
タリング方向と略直交する方向である垂直方向に連続し
てしている各中心点Ch をグループ化する。そのグルー
プ化の結果は図5にも示すようになる。これらの各中心
点はX,Y座標値として検出される。While this process is repeated until the window of one side (the window 10a of the upper side at the beginning) is completed, the center points Ch found for each scanning line are grouped for each ball candidate S'as shown in FIG. To do. That is, the center points Ch that are continuous in the vertical direction that is substantially orthogonal to the filtering direction are grouped. The result of the grouping is also shown in FIG. Each of these center points is detected as an X, Y coordinate value.
【0027】次いで、各グループの中心点の数が一定範
囲内になっているグループを抽出する。この時ラインが
何本連続しているかをカウントして、その本数すなわち
グループの中心点の数がソルダボールの直径を越える画
素数(例えば6)より多いもの、あるいは極端に少ない
(例えば1個)ものは、ソルダボールの画像内の点では
ないと判断して除去するためである。Then, a group in which the number of center points of each group is within a certain range is extracted. At this time, the number of continuous lines is counted, and the number, that is, the number of center points of the group is larger than the number of pixels (for example, 6) exceeding the diameter of the solder ball, or extremely small (for example, 1). This is because it is determined that the point is not a point in the image of the solder ball and is removed.
【0028】そして、抽出した各グループ毎にその中心
点Ch の座標の平均を求める。これによって、図3の右
側に示すようにボール候補S′の水平方向の略直径上の
中心点Ch0の座標(xh,yh)が求まる。このグルー
プの各中心点Ch の座標がそれぞれ(x1,y1),(x
2,y2),(x3,y3)であった場合、 xh=(x1+x2+x3)/3 yh=(y1+y2+y3)/3 の演算によって求められる。Then, the average of the coordinates of the center point Ch of each extracted group is obtained. As a result, as shown on the right side of FIG. 3, the coordinates (xh, yh) of the central point Ch 0 on the substantially horizontal diameter of the ball candidate S ′ are obtained. The coordinates of each central point Ch of this group are (x1, y1), (x
2, y2), (x3, y3), xh = (x1 + x2 + x3) / 3 yh = (y1 + y2 + y3) / 3
【0029】次に、上記と同じウインドウ10a内の画
像データに対して垂直方向のフィルタリングを行なった
後、図4に示すように垂直方向の各走査の1ライン中の
ボール候補S′の中心点Cv を検出する。Next, after vertically filtering the image data in the same window 10a as described above, as shown in FIG. 4, the center point of the ball candidate S'in one line of each vertical scan. Detect Cv.
【0030】この処理を1辺のウインドウ(最初は上辺
のウインドウ10a)分終了するまで行ないながら、図
4に示すように各走査ライン毎に求まった中心点Cv を
ボール候補S′毎にグループ化する。すなわち、フィル
タリング方向と略直交する方向である水平方向に連続し
ている各中心点Cv をグループ化する。そのグループ化
の結果は図6にも示すようになる。これらの各中心点は
X,Y座標値として検出される。While this process is repeated for one side window (the upper side window 10a first), the center points Cv found for each scanning line are grouped for each ball candidate S'as shown in FIG. To do. That is, the center points Cv that are continuous in the horizontal direction, which is a direction substantially orthogonal to the filtering direction, are grouped. The result of the grouping is also shown in FIG. Each of these center points is detected as an X, Y coordinate value.
【0031】そして、各グループの中心点の数が一定範
囲内になっているグループを抽出し、その抽出した各グ
ループ毎にその中心点Cv の座標の平均を求める。これ
によって、図4の右側に示すようにボール候補S′の垂
直方向の略直径上の中心点Cv0の座標(xv,yv)が
前述の水平方向の場合と同様にして求まる。Then, a group in which the number of center points of each group is within a certain range is extracted, and the average of the coordinates of the center point Cv is calculated for each extracted group. As a result, as shown on the right side of FIG. 4, the coordinates (xv, yv) of the center point Cv 0 on the substantially vertical diameter of the candidate ball S ′ are obtained in the same manner as in the horizontal direction described above.
【0032】その後、図1のステップAで求めた水平方
向フィルタリングに基づく平均座標(xh,yh)とス
テップBで求めた垂直方向フィルタリングに基づく平均
座標(xv,yv)の差、すなわち図7に示す点Ch0の
座標(xh,yh)と点Cv0の座標(xv,yv)間
の距離dが、一定値(かなり小さい値)以下のペアのみ
を抽出する。これは、ソルダボールの像は円形な筈であ
るから、もしソルダボールの像であればこの2つの方向
から求めた座標間には殆ど差がないはずであるから、こ
れによってソルダボールの像の中心座標のみを抽出する
ことができる。Thereafter, the difference between the average coordinates (xh, yh) based on the horizontal filtering obtained in step A of FIG. 1 and the average coordinates (xv, yv) obtained from the vertical filtering obtained in step B, that is, in FIG. Only pairs in which the distance d between the coordinates (xh, yh) of the point Ch 0 and the coordinates (xv, yv) of the point Cv 0 shown below are equal to or less than a fixed value (a considerably small value) are extracted. This is because the image of the solder ball should be circular, so if there is an image of the solder ball, there should be almost no difference between the coordinates obtained from these two directions. Only the central coordinates can be extracted.
【0033】その抽出した各ペアの座標から各ソルダボ
ール(像)の中心点の座標を求めるには、平均座標のペ
アのいずれか一方の座標を選択するか、両座標値の平均
を取ればよい。さらに、このようにして求めたウインド
ウ10a内のソルダボールの各中心点座標を画像の外側
から内側にサーチして、BGAの外周にあるソルダボー
ルの中心点座標を抽出する。To find the coordinates of the center point of each solder ball (image) from the extracted coordinates of each pair, either one of the pairs of average coordinates is selected or the average of both coordinate values is taken. Good. Further, the center point coordinates of each solder ball in the window 10a thus obtained are searched from the outside to the inside of the image to extract the center point coordinates of the solder ball on the outer periphery of the BGA.
【0034】このような水平方向フィルタリングからの
処理を、図2に示した各辺のウインドウ10a〜10d
内の各画像データに対して順次実行し、4辺のウインド
ウ分の処理を終了すると、次のステップへ進む。これま
での処理で、BGAの4辺の各外周にあるソルダボール
(像)の中心点座標群が得られたので、それによってB
GAの傾きと中心を求める。すなわち、図14に示した
従来の処理方法と同様に、ソルダボールの各中心点(座
標)群から、最小二乗法により得られる直線の傾きによ
りBGAの傾きを、その外周に沿うソルダボールの各中
心点座標の平均からBGAの中心座標を求めることがで
きる。The processing from such horizontal filtering is performed by the windows 10a to 10d on each side shown in FIG.
When each image data in the image data is sequentially executed and the processing for the four side windows is completed, the process proceeds to the next step. By the processing so far, the central point coordinate groups of the solder balls (images) on the outer circumferences of the four sides of the BGA are obtained.
Determine the slope and center of GA. That is, similar to the conventional processing method shown in FIG. 14, the BGA inclination is calculated from the center points (coordinates) of the solder balls by the method of least squares, and the BGA inclination is calculated from the center points (coordinates) of the solder balls. The center coordinates of the BGA can be obtained from the average of the center point coordinates.
【0035】ここで、フィルタリングについて説明す
る。例えば、BGAの基板が明るい色の場合の図18及
び図19に示したような画像データの一列のソルダボー
ルの像の各中心を通るラインAの信号レベルは、図8の
(a)のように変化する。この波形の高いピークはソル
ダボールの像の中央部であり、少し低いピークは基板部
分、谷の部分はソルダボール像の周辺部である。このよ
うに、ソルダボールの像は中央部は明るいがその周辺部
はドーナツ状の暗い部分となる。Here, the filtering will be described. For example, when the BGA substrate has a bright color, the signal level of the line A passing through each center of the image of the solder balls in one row of image data as shown in FIGS. 18 and 19 is as shown in FIG. Changes to. The high peak of this waveform is the center of the solder ball image, the slightly lower peak is the substrate portion, and the valley is the peripheral portion of the solder ball image. In this way, the image of the solder ball has a bright central part, but a donut-shaped dark part in the peripheral part.
【0036】この画像データをフィルタリングすること
によって、図8の(b)に示すようにソルダボールの像
の中央部にのみピークが現れる信号波形にすることがで
きる。それによって、その後のソルダボールの像の抽出
及びその中心点の座標を求める処理を容易且つ確実に行
なうことができる。By filtering this image data, it is possible to obtain a signal waveform in which a peak appears only in the central portion of the image of the solder ball as shown in FIG. 8B. Thereby, the subsequent process of extracting the image of the solder ball and obtaining the coordinates of the center point thereof can be performed easily and reliably.
【0037】このフィルタリングには1次元フィルタを
使用するが、任意にその特性を変更できる電子フィルタ
を用いるとよく、その特性として、撮像した画像中のソ
ルダボールの明るい部分がある一定の範囲でボケている
とみなして、テンプレートマッチングによりソルダボー
ルの画像部分に強く反応する特性を持つようにするとよ
い。Although a one-dimensional filter is used for this filtering, it is preferable to use an electronic filter whose characteristics can be arbitrarily changed. As a characteristic, a bright portion of the solder ball in the captured image is blurred in a certain range. Therefore, it is preferable to have a characteristic that strongly reacts to the image portion of the solder ball by template matching.
【0038】図9はガウシアンフィルタの特性曲線の例
を示し、(a)は数1の特性を有し、(b)は数2の特
性を有する。これらの式において、 σ1=ソルダボールの直径/4, σ2=ソルダボール
の直径/2 であり、これはソルダボールの像のボケを示したもの
で、目的のソルダボールは(a)のボケと(b)のボケ
の間でボケて存在していると考えて、f1とf2の差分を
1個のソルダボールのフィルタとする。実際には、f1
とf2の差分にソルダボールの配列をたたみ込ませて、
ソルダボール数個分のフィルタにしてから安定性をます
形の特性にする。f1とf2の差分とソルダボールの配列
をフィルタにしているので、ソルダボール以外のデータ
を取り除くことができる。FIG. 9 shows an example of the characteristic curve of the Gaussian filter. (A) has the characteristic of equation (1) and (b) has the characteristic of equation (2). In these formulas, σ1 = solder ball diameter / 4, σ2 = solder ball diameter / 2, which shows the blur of the image of the solder ball. The target solder ball is the blur of (a). The difference between f 1 and f 2 is considered to be a blur between the blurs in (b), and the difference between f 1 and f 2 is used as one solder ball filter. In fact, f 1
And fold the difference of f 2 into the array of solder balls,
The filter is made up of several solder balls and then the stability is made more and more characteristic. Since the difference between f 1 and f 2 and the array of solder balls are used as a filter, data other than the solder balls can be removed.
【0039】[0039]
【数1】 [Equation 1]
【0040】[0040]
【数2】 [Equation 2]
【0041】このような1次元フィルタを、位置認識す
るBGAの基板の色やソルダボールの大きさに応じて複
数種類用意しておいて、それらを切り替えて使用するよ
うにするとよい。上記実施例では、フィルタリング処理
及びソルダボール候補の抽出並びにその中心座標を求め
る処理を、図2に示したウインドウ内の画像データに対
してのみ行なうようにして処理効率を高めたが、取り込
んだ画像データ全体に対して同様な処理を行なっても、
勿論BGAの位置を正確に認識することはできる。It is advisable to prepare a plurality of such one-dimensional filters according to the color of the BGA substrate for which the position is to be recognized and the size of the solder balls, and switch and use them. In the above embodiment, the filtering process, the extraction of the solder ball candidates, and the process of obtaining the center coordinates thereof are performed only for the image data in the window shown in FIG. 2 to improve the processing efficiency. Even if the same processing is performed on the entire data,
Of course, the position of BGA can be accurately recognized.
【0042】[0042]
【発明の効果】以上説明してきたように、この発明の位
置認識方法によれば、チップマウンタの吸着ノズルに吸
着されたBGAの位置(傾きも含む)を、BGAの基板
がセラミック等の明るい色のものであっても、あるいは
基板上にソルダボール以外の明るいパターンがあって
も、常に正確に認識することができる。また、画像デー
タをフィルタリングする際のフィルタ特性を適切に選ぶ
ことにより、照明に多少の変動やむらがあっても、その
影響を受けることなく正確な位置認識を行なうことがで
きる。As described above, according to the position recognition method of the present invention, the position (including the inclination) of the BGA adsorbed by the adsorption nozzle of the chip mounter indicates the bright color of the BGA substrate such as ceramic. Even if there is a bright pattern other than the solder ball on the substrate, it can always be recognized accurately. Further, by appropriately selecting the filter characteristic when filtering the image data, even if there is some variation or unevenness in the illumination, accurate position recognition can be performed without being affected by it.
【図1】この発明の一実施例の画像処理ユニットにおけ
るBGAの位置を認識するための画像処理のフロー図で
ある。FIG. 1 is a flow chart of image processing for recognizing a position of a BGA in an image processing unit according to an embodiment of the present invention.
【図2】この実施例で使用する4辺のウインドウの説明
図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a four-sided window used in this embodiment.
【図3】水平方向のフィルタリングに基づく各走査ライ
ン毎のソルダボール候補の中心座標及びグループの平均
座標を求める処理の説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a process of obtaining a center coordinate of a solder ball candidate and an average coordinate of a group for each scanning line based on horizontal filtering.
【図4】垂直方向のフィルタリングに基づく各走査ライ
ン毎のソルダボール候補の中心座標及びグループの平均
座標を求める処理の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a process of obtaining a center coordinate of a solder ball candidate and an average coordinate of a group for each scanning line based on vertical filtering.
【図5】水平方向のフィルタリングに基づいて各ソルダ
ボール候補内で求まった複数の中心座標及びそのグルー
プ化の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of a plurality of center coordinates found in each solder ball candidate based on horizontal filtering and grouping thereof.
【図6】垂直方向のフィルタリングに基づいて各ソルダ
ボール候補内で求まった複数の中心座標及びそのグルー
プ化の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a plurality of center coordinates found in each solder ball candidate based on vertical filtering and grouping thereof.
【図7】水平方向と垂直方向から求めたソルダボール候
補の中心点座標間の距離の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a distance between center point coordinates of solder ball candidates obtained from a horizontal direction and a vertical direction.
【図8】この発明の実施例によるフィルタリング処理の
説明に供する画像データの信号レベル分布を示す図であ
る。FIG. 8 is a diagram showing a signal level distribution of image data for explaining a filtering process according to the embodiment of the present invention.
【図9】同じくそのフィルタの特性の説明に供する線図
である。FIG. 9 is a diagram for similarly explaining the characteristics of the filter.
【図10】BGAの一例を示す側面図である。FIG. 10 is a side view showing an example of a BGA.
【図11】同じくその下面図である。FIG. 11 is a bottom view of the same.
【図12】チップマウンタにおけるBGAの位置認識部
の概略構成を示す正面図である。FIG. 12 is a front view showing a schematic configuration of a BGA position recognition unit in the chip mounter.
【図13】同じくその斜め上方から見た斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of the same as seen from diagonally above.
【図14】図12及び図13の画像処理ユニット8にお
ける従来のBGAの位置認識処理の例を示すフロー図で
ある。FIG. 14 is a flowchart showing an example of conventional BGA position recognition processing in the image processing unit 8 of FIGS. 12 and 13;
【図15】図12及び図13のCCDカメラ6によって
撮像された画像データの例を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing an example of image data captured by the CCD camera 6 of FIGS. 12 and 13.
【図16】図15の画像データを2値化した2値画像デ
ータの例を示す図である。16 is a diagram showing an example of binary image data obtained by binarizing the image data of FIG.
【図17】図16に示した2値画像データのエッジ検出
の説明図である。17 is an explanatory diagram of edge detection of the binary image data shown in FIG.
【図18】BGAの基板がセラミックのような白っぽい
色だった場合の撮像された画像データを示す図である。FIG. 18 is a diagram showing captured image data when the BGA substrate has a whitish color such as ceramic.
【図19】同じくその一部拡大図である。FIG. 19 is a partially enlarged view of the same.
【図20】図19のラインAに沿う輝度分布を示す線図
である。20 is a diagram showing a luminance distribution along a line A in FIG.
【図21】同じくその2値画像データのエッジ検出の説
明図である。FIG. 21 is an explanatory diagram of edge detection of the binary image data.
【図22】BGAの基板上に明るいパターンが存在して
いる場合の撮像された画像データを示す図である。FIG. 22 is a diagram showing captured image data in the case where a bright pattern exists on the substrate of BGA.
【図23】同じくその一部拡大図である。FIG. 23 is a partially enlarged view of the same.
【図24】図23のラインBに沿う輝度分布を示す線図
である。FIG. 24 is a diagram showing a luminance distribution along line B in FIG. 23.
【図25】同じくその2値画像データのエッジ検出の説
明図である。FIG. 25 is an explanatory diagram of edge detection of the binary image data.
1:BGA 1i:BGAの画像 2:吸着ノズル 3:LED 4:照明装置 5:散乱板 6:CCDカメラ 7:黒い板 8:画像処理ユニット 10a〜10d:ウインドウ 11:基板 12:半導体集積回路 13:モールド樹脂 14:ソルダボール 1: BGA 1i: BGA image 2: Adsorption nozzle 3: LED 4: Lighting device 5: Scattering plate 6: CCD camera 7: Black plate 8: Image processing unit 10a to 10d: Window 11: Substrate 12: Semiconductor integrated circuit 13 : Mold resin 14: Solder ball
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G01B 11/26 H G06T 1/00 H05K 13/08 Q 8315−4E G06F 15/64 325 F ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location G01B 11/26 H G06T 1/00 H05K 13/08 Q 8315-4E G06F 15/64 325 F
Claims (4)
ボールを2次元のアレイ状に配設した表面実装型LSI
バッケージであるBGAを吸着ノズルで吸着し、そのB
GAの位置を画像処理によって認識する方法であって、 前記吸着ノズルに吸着されたBGAの下面を散乱光によ
って照明して撮像し、 その画像の少なくとも外周に近い部分を走査して、各ソ
ルダボール候補の中心点座標を求め、 その求めたソルダボール候補点から演算により画像の外
周にあり、かつ中央部は明るく周辺部は暗い点を前記各
ソルダボールの中心点座標として抽出し、 該抽出したソルダボールの中心点座標からBGAの傾き
と中心を求めることを特徴とする画像処理によるBGA
の位置認識方法。1. A surface mount type LSI in which a large number of solder balls are arranged in a two-dimensional array in a chip mounter.
BGA, which is a package, is adsorbed by the adsorption nozzle and the B
A method of recognizing the position of the GA by image processing, wherein the lower surface of the BGA adsorbed by the adsorption nozzle is illuminated with scattered light to be imaged, and at least a portion near the outer periphery of the image is scanned to determine each solder ball. The coordinates of the center points of the candidates are calculated, and points that are on the outer periphery of the image and are bright in the central part and dark in the peripheral parts are extracted as the coordinates of the center points of the respective solder balls by calculation from the calculated solder ball candidate points. BGA by image processing characterized by obtaining the inclination and center of the BGA from the coordinates of the center point of the solder ball
Position recognition method.
ボールを2次元のアレイ状に配設した表面実装型LSI
バッケージであるBGAを吸着ノズルで吸着し、そのB
GAの位置を画像処理によって認識する方法であって、 前記吸着ノズルに吸着されたBGAの下面を散乱光によ
って照明して撮像し、 その画像の少なくとも4辺に近い部分を水平方向にフィ
ルタリングして、明るさが設定レベル以上の各ソルダボ
ール候補の中心点座標を求めるとともに、垂直方向にも
フィルタリニングして、明るさが設定レベル以上の各ソ
ルダボール候補の中心点座標を求め、 その両方向のフィルタリングにより求めた中心点座標が
それぞれ略一致する点を前記各ソルダボールの中心点座
標として抽出し、 該抽出したソルダボールの中心点座標からBGAの傾き
と中心を求めることを特徴とする画像処理によるBGA
の位置認識方法。2. A surface mount type LSI in which a large number of solder balls are arranged in a two-dimensional array in a chip mounter.
BGA, which is a package, is adsorbed by the adsorption nozzle and the B
A method of recognizing the position of GA by image processing, illuminating the lower surface of BGA adsorbed by the adsorption nozzle with scattered light to capture an image, and horizontally filtering at least a portion close to four sides of the image. , The center point coordinates of each solder ball candidate whose brightness is above the set level are found, and the center point coordinates of each solder ball candidate whose brightness is above the set level are found by filtering in the vertical direction as well. Image processing characterized in that points at which the coordinates of the center points obtained by filtering are substantially the same are extracted as the coordinates of the center points of the solder balls, and the inclination and center of the BGA are calculated from the coordinates of the center points of the extracted solder balls. By BGA
Position recognition method.
おいて、前記撮像した画像の少なくとも4辺に近い部分
を水平方向にフィルタリングして各ソルダボール候補の
中心点座標を求めるとともに、垂直方向にもフィルタリ
ングして各ソルダボール候補の中心点座標を求める際
に、各方向のフイルタリングにおいて各走査ライン毎に
求まった中心点座標を前記各ソルダボール候補毎にグル
ープ化して平均することによって、該各ソルダボール候
補の中心点座標を求めることを特徴とする画像処理によ
るBGAの位置認識方法。3. The BGA position recognition method according to claim 2, wherein a portion near at least four sides of the captured image is horizontally filtered to obtain center point coordinates of each solder ball candidate, and vertically. When filtering the center point coordinates of each solder ball candidate by filtering, the center point coordinates found for each scanning line in the filtering in each direction are grouped for each solder ball candidate and averaged. A BGA position recognition method by image processing, characterized in that the coordinates of the center point of each solder ball candidate are obtained.
GAの位置認識方法において、前記水平方向及び垂直方
向のフイルタリングに際し、前記撮像した画像中のソル
ダボールの明るい部分がある一定の範囲でボケていると
みなして、テンプレートマッチングによりソルダボール
の画像部分に強く反応する特性を持つようにしたフイル
タを使用することを特徴とする画像処理によるBGAの
位置認識方法。4. The image processing B according to claim 2 or 3.
In the position recognition method of GA, when filtering in the horizontal and vertical directions, it is considered that a bright portion of the solder ball in the captured image is out of focus within a certain range, and the image portion of the solder ball is subjected to template matching. A method of recognizing a position of a BGA by image processing, which comprises using a filter having a characteristic of strongly reacting to.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6283870A JPH08147468A (en) | 1994-11-17 | 1994-11-17 | Position recognizing method for bag by image processing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6283870A JPH08147468A (en) | 1994-11-17 | 1994-11-17 | Position recognizing method for bag by image processing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08147468A true JPH08147468A (en) | 1996-06-07 |
Family
ID=17671247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6283870A Pending JPH08147468A (en) | 1994-11-17 | 1994-11-17 | Position recognizing method for bag by image processing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08147468A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6608921B1 (en) | 1998-08-21 | 2003-08-19 | Nec Electronics Corporation | Inspection of solder bump lighted with rays of light intersecting at predetermined angle |
JP2008004843A (en) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Juki Corp | Component positioning method and device |
CN105865329A (en) * | 2016-03-31 | 2016-08-17 | 河北科技大学 | Vision-based acquisition system for end surface center coordinates of bundles of round steel and acquisition method thereof |
JP2017096690A (en) * | 2015-11-19 | 2017-06-01 | 株式会社大林組 | Long material positioning support device |
-
1994
- 1994-11-17 JP JP6283870A patent/JPH08147468A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6608921B1 (en) | 1998-08-21 | 2003-08-19 | Nec Electronics Corporation | Inspection of solder bump lighted with rays of light intersecting at predetermined angle |
JP2008004843A (en) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Juki Corp | Component positioning method and device |
JP2017096690A (en) * | 2015-11-19 | 2017-06-01 | 株式会社大林組 | Long material positioning support device |
CN105865329A (en) * | 2016-03-31 | 2016-08-17 | 河北科技大学 | Vision-based acquisition system for end surface center coordinates of bundles of round steel and acquisition method thereof |
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