JPH08146615A - 現像液 - Google Patents
現像液Info
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- JPH08146615A JPH08146615A JP29134094A JP29134094A JPH08146615A JP H08146615 A JPH08146615 A JP H08146615A JP 29134094 A JP29134094 A JP 29134094A JP 29134094 A JP29134094 A JP 29134094A JP H08146615 A JPH08146615 A JP H08146615A
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- additive
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- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】各色フィルタをパターニングするに際し、バリ
や残渣の発生を防止する。 【構成】各色フィルタ２Ｒ，２Ｇ，２Ｂは、フォトリソ
グラフィ法によって形成し、具体的には、光露光後に現
像液を塗布してパターニングを行なう。この現像液に、
例えば水分を１．５〜３．０％程度混入させることによ
り、バリや残渣の発生を防止して、適正な矩形断面の各
色フィルタ２Ｒ，…を得る。
や残渣の発生を防止する。 【構成】各色フィルタ２Ｒ，２Ｇ，２Ｂは、フォトリソ
グラフィ法によって形成し、具体的には、光露光後に現
像液を塗布してパターニングを行なう。この現像液に、
例えば水分を１．５〜３．０％程度混入させることによ
り、バリや残渣の発生を防止して、適正な矩形断面の各
色フィルタ２Ｒ，…を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的には、フォトリ
ソグラフィ法に用いる現像液に係り、詳しくはバリや残
渣の発生を防止した現像液に関する。
ソグラフィ法に用いる現像液に係り、詳しくはバリや残
渣の発生を防止した現像液に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、カラー表示を行なう液晶表示
素子が種々の分野で利用されている。この液晶表示素子
は、図１に示すように、ガラス基板１を備えており、こ
のガラス基板１の表面には、矩形断面をした３色（赤緑
青）の各色フィルタ２Ｒ，２Ｇ，２Ｂがそれぞれ所定の
間隙ｄを開けて形成されている。そして、これらのフィ
ルタ２Ｒ，…によってカラーフィルタ層３が構成されて
いる。
素子が種々の分野で利用されている。この液晶表示素子
は、図１に示すように、ガラス基板１を備えており、こ
のガラス基板１の表面には、矩形断面をした３色（赤緑
青）の各色フィルタ２Ｒ，２Ｇ，２Ｂがそれぞれ所定の
間隙ｄを開けて形成されている。そして、これらのフィ
ルタ２Ｒ，…によってカラーフィルタ層３が構成されて
いる。
【０００３】ところで、これらの各色フィルタ２Ｒ，…
はフォトリソグラフィ法によるパターニングによって形
成されている。以下、このフォトリソグラフィ法につい
て、各工程毎に説明する。 〈遮光層形成工程〉上述した間隙ｄに相当する部分に、
各色フィルタ２Ｒ，…を形成する前に予め金属製の遮光
層（不図示）を形成する。この遮光層は、各色フィルタ
２Ｒ，…の周囲を遮光するためのものであるが、３色全
部のフィルタ２Ｒ，…を形成した後に形成するようにし
てもよい。 〈フィルタ膜塗布工程〉本工程においては、感光性樹脂
溶液をスピンナーで塗布し、ガラス基板１の全面に１．
５ｍｍの厚さの膜（フィルタ膜）を形成する。なお、こ
の感光性樹脂溶液はポリアミド樹脂を主成分としたもの
であり、該溶液中には各色（赤緑青）の顔料が分散され
ている。 〈プリベーク工程〉上述のようにフィルタ膜を形成した
ガラス基板１を８０℃の温度で１０分間だけ加熱する。
この加熱にはホットプレートを用いる。なお、加熱の条
件は、形成したフィルタ膜の色やカラーフィルタ層のパ
ターンによって多少調整される。 〈露光工程〉プリベーク終了後、フォトマスクを用いて
部分露光を行ない、所望のパターンの潜像をフィルタ膜
に形成する。露光光量は、６００ｍＪ程度であるが、上
述の加熱条件と同様にフィルタ膜の色に応じて多少調整
する。 〈現像工程〉露光終了後、ポリアミドの現像液（主成分
γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3ＣＨ2 ＯＣＨ2 ＣＨ2
ＯＨ））を塗布して現像を行ない、所定パターンをも
つ各色フィルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）を形成する。
図２は、本工程の概略を示す図であるが、本工程におい
ては、コンベヤ５によってガラス基板１が搬送され、現
像に関する各処理が施されるようになっている。すなわ
ち、まず、ガラス基板１にはパドル装置６によって現像
液７が塗布され、パドル現像が行なわれる。次に、ガラ
ス基板１には、上下から現像液が噴霧されシャワー現像
が行なわれる。これらの現像により、ガラス基板１の全
面に形成されていたフィルタ膜は所定形状にパターニン
グされて各色フィルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）が形成
されることとなる。そして、さらにガラス基板１にはメ
ガソニック（ＭＳ）シャワーが施され、ガラス基板上の
残渣が完全に除去される。その後、ガラス基板１からの
現像液の除去やリンスが行なわれる。
はフォトリソグラフィ法によるパターニングによって形
成されている。以下、このフォトリソグラフィ法につい
て、各工程毎に説明する。 〈遮光層形成工程〉上述した間隙ｄに相当する部分に、
各色フィルタ２Ｒ，…を形成する前に予め金属製の遮光
層（不図示）を形成する。この遮光層は、各色フィルタ
２Ｒ，…の周囲を遮光するためのものであるが、３色全
部のフィルタ２Ｒ，…を形成した後に形成するようにし
てもよい。 〈フィルタ膜塗布工程〉本工程においては、感光性樹脂
溶液をスピンナーで塗布し、ガラス基板１の全面に１．
５ｍｍの厚さの膜（フィルタ膜）を形成する。なお、こ
の感光性樹脂溶液はポリアミド樹脂を主成分としたもの
であり、該溶液中には各色（赤緑青）の顔料が分散され
ている。 〈プリベーク工程〉上述のようにフィルタ膜を形成した
ガラス基板１を８０℃の温度で１０分間だけ加熱する。
この加熱にはホットプレートを用いる。なお、加熱の条
件は、形成したフィルタ膜の色やカラーフィルタ層のパ
ターンによって多少調整される。 〈露光工程〉プリベーク終了後、フォトマスクを用いて
部分露光を行ない、所望のパターンの潜像をフィルタ膜
に形成する。露光光量は、６００ｍＪ程度であるが、上
述の加熱条件と同様にフィルタ膜の色に応じて多少調整
する。 〈現像工程〉露光終了後、ポリアミドの現像液（主成分
γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3ＣＨ2 ＯＣＨ2 ＣＨ2
ＯＨ））を塗布して現像を行ない、所定パターンをも
つ各色フィルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）を形成する。
図２は、本工程の概略を示す図であるが、本工程におい
ては、コンベヤ５によってガラス基板１が搬送され、現
像に関する各処理が施されるようになっている。すなわ
ち、まず、ガラス基板１にはパドル装置６によって現像
液７が塗布され、パドル現像が行なわれる。次に、ガラ
ス基板１には、上下から現像液が噴霧されシャワー現像
が行なわれる。これらの現像により、ガラス基板１の全
面に形成されていたフィルタ膜は所定形状にパターニン
グされて各色フィルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）が形成
されることとなる。そして、さらにガラス基板１にはメ
ガソニック（ＭＳ）シャワーが施され、ガラス基板上の
残渣が完全に除去される。その後、ガラス基板１からの
現像液の除去やリンスが行なわれる。
【０００４】なお、本工程に用いられる現像液は感光性
樹脂に応じて選択されるが、従来より、この現像液には
添加物は加えられていなかった。特に、溶剤系の現像液
の場合は、添加物を加えない方がよいとされていた。 〈ポストベーク工程〉現像工程終了後のガラス基板１
を、２５０℃の温度で１０分間だけホットプレートで焼
成する。
樹脂に応じて選択されるが、従来より、この現像液には
添加物は加えられていなかった。特に、溶剤系の現像液
の場合は、添加物を加えない方がよいとされていた。 〈ポストベーク工程〉現像工程終了後のガラス基板１
を、２５０℃の温度で１０分間だけホットプレートで焼
成する。
【０００５】以上の工程を経ることにより１色のフィル
タ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）がパターニング形成される
が、図１に示すように３色の各色フィルタ２Ｒ，２Ｇ，
２Ｂを形成するためには、これらの工程を３回繰り返
す。
タ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）がパターニング形成される
が、図１に示すように３色の各色フィルタ２Ｒ，２Ｇ，
２Ｂを形成するためには、これらの工程を３回繰り返
す。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した現
像液の品質は経時的に変化するものであることから、現
像条件を適正に保つことが困難で、図３に示すようなバ
リＡがフィルタ２Ｒ，…のエッジ部に発生したり、残渣
Ｂが発生したりしていた。
像液の品質は経時的に変化するものであることから、現
像条件を適正に保つことが困難で、図３に示すようなバ
リＡがフィルタ２Ｒ，…のエッジ部に発生したり、残渣
Ｂが発生したりしていた。
【０００７】このカラーフィルタ層３の表面にはパッシ
ベーション層（不図示）が形成されるが、バリＡによっ
て生ずる凹凸のためにパッシベーション層の塗布厚さが
不均一となって該層の平坦化が阻害され、液晶表示素子
の表示品質を低下させてしまう等の問題があった。ま
た、バリＡが発生していると、加熱に伴って各色フィル
タ２Ｒ，…が剥れたり浮き上がったりしてしまうという
問題があった。
ベーション層（不図示）が形成されるが、バリＡによっ
て生ずる凹凸のためにパッシベーション層の塗布厚さが
不均一となって該層の平坦化が阻害され、液晶表示素子
の表示品質を低下させてしまう等の問題があった。ま
た、バリＡが発生していると、加熱に伴って各色フィル
タ２Ｒ，…が剥れたり浮き上がったりしてしまうという
問題があった。
【０００８】また、現像条件を弱めると、バリＡの発生
は抑制されるものの残渣Ｂが発生し易かった。例えば、
１色目のフィルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）を形成する
際に残渣Ｂが発生してしまうと、２色目や３色目のフィ
ルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）のガラス基板１への付着
力が低下してしまい、これらのフィルタ２Ｒ，…が剥れ
易くなるという問題があった。また、パッシベーション
層とフィルタ２Ｒ，…との付着力が弱まり、該層が剥れ
易くなるという問題という問題もあった。
は抑制されるものの残渣Ｂが発生し易かった。例えば、
１色目のフィルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）を形成する
際に残渣Ｂが発生してしまうと、２色目や３色目のフィ
ルタ（２Ｒ又は２Ｇ又は２Ｂ）のガラス基板１への付着
力が低下してしまい、これらのフィルタ２Ｒ，…が剥れ
易くなるという問題があった。また、パッシベーション
層とフィルタ２Ｒ，…との付着力が弱まり、該層が剥れ
易くなるという問題という問題もあった。
【０００９】そこで、本発明は、現像液に所定の添加材
を添加することにより、バリや残渣の発生を防止する現
像液を提供することを目的とするものである。
を添加することにより、バリや残渣の発生を防止する現
像液を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みなされたものであって、部分露光したフィルタ膜に塗
布することにより該フィルタ膜のパターニングを行なう
現像液に関するものであり、特に、前記パターニングさ
れたフィルタ膜にバリや残渣が発生しないように、前記
現像液に添加材を加えた、ことを特徴とする。この場
合、前記添加材がトリエチレングリコールであってもよ
い。ここで、前記トリエチレングリコールの添加される
割合が２％程度である、ようにすると好ましい。また、
前記添加材が水分であってもよい。この場合、前記水分
の添加される割合が１．５〜３．０％の範囲内である、
ようにすると好ましい。さらに、前記添加材が、前記フ
ィルタ膜と同じ材質であってもよい。具体的には、前記
添加材が、ポリアミド樹脂であってもよい。その場合、
前記添加材の添加される割合が１．５〜５．０％の範囲
内である、ようにすると好ましい。
みなされたものであって、部分露光したフィルタ膜に塗
布することにより該フィルタ膜のパターニングを行なう
現像液に関するものであり、特に、前記パターニングさ
れたフィルタ膜にバリや残渣が発生しないように、前記
現像液に添加材を加えた、ことを特徴とする。この場
合、前記添加材がトリエチレングリコールであってもよ
い。ここで、前記トリエチレングリコールの添加される
割合が２％程度である、ようにすると好ましい。また、
前記添加材が水分であってもよい。この場合、前記水分
の添加される割合が１．５〜３．０％の範囲内である、
ようにすると好ましい。さらに、前記添加材が、前記フ
ィルタ膜と同じ材質であってもよい。具体的には、前記
添加材が、ポリアミド樹脂であってもよい。その場合、
前記添加材の添加される割合が１．５〜５．０％の範囲
内である、ようにすると好ましい。
【００１１】
【作用】以上構成に基づき、フィルタ膜に部分露光を施
して現像液を塗布すると、該フィルタ膜のパターニング
が行なわれるが、バリや残渣の発生が低減される。
して現像液を塗布すると、該フィルタ膜のパターニング
が行なわれるが、バリや残渣の発生が低減される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１３】まず、本発明の第１実施例について説明す
る。
る。
【００１４】本実施例においては、ポリアミドの現像液
（化１参照）にトリエチレングリコール（（ＣＨ3 ）2
（ＣＨ2 ＯＣＨ2 ）3 ＯＨ）を２％添加した溶液を用い
る。
（化１参照）にトリエチレングリコール（（ＣＨ3 ）2
（ＣＨ2 ＯＣＨ2 ）3 ＯＨ）を２％添加した溶液を用い
る。
【００１５】
【化１】 そして、本実施例においても、各色フィルタ２Ｒ，…の
形成にはフォトリソグラフィ法を用い、現像工程におい
ては上記溶液を用いて現像を行なう。
形成にはフォトリソグラフィ法を用い、現像工程におい
ては上記溶液を用いて現像を行なう。
【００１６】次に、本実施例の効果について説明する。
【００１７】本実施例によれば、各色フィルタ２Ｒ，…
のエッジ部にはバリＡは発生せず、また残渣Ｂも発生し
なかった。したがって、各色フィルタ２Ｒ，…の平滑性
及び適正断面（矩形断面）が確保されると共に、各色フ
ィルタ２Ｒ，…やパッシベーション層等の付着力を確保
してそれらの剥れを防止できる。そして、このような溶
液を用いてカラーフィルタ層３を形成することにより、
表示特性の優れたカラー液晶表示素子を得ることがで
き、特に強誘電性液晶表示素子に適用した場合には、高
精細及び大画面のカラー液晶表示素子を得ることができ
る。
のエッジ部にはバリＡは発生せず、また残渣Ｂも発生し
なかった。したがって、各色フィルタ２Ｒ，…の平滑性
及び適正断面（矩形断面）が確保されると共に、各色フ
ィルタ２Ｒ，…やパッシベーション層等の付着力を確保
してそれらの剥れを防止できる。そして、このような溶
液を用いてカラーフィルタ層３を形成することにより、
表示特性の優れたカラー液晶表示素子を得ることがで
き、特に強誘電性液晶表示素子に適用した場合には、高
精細及び大画面のカラー液晶表示素子を得ることができ
る。
【００１８】ついで、本発明の第２実施例について説明
する。
する。
【００１９】本実施例においては、ポリアミドの現像液
（主成分γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3 ＣＨ2 ＯＣ
Ｈ2 ＣＨ2 ＯＨ））に水分を１．５〜３．０％、好まし
くは２．０〜２．６％だけ加えた溶液を用いる。なお、
このような水分調整は、現像を開始する直前に行なう。
（主成分γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3 ＣＨ2 ＯＣ
Ｈ2 ＣＨ2 ＯＨ））に水分を１．５〜３．０％、好まし
くは２．０〜２．６％だけ加えた溶液を用いる。なお、
このような水分調整は、現像を開始する直前に行なう。
【００２０】次に、本実施例の効果について説明する。
【００２１】本実施例によれば、各色フィルタ２Ｒ，…
のエッジ部にはバリＡは発生せず、また残渣Ｂも発生し
なかった。したがって、各色フィルタ２Ｒ，…の平滑性
及び適正断面（矩形断面）が確保されると共に、各色フ
ィルタ２Ｒ，…やパッシベーション層等の付着力を確保
してそれらの剥れを防止できる。そして、このような溶
液を用いてカラーフィルタ層３を形成することにより、
表示特性の優れたカラー液晶表示素子を得ることがで
き、特に強誘電性液晶表示素子に適用した場合には、高
精細及び大画面のカラー液晶表示素子を得ることができ
る。
のエッジ部にはバリＡは発生せず、また残渣Ｂも発生し
なかった。したがって、各色フィルタ２Ｒ，…の平滑性
及び適正断面（矩形断面）が確保されると共に、各色フ
ィルタ２Ｒ，…やパッシベーション層等の付着力を確保
してそれらの剥れを防止できる。そして、このような溶
液を用いてカラーフィルタ層３を形成することにより、
表示特性の優れたカラー液晶表示素子を得ることがで
き、特に強誘電性液晶表示素子に適用した場合には、高
精細及び大画面のカラー液晶表示素子を得ることができ
る。
【００２２】なお、本発明者が実験により確認したとこ
ろによると、水分が１．５％以下の場合には現像が進み
過ぎてバリＡが発生し、水分が３％以上の場合には残渣
Ｂが発生したが、水分の含有量が１．５〜３．０％の範
囲においてはバリＡ、残渣Ｂ共に発生しなかった。
ろによると、水分が１．５％以下の場合には現像が進み
過ぎてバリＡが発生し、水分が３％以上の場合には残渣
Ｂが発生したが、水分の含有量が１．５〜３．０％の範
囲においてはバリＡ、残渣Ｂ共に発生しなかった。
【００２３】ついで、本発明の第３実施例について説明
する。
する。
【００２４】本実施例においては、ポリアミドの現像液
（主成分γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3 ＣＨ2 ＯＣ
Ｈ2 ＣＨ2 ＯＨ））に被現像物（感光性樹脂）を１．５
〜５．０％だけ加えた溶液を用いる。なお、本実施例に
おいて添加する被現像物は、フィルタ膜と同材質のも
の、すなわちポリアミド樹脂である。
（主成分γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3 ＣＨ2 ＯＣ
Ｈ2 ＣＨ2 ＯＨ））に被現像物（感光性樹脂）を１．５
〜５．０％だけ加えた溶液を用いる。なお、本実施例に
おいて添加する被現像物は、フィルタ膜と同材質のも
の、すなわちポリアミド樹脂である。
【００２５】次に、本実施例の効果について説明する。
【００２６】本実施例によれば、各色フィルタ２Ｒ，…
のエッジ部にはバリＡは発生せず、また残渣Ｂも発生し
なかった。したがって、各色フィルタ２Ｒ，…の平滑性
及び適正断面（矩形断面）が確保されると共に、各色フ
ィルタ２Ｒ，…やパッシベーション層等の付着力を確保
してそれらの剥れを防止できる。そして、このような溶
液を用いてカラーフィルタ層３を形成することにより、
表示特性の優れたカラー液晶表示素子を得ることがで
き、特に強誘電性液晶表示素子に適用した場合には、高
精細及び大画面のカラー液晶表示素子を得ることができ
る。
のエッジ部にはバリＡは発生せず、また残渣Ｂも発生し
なかった。したがって、各色フィルタ２Ｒ，…の平滑性
及び適正断面（矩形断面）が確保されると共に、各色フ
ィルタ２Ｒ，…やパッシベーション層等の付着力を確保
してそれらの剥れを防止できる。そして、このような溶
液を用いてカラーフィルタ層３を形成することにより、
表示特性の優れたカラー液晶表示素子を得ることがで
き、特に強誘電性液晶表示素子に適用した場合には、高
精細及び大画面のカラー液晶表示素子を得ることができ
る。
【００２７】なお、本発明者が実験により確認したとこ
ろによると、被現像物が１．５％以下であるとバリＡの
発生が顕著となり、フィルタ２Ｒ，…の表面も粗くな
り、被現像物が５％以上の場合には残渣Ｂが発生した
が、１．５〜５．０％の範囲ではそのような問題をなか
った。
ろによると、被現像物が１．５％以下であるとバリＡの
発生が顕著となり、フィルタ２Ｒ，…の表面も粗くな
り、被現像物が５％以上の場合には残渣Ｂが発生した
が、１．５〜５．０％の範囲ではそのような問題をなか
った。
【００２８】なお、上述した被現像物は当初から添加し
ていてもよく、また、現像する時期との関係で添加時期
を調整してもよい。そして、このように添加時期を調整
することにより、現像中における被現像物の溶解濃度が
適正に保たれ、現像液の反応速度が適正に保たれる。そ
の結果、残渣の発生もなく、フィルタ２Ｒ，…の表面粗
さも適正なものとなる。
ていてもよく、また、現像する時期との関係で添加時期
を調整してもよい。そして、このように添加時期を調整
することにより、現像中における被現像物の溶解濃度が
適正に保たれ、現像液の反応速度が適正に保たれる。そ
の結果、残渣の発生もなく、フィルタ２Ｒ，…の表面粗
さも適正なものとなる。
【００２９】ついで、本発明の第４実施例について説明
する。
する。
【００３０】本実施例においては、現像液は、ポリアミ
ドの現像液（主成分γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3
ＣＨ2 ＯＣＨ2 ＣＨ2 ＯＨ））に水分を１．５〜５．０
％だけ加え、被現像物（感光性樹脂）を１．５〜５．０
％だけ加える。なお、本実施例において添加する被現像
物は、上述第３実施例と同様にポリアミド樹脂である。
ドの現像液（主成分γ−ブチロラクトン、ＥＣ（ＣＨ3
ＣＨ2 ＯＣＨ2 ＣＨ2 ＯＨ））に水分を１．５〜５．０
％だけ加え、被現像物（感光性樹脂）を１．５〜５．０
％だけ加える。なお、本実施例において添加する被現像
物は、上述第３実施例と同様にポリアミド樹脂である。
【００３１】次に、本実施例の効果について説明する。
【００３２】本実施例によれば、バリＡや残渣Ｂの発生
もなく、適正断面（矩形断面）の各色フィルタ２Ｒ，…
が得られた。また、現像液の品質も安定し、長期間にわ
たって現像条件を適正に保つことが可能となった。そし
て、このような溶液を用いてカラーフィルタ層３を形成
することにより、表示特性の優れたカラー液晶表示素子
を得ることができ、特に強誘電性液晶表示素子に適用し
た場合には、高精細及び大画面のカラー液晶表示素子を
得ることができる。
もなく、適正断面（矩形断面）の各色フィルタ２Ｒ，…
が得られた。また、現像液の品質も安定し、長期間にわ
たって現像条件を適正に保つことが可能となった。そし
て、このような溶液を用いてカラーフィルタ層３を形成
することにより、表示特性の優れたカラー液晶表示素子
を得ることができ、特に強誘電性液晶表示素子に適用し
た場合には、高精細及び大画面のカラー液晶表示素子を
得ることができる。
【００３３】なお、上述実施例において各色フィルタ２
Ｒ，…の間隙ｄ（図１参照）には遮光層を形成するが、
該遮光層は金属で形成してもよく、樹脂で形成してもよ
い。また、この遮光層は、各色フィルタ２Ｒ，…の形成
前に形成してもよく、各色フィルタ２Ｒ，…の形成後に
形成してもよい。但し、その場合には、アライメント膜
はフィルタ自身で形成して行く必要がある。
Ｒ，…の間隙ｄ（図１参照）には遮光層を形成するが、
該遮光層は金属で形成してもよく、樹脂で形成してもよ
い。また、この遮光層は、各色フィルタ２Ｒ，…の形成
前に形成してもよく、各色フィルタ２Ｒ，…の形成後に
形成してもよい。但し、その場合には、アライメント膜
はフィルタ自身で形成して行く必要がある。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
フィルタ膜のパターニングに際してバリや残渣の発生が
低減される。したがって、該フィルタ膜の平坦化が図
れ、液晶表示素子に適用した場合においても表示品質は
良好に保たれる。また、フィルタ膜や他の部材が剥れを
防止できる。
フィルタ膜のパターニングに際してバリや残渣の発生が
低減される。したがって、該フィルタ膜の平坦化が図
れ、液晶表示素子に適用した場合においても表示品質は
良好に保たれる。また、フィルタ膜や他の部材が剥れを
防止できる。
【図１】各色フィルタの適正な断面形状を示す断面図。
【図２】現像工程を説明するための模式図。
【図３】不適正なフィルタの断面形状を示す断面図。
２Ｒ，２Ｇ，２Ｂ 各色フィルタ（パターニングさ
れたフィルタ膜） ７ 現像液 Ａ バリ Ｂ 残渣
れたフィルタ膜） ７ 現像液 Ａ バリ Ｂ 残渣
Claims (8)
- 【請求項１】 部分露光したフィルタ膜に塗布すること
により該フィルタ膜のパターニングを行なう現像液にお
いて、 前記パターニングされたフィルタ膜にバリや残渣が発生
しないように、前記現像液に添加材を加えた、 ことを特徴とする現像液。 - 【請求項２】 前記添加材がトリエチレングリコールで
ある、 ことを特徴とする請求項１記載の現像液。 - 【請求項３】 前記トリエチレングリコールの添加され
る割合が２％程度である、 ことを特徴とする請求項２記載の現像液。 - 【請求項４】 前記添加材が水分である、 ことを特徴とする請求項１記載の現像液。
- 【請求項５】 前記水分の添加される割合が１．５〜
３．０％の範囲内である、 ことを特徴とする請求項４記載の現像液。 - 【請求項６】 前記添加材が、前記フィルタ膜と同じ材
質である、 ことを特徴とする請求項１記載の現像液。 - 【請求項７】 前記添加材が、ポリアミド樹脂である、 ことを特徴とする請求項６記載の現像液。
- 【請求項８】 前記添加材の添加される割合が１．５〜
５．０％の範囲内である、 ことを特徴とする請求項６記載の現像液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29134094A JPH08146615A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 現像液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29134094A JPH08146615A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 現像液 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146615A true JPH08146615A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17767659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29134094A Pending JPH08146615A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 現像液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08146615A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014178285A1 (ja) * | 2013-05-02 | 2014-11-06 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、電子デバイス及びその製造方法、現像液 |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP29134094A patent/JPH08146615A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014178285A1 (ja) * | 2013-05-02 | 2014-11-06 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、電子デバイス及びその製造方法、現像液 |
| JP2014219487A (ja) * | 2013-05-02 | 2014-11-20 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法、電子デバイス及びその製造方法、現像液 |
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