JPH08139165A - ウエハ貼り付け装置 - Google Patents
ウエハ貼り付け装置Info
- Publication number
- JPH08139165A JPH08139165A JP26957894A JP26957894A JPH08139165A JP H08139165 A JPH08139165 A JP H08139165A JP 26957894 A JP26957894 A JP 26957894A JP 26957894 A JP26957894 A JP 26957894A JP H08139165 A JPH08139165 A JP H08139165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wax
- stamper
- plate
- load
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、ウエハをウエハ貼り付け板
に固定する際に、均一なワックス厚、強いては均一なウ
エハ板厚が得られるウエハ貼り付け装置を提供すること
にある。 【構成】 本発明は、ウエハ１をウエハ貼り付け板２に
ワックス３にて固定する工程に用いるウエハ貼り付け装
置において、ワックス３をウエハ１全面に伸展させるた
めに、ウエハ１を押さえるスタンパー５のウエハ接触面
側に弾性体パッド７が取り付けられていることを特徴と
している。また本発明の別の構成では、ウエハ貼り付け
装置のスタンパーおよびスタンパーに荷重を加える荷重
軸の中心に貫通穴が設けられ、かつ前記スタンパーのウ
エハ接触面側全体が気密性膜で覆われており、前記荷重
軸の貫通穴を通じて空気ポンプにより前記気密性膜を膨
らませることでウエハを均等加圧できることに特徴があ
る。
に固定する際に、均一なワックス厚、強いては均一なウ
エハ板厚が得られるウエハ貼り付け装置を提供すること
にある。 【構成】 本発明は、ウエハ１をウエハ貼り付け板２に
ワックス３にて固定する工程に用いるウエハ貼り付け装
置において、ワックス３をウエハ１全面に伸展させるた
めに、ウエハ１を押さえるスタンパー５のウエハ接触面
側に弾性体パッド７が取り付けられていることを特徴と
している。また本発明の別の構成では、ウエハ貼り付け
装置のスタンパーおよびスタンパーに荷重を加える荷重
軸の中心に貫通穴が設けられ、かつ前記スタンパーのウ
エハ接触面側全体が気密性膜で覆われており、前記荷重
軸の貫通穴を通じて空気ポンプにより前記気密性膜を膨
らませることでウエハを均等加圧できることに特徴があ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波素子や光学
部品に用いられるタンタル酸リチウムあるいはニオブ酸
リチウム結晶のウエハの研磨工程に用いるウエハ貼り付
け装置に関する。
部品に用いられるタンタル酸リチウムあるいはニオブ酸
リチウム結晶のウエハの研磨工程に用いるウエハ貼り付
け装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】タンタル酸リチウムあるいはニオブ酸リ
チウム結晶のウエハの研磨は、ステンレス等の金属製ウ
エハ貼り付け板に固定したウエハを、研磨布を貼り付け
た研磨定盤にコロイダルシリカを滴下させながら押し付
けることにより行っている。
チウム結晶のウエハの研磨は、ステンレス等の金属製ウ
エハ貼り付け板に固定したウエハを、研磨布を貼り付け
た研磨定盤にコロイダルシリカを滴下させながら押し付
けることにより行っている。
【０００３】ウエハ貼り付け板へのウエハの固定は、以
下に示すように行っていた。まず前記ウエハ貼り付け板
を１００〜１１０℃位に加熱し、ワックスを溶融塗布
し、次にウエハをウエハ貼り付け板上のワックスに接触
させ、ウエハとウエハ貼り付け板間の毛管現象（界面張
力）を利用してウエハ全体にワックスを伸展させる。そ
の後、ワックスを冷却固化させることでウエハをウエハ
貼り付け板に固定していた。
下に示すように行っていた。まず前記ウエハ貼り付け板
を１００〜１１０℃位に加熱し、ワックスを溶融塗布
し、次にウエハをウエハ貼り付け板上のワックスに接触
させ、ウエハとウエハ貼り付け板間の毛管現象（界面張
力）を利用してウエハ全体にワックスを伸展させる。そ
の後、ワックスを冷却固化させることでウエハをウエハ
貼り付け板に固定していた。
【０００４】またウエハにワックスを伸展させるとき
に、図５に示すような金属製スタンパーでウエハに荷重
を加えることもある。
に、図５に示すような金属製スタンパーでウエハに荷重
を加えることもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、毛管現
象を利用しワックスを伸展させたのでは、ウエハの周縁
にワックスが伸展しない部分や気泡が生じることがあ
る。またワックス厚さの均一性も得られず、このような
ウエハを研磨したのでは、研磨後のウエハの板厚の均一
性は保たれない。
象を利用しワックスを伸展させたのでは、ウエハの周縁
にワックスが伸展しない部分や気泡が生じることがあ
る。またワックス厚さの均一性も得られず、このような
ウエハを研磨したのでは、研磨後のウエハの板厚の均一
性は保たれない。
【０００６】金属製スタンパーで荷重を加える方法で
は、気泡やワックスが伸展しない部分が生じることは少
ないが、それでもワックス厚さの不均一性は解消されな
い。図５に金属性スタンパーを用いたウエハ貼り付けの
様子を示す。ウエハ１の最も板厚が厚い部分が金属製ス
タンパー５とウエハ貼り付け板２に接触した以降は、金
属製スタンパー５に加えた荷重は全てこの部分に集中
し、この部分におけるワックス３の厚さが最も薄くな
る。ウエハ板厚が最も厚い部分以外には荷重が掛から
ず、ワックス３の厚みに分布が生じることになる。ワッ
クス厚の分布はウエハ板厚分布に反映されるため、この
方法によっても、研磨後のウエハ板厚の均一性は保証さ
れない。
は、気泡やワックスが伸展しない部分が生じることは少
ないが、それでもワックス厚さの不均一性は解消されな
い。図５に金属性スタンパーを用いたウエハ貼り付けの
様子を示す。ウエハ１の最も板厚が厚い部分が金属製ス
タンパー５とウエハ貼り付け板２に接触した以降は、金
属製スタンパー５に加えた荷重は全てこの部分に集中
し、この部分におけるワックス３の厚さが最も薄くな
る。ウエハ板厚が最も厚い部分以外には荷重が掛から
ず、ワックス３の厚みに分布が生じることになる。ワッ
クス厚の分布はウエハ板厚分布に反映されるため、この
方法によっても、研磨後のウエハ板厚の均一性は保証さ
れない。
【０００７】本発明の目的は、ウエハをウエハ貼り付け
板に固定する際に、均一なワックス厚、強いては均一な
ウエハ板厚が得られるウエハ貼り付け装置を提供するこ
とにある。
板に固定する際に、均一なワックス厚、強いては均一な
ウエハ板厚が得られるウエハ貼り付け装置を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、ウエハをウエハ貼り付け板にワックスにて
固定する工程に用いるウエハ貼り付け装置において、ワ
ックスをウエハ全面に伸展させるためにウエハを押さえ
るスタンパーのウエハ接触面側に弾性体物質からなるパ
ッド、つまり弾性体パッドが取り付けられていることを
特徴としている。
に本発明は、ウエハをウエハ貼り付け板にワックスにて
固定する工程に用いるウエハ貼り付け装置において、ワ
ックスをウエハ全面に伸展させるためにウエハを押さえ
るスタンパーのウエハ接触面側に弾性体物質からなるパ
ッド、つまり弾性体パッドが取り付けられていることを
特徴としている。
【０００９】また本発明の別の手段では、ウエハ貼り付
け装置のスタンパーおよびスタンパーに荷重を加える荷
重軸の中心に貫通穴が設けられ、かつ前記スタンパーの
ウエハ接触面側全体が気密性膜で覆われており、前記荷
重軸の貫通穴を通じて空気ポンプにより前記気密性膜を
膨らませることでウエハを均等加圧できることに特徴が
ある。
け装置のスタンパーおよびスタンパーに荷重を加える荷
重軸の中心に貫通穴が設けられ、かつ前記スタンパーの
ウエハ接触面側全体が気密性膜で覆われており、前記荷
重軸の貫通穴を通じて空気ポンプにより前記気密性膜を
膨らませることでウエハを均等加圧できることに特徴が
ある。
【００１０】
【作用】均一な板厚のウエハを得るためには、ウエハと
ウエハ貼り付け板との間のワックスの厚さを均一にする
必要がある。そのためには、ウエハ全体に均一に荷重が
加えられる必要がある。
ウエハ貼り付け板との間のワックスの厚さを均一にする
必要がある。そのためには、ウエハ全体に均一に荷重が
加えられる必要がある。
【００１１】請求項１のウエハ貼り付け装置によるウエ
ハ貼り付けの様子を図３に示す。請求項１の装置では、
スタンパー５に、例えば合成ゴムのような弾性体からな
る弾性体パッド７が取り付けられているため、ウエハ１
の板厚が最も厚い部分に弾性体パッド７が接触した後は
ウエハ形状に習い、弾性体パッド７が変形する。弾性体
パッド７が変形することによりウエハ板厚の薄い部分に
も荷重が加わるようになり、ウエハ全体を均一な荷重に
より加圧できるようになる。均一に加圧できればワック
ス厚も均一になり、研磨後のウエハ板厚も均一になる。
ハ貼り付けの様子を図３に示す。請求項１の装置では、
スタンパー５に、例えば合成ゴムのような弾性体からな
る弾性体パッド７が取り付けられているため、ウエハ１
の板厚が最も厚い部分に弾性体パッド７が接触した後は
ウエハ形状に習い、弾性体パッド７が変形する。弾性体
パッド７が変形することによりウエハ板厚の薄い部分に
も荷重が加わるようになり、ウエハ全体を均一な荷重に
より加圧できるようになる。均一に加圧できればワック
ス厚も均一になり、研磨後のウエハ板厚も均一になる。
【００１２】請求項２のウエハ貼り付け装置によるウエ
ハ貼り付けの様子を図４に示す。請求項２の装置では穴
付きスタンパー９に気密性膜１１が取り付けられてお
り、前記気密性膜は空気ポンプ１３により膨らませるこ
とができる。この膨らんだ気密性膜１１をウエハ１に押
しつけることでウエハ１に静水圧を加えることができる
ため、ワックス厚を均一にすることができる。したがっ
て、研磨後のウエハ板厚も均一にすることができる。
ハ貼り付けの様子を図４に示す。請求項２の装置では穴
付きスタンパー９に気密性膜１１が取り付けられてお
り、前記気密性膜は空気ポンプ１３により膨らませるこ
とができる。この膨らんだ気密性膜１１をウエハ１に押
しつけることでウエハ１に静水圧を加えることができる
ため、ワックス厚を均一にすることができる。したがっ
て、研磨後のウエハ板厚も均一にすることができる。
【００１３】
（実施例１） 本発明のウエハ貼り付け装置の実施例を
図１に示す。ウエハ１として、タンタル酸リチウムを３
６゜ＲＹ軸方向に引き上げた直径８０ｍｍの単結晶イン
ゴットから切り出した直径７６．２ｍｍ、厚さ０．５ｍ
ｍのものを用意した。用意したウエハ１はＧＣ１０００
の砥粒により、両面ともラッピングされている。
図１に示す。ウエハ１として、タンタル酸リチウムを３
６゜ＲＹ軸方向に引き上げた直径８０ｍｍの単結晶イン
ゴットから切り出した直径７６．２ｍｍ、厚さ０．５ｍ
ｍのものを用意した。用意したウエハ１はＧＣ１０００
の砥粒により、両面ともラッピングされている。
【００１４】ウエハ貼り付け作業は、まず直径１２０ｍ
ｍのステンレス製ウエハ貼り付け板２をオーブンで１０
０℃に加熱し、ウエハ接着面にワックス３としてフラッ
トローワックスを溶融、塗布した。次にウエハ１をワッ
クス３上に乗せ、あらかじめ荷重調整ネジ９により荷重
が１０ｋｇになるように調整してあるスタンパー５をウ
エハ１に押しつけた。ここで、弾性体パッド７にはシリ
コンゴムのパッドを用いた。弾性体パッド７をウエハ１
に押し付けた状態で３時間室温に放置し、ワックス３を
固化させることにより、ウエハ１をウエハ貼り付け板２
に固定した。
ｍのステンレス製ウエハ貼り付け板２をオーブンで１０
０℃に加熱し、ウエハ接着面にワックス３としてフラッ
トローワックスを溶融、塗布した。次にウエハ１をワッ
クス３上に乗せ、あらかじめ荷重調整ネジ９により荷重
が１０ｋｇになるように調整してあるスタンパー５をウ
エハ１に押しつけた。ここで、弾性体パッド７にはシリ
コンゴムのパッドを用いた。弾性体パッド７をウエハ１
に押し付けた状態で３時間室温に放置し、ワックス３を
固化させることにより、ウエハ１をウエハ貼り付け板２
に固定した。
【００１５】図１の装置を用いウエハ貼り付け板に固定
したウエハを研磨したところ、研磨後のウエハ板厚のバ
ラツキは１〜５μｍであった。なお、ウエハ固定の際に
加える荷重を５〜１５ｋｇの範囲で変化させてみたが、
前記範囲内の荷重を加えて固定したウエハの研磨後のウ
エハ板厚のバラツキは１〜５μｍであった。
したウエハを研磨したところ、研磨後のウエハ板厚のバ
ラツキは１〜５μｍであった。なお、ウエハ固定の際に
加える荷重を５〜１５ｋｇの範囲で変化させてみたが、
前記範囲内の荷重を加えて固定したウエハの研磨後のウ
エハ板厚のバラツキは１〜５μｍであった。
【００１６】（実施例２） 本発明のウエハ貼り付け装
置の別の実施例を図２に示す。ウエハ１には実施例１で
用意したものと同じものを用いた。
置の別の実施例を図２に示す。ウエハ１には実施例１で
用意したものと同じものを用いた。
【００１７】ウエハ貼り付け板２にワックス３を塗布す
るまでの工程は実施例１と同じである。実施例１では弾
性体パッドを取り付けたスタンパーをウエハ１に押しつ
けたが、実施例２においては、空気ポンプ１４により半
球状に膨らました気密性膜１２を押しつけ、ウエハ１を
ウエハ貼り付け板２に固定した。ウエハに加えた荷重、
およびワックス３の冷却時間は実施例１と同様とした。
なお、本実施例では気密性膜に合成ゴムのシートを用い
た。
るまでの工程は実施例１と同じである。実施例１では弾
性体パッドを取り付けたスタンパーをウエハ１に押しつ
けたが、実施例２においては、空気ポンプ１４により半
球状に膨らました気密性膜１２を押しつけ、ウエハ１を
ウエハ貼り付け板２に固定した。ウエハに加えた荷重、
およびワックス３の冷却時間は実施例１と同様とした。
なお、本実施例では気密性膜に合成ゴムのシートを用い
た。
【００１８】図２の装置を用いウエハ貼り付け板に固定
したウエハを研磨したところ、研磨後のウエハ板厚のバ
ラツキは実施例１同様１〜５μｍであった。
したウエハを研磨したところ、研磨後のウエハ板厚のバ
ラツキは実施例１同様１〜５μｍであった。
【００１９】（従来例） 図５に従来例の金属製スタン
パー５を用い、ウエハ１を固定している様子を示す。比
較のため、研磨に用いたウエハ、ワックスには同種のも
のを用いた。またスタンパー５を押しつける荷重も１０
ｋｇと、実施例１と同じにした。
パー５を用い、ウエハ１を固定している様子を示す。比
較のため、研磨に用いたウエハ、ワックスには同種のも
のを用いた。またスタンパー５を押しつける荷重も１０
ｋｇと、実施例１と同じにした。
【００２０】従来のウエハ貼り付け装置を用いてウエハ
貼り付け板に固定したウエハを研磨したところ、ウエハ
板厚のバラツキは１０〜１５μｍであった。
貼り付け板に固定したウエハを研磨したところ、ウエハ
板厚のバラツキは１０〜１５μｍであった。
【００２１】なお、一切荷重を加えない、毛管現象（界
面張力）のみを利用し、ウエハ貼り付け板に貼り付けた
ウエハを研磨したところウエハ板厚のバラツキは２０〜
３０μｍであった。
面張力）のみを利用し、ウエハ貼り付け板に貼り付けた
ウエハを研磨したところウエハ板厚のバラツキは２０〜
３０μｍであった。
【００２２】
【発明の効果】本発明のウエハ貼り付け装置を用いてウ
エハ貼り付け板に固定したウエハを研磨することによ
り、従来研磨後のウエハの板厚のバラツキが１０〜１５
μｍであったものが１〜５μｍと、少なくとも３分の１
以下に減少することができた。
エハ貼り付け板に固定したウエハを研磨することによ
り、従来研磨後のウエハの板厚のバラツキが１０〜１５
μｍであったものが１〜５μｍと、少なくとも３分の１
以下に減少することができた。
【図１】図１は本発明の実施例の断面図である。
【図２】図２は本発明の別の実施例の断面図である。
【図３】図３は、図１に示す本発明の実施例を用いた、
ウエハ貼り付け板へのウエハの固定を説明する図であ
る。
ウエハ貼り付け板へのウエハの固定を説明する図であ
る。
【図４】図４は、図２に示す本発明の実施例を用いた、
ウエハ貼り付け板へのウエハの固定を説明する図であ
る。
ウエハ貼り付け板へのウエハの固定を説明する図であ
る。
【図５】図５は、従来例による、ウエハ貼り付け板への
ウエハの固定を説明する図である。
ウエハの固定を説明する図である。
１ ウエハ ２ ウエハ貼り付け板 ３ ワックス ４ 台 ５ スタンパー ６ 荷重軸 ７ 弾性体パッド ８ 荷重印加用バネ ９ 荷重調整ネジ １０ 穴付きスタンパー １１ 中空荷重軸 １２ 気密性膜 １３ 気密性膜固定バンド １４ 空気ポンプ １５ レギュレータ １６ リーク弁
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハをワックスによりウエハ貼り付け
板に固定するときに用いるウエハ貼り付け装置におい
て、ワックスをウエハ全面に伸展させるためにウエハを
押さえるスタンパーのウエハ接触面側に弾性体パッドが
取り付けられていることを特徴とするウエハ貼り付け装
置。 - 【請求項２】 ウエハをワックスによりウエハ貼り付け
板に固定するときに用いるウエハ貼り付け装置におい
て、ワックスをウエハ全面に伸展させるためにウエハを
押さえるスタンパーおよびスタンパーに荷重を伝達する
荷重軸の中心に貫通穴が設けられ、かつ前記スタンパー
のウエハ接触面側全体が気密性膜で覆われており、前記
荷重軸の貫通穴を通じて空気ポンプにより前記気密性膜
を膨らませることでウエハを均等加圧できることを特徴
とするウエハ貼り付け装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26957894A JPH08139165A (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | ウエハ貼り付け装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26957894A JPH08139165A (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | ウエハ貼り付け装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08139165A true JPH08139165A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17474323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26957894A Pending JPH08139165A (ja) | 1994-11-02 | 1994-11-02 | ウエハ貼り付け装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08139165A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007201404A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Samco Inc | プラズマ処理方法及びプラズマ装置 |
| JP2009255289A (ja) * | 1997-07-11 | 2009-11-05 | Applied Materials Inc | 可撓膜を有するケミカルメカニカルポリシングシステム用キャリアヘット |
| CN110142686A (zh) * | 2019-06-18 | 2019-08-20 | 肇庆金马领科智能科技有限公司 | 防尘恒力装置及控制方法、机械臂、研磨设备及机器人 |
-
1994
- 1994-11-02 JP JP26957894A patent/JPH08139165A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009255289A (ja) * | 1997-07-11 | 2009-11-05 | Applied Materials Inc | 可撓膜を有するケミカルメカニカルポリシングシステム用キャリアヘット |
| JP2007201404A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Samco Inc | プラズマ処理方法及びプラズマ装置 |
| KR101310397B1 (ko) * | 2005-12-27 | 2013-09-17 | 사무코 가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 방법 및 플라즈마 장치 |
| CN110142686A (zh) * | 2019-06-18 | 2019-08-20 | 肇庆金马领科智能科技有限公司 | 防尘恒力装置及控制方法、机械臂、研磨设备及机器人 |
| CN110142686B (zh) * | 2019-06-18 | 2023-08-15 | 肇庆金马领科智能科技有限公司 | 防尘恒力装置及控制方法、机械臂、研磨设备及机器人 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0413568A (ja) | バッキングパッド、その精密平面加工方法およびそれを用いた半導体ウェーハの研磨方法 | |
| JPH08300257A (ja) | ウエハ貼り付け装置およびそれを用いたウエハ貼り付け方法 | |
| JPH08139165A (ja) | ウエハ貼り付け装置 | |
| JPH0590393A (ja) | 半導体ウエーハの接着装置 | |
| US6074288A (en) | Modified carrier films to produce more uniformly polished substrate surfaces | |
| JPH08172061A (ja) | シート貼付方法 | |
| JPS61158145A (ja) | 半導体基板の加工方法 | |
| JPH10284443A (ja) | ブレーキング方法および装置 | |
| JPS60236242A (ja) | 粘着テ−プ張り付け方法 | |
| JPH0682738A (ja) | フィルム貼付方法およびフィルム貼付装置 | |
| JPH0745565A (ja) | 半導体ウェハの研磨装置 | |
| JPH11291168A (ja) | 基板研磨用治具及び半導体ウエハの研磨方法 | |
| JP2000190203A (ja) | 研磨装置 | |
| KR20030064826A (ko) | 폴리싱헤드에 배킹막을 장착시키기 위한 장치 및 방법 | |
| JP2001146357A (ja) | 半導体基板にテープを貼り付けるテープ貼り付け方法及び同装置 | |
| JPH03104559A (ja) | 研磨ブロックヘの半導体ウエハの貼付け方法及び貼付け用治具 | |
| JP2004063880A (ja) | ウェーハ接着装置およびウェーハ接着方法 | |
| JP2004022839A (ja) | Ｓｏｉ基板の研磨方法およびその装置 | |
| JP2002086352A (ja) | 接着装置、および研磨治具 | |
| JPH0740231A (ja) | 半導体ウェーハの研磨方法および研磨装置 | |
| JPH05228828A (ja) | 結晶体の研磨方法および研磨治具 | |
| JP2004090119A (ja) | 板状体の片面研磨装置および該装置に用いるバックパッドとその成形方法 | |
| JPH10294299A (ja) | 半導体ウェハおよびその製造方法ならびに製造装置 | |
| JP2007123670A (ja) | 貼り付け方法及び貼り付け装置 | |
| JPH04363048A (ja) | 薄板の接着方法 |