JPH08138580A - 陰極線管用パネル - Google Patents
陰極線管用パネルInfo
- Publication number
- JPH08138580A JPH08138580A JP30322094A JP30322094A JPH08138580A JP H08138580 A JPH08138580 A JP H08138580A JP 30322094 A JP30322094 A JP 30322094A JP 30322094 A JP30322094 A JP 30322094A JP H08138580 A JPH08138580 A JP H08138580A
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- JP
- Japan
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- thin film
- panel
- ray tube
- film
- sno
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- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 優れた電磁波遮蔽性と広い波長域に亙って安
定した反射防止性を有する陰極線管用パネルを提供す
る。 【構成】 外表面側の第1層目に1000Å以上の膜厚
と3×103 Ω/□以下の面抵抗を有し且つ1〜20%
のフッ素を含有して1.6〜1.9の屈折率を有するS
nO2 薄膜11が形成され、第2層目に微細な凹凸を有
するSiO2 薄膜12が形成されてなることを特徴とす
る陰極線管用パネル。
定した反射防止性を有する陰極線管用パネルを提供す
る。 【構成】 外表面側の第1層目に1000Å以上の膜厚
と3×103 Ω/□以下の面抵抗を有し且つ1〜20%
のフッ素を含有して1.6〜1.9の屈折率を有するS
nO2 薄膜11が形成され、第2層目に微細な凹凸を有
するSiO2 薄膜12が形成されてなることを特徴とす
る陰極線管用パネル。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、外表面に高い電磁波遮
蔽性と反射防止性を有する陰極線管用パネルに関するも
のである。
蔽性と反射防止性を有する陰極線管用パネルに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】陰極線管は、画像が映し出されるパネル
と、その背後を形成するファンネル及びネックから構成
されている。
と、その背後を形成するファンネル及びネックから構成
されている。
【0003】陰極線管は、ネック管内に装着した電子銃
からでる電子ビームをファンネルの周りに取り付けた偏
向コイルにより偏向させているが、特にこの偏向コイル
から発生する不要電磁波が漏洩することにより、陰極線
管の周囲にある他の電子機器を誤作動させたり、或は人
体に悪影響を及ぼすおそれがある。そこで従来の陰極線
管においては、電磁波を遮蔽する性能を付与するために
パネルの外表面に導電性を有するSnO2 等の透明導電
膜が形成されている。
からでる電子ビームをファンネルの周りに取り付けた偏
向コイルにより偏向させているが、特にこの偏向コイル
から発生する不要電磁波が漏洩することにより、陰極線
管の周囲にある他の電子機器を誤作動させたり、或は人
体に悪影響を及ぼすおそれがある。そこで従来の陰極線
管においては、電磁波を遮蔽する性能を付与するために
パネルの外表面に導電性を有するSnO2 等の透明導電
膜が形成されている。
【0004】しかしながら、従来一般に供されている陰
極線管用パネルでは、その外表面に形成されているSn
O2 薄膜の面抵抗(正方形当りの抵抗値)が1×106
Ω/□以上と高いため導電性が低く、不要電磁波を完全
に遮蔽するには不十分である。また、通常のSnO2 薄
膜は、屈折率が2.0とパネルガラスの屈折率1.53
6に比べて高い屈折率を有しているので、導電性を付与
するために、単にSnO2 薄膜を形成するだけでは表面
反射が大きく、画像が見えにくいという問題が生じてい
る。
極線管用パネルでは、その外表面に形成されているSn
O2 薄膜の面抵抗(正方形当りの抵抗値)が1×106
Ω/□以上と高いため導電性が低く、不要電磁波を完全
に遮蔽するには不十分である。また、通常のSnO2 薄
膜は、屈折率が2.0とパネルガラスの屈折率1.53
6に比べて高い屈折率を有しているので、導電性を付与
するために、単にSnO2 薄膜を形成するだけでは表面
反射が大きく、画像が見えにくいという問題が生じてい
る。
【0005】そこで、パネル表面にSnO2 薄膜を形成
した後、さらにその上に反射防止膜を形成することによ
って光の表面反射をも抑える提案がなされ、具体的に
は、パネルの外表面にCVD法によって200〜280
Åの膜厚のSnO2 薄膜を形成した後、さらにその上に
SiO2 からなる反射防止膜をスピンコート法によって
形成してなる陰極線管が提案されている。
した後、さらにその上に反射防止膜を形成することによ
って光の表面反射をも抑える提案がなされ、具体的に
は、パネルの外表面にCVD法によって200〜280
Åの膜厚のSnO2 薄膜を形成した後、さらにその上に
SiO2 からなる反射防止膜をスピンコート法によって
形成してなる陰極線管が提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の陰
極線管では、パネルの表面に形成されたSnO2 薄膜の
膜厚が薄いために面抵抗が高く、不要電磁波を遮蔽する
には不十分である。また、先記したようにSnO2 薄膜
は高い屈折率を有しているので、SnO2 薄膜の膜厚を
厚くすると表面反射が非常に大きくなり、その上に反射
防止膜を形成したとしても表面反射はさほど小さくなら
ず、画面が見にくいという問題は依然として生じる。ま
た、従来の陰極線管では、550nm付近の波長域とそ
れよりも低波長である400nm付近及び高波長である
700nm付近の反射率を比較した場合、550nm付
近の反射率が最低の値を示すが、400nm付近及び7
00nm付近の反射率の値との差が非常に大きいため、
画像が濃い赤紫色彩を呈し、映像を見る人の目に濃い色
彩として感じられ、疲労感を与えやすいという欠点があ
る。
極線管では、パネルの表面に形成されたSnO2 薄膜の
膜厚が薄いために面抵抗が高く、不要電磁波を遮蔽する
には不十分である。また、先記したようにSnO2 薄膜
は高い屈折率を有しているので、SnO2 薄膜の膜厚を
厚くすると表面反射が非常に大きくなり、その上に反射
防止膜を形成したとしても表面反射はさほど小さくなら
ず、画面が見にくいという問題は依然として生じる。ま
た、従来の陰極線管では、550nm付近の波長域とそ
れよりも低波長である400nm付近及び高波長である
700nm付近の反射率を比較した場合、550nm付
近の反射率が最低の値を示すが、400nm付近及び7
00nm付近の反射率の値との差が非常に大きいため、
画像が濃い赤紫色彩を呈し、映像を見る人の目に濃い色
彩として感じられ、疲労感を与えやすいという欠点があ
る。
【0007】このように、従来の陰極線管では電磁波遮
蔽性と反射防止性について共に高い性能を得ることは困
難である。
蔽性と反射防止性について共に高い性能を得ることは困
難である。
【0008】従って、本発明の目的は、優れた電磁波遮
蔽性と広い波長域に亙って安定した反射防止性を有する
陰極線管用パネルを提供することである。
蔽性と広い波長域に亙って安定した反射防止性を有する
陰極線管用パネルを提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題及び
目的に鑑みてなされたもので、外表面側の第1層目に1
000Å以上の膜厚と3×103 Ω/□以下の面抵抗を
有し且つ1〜20%のフッ素を含有して1.6〜1.9
の屈折率を有するSnO2 薄膜が形成され、第2層目に
微細な凹凸を有するSiO2 薄膜が形成されてなること
を特徴とする陰極線管用パネルである。
目的に鑑みてなされたもので、外表面側の第1層目に1
000Å以上の膜厚と3×103 Ω/□以下の面抵抗を
有し且つ1〜20%のフッ素を含有して1.6〜1.9
の屈折率を有するSnO2 薄膜が形成され、第2層目に
微細な凹凸を有するSiO2 薄膜が形成されてなること
を特徴とする陰極線管用パネルである。
【0010】また、本発明は外表面側の第1層目に10
00Åの膜厚と3×103 Ω/□以下の面抵抗を有し且
つ1〜20%のフッ素を含有して1.6〜1.9の屈折
率を有するSnO2 薄膜が形成され、第2層目に平坦な
SiO2 薄膜が形成され第3層目に微細な凹凸を有する
SiO2 薄膜が形成されてなることを特徴とする陰極線
管用パネルである。
00Åの膜厚と3×103 Ω/□以下の面抵抗を有し且
つ1〜20%のフッ素を含有して1.6〜1.9の屈折
率を有するSnO2 薄膜が形成され、第2層目に平坦な
SiO2 薄膜が形成され第3層目に微細な凹凸を有する
SiO2 薄膜が形成されてなることを特徴とする陰極線
管用パネルである。
【0011】さらに上記の陰極線管用パネルにおいて、
第1層目のSnO2 薄膜がCVD法によって形成されて
なることを特徴とする。
第1層目のSnO2 薄膜がCVD法によって形成されて
なることを特徴とする。
【0012】
【作用】本発明において、透明導電膜として用いられる
第1層目のSnO2 薄膜は、In2 O3 薄膜に比べて、
安価で性能が安定しており、1000Å以上の膜厚にす
ることによって、3×103 Ω/□以下の面抵抗を有す
る薄膜となり、優れた電磁波遮蔽性が得られる。また、
フッ素を含有して1.6〜1.9という従来に比べて低
い屈折率(nd)を有していることにより従来に比べて
優れた光の干渉効果を得ることができ、反射率が低いこ
とを特徴とする。
第1層目のSnO2 薄膜は、In2 O3 薄膜に比べて、
安価で性能が安定しており、1000Å以上の膜厚にす
ることによって、3×103 Ω/□以下の面抵抗を有す
る薄膜となり、優れた電磁波遮蔽性が得られる。また、
フッ素を含有して1.6〜1.9という従来に比べて低
い屈折率(nd)を有していることにより従来に比べて
優れた光の干渉効果を得ることができ、反射率が低いこ
とを特徴とする。
【0013】このSnO2 薄膜上に形成される第2層目
の微細な凹凸を有するSiO2 薄膜(屈折率1.46)
は、スプレーコート法により形成され、外部からの光の
拡散反射を大きくして、正反射を小さくするように作用
する。
の微細な凹凸を有するSiO2 薄膜(屈折率1.46)
は、スプレーコート法により形成され、外部からの光の
拡散反射を大きくして、正反射を小さくするように作用
する。
【0014】また、本発明において、第1層目に前記の
SnO2 薄膜が形成され、第2層目に平坦なSiO2 薄
膜が形成され、第3層目に微細な凹凸を有するSiO2
薄膜が形成される陰極線管用パネルにおいては、この平
坦なSiO2 薄膜はスピンコート法によって形成され、
微細な凹凸を有するSiO2 薄膜はスプレーコート法に
より形成されものである。平坦なSiO2 薄膜は第1層
目のSnO2 薄膜の屈折率と協働して外部からの光を干
渉するように作用し、該平坦なSiO2 薄膜上に形成さ
れた微細な凹凸を有するSiO2 薄膜は、外部からの光
の拡散反射を大きくして、正反射を小さくするように作
用する。
SnO2 薄膜が形成され、第2層目に平坦なSiO2 薄
膜が形成され、第3層目に微細な凹凸を有するSiO2
薄膜が形成される陰極線管用パネルにおいては、この平
坦なSiO2 薄膜はスピンコート法によって形成され、
微細な凹凸を有するSiO2 薄膜はスプレーコート法に
より形成されものである。平坦なSiO2 薄膜は第1層
目のSnO2 薄膜の屈折率と協働して外部からの光を干
渉するように作用し、該平坦なSiO2 薄膜上に形成さ
れた微細な凹凸を有するSiO2 薄膜は、外部からの光
の拡散反射を大きくして、正反射を小さくするように作
用する。
【0015】また、本発明において、第1層目のSnO
2 薄膜をCVD法によって形成する理由は、CVD法は
他のコーティング法に比べて安価で大量生産に向いてお
り、また、透明導電膜の電磁波遮蔽性は膜の電気抵抗が
小さい程向上するが、SnO2 薄膜をCVD法によって
形成すると膜が細かい粒子の緻密構造となるため、特に
優れた電磁波遮蔽性が得られるためである。
2 薄膜をCVD法によって形成する理由は、CVD法は
他のコーティング法に比べて安価で大量生産に向いてお
り、また、透明導電膜の電磁波遮蔽性は膜の電気抵抗が
小さい程向上するが、SnO2 薄膜をCVD法によって
形成すると膜が細かい粒子の緻密構造となるため、特に
優れた電磁波遮蔽性が得られるためである。
【0016】本発明において、第1層目に形成されるS
nO2 薄膜の膜厚は1000Å以上であるが、実用上の
上限値としては2000Å未満とすることが好ましい。
その理由は、SnO2 薄膜の膜厚が2000Å以上にな
ると、400〜700nmの波長域における反射率に高
低差のバラツキが生じ、全体として一様な反射率の低下
を示さず、その結果、陰極線管の画像における色彩変化
が著しくなり、実用に供しないからである。
nO2 薄膜の膜厚は1000Å以上であるが、実用上の
上限値としては2000Å未満とすることが好ましい。
その理由は、SnO2 薄膜の膜厚が2000Å以上にな
ると、400〜700nmの波長域における反射率に高
低差のバラツキが生じ、全体として一様な反射率の低下
を示さず、その結果、陰極線管の画像における色彩変化
が著しくなり、実用に供しないからである。
【0017】
【実施例】以下、本発明の陰極線管用パネルを実施例に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【0018】(実施例1)図1は本発明の陰極線管用パ
ネルの縦断面図である。
ネルの縦断面図である。
【0019】このパネルガラス10(屈折率1.53
6)の外表面には、第1層目として1300Åの膜厚を
有するフッ素含有のSnO2 薄膜11(屈折率1.7
5)が形成され、第2層目として微細な凹凸を有するS
iO2 薄膜12(屈折率1.46)が形成されている。
6)の外表面には、第1層目として1300Åの膜厚を
有するフッ素含有のSnO2 薄膜11(屈折率1.7
5)が形成され、第2層目として微細な凹凸を有するS
iO2 薄膜12(屈折率1.46)が形成されている。
【0020】このパネルガラス10の外表面への各薄膜
の形成は以下のような方法によって行った。
の形成は以下のような方法によって行った。
【0021】まず、パネルガラス10を洗浄、乾燥させ
予熱した状態で、外表面にジメチル2塩化錫とフッ素の
混合蒸気(F/Sn=9/100)を吹き付け、常圧の
CVD法によってフッ素がドープされたSnO2 薄膜1
1を形成した。フッ素としては、ポリフルオロ酢酸、フ
ッ化水素、フッ化カルボン酸、ブタノール溶液にSnF
2 を溶解させたもの等が使用できる。
予熱した状態で、外表面にジメチル2塩化錫とフッ素の
混合蒸気(F/Sn=9/100)を吹き付け、常圧の
CVD法によってフッ素がドープされたSnO2 薄膜1
1を形成した。フッ素としては、ポリフルオロ酢酸、フ
ッ化水素、フッ化カルボン酸、ブタノール溶液にSnF
2 を溶解させたもの等が使用できる。
【0022】次いで、SnO2 薄膜11の上に、SiO
2 含有のエタノール溶液をスプレーコート法により吹き
付けることによって、微細な凹凸を有するSiO2 薄膜
12を形成した。
2 含有のエタノール溶液をスプレーコート法により吹き
付けることによって、微細な凹凸を有するSiO2 薄膜
12を形成した。
【0023】(実施例2)図2は本発明の陰極線管用パ
ネルの縦断面図である。
ネルの縦断面図である。
【0024】このパネルガラス10(屈折率1.53
6)の外表面には、第1層目として1300Åの膜厚を
有するフッ素含有のSnO2 薄膜13(屈折率1.7
5)が形成され、さらに、第2層目として800Åの膜
厚を有する平坦なSiO2 薄膜14(屈折率1.46)
が形成され、第3層目として微細な凹凸を有するSiO
2薄膜15が形成されている。
6)の外表面には、第1層目として1300Åの膜厚を
有するフッ素含有のSnO2 薄膜13(屈折率1.7
5)が形成され、さらに、第2層目として800Åの膜
厚を有する平坦なSiO2 薄膜14(屈折率1.46)
が形成され、第3層目として微細な凹凸を有するSiO
2薄膜15が形成されている。
【0025】このパネルガラス10の外表面への各薄膜
の形成は以下のような方法によって行った。
の形成は以下のような方法によって行った。
【0026】先ず、第1層目のSnO2 薄膜13は実施
例1と同じ方法で形成した。
例1と同じ方法で形成した。
【0027】次いで、このパネルガラス10を予熱した
状態で回転させながら、SnO2 薄膜13の上にSiO
2 含有のアルコール溶液を滴下し、これを自然乾燥させ
た後に焼成させることによって、平坦なSiO2 薄膜1
4を形成した。
状態で回転させながら、SnO2 薄膜13の上にSiO
2 含有のアルコール溶液を滴下し、これを自然乾燥させ
た後に焼成させることによって、平坦なSiO2 薄膜1
4を形成した。
【0028】その後、前記平坦なSnO2 薄膜14上
に、SiO2 含有のエタノール溶液をスプレーコート法
により吹き付けることによって、微細な凹凸を有するS
iO2薄膜15を形成した。
に、SiO2 含有のエタノール溶液をスプレーコート法
により吹き付けることによって、微細な凹凸を有するS
iO2薄膜15を形成した。
【0029】上記のようにして作製した各々の陰極線管
用パネルの面抵抗を測定したところ、実施例1、2の陰
極線管用パネルは1×103 Ω/□の低い面抵抗を有し
ており、優れた電磁波遮蔽性を有していた。
用パネルの面抵抗を測定したところ、実施例1、2の陰
極線管用パネルは1×103 Ω/□の低い面抵抗を有し
ており、優れた電磁波遮蔽性を有していた。
【0030】また、各々の陰極線管用パネルの400〜
700nmの波長における反射率を測定し、その結果を
図3に示した。図3においては、外表面が未処理の陰極
線管用パネルガラス(屈折率1.536)を比較例とし
ている。図3のグラフから明らかなように、実施例1、
2の陰極線管用パネルは、広い波長域に亙って全般的に
低い反射率を有していた。
700nmの波長における反射率を測定し、その結果を
図3に示した。図3においては、外表面が未処理の陰極
線管用パネルガラス(屈折率1.536)を比較例とし
ている。図3のグラフから明らかなように、実施例1、
2の陰極線管用パネルは、広い波長域に亙って全般的に
低い反射率を有していた。
【0031】
【発明の効果】以上のように本発明によると、優れた電
磁波遮蔽性と広い波長域に亙って安定した反射防止性を
有する陰極線管用パネルを得ることが可能である。
磁波遮蔽性と広い波長域に亙って安定した反射防止性を
有する陰極線管用パネルを得ることが可能である。
【図1】本発明の実施例1の陰極線管用パネルの縦断面
図である。
図である。
【図2】本発明の実施例2の陰極線管用パネルの縦断面
図である。
図である。
【図3】本発明の実施例の陰極線管用パネルの反射率を
示すグラフである。
示すグラフである。
10 パネルガラス 11、13 SnO2 薄膜 12、15 微細な凹凸を有するSiO2 薄膜 14 平坦なSiO2 薄膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小森 好治 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 日本電 気硝子株式会社内 (72)発明者 今村 努 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 日本電 気硝子株式会社内
Claims (3)
- 【請求項1】 外表面側の第1層目に1000Å以上の
膜厚と3×103 Ω/□以下の面抵抗を有し且つ1〜2
0%のフッ素を含有して1.6〜1.9の屈折率を有す
るSnO2 薄膜が形成され、第2層目に微細な凹凸を有
するSiO2薄膜が形成されてなることを特徴とする陰
極線管用パネル。 - 【請求項2】 外表面側の第1層目に1000Å以上の
膜厚と3×103 Ω/□以下の面抵抗を有し且つ1〜2
0%のフッ素を含有して1.6〜1.9の屈折率を有す
るSnO2 薄膜が形成され、第2層目に平坦なSiO2
薄膜が形成され、第3層目に微細な凹凸を有するSiO
2 薄膜が形成されてなることを特徴とする陰極線管用パ
ネル。 - 【請求項3】 第1層目のSnO2 薄膜がCVD法によ
って形成されてなることを特徴とする請求項1又は2の
陰極線管用パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30322094A JPH08138580A (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | 陰極線管用パネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30322094A JPH08138580A (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | 陰極線管用パネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08138580A true JPH08138580A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17918330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30322094A Pending JPH08138580A (ja) | 1994-11-10 | 1994-11-10 | 陰極線管用パネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08138580A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100428967B1 (ko) * | 1996-12-17 | 2004-07-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 음극선관및그제조방법 |
-
1994
- 1994-11-10 JP JP30322094A patent/JPH08138580A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100428967B1 (ko) * | 1996-12-17 | 2004-07-27 | 삼성에스디아이 주식회사 | 음극선관및그제조방법 |
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