JPH08129051A - 素子特性測定装置及び素子特性測定方法 - Google Patents
素子特性測定装置及び素子特性測定方法Info
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- JPH08129051A JPH08129051A JP29052694A JP29052694A JPH08129051A JP H08129051 A JPH08129051 A JP H08129051A JP 29052694 A JP29052694 A JP 29052694A JP 29052694 A JP29052694 A JP 29052694A JP H08129051 A JPH08129051 A JP H08129051A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】流れ込む電流に関係なく出力端子の電位を正確
に基準電位に維持することが可能な素子特性測定装置を
提供すること。 【構成】出力増幅器１０と、該出力増幅器の出力に応じ
て出力電圧を発生する出力端子１８と、電圧検出端子２
０と、該電圧検出端子の電圧を検出する電圧検出用緩衝
増幅器３０と、該緩衝増幅器の出力電圧と検出基準電位
との間の分圧出力を上記出力増幅器の入力端に帰還する
帰還回路Ｒ1、Ｒ2と、基準電位検出端子２６と、該基準
電位検出端子の電位を検出し、上記検出基準電位を出力
する基準電位検出用緩衝増幅器２８とを有し、更に、上
記出力端子と基準電位源との間に接続された第１スイッ
チ手段３９と、上記電圧検出用緩衝増幅器の出力端と上
記基準電位検出用緩衝増幅器の入力端との間に接続され
た第２のスイッチ手段３８とを具え、上記第１及び第２
スイッチ手段を同時に導通状態とする基準電位動作モー
ドを有する。
に基準電位に維持することが可能な素子特性測定装置を
提供すること。 【構成】出力増幅器１０と、該出力増幅器の出力に応じ
て出力電圧を発生する出力端子１８と、電圧検出端子２
０と、該電圧検出端子の電圧を検出する電圧検出用緩衝
増幅器３０と、該緩衝増幅器の出力電圧と検出基準電位
との間の分圧出力を上記出力増幅器の入力端に帰還する
帰還回路Ｒ1、Ｒ2と、基準電位検出端子２６と、該基準
電位検出端子の電位を検出し、上記検出基準電位を出力
する基準電位検出用緩衝増幅器２８とを有し、更に、上
記出力端子と基準電位源との間に接続された第１スイッ
チ手段３９と、上記電圧検出用緩衝増幅器の出力端と上
記基準電位検出用緩衝増幅器の入力端との間に接続され
た第２のスイッチ手段３８とを具え、上記第１及び第２
スイッチ手段を同時に導通状態とする基準電位動作モー
ドを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体等の被測定素子
の特性を測定する素子特性測定装置及び素子特性測定方
法に関する。
の特性を測定する素子特性測定装置及び素子特性測定方
法に関する。
【０００２】
【従来技術】図３は、従来の素子特性測定装置の一例を
示すブロック図である。出力増幅器１０は、マイクロ・
プロセッサ(μＰ）からの制御データを受けるデジタル
・アナログ変換器１２からの出力電圧及び帰還電圧に応
じた出力電圧を発生する。この出力増幅器の出力電圧
は、緩衝増幅器１４及び電流検出抵抗器１６を介して出
力端子(Force）１８から出力される。出力端子１８は、
電圧検出端子(Sense）２０と共に被測定素子２２の一端
に共通接続されている。被測定素子２２の他端は、基準
電位源端子(Ground Return）２４及び基準電位検出端子
(Ground Return Sense）２６に接続されている。基準電
位検出端子２６は、基準電位検出用緩衝増幅器２８の入
力端に接続され、この基準電位検出用緩衝増幅器２８の
出力電位がこの素子特性測定装置の基準電位となる。ま
た、被測定素子２２の一端の電圧は、電圧検出端子２０
を介して電圧検出用緩衝増幅器３０の入力端子に供給さ
れ、この電圧検出用緩衝増幅器３０の出力電圧が被測定
素子２２の一端の電圧値を正確に表している。この電圧
検出用緩衝増幅器３０の出力端と基準電位検出用緩衝増
幅器２８の出力端との間には、抵抗分圧回路Ｒ1及びＲ2
が接続されており、この分圧出力が出力増幅器１０の反
転入力端に帰還されている。また、電圧検出用緩衝増幅
器３０の出力は、アナログ・デジタル変換器３２により
デジタル信号(電圧検出信号）に変換され、本装置を制
御しているマイクロ・プロセッサ(図示せず）に送られ
る。また、電流検出用抵抗器Ｒsの両端間の電圧は、差
動増幅器３４により検出され、この検出出力はアナログ
・デジタル変換器３６によりデジタル信号(電流検出信
号）に変換され、マイクロ・プロセッサに送られる。こ
のような素子特性測定装置は、電圧又は電流を供給して
電流又は電圧を夫々測定できることから、ＳＭＵ(Sourc
e Measurement Unit）と呼ばれることもある。
示すブロック図である。出力増幅器１０は、マイクロ・
プロセッサ(μＰ）からの制御データを受けるデジタル
・アナログ変換器１２からの出力電圧及び帰還電圧に応
じた出力電圧を発生する。この出力増幅器の出力電圧
は、緩衝増幅器１４及び電流検出抵抗器１６を介して出
力端子(Force）１８から出力される。出力端子１８は、
電圧検出端子(Sense）２０と共に被測定素子２２の一端
に共通接続されている。被測定素子２２の他端は、基準
電位源端子(Ground Return）２４及び基準電位検出端子
(Ground Return Sense）２６に接続されている。基準電
位検出端子２６は、基準電位検出用緩衝増幅器２８の入
力端に接続され、この基準電位検出用緩衝増幅器２８の
出力電位がこの素子特性測定装置の基準電位となる。ま
た、被測定素子２２の一端の電圧は、電圧検出端子２０
を介して電圧検出用緩衝増幅器３０の入力端子に供給さ
れ、この電圧検出用緩衝増幅器３０の出力電圧が被測定
素子２２の一端の電圧値を正確に表している。この電圧
検出用緩衝増幅器３０の出力端と基準電位検出用緩衝増
幅器２８の出力端との間には、抵抗分圧回路Ｒ1及びＲ2
が接続されており、この分圧出力が出力増幅器１０の反
転入力端に帰還されている。また、電圧検出用緩衝増幅
器３０の出力は、アナログ・デジタル変換器３２により
デジタル信号(電圧検出信号）に変換され、本装置を制
御しているマイクロ・プロセッサ(図示せず）に送られ
る。また、電流検出用抵抗器Ｒsの両端間の電圧は、差
動増幅器３４により検出され、この検出出力はアナログ
・デジタル変換器３６によりデジタル信号(電流検出信
号）に変換され、マイクロ・プロセッサに送られる。こ
のような素子特性測定装置は、電圧又は電流を供給して
電流又は電圧を夫々測定できることから、ＳＭＵ(Sourc
e Measurement Unit）と呼ばれることもある。
【０００３】以上の構成により、マイクロ・プロセッサ
は、デジタル・アナログ変換器への電圧制御データを調
整することにより、被測定素子２２の一端に印加する電
圧を制御し、その時流れる電流値を電流検出信号のデー
タ(Ｉデータ）により及びその時の電圧値を電圧検出信
号のデータ(Ｖデータ）により測定できる。この時の測
定電圧の基準となる電位が基準検出用緩衝増幅器から出
力される基準検出電位である。なお、基準電位源端子２
４に直結された基準電位源(接地端）を基準電位として
使用しないのは、精密測定を行う場合には、電流が流れ
込むことにより導線等の微小抵抗による僅かな電圧降下
も無視できなくなるからであり、高入力抵抗を有する緩
衝増幅器２８により基準電位を検出し、これを基準電位
とすることにより高精度の測定を実現しているのであ
る。
は、デジタル・アナログ変換器への電圧制御データを調
整することにより、被測定素子２２の一端に印加する電
圧を制御し、その時流れる電流値を電流検出信号のデー
タ(Ｉデータ）により及びその時の電圧値を電圧検出信
号のデータ(Ｖデータ）により測定できる。この時の測
定電圧の基準となる電位が基準検出用緩衝増幅器から出
力される基準検出電位である。なお、基準電位源端子２
４に直結された基準電位源(接地端）を基準電位として
使用しないのは、精密測定を行う場合には、電流が流れ
込むことにより導線等の微小抵抗による僅かな電圧降下
も無視できなくなるからであり、高入力抵抗を有する緩
衝増幅器２８により基準電位を検出し、これを基準電位
とすることにより高精度の測定を実現しているのであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図３の素子特性測定装
置(ＳＭＵ）を複数個使用して複数の端子を有する被測
定素子の各端子に接続し、特性を測定する場合がある。
この測定の一例を図４に示す。図４では、３個のＳＭＵ
４０−１、４０−２及び４０−３を使用し、被測定素子
であるトランジスタ２２のコレクタ、ベース及びエミッ
タに夫々出力端子１８及び電圧検出端子２０を接続して
いる。また、３個のＳＭＵの基準電位源端子２４及び基
準電位検出端子２６は、総てが直結され、基準電位を共
通にしている。このように結線すると、各ＳＭＵを適当
に制御することにより、エミッタ接地、ベース接地、コ
レクタ接地等の種々の測定を結線を変更することなく容
易に行うことができる。
置(ＳＭＵ）を複数個使用して複数の端子を有する被測
定素子の各端子に接続し、特性を測定する場合がある。
この測定の一例を図４に示す。図４では、３個のＳＭＵ
４０−１、４０−２及び４０−３を使用し、被測定素子
であるトランジスタ２２のコレクタ、ベース及びエミッ
タに夫々出力端子１８及び電圧検出端子２０を接続して
いる。また、３個のＳＭＵの基準電位源端子２４及び基
準電位検出端子２６は、総てが直結され、基準電位を共
通にしている。このように結線すると、各ＳＭＵを適当
に制御することにより、エミッタ接地、ベース接地、コ
レクタ接地等の種々の測定を結線を変更することなく容
易に行うことができる。
【０００５】しかし、例えば、エミッタ接地の測定をす
るためにＳＭＵ４０−３の出力を基準電位(０Ｖ）に設
定し、仮想的な接地端子として利用した場合、ＳＭＵ４
０−３に流れ込む電流が増加すると、ＳＭＵ４０−３の
出力電位を０Ｖに維持することが困難になり、この電位
の誤差がそのまま測定誤差に反映する結果となる。ま
た、大電流が流れ込むと回路素子が損傷を受ける虞もあ
る。
るためにＳＭＵ４０−３の出力を基準電位(０Ｖ）に設
定し、仮想的な接地端子として利用した場合、ＳＭＵ４
０−３に流れ込む電流が増加すると、ＳＭＵ４０−３の
出力電位を０Ｖに維持することが困難になり、この電位
の誤差がそのまま測定誤差に反映する結果となる。ま
た、大電流が流れ込むと回路素子が損傷を受ける虞もあ
る。
【０００６】よって、本発明の目的は、流れ込む電流に
関係なく出力端子の電位を正確に基準電位に維持するこ
とが可能な素子特性測定装置を提供することである。
関係なく出力端子の電位を正確に基準電位に維持するこ
とが可能な素子特性測定装置を提供することである。
【０００７】本発明の他の目的は、複数の端子を有する
被測定素子の２以上の端子に素子特性測定装置を接続
し、基準電位を確実に一定に維持した正確な測定を容易
に行うことが可能な素子特性測定方法を提供することで
ある。
被測定素子の２以上の端子に素子特性測定装置を接続
し、基準電位を確実に一定に維持した正確な測定を容易
に行うことが可能な素子特性測定方法を提供することで
ある。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】本発明の素子特性測定装置
は、出力増幅器と、該出力増幅器の出力に応じて出力電
圧を発生する出力端子と、電圧検出端子と、該電圧検出
端子の電圧を検出する電圧検出用緩衝増幅器と、該緩衝
増幅器の出力電圧と検出基準電位との間の分圧出力を上
記出力増幅器の入力端に帰還する帰還回路と、基準電位
検出端子と、該基準電位検出端子の電位を検出し、上記
検出基準電位を出力する基準電位検出用緩衝増幅器とを
有し、更に、上記出力端子と基準電位源との間に接続さ
れた第１スイッチ手段と、上記電圧検出用緩衝増幅器の
出力端と上記基準電位検出用緩衝増幅器の入力端との間
に接続された第２のスイッチ手段とを具え、上記第１及
び第２スイッチ手段を同時に導通状態とする基準電位動
作モードを有することを特徴とする。
は、出力増幅器と、該出力増幅器の出力に応じて出力電
圧を発生する出力端子と、電圧検出端子と、該電圧検出
端子の電圧を検出する電圧検出用緩衝増幅器と、該緩衝
増幅器の出力電圧と検出基準電位との間の分圧出力を上
記出力増幅器の入力端に帰還する帰還回路と、基準電位
検出端子と、該基準電位検出端子の電位を検出し、上記
検出基準電位を出力する基準電位検出用緩衝増幅器とを
有し、更に、上記出力端子と基準電位源との間に接続さ
れた第１スイッチ手段と、上記電圧検出用緩衝増幅器の
出力端と上記基準電位検出用緩衝増幅器の入力端との間
に接続された第２のスイッチ手段とを具え、上記第１及
び第２スイッチ手段を同時に導通状態とする基準電位動
作モードを有することを特徴とする。
【０００９】本発明の素子特性測定方法によれば、上記
の素子特性測定装置を、複数の端子を有する被測定素子
の２以上の端子の各々に１つずつ対応させ、上記素子特
性測定装置の上記出力端子及び電圧検出端子を上記被測
定素子の対応する端子に共通接続し、これらの素子特性
測定装置間において、上記基準電位源同士を相互接続
し、かつ上記基準電位検出用緩衝増幅器の入力端同士を
接続し、これらの素子特性測定装置の何れか１つを上記
基準電位動作モードに設定することを特徴とする。
の素子特性測定装置を、複数の端子を有する被測定素子
の２以上の端子の各々に１つずつ対応させ、上記素子特
性測定装置の上記出力端子及び電圧検出端子を上記被測
定素子の対応する端子に共通接続し、これらの素子特性
測定装置間において、上記基準電位源同士を相互接続
し、かつ上記基準電位検出用緩衝増幅器の入力端同士を
接続し、これらの素子特性測定装置の何れか１つを上記
基準電位動作モードに設定することを特徴とする。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明による素子特性測定装置(Ｓ
ＭＵ）の好適実施例の構成を示すブロック図である。図
１では、図３の要素に対応するものには同一の参照符号
を付している。図３の従来の構成と異なる点は、２つの
リレー・スイッチ３８及び３９の追加である。リレー・
スイッチ３８は、電圧検出用緩衝増幅器３０の出力端と
基準電位検出用緩衝増幅器２８の入力端との間に接続さ
れ、もう１つのリレー・スイッチ３９は、出力端子１８
と基準電位源(すなわち、基準電位源端子２４）に接続
されている。これらの２つのリレー・スイッチ３８及び
３９は、マイクロ・プロセッサ(図示せず）により制御
され、基準電位動作モードに設定されることにより、同
時に導通状態となる。この基準電位動作モードに設定す
るのは、複数のＳＭＵの出力端子及び電圧検出端子を、
複数の端子を有する被測定素子(ＤＵＴ）の対応する端
子に夫々接続し、その中の１つのＳＭＵを基準電位源と
して動作させたい場合である。したがって、図１におい
て、出力端子１８及び電圧検出端子２０は、対応するＤ
ＵＴの端子に共通接続され、基準電位源端子２４は、他
のＳＭＵの基準電位源端子に接続され、基準電位検出端
子２６は、他のＳＭＵの基準電位検出端子に接続され
る。その他の部分に関しては、図３の回路構成と同様な
ので、説明は省略する。マイクロ・プロセッサは、リレ
ー・スイッチ３８及び３９を同時に導通させて基準電位
動作モードに設定すると共にＤＡＣ１２に供給する制御
データを調整してＤＡＣ１２の出力電圧を０Ｖに設定す
る。
ＭＵ）の好適実施例の構成を示すブロック図である。図
１では、図３の要素に対応するものには同一の参照符号
を付している。図３の従来の構成と異なる点は、２つの
リレー・スイッチ３８及び３９の追加である。リレー・
スイッチ３８は、電圧検出用緩衝増幅器３０の出力端と
基準電位検出用緩衝増幅器２８の入力端との間に接続さ
れ、もう１つのリレー・スイッチ３９は、出力端子１８
と基準電位源(すなわち、基準電位源端子２４）に接続
されている。これらの２つのリレー・スイッチ３８及び
３９は、マイクロ・プロセッサ(図示せず）により制御
され、基準電位動作モードに設定されることにより、同
時に導通状態となる。この基準電位動作モードに設定す
るのは、複数のＳＭＵの出力端子及び電圧検出端子を、
複数の端子を有する被測定素子(ＤＵＴ）の対応する端
子に夫々接続し、その中の１つのＳＭＵを基準電位源と
して動作させたい場合である。したがって、図１におい
て、出力端子１８及び電圧検出端子２０は、対応するＤ
ＵＴの端子に共通接続され、基準電位源端子２４は、他
のＳＭＵの基準電位源端子に接続され、基準電位検出端
子２６は、他のＳＭＵの基準電位検出端子に接続され
る。その他の部分に関しては、図３の回路構成と同様な
ので、説明は省略する。マイクロ・プロセッサは、リレ
ー・スイッチ３８及び３９を同時に導通させて基準電位
動作モードに設定すると共にＤＡＣ１２に供給する制御
データを調整してＤＡＣ１２の出力電圧を０Ｖに設定す
る。
【００１１】図２は、図１の素子特性測定装置(ＳＭ
Ｕ）を３つ使用し、被測定素子(ＤＵＴ）であるトラン
ジスタ２２の測定をする場合の回路を示している。トラ
ンジスタ２２のエミッタ、ベース及びコレクタには、夫
々に対応するＳＭＵの出力端子及び電圧検出端子が接続
される。これら３つのＳＭＵ４２−１、４２−２、及び
４２−３において、各基準電位源端子２４が共通接続さ
れ、各基準電位検出端子２６が共通接続されている。ま
た、図４の場合と異なり、これらの基準電位源端子２４
と基準電位検出端子２６は接続されていない。この理由
は次のとおりである。つまり、図１の回路が図２の４２
−３のＳＭＵであると仮定した場合、エミッタ接地の測
定をするためには、リレー・スイッチ３８及び３９を導
通させて基準電位動作モードに設定する。すると、ＳＭ
Ｕ４２−３の出力端子１８がリレー・スイッチ３９を介
して基準電位源に接続される。この場合に、基準電位源
端子２４と基準電位検出端子２６が接続されていると、
大電流が基準電位源に流れ込んだときに基準電位検出端
子２６の電位も変化し、基準電位検出用緩衝増幅器２８
の出力である検出基準電位も僅かながら変化する可能性
があると共に、リレー・スイッチ３８を介して基準電位
源端子２４の電位変化が内部回路にも影響を与える虞が
あるからである。したがって、この実施例ように基準電
位源端子２４と基準電位検出端子２６を分離しておけ
ば、３つのＳＭＵ４２−１、４２−２及び４２−３の基
準電位である検出基準電位が共通で安定なものとなり、
測定の精度及び信頼性が向上する。また、基準電位動作
モードに設定されたＳＭＵ４２−３の出力端子１８に流
れ込んだ電流は基準電位源に吸収されるので、出力増幅
器に影響を与えることがなく回路素子の損傷や動作の不
安定等の問題を発生することがない。
Ｕ）を３つ使用し、被測定素子(ＤＵＴ）であるトラン
ジスタ２２の測定をする場合の回路を示している。トラ
ンジスタ２２のエミッタ、ベース及びコレクタには、夫
々に対応するＳＭＵの出力端子及び電圧検出端子が接続
される。これら３つのＳＭＵ４２−１、４２−２、及び
４２−３において、各基準電位源端子２４が共通接続さ
れ、各基準電位検出端子２６が共通接続されている。ま
た、図４の場合と異なり、これらの基準電位源端子２４
と基準電位検出端子２６は接続されていない。この理由
は次のとおりである。つまり、図１の回路が図２の４２
−３のＳＭＵであると仮定した場合、エミッタ接地の測
定をするためには、リレー・スイッチ３８及び３９を導
通させて基準電位動作モードに設定する。すると、ＳＭ
Ｕ４２−３の出力端子１８がリレー・スイッチ３９を介
して基準電位源に接続される。この場合に、基準電位源
端子２４と基準電位検出端子２６が接続されていると、
大電流が基準電位源に流れ込んだときに基準電位検出端
子２６の電位も変化し、基準電位検出用緩衝増幅器２８
の出力である検出基準電位も僅かながら変化する可能性
があると共に、リレー・スイッチ３８を介して基準電位
源端子２４の電位変化が内部回路にも影響を与える虞が
あるからである。したがって、この実施例ように基準電
位源端子２４と基準電位検出端子２６を分離しておけ
ば、３つのＳＭＵ４２−１、４２−２及び４２−３の基
準電位である検出基準電位が共通で安定なものとなり、
測定の精度及び信頼性が向上する。また、基準電位動作
モードに設定されたＳＭＵ４２−３の出力端子１８に流
れ込んだ電流は基準電位源に吸収されるので、出力増幅
器に影響を与えることがなく回路素子の損傷や動作の不
安定等の問題を発生することがない。
【００１２】また、リレー・スイッチ３８により電圧検
出用緩衝増幅器３０の出力端を基準電位検出用緩衝増幅
器２８の入力端に接続する理由は次のとおりである。す
なわち、出力端子１８の電位を基準電位に維持したい基
準電位動作モードでは、他の回路から出力端子１８に電
流が流れ込む結果、どうしても出力端子１８の電位が上
昇傾向となる。この場合、電圧検出用緩衝増幅器３０に
より検出した電圧をリレー・スイッチ３８を介して基準
電位検出用緩衝増幅器２８の入力端に供給してやれば、
出力端子１８の電位は、常に検出基準電位となるように
制御される結果となり、この基準電位が３つのＳＭＵで
共通となるので、測定精度の劣化が起きることがなくな
るからである。
出用緩衝増幅器３０の出力端を基準電位検出用緩衝増幅
器２８の入力端に接続する理由は次のとおりである。す
なわち、出力端子１８の電位を基準電位に維持したい基
準電位動作モードでは、他の回路から出力端子１８に電
流が流れ込む結果、どうしても出力端子１８の電位が上
昇傾向となる。この場合、電圧検出用緩衝増幅器３０に
より検出した電圧をリレー・スイッチ３８を介して基準
電位検出用緩衝増幅器２８の入力端に供給してやれば、
出力端子１８の電位は、常に検出基準電位となるように
制御される結果となり、この基準電位が３つのＳＭＵで
共通となるので、測定精度の劣化が起きることがなくな
るからである。
【００１３】以上、本発明の好適実施例を説明したが、
本発明は、上述の実施例のみに限定されるものではな
く、本発明の要旨から逸脱することなく、種々の変形及
び修正を加え得ることは当業者には明らかである。
本発明は、上述の実施例のみに限定されるものではな
く、本発明の要旨から逸脱することなく、種々の変形及
び修正を加え得ることは当業者には明らかである。
【００１４】
【発明の効果】本発明の素子特性測定装置は、出力端子
を確実かつ正確にに基準電位に維持できる基準電位動作
モードをスイッチ切り替えにより容易に実現できるの
で、従来のような測定誤差を発生せず、測定精度及び信
頼性が格段に向上する。特に、複数の素子特性測定装置
を被測定素子の各端子に接続する本発明の測定方法によ
れば、手作業による結線の変更等を全くすることなく、
高精度で信頼性の高い測定を容易に行える。また、基準
電位動作モードの素子特性測定装置は、増幅器に過大な
電流が流れ込まないので損傷の虞もない。
を確実かつ正確にに基準電位に維持できる基準電位動作
モードをスイッチ切り替えにより容易に実現できるの
で、従来のような測定誤差を発生せず、測定精度及び信
頼性が格段に向上する。特に、複数の素子特性測定装置
を被測定素子の各端子に接続する本発明の測定方法によ
れば、手作業による結線の変更等を全くすることなく、
高精度で信頼性の高い測定を容易に行える。また、基準
電位動作モードの素子特性測定装置は、増幅器に過大な
電流が流れ込まないので損傷の虞もない。
【図１】本発明の素子特定測定装置の一実施例の構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２】図１の装置を使用した本発明の測定方法を説明
するためのブロック図である。
するためのブロック図である。
【図３】従来の素子特性測定装置の構成を示すブロック
図である。
図である。
【図４】従来の測定方法を説明するためのブロック図で
ある。
ある。
１０ 出力増幅器 １８ 出力端子 ２０ 電圧検出端子 ２２ 被測定素子(ＤＵＴ） ２４ 基準電源端子 ２６ 基準電位検出端子 ２８ 基準電位検出用緩衝増幅器 ３０ 電圧検出用緩衝増幅器 ３８ リレー・スイッチ ３９ リレー・スイッチ Ｒ1、Ｒ2 帰還回路
Claims (2)
- 【請求項１】 出力増幅器と、該出力増幅器の出力に応
じて出力電圧を発生する出力端子と、電圧検出端子と、
該電圧検出端子の電圧を検出する電圧検出用緩衝増幅器
と、該緩衝増幅器の出力電圧と検出基準電位との間の分
圧出力を上記出力増幅器の入力端に帰還する帰還回路
と、基準電位検出端子と、該基準電位検出端子の電位を
検出し、上記検出基準電位を出力する基準電位検出用緩
衝増幅器とを有する素子特性測定装置において、 上記出力端子と基準電位源との間に接続された第１スイ
ッチ手段と、 上記電圧検出用緩衝増幅器の出力端と上記基準電位検出
用緩衝増幅器の入力端との間に接続された第２のスイッ
チ手段とを具え、 上記第１及び第２スイッチ手段を同時に導通状態とする
基準電位動作モードを有することを特徴とする素子特性
測定装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の素子特性測定装置を、複
数の端子を有する被測定素子の２以上の端子の各々に１
つずつ対応させ、上記素子特性測定装置の上記出力端子
及び電圧検出端子を上記被測定素子の対応する端子に共
通接続し、 これらの素子特性測定装置間において、上記基準電位源
同士を相互接続し、かつ上記基準電位検出用緩衝増幅器
の入力端同士を接続し、 これらの素子特性測定装置の何れか１つを上記基準電位
動作モードに設定することを特徴とする素子特性測定方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29052694A JPH08129051A (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | 素子特性測定装置及び素子特性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29052694A JPH08129051A (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | 素子特性測定装置及び素子特性測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08129051A true JPH08129051A (ja) | 1996-05-21 |
Family
ID=17757173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29052694A Pending JPH08129051A (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | 素子特性測定装置及び素子特性測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08129051A (ja) |
-
1994
- 1994-10-31 JP JP29052694A patent/JPH08129051A/ja active Pending
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