JPH08128997A - 超音波探傷装置 - Google Patents
超音波探傷装置Info
- Publication number
- JPH08128997A JPH08128997A JP6267387A JP26738794A JPH08128997A JP H08128997 A JPH08128997 A JP H08128997A JP 6267387 A JP6267387 A JP 6267387A JP 26738794 A JP26738794 A JP 26738794A JP H08128997 A JPH08128997 A JP H08128997A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pulse voltage
- wave
- electrode
- reflected wave
- central electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 表面の表面近傍に内在する欠陥からの反射信
号を確実に捕捉して表示できる超音波探傷装置の提供を
目的とする。 【構成】 圧電トランスデューサ１を音響レンズ２の中
心部領域に設置した中心素子１Ａ（１ａ、１ｃ、１ｄ）
と周辺領域に設置した周辺素子１Ｂ（１ｂ、１ｅ、１
ｄ）に２分割する。更にパルス電圧発生部７の出力を２
分割してその一方を系路Ｌ1を介して直接中心素子１Ａ
に、他方を遅延時間Ｄ0の遅延回路６を経て中心素子１
Ａ及び周辺素子１Ｂに印加する如く配線する。中心素子
１Ａを介して入力した被検体表面からの垂直反射波Ｓ1
をトリガーとして系路Ｌ2からの被検体欠陥からの反射
波Ｆを、Ｄ1時間後の所定時間Ｔ0のゲートで検出して欠
陥信号Ｆのみを検出する。
号を確実に捕捉して表示できる超音波探傷装置の提供を
目的とする。 【構成】 圧電トランスデューサ１を音響レンズ２の中
心部領域に設置した中心素子１Ａ（１ａ、１ｃ、１ｄ）
と周辺領域に設置した周辺素子１Ｂ（１ｂ、１ｅ、１
ｄ）に２分割する。更にパルス電圧発生部７の出力を２
分割してその一方を系路Ｌ1を介して直接中心素子１Ａ
に、他方を遅延時間Ｄ0の遅延回路６を経て中心素子１
Ａ及び周辺素子１Ｂに印加する如く配線する。中心素子
１Ａを介して入力した被検体表面からの垂直反射波Ｓ1
をトリガーとして系路Ｌ2からの被検体欠陥からの反射
波Ｆを、Ｄ1時間後の所定時間Ｔ0のゲートで検出して欠
陥信号Ｆのみを検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は超音波探傷装置に係り、
特に被検体表面下の浅い領域にある欠陥の検出に好適な
超音波探傷装置に関する。
特に被検体表面下の浅い領域にある欠陥の検出に好適な
超音波探傷装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】試料の表面近傍領域の欠陥（ボイドや剥
離等）検出を超音波探傷装置で行う場合、従来から探傷
信号の識別は、被検体表面からの反射波を基準として行
っている。即ち、パルス電圧を圧電トランスデューサに
印加すると、発生した超音波が音響レンズ内を伝搬し、
凹レンズで集束されて水等の媒質を介して被検体（試
料）に放射される。このうち、垂直に進行して被検体表
面で反射された波は最も早く同じ経路を辿って圧電トラ
ンスデューサに戻り、表面反射波Ｓとして検出される。
そこで、Ｓの検出時刻を基点にしてそれより所定の時間
Ｔだけ遅延したゲートの開始時刻を設定し、その開示時
間から始まる所定のゲート期間Ｔ0中に、戻ってくる欠
陥反射波Ｆを拾うこのタイムチャートを図４に示す。
離等）検出を超音波探傷装置で行う場合、従来から探傷
信号の識別は、被検体表面からの反射波を基準として行
っている。即ち、パルス電圧を圧電トランスデューサに
印加すると、発生した超音波が音響レンズ内を伝搬し、
凹レンズで集束されて水等の媒質を介して被検体（試
料）に放射される。このうち、垂直に進行して被検体表
面で反射された波は最も早く同じ経路を辿って圧電トラ
ンスデューサに戻り、表面反射波Ｓとして検出される。
そこで、Ｓの検出時刻を基点にしてそれより所定の時間
Ｔだけ遅延したゲートの開始時刻を設定し、その開示時
間から始まる所定のゲート期間Ｔ0中に、戻ってくる欠
陥反射波Ｆを拾うこのタイムチャートを図４に示す。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】被検体内部の欠陥が被
検体の極く近傍にある場合、当然の結果として表面反射
波Ｓと欠陥反射波Ｆの間隔が極めて近接する。しかる
に、表面反射波の検出時刻からゲート開始時刻までの区
間である、ゲート開始時間Ｔの最小値は、ピーク検出器
の集積回路定数から限定されている。従って、前記反射
波ＳとＦの間隔がきわめて近い場合には、ＳとＦとの間
隔がゲート開始時間Ｔの最小値よりも小さいことがあ
り、欠陥反射波Ｆを検出できず、表示部でディスプレイ
される欠陥像が不正確になるという問題があった。本発
明の目的は、被検体の表面近傍に内在する欠陥からの反
射波を確実に捕捉することのできる超音波探傷装置を提
供することである。
検体の極く近傍にある場合、当然の結果として表面反射
波Ｓと欠陥反射波Ｆの間隔が極めて近接する。しかる
に、表面反射波の検出時刻からゲート開始時刻までの区
間である、ゲート開始時間Ｔの最小値は、ピーク検出器
の集積回路定数から限定されている。従って、前記反射
波ＳとＦの間隔がきわめて近い場合には、ＳとＦとの間
隔がゲート開始時間Ｔの最小値よりも小さいことがあ
り、欠陥反射波Ｆを検出できず、表示部でディスプレイ
される欠陥像が不正確になるという問題があった。本発
明の目的は、被検体の表面近傍に内在する欠陥からの反
射波を確実に捕捉することのできる超音波探傷装置を提
供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、音響レンズ
と、音響レンズの上面又は下面に上下電極を挟んで設け
られた圧電素子と、上下電極にパルス電圧を印加するパ
ルス電圧発生部と、より成る超音波探傷装置において、
上部電極を中央電極と周囲電極とに２分し、パルス電圧
発生部の出力側に、中央電極のみにパルス電圧を印加す
る第１の系路と、所定の遅延時間を持つ遅延回路を経て
中央電極及び周囲電極の両者に同時にパルス電圧を印加
する第２の系路と、を設け、被検体探傷時にパルス電圧
発生部からパルス電圧を発生させて、第１の系路を経て
中央電極に該パルス電圧を印加させると共に、第２の系
路を経て所定の遅延時間後に該パルス電圧を中央電極及
び周囲電極に印加させ、第１の系路を経て中央電極によ
って生起する、超音波に対する被検体の第１の表面反射
波を受信し、続いて第２の系路を経て中央電極、周囲電
極によって生起する、超音波に対する被検体の第２の表
面反射波及びそれに続く被検体内部欠陥波を受信し、第
１の表面反射波の受信時刻を基点に、被検体内部欠陥波
を選択するゲート開始時刻を設定して、内部欠陥波の追
従ゲートをはかった超音波探傷装置を開示する。
と、音響レンズの上面又は下面に上下電極を挟んで設け
られた圧電素子と、上下電極にパルス電圧を印加するパ
ルス電圧発生部と、より成る超音波探傷装置において、
上部電極を中央電極と周囲電極とに２分し、パルス電圧
発生部の出力側に、中央電極のみにパルス電圧を印加す
る第１の系路と、所定の遅延時間を持つ遅延回路を経て
中央電極及び周囲電極の両者に同時にパルス電圧を印加
する第２の系路と、を設け、被検体探傷時にパルス電圧
発生部からパルス電圧を発生させて、第１の系路を経て
中央電極に該パルス電圧を印加させると共に、第２の系
路を経て所定の遅延時間後に該パルス電圧を中央電極及
び周囲電極に印加させ、第１の系路を経て中央電極によ
って生起する、超音波に対する被検体の第１の表面反射
波を受信し、続いて第２の系路を経て中央電極、周囲電
極によって生起する、超音波に対する被検体の第２の表
面反射波及びそれに続く被検体内部欠陥波を受信し、第
１の表面反射波の受信時刻を基点に、被検体内部欠陥波
を選択するゲート開始時刻を設定して、内部欠陥波の追
従ゲートをはかった超音波探傷装置を開示する。
【０００５】
【作用】圧電トランスデューサの中心素子は、音響レン
ズの中心軸近傍（凹面レンズの底部）を通過する垂直反
射波成分のみを検出する。この反射波成分（第１の表面
反射波）は、最も早く被検体から反射されてくる超音波
であり、音響レンズ側壁からの反射成分を含まないので
波形乱れが小さくパルス幅もせまい。そこで、第１の表
面反射波を欠陥波検出のためのゲート開始時刻のトリガ
ーの目安にする。
ズの中心軸近傍（凹面レンズの底部）を通過する垂直反
射波成分のみを検出する。この反射波成分（第１の表面
反射波）は、最も早く被検体から反射されてくる超音波
であり、音響レンズ側壁からの反射成分を含まないので
波形乱れが小さくパルス幅もせまい。そこで、第１の表
面反射波を欠陥波検出のためのゲート開始時刻のトリガ
ーの目安にする。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいてより詳しく
述べる。図１は、本発明の探傷装置の実施例図である。
本実施例では、超音波探触子と外部回路とより成り、超
音波探触子は、圧電トランスデューサ１、音響レンズ
２、より成る。４は被検体を示し被検体（試料）４と探
触子の間には媒質３を介在させる。圧電トランスデュー
サ１は、中央圧電トランスデューサ１Ａと周辺圧電トラ
ンスデューサ１Ｂとより成り、各トランスデューサ１Ａ
と１Ｂとは、圧電素子１ａと上下電極１ｃと１ｄ、圧電
素子１ｂと上下電極１ｅと１ｄより成る。図２は圧電ト
ランスデューサ１の上面図であり、中央に上部電極１
ｃ、周囲に上部電極（リング状）１ｅ、更に下部電極１
ｄの一部が存在する。
述べる。図１は、本発明の探傷装置の実施例図である。
本実施例では、超音波探触子と外部回路とより成り、超
音波探触子は、圧電トランスデューサ１、音響レンズ
２、より成る。４は被検体を示し被検体（試料）４と探
触子の間には媒質３を介在させる。圧電トランスデュー
サ１は、中央圧電トランスデューサ１Ａと周辺圧電トラ
ンスデューサ１Ｂとより成り、各トランスデューサ１Ａ
と１Ｂとは、圧電素子１ａと上下電極１ｃと１ｄ、圧電
素子１ｂと上下電極１ｅと１ｄより成る。図２は圧電ト
ランスデューサ１の上面図であり、中央に上部電極１
ｃ、周囲に上部電極（リング状）１ｅ、更に下部電極１
ｄの一部が存在する。
【０００７】図１では圧電素子を１ａ、１ｂと分割した
例としたが、圧電素子を分割せずに上部電極のみを１
ｃ、１ｅの如く分割してもよい。
例としたが、圧電素子を分割せずに上部電極のみを１
ｃ、１ｅの如く分割してもよい。
【０００８】外部回路は、パルス電圧発生部（送信部）
７、遅延回路６、サーキュレータ１６、加算器８、受信
部９、ピーク検出器１０、ＡＤ変換器１１、ＣＰＵ１
２、ディスプレイ１３、ｘｙｚ駆動部１４、移動台１５
より成る。
７、遅延回路６、サーキュレータ１６、加算器８、受信
部９、ピーク検出器１０、ＡＤ変換器１１、ＣＰＵ１
２、ディスプレイ１３、ｘｙｚ駆動部１４、移動台１５
より成る。
【０００９】試料４はｘｙ平面上での走査が行われる。
このｘｙ走査及びｚ軸調整は、ＣＰＵ１２の指示を受け
たｘｙｚ軸動部１４による移動台１５の制御により行
う。走査点毎に、パルス電圧発生部７は、パルス電圧を
発生する。このパルス電圧は２分され、１方はサーキュ
レータ１６を経てそのまま直接に系路Ｌ1を通って中央
電極１ｃに印加されると共に、他方は遅延回路６、サー
キュレータ１６を経て系路Ｌ2を通って中央電極１ｃ、
周囲電極１ｅに、その遅延時間（Ｄ0）経過後に、印加
される。
このｘｙ走査及びｚ軸調整は、ＣＰＵ１２の指示を受け
たｘｙｚ軸動部１４による移動台１５の制御により行
う。走査点毎に、パルス電圧発生部７は、パルス電圧を
発生する。このパルス電圧は２分され、１方はサーキュ
レータ１６を経てそのまま直接に系路Ｌ1を通って中央
電極１ｃに印加されると共に、他方は遅延回路６、サー
キュレータ１６を経て系路Ｌ2を通って中央電極１ｃ、
周囲電極１ｅに、その遅延時間（Ｄ0）経過後に、印加
される。
【００１０】受信に際しては、系路Ｌ1を通って印加さ
れたパルス電圧に応答する反射波を中央電極１ｃで受け
て、サーキュレータ１６を介して加算器８へと取り込
む。一方、系路Ｌ2を通って印加されたパルス電圧に応
答する反射波を中央電極１ｃ及び周囲電極１ｅで受け
て、サーキュレータ１６を介して加算器８へと取り込
む。
れたパルス電圧に応答する反射波を中央電極１ｃで受け
て、サーキュレータ１６を介して加算器８へと取り込
む。一方、系路Ｌ2を通って印加されたパルス電圧に応
答する反射波を中央電極１ｃ及び周囲電極１ｅで受け
て、サーキュレータ１６を介して加算器８へと取り込
む。
【００１１】加算器８は、系路Ｌ1、Ｌ2を介して戻って
くる反射波の受信信号を時系列的に取り込むもので、い
わば時系列的な加算を行う。受信部９は、加算器出力の
増幅を行う。ピーク検出器１０はゲート期間中の受信信
号のピークを検出する。ＡＤ変換器１１でピークのＡＤ
変換を行い、ＣＰＵ１２が所定の処理を行った後でディ
スプレイ１３に表示を行う。走査方式はＡスコープ、Ｂ
スコープ、Ｃスコープがあり、表示もそれぞれに応じた
表示となる。
くる反射波の受信信号を時系列的に取り込むもので、い
わば時系列的な加算を行う。受信部９は、加算器出力の
増幅を行う。ピーク検出器１０はゲート期間中の受信信
号のピークを検出する。ＡＤ変換器１１でピークのＡＤ
変換を行い、ＣＰＵ１２が所定の処理を行った後でディ
スプレイ１３に表示を行う。走査方式はＡスコープ、Ｂ
スコープ、Ｃスコープがあり、表示もそれぞれに応じた
表示となる。
【００１２】図３は、加算器８への入力波ａ、ｂ及び出
力波ｃの経時変化を示す。入力波ａは系路Ｌ1から反射
波信号、入力波ｂは系路Ｌ2からの反射波信号、ｃは入
力波ａ、ｂを時系列的に取り込み加算した加算器８の出
力である。系路Ｌ1を通る圧電トランスデューサ１の中
心素子で電圧パルスに変換された被検体の垂直反射波、
即ち、中心素子表面反射波Ｓ1は加算器８への入力波ａ
として最も早く到達する。一方、系路Ｌ2を通る入力波
ｂは、遅延回路６の通過に対応した遅延時間Ｄ0を経て
加算器８に到達する。入力波ｂは、圧電トランスデュー
サ１全体からの遅延入力波であり、中心・周辺素子表面
反射波Ｓ2及び欠陥反射波Ｆを含む。
力波ｃの経時変化を示す。入力波ａは系路Ｌ1から反射
波信号、入力波ｂは系路Ｌ2からの反射波信号、ｃは入
力波ａ、ｂを時系列的に取り込み加算した加算器８の出
力である。系路Ｌ1を通る圧電トランスデューサ１の中
心素子で電圧パルスに変換された被検体の垂直反射波、
即ち、中心素子表面反射波Ｓ1は加算器８への入力波ａ
として最も早く到達する。一方、系路Ｌ2を通る入力波
ｂは、遅延回路６の通過に対応した遅延時間Ｄ0を経て
加算器８に到達する。入力波ｂは、圧電トランスデュー
サ１全体からの遅延入力波であり、中心・周辺素子表面
反射波Ｓ2及び欠陥反射波Ｆを含む。
【００１３】尚、詳細には、入力波ａは音響レンズの凹
面レンズでの反射波及び欠陥部からの垂直反射波成分を
含み、入力波ｂには音響レンズ側壁からの反射波成分が
含まれるが、説明を簡単にするために不要な成分は図か
ら除外してある。これら不要な反射波成分を除去した加
算器８の出力がｃに示されている。ここで、遅延時間Ｄ
1は、中心素子表面反射波Ｓ1の加算器８への入力でトリ
ガー（反射波受信時刻に同期してトリガー）されてから
ゲート開始時刻までの時間である。ゲート時間幅Ｔ
0は、欠陥反射波Ｆが入力している時間幅に設定してあ
る。
面レンズでの反射波及び欠陥部からの垂直反射波成分を
含み、入力波ｂには音響レンズ側壁からの反射波成分が
含まれるが、説明を簡単にするために不要な成分は図か
ら除外してある。これら不要な反射波成分を除去した加
算器８の出力がｃに示されている。ここで、遅延時間Ｄ
1は、中心素子表面反射波Ｓ1の加算器８への入力でトリ
ガー（反射波受信時刻に同期してトリガー）されてから
ゲート開始時刻までの時間である。ゲート時間幅Ｔ
0は、欠陥反射波Ｆが入力している時間幅に設定してあ
る。
【００１４】本実施例によれば、２つの表面反射波Ｓ1
とＳ2とが存在するが、第２の表面反射波Ｓ2はトリガー
として利用せずに、第１の表面反射波のみをトリガーと
して利用する。従来、図３（ｃ）にＴで示すように表面
反射波Ｓ2を基準とするトリガーで欠陥波Ｆを検出して
いたため、欠陥波Ｆの発生時刻がＳ2の直後であれば
（即ち欠陥部が表面に近い浅い部位であれば）、ＦをＳ
2と区分してＦのみを取り出すことができなかった。然
るに本実施例によれば、表面反射波Ｓ1を基準とし、且
つ表面反射波Ｓ2を使わないため、Ｓ1の検出時刻からＦ
をつかまえるためのゲート開始時刻までの時間を充分に
長くとることができる。この結果、表面反射波Ｓ2の直
後にＦが存在している、浅い欠陥にあっても、ゲート期
間Ｔ0を充分に確保できる。このように遅延回路６の遅
延時間を適当に選択することによって、遅延時間Ｄ1は
非常に浅い位置にある欠陥部５の信号を捕捉できること
になった。
とＳ2とが存在するが、第２の表面反射波Ｓ2はトリガー
として利用せずに、第１の表面反射波のみをトリガーと
して利用する。従来、図３（ｃ）にＴで示すように表面
反射波Ｓ2を基準とするトリガーで欠陥波Ｆを検出して
いたため、欠陥波Ｆの発生時刻がＳ2の直後であれば
（即ち欠陥部が表面に近い浅い部位であれば）、ＦをＳ
2と区分してＦのみを取り出すことができなかった。然
るに本実施例によれば、表面反射波Ｓ1を基準とし、且
つ表面反射波Ｓ2を使わないため、Ｓ1の検出時刻からＦ
をつかまえるためのゲート開始時刻までの時間を充分に
長くとることができる。この結果、表面反射波Ｓ2の直
後にＦが存在している、浅い欠陥にあっても、ゲート期
間Ｔ0を充分に確保できる。このように遅延回路６の遅
延時間を適当に選択することによって、遅延時間Ｄ1は
非常に浅い位置にある欠陥部５の信号を捕捉できること
になった。
【００１５】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ピー
ク検出器の集積回路を特別高速大容量のものに新規開発
することなく、既存の探傷装置本体を用いて容易に被検
体表面近傍の欠陥を的確に捕捉することができ、超音波
探傷装置による薄膜欠陥の非破壊検査に資することがで
きる。
ク検出器の集積回路を特別高速大容量のものに新規開発
することなく、既存の探傷装置本体を用いて容易に被検
体表面近傍の欠陥を的確に捕捉することができ、超音波
探傷装置による薄膜欠陥の非破壊検査に資することがで
きる。
【図１】本発明の超音波探傷装置の実施例図である。
【図２】本発明の超音波探触子の圧電トランスデューサ
上面図である。
上面図である。
【図３】本発明の実施例の加算器の入出力信号のタイム
チャートである。
チャートである。
【図４】従来のタイムチャートである。
１ 圧電トランスデューサ １ａ 中心素子圧電体 １ｂ 周辺素子圧電体 １ｃ 中心素子上部電極 １ｄ 下部電極 １ｅ 周辺素子上部電極 ２ 音響レンズ ３ 媒体 ４ 被検体 ５ 欠陥部 ６ 遅延回路 ７ 送信器 ８ 加算器 ９ 受信器 １０ ピーク検出器 １１ Ａ／Ｄ変換器 １２ ＣＰＵ １３ ディスプレイ １４ ＸＹＺ駆動部 １５ 移動台 １６ サーキュレータ Ｓ1 中心素子表面反射波 Ｓ2 中心・周辺素子表面反射波 Ｆ 欠陥反射波
Claims (1)
- 【請求項１】 音響レンズと、音響レンズの上面又は下
面に上下電極を挟んで設けられた圧電素子と、上下電極
にパルス電圧を印加するパルス電圧発生部と、より成る
超音波探傷装置において、 上部電極を少なくとも、中央電極と周囲電極とに２分
し、 パルス電圧発生部の出力側に、中央電極のみにパルス電
圧を印加する第１の系路と、所定の遅延時間を持つ遅延
回路を経て中央電極及び周囲電極の両者に同時にパルス
電圧を印加する第２の系路と、を設け、 被検体探傷時にパルス電圧発生部からパルス電圧を発生
させて、第１の系路を経て中央電極に該パルス電圧を印
加させると共に、第２の系路を経て所定の遅延時間後に
該パルス電圧を中央電極及び周囲電極に印加させ、 第１の系路を経て中央電極によって生起する、超音波に
対する被検体の第１の表面反射波を受信し、続いて第２
の系路を経て中央電極、周囲電極によって生起する、超
音波に対する被検体の第２の表面反射波及びそれに続く
被検体内部欠陥波を受信し、 第１の表面反射波の受信時刻を基点に、被検体内部欠陥
波を選択するゲート開始時刻を設定して、内部欠陥波の
追従ゲートをはかった超音波探傷装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6267387A JPH08128997A (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | 超音波探傷装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6267387A JPH08128997A (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | 超音波探傷装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08128997A true JPH08128997A (ja) | 1996-05-21 |
Family
ID=17444147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6267387A Pending JPH08128997A (ja) | 1994-10-31 | 1994-10-31 | 超音波探傷装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08128997A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5507751B1 (ja) * | 2013-10-25 | 2014-05-28 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査装置 |
| WO2022073007A1 (en) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | Baker Hughes Oilfield Operations Llc | Ultrasonic probe having flexible stabilizing element for probe alignment |
-
1994
- 1994-10-31 JP JP6267387A patent/JPH08128997A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5507751B1 (ja) * | 2013-10-25 | 2014-05-28 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査装置 |
| WO2015060386A1 (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 株式会社日立パワーソリューションズ | 超音波検査装置 |
| CN105452859A (zh) * | 2013-10-25 | 2016-03-30 | 株式会社日立电力解决方案 | 超声波检查装置 |
| CN105452859B (zh) * | 2013-10-25 | 2018-01-02 | 株式会社日立电力解决方案 | 超声波检查装置 |
| WO2022073007A1 (en) * | 2020-09-30 | 2022-04-07 | Baker Hughes Oilfield Operations Llc | Ultrasonic probe having flexible stabilizing element for probe alignment |
| US11835485B2 (en) | 2020-09-30 | 2023-12-05 | Baker Hughes Oilfield Operations Llc | Ultrasonic probe having flexible stabilizing element for probe alignment |
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