JPH08127128A

JPH08127128A - インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置

Info

Publication number: JPH08127128A
Application number: JP26659494A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Ono; 敬之小野; Takeshi Origasa; 剛折笠; Masaki Inaba; 正樹稲葉; Haruhiko Terai; 晴彦寺井
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-10-31
Filing date: 1994-10-31
Publication date: 1996-05-21
Anticipated expiration: 2016-11-19
Also published as: JP3231196B2

Abstract

(57)【要約】【目的】構成部材に高い精度を要求することなく、ま
た、材質を限定することなくヒーターボードを精度よく
製造することのできる記録ヘッドの製造方法を実現する
こと。【構成】複数個のエネルギー発生素子を有するヒータ
ーボードをベースプレート上に複数個配列した後、該各
エネルギー発生素子に対応すべき複数のインク流路用溝
が形成された一つの天板を前記ベースプレートに接合す
るインクジェットヘッドの製造方法において、前記ベー
スプレート上に前記各基板を互いに隙間を設けて直接配
置し、接着固定することを特徴とするインクジェットヘ
ッドの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、基台（以下、「ベース
プレート」と称する）上に、複数のエネルギー発生素子
（以下、「ヒーター」と称する）を有する複数個の加熱
基板（以下、「ヒーターボード」と称する）を配列し、
各ヒーターに対応する複数のノズル用溝とノズル用溝の
各々に連通した複数のインク吐出口を有する一つの天板
を組付けて成るフルラインタイプのインクジェットヘッ
ドの製造方法、インクジェットヘッド、およびインクジ
ェットヘッド記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ヒーターボードを複数個配列して
構成される記録ヘッドの製造方法として、ヒーターボー
ドの端面を先に並べたヒーターボードに突き当てて配列
する方法が特開平２−２１２１６２号公報に開示されて
いる。

【０００３】また、特開平４−２２９２７８号公報に
は、ヒーターボードと天板のユニットの一部に切欠き部
を作り、該切欠き部をベースプレート上にある規準に突
き当てる方法が開示されている。

【０００４】さらに、特開平３−１７７０４２号公報に
は、ベースに光を照射することによりパターンを形成
し、アライメント基板のパターンと組み合わせてアレイ
化するという製造方法が開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た各従来例にはそれぞれ以下のような問題点が生ずる。

【０００６】特開平２−２１２１６２号公報に記載され
ているものにおいては、（１）ヒーターボードの端面を突き当てる方式のため、
ヒーターボードの端面切断精度がそのまま配列精度とな
る。このため、ヒーターボードの切断装置に高精度が要
求され、装置の保守および管理に手間がかかり、量産に
適さない。

【０００７】（２）ヒーターボードの端面をメカ的に突
き当てるため、ヒーターボードの破損（シリコン基板の
欠け、割れ、チッピング等）が生じる危険性がある。

【０００８】特開平４−２２９２７８号公報に記載され
ているものにおいては、（３）規準となる切欠き部を形成するために突き当てコ
マを作製する必要があるが、この部分が後のヒーターボ
ード配列の精度に影響するために機械加工に高い精度が
要求され、非常に困難である。

【０００９】上記の各公報のいずれに記載されたものに
おいても、（４）各々のヒーターボードのヒーター面の段差を管理
することが困難であり、段差の生じた箇所でインク吐出
不良の原因となりやすい。

【００１０】（５）各々のヒーターボードの吐出方向を
決定する段差を管理することが困難であり、段差の生じ
た箇所でインク吐出不良の原因となりやすい。

【００１１】（６）ヒーターボード側を精度よく配列し
ても天板側に加工上のばらつき、すなわちそり、変形等
があると、ヒーターボードと天板を接合した際に、接合
面に隙間が生じ、記録不良の原因となる虞がある。

【００１２】特開平３−１７７０４２号公報に記載され
ているものにおいては、（７）アライメント基板を光照射によって加工可能な材
質にしなくてはならず、使用される材料が限定される。

【００１３】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、構成部材に高
い精度を要求することなく、また、材質を限定すること
なくヒーターボードを精度よく製造することのできる記
録ヘッドの製造方法を実現することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドの製造方法は、複数個のエネルギー発生素子を有
するヒーターボードをベースプレート上に複数個配列し
た後、該各エネルギー発生素子に対応すべき複数のイン
ク流路用溝が形成された一つの天板を前記ベースプレー
トに接合するインクジェットヘッドの製造方法におい
て、前記ベースプレート上に前記各基板を互いに隙間を
設けて直接配置し、接着固定することを特徴とする。

【００１５】この場合、ヒーターボードの裏面に接着剤
を塗布した後に前記ヒーターボードをベースプレートに
突き当てて前記ヒーターボードを前記ベースプレートに
接着固定してもよい。

【００１６】また、ベースプレートのヒーターボードを
配列する面に所定の枠状のパターンを加工してもよい。

【００１７】さらに、天板の形状にあわせてヒーターボ
ードをベースプレート上に配列してもよい。

【００１８】この場合、天板の形状をあらかじめ別の箇
所にて測定し、該測定結果に基づいてヒーターボードを
ベースプレート上に配列してもよい。

【００１９】また、天板の形状を測定しながら、該測定
結果に基づいてヒーターボードをベースプレート上に配
列してもよい。

【００２０】上記のいずれの場合においても、ベースプ
レート上にヒーターボードを配列するときに、先に配列
されているヒーターボードの位置を非接触にて測定し、
該測定結果に基づいて次のヒーターボードを配列しても
よい。

【００２１】ベースプレートのヒーターボードを配列す
る面に所定の枠状のパターンを加工した場合には、接着
剤をベースプレートに形成された枠状のパターンの中に
予め塗布しておくことにより、ヒーターボードをベース
プレートに接着固定してもよい。

【００２２】また、ヒーターボードをベースプレートに
突き当てた後、前記ヒーターボードの横から接着剤を前
記ヒーターボードと前記ベースプレートの枠状のパター
ンとの隙間に流し込んで接着固定してもよい。

【００２３】さらに、ヒーターボードをベースプレート
に突き当てた後、前記ヒーターボードの後から接着剤を
前記ヒーターボードと前記ベースプレートの枠状のパタ
ーンとの隙間に流し込んで接着固定してもよい。

【００２４】本発明の他の形態によるインクジェットヘ
ッドの製造方法は、インクを加熱するための複数のヒー
ターを具備するヒーターボードが複数個配列されたヒー
ターボードを、インク吐出用の流路とオリフィスが形成
された天板部材を接合させることによりインクを吐出す
るヘッドを製造するインクジェットヘッドの製造方法に
おいて、前記ヒーターボードを直接、前記天板部材に配
列して接着固定することを特徴とする。

【００２５】この場合、天板部材に直接ヒーターボード
を配列する工程が、前記天板部材のインク流路位置を測
定する流路位置工程と、ヒーターボードのインク加熱用
ヒーターの位置を測定するヒーター位置測定工程と、前
記ヒーターボードの姿勢を調整する姿勢調整工程と、前
記天板部材のインク流路と前記ヒーターボードのヒータ
ー位置を合致させて組み合わせるヒーターボード接合工
程と、前記天板部材と前記ヒーターボードを接合してノ
ズルユニットとしたうえで、該ノズルユニットを保持固
定するためのベースプレートを接合するベースプレート
接合工程と、を具備することとしてもよい。

【００２６】また、流路位置測定工程が、天板部材を部
材供給位置からインク流路位置を測定するインク流路位
置測定位置へ移動させる天板部材移動工程と、前記イン
ク流路位置測定位置にて、天板部材に形成されたインク
吐出用の溝の位置およびオリフィス先端部の位置を測定
するための第１の位置測定工程と、を具備することとし
てもよい。

【００２７】また、ヒーター位置測定工程が、ヒーター
ボードを部品供給位置からヒーター位置測定に移動させ
るヒーターボード移動工程と、ヒーター位置測定位置に
てヒーターボードに形成されたインク加熱用ヒーターの
位置を測定する第２の位置測定工程と、を具備すること
としてもよい。

【００２８】また、姿勢調整工程が、ヒーターボードを
把持して動かすためのヒーターボード保持手段を用いて
行われるものであって、第１の位置測定工程および第２
の位置測定工程から得られた天板部材のインク吐出用溝
位置、オリフィス先端位置およびヒータ位置に基づいて
ヒーターボードの姿勢調整量を計算するための演算工程
と、前記演算工程での演算結果に基づいてヒーターボー
ドの姿勢を調整するヒーターボード姿勢調整手段と、を
具備することとしてもよい。

【００２９】また、ヒーターボード接合工程が、天板部
材をインク流路測定位置から天板部材とヒーターボード
接合位置に移動させる天板部材移動工程と、ヒーターボ
ードをヒーター位置測定位置から天板部材とヒーターボ
ード接合位置に移動させるヒーターボード移動工程と、
天板部材とヒーターボードを接合させる接合工程と、接
合状態を保持固定するための固定工程と、を具備するこ
ととしてもよい。

【００３０】また、ベースプレート接合工程が、給位置
からベースプレート接合位置に移動せしめるベースプレ
ート移動工程と、ベースプレートにノズルユニット保持
固定用の接着剤を付着させる接着剤塗布工程と、ノズル
ユニットとベースプレートを接合、接着させる接合工程
と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッド
の製造方法。

【００３１】本発明のインクジェットヘッドは、上記の
いずれかの製造方法によって製造されている。

【００３２】この場合、エネルギー発生素子は、インク
吐出用の熱エネルギーを発生するための電気熱変換体で
あってもよい。

【００３３】また、電気熱変換体によって印加される熱
エネルギーにより、インクに生じる膜沸騰を利用して吐
出口よりインクを吐出させるものであってもよい。

【００３４】本発明によるインクジェット記録装置は、
上記のようなインクジェットヘッドを備え、記録信号に
基づいてインクを前記インクジェットヘッドの吐出口か
ら吐出して記録を行なう。

【００３５】

【作用】上記のように構成される本発明では、ヒーター
ボードの切断精度のバラツキをヒーターボード間の隙間
で吸収することができるので、基板の配列方向の切断精
度がばらついていても、配列した各エネルギー発生素子
の位置を天板に形成された複数のインク流路用溝の位置
とずれることなく対応させることが可能となる。

【００３６】このような配置を実現するための隙間量の
測定については、非接触法で測定し、その測定結果に基
づいた配列がなされる。このように、機械加工で位置決
めを行なわず非接触法で測定してその結果により配列す
ることで機械加工によるバラツキがなく、精度よく配列
を行うことができる。

【００３７】ベースプレートに突き当てることでヒータ
ーボードの隣接する上面の平面度を向上する。

【００３８】ベースプレート上に枠状のパターンを加工
することで枠内にゴミなどの異物が混入することが防止
される。

【００３９】本発明の第２の形態においては、天板の成
形時に生じた天板のソリ量に応じた配列が可能となるの
で、ヒーターボードを天板にが精度よく配列することが
可能となる。

【００４０】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００４１】図１は本発明の製造方法を用いて作製され
る長尺型インクジェットヘッドの一例の構成を示す概略
斜視図である。

【００４２】図１に示されるインクジェットヘッドは、
インク吐出口の密度３６０ｄｐｉ（７０．５μｍ）、イ
ンクの吐出口数３００８ノズル（印字幅２１２ｍｍ）か
らなるフルラインタイプ（長尺型）のもので、金属やセ
ラミックなどの材質で造られたベースプレート２を備え
ている。

【００４３】このベースプレート２上には、ガラスやＳ
ｉ等からなる複数個の基板としてのヒーターボード１
が、そのベースプレート２の一端に揃えられて一直線上
に配列されている。

【００４４】各ヒーターボード１上の、ベースプレート
２の一端側の位置には、複数個の、エネルギー発生素子
としてのヒーター１０がヒーターボード２の配列方向と
同じ方向に一定ピッチで配列されている。

【００４５】各ヒーターボード１上の、ベースプレート
２の他端側の位置には、電力パッドがヒーターボード１
の配列方向と同一方向に配列している。なお、エネルギ
ー発生素子としてのヒーター１０は、インク吐出用の電
気熱変換体であって、本発明はこれに限られず、ヒータ
ー１０の電気熱変換体に代えて、積層圧電素子を用いて
もよい。

【００４６】さらにベースプレート２上には、各々のヒ
ータボード１の電力パッドに信号線や電力供給線を配す
るための、一枚の配線基板１２が固定されている。この
とき、ヒーターボード１上の電力パッドと、配線基板１
２上に設けられた信号・電力供給パッドとは所定の位置
関係になるように設置され、金ワイヤー１１などで電気
的に接続されている。

【００４７】配線基板１２には、外部からの印字信号や
駆動電力を供給するためのコネクター１３が取り付けら
れている。

【００４８】そして、複数個のヒーターボード１上を覆
うように天板７が接着される。天板７は樹脂の成形から
なり、その両端に設けられたインク供給用ピン１８によ
り外部からのインクの供給を受けるものであり、内部に
はインク供給用ピン１８と連通するインクを貯留するた
めの共通液室用凹部（不図示）も形成される。また、各
ヒーター１０に対応して形成された複数のインク流路用
溝（ノズル用溝：不図示）、および各インク流路用溝に
対応して形成された複数のインク吐出口１７は、エキシ
マレーザーなどでレーザー加工される。

【００４９】なお、天板７をガラスや金属などを用いて
作製する場合には、切削またはエッチング等により、共
通液室用凹部、インク流路用溝、インク吐出口１７を加
工することも可能である。

【００５０】ここで、各インク吐出口１７からインクが
吐出されるときの動作について説明すると、共通液室用
凹部にインク供給口１８から供給されて一時的に貯えら
れたインクは、毛細管現象により各インク流路用溝に侵
入し、各インク吐出口１７でメニスカスを形成して各イ
ンク流路１７を満たした状態を保つ。このとき、外部装
置より図１に示すコネクター１３および配線基板１２を
通じ、所定のヒーター１０が通電されて発熱すると、そ
のヒーター１０上のインクが急激に加熱されてインク流
路内で気泡が発生し、この気泡の膨張により所定のイン
ク吐出口からインクが吐出される。

【００５１】このようなインクジェットヘッドを備え、
記録信号に基づいてインクをインックジェットヘッドの
吐出口から吐出して記録を行なうインクジェットヘッド
記録装置も製造できる。

【００５２】次に、上記構成のインクジェットヘッドの
製造時にベースプレートに複数個のヒーターボードを配
列するときの種々の方法について詳述する。

【００５３】［第１実施例］図２は、本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第１の実施例を説明するため
の概略断面図である。

【００５４】本実施例では、ベースプレート２にヒータ
ーボード１を直接置いて接着固定する。図２に示すよう
に、ヒーターボード１が配列される面に枠状の枠パター
ンが加工されたベースプレート２に対して予め接着剤３
を塗布しておく。そして、別の箇所にて被接触法で位置
決めされたヒーターボード１をベースプレート２の接着
剤３が塗布された各位置にヒーターボード１間に隙間を
開けて一列に配置し、枠パターンに形成された接着剤塗
布領域内に形成された吸引口（不図示）より、ヒーター
ボード１をベースプレート２に吸引させ、接着剤３が固
まった時点で吸引を解除する。

【００５５】ただし、接着剤３は、ヒーターボード１を
配置した際、接着剤塗布領域からはみ出さない量として
おく。また、ヒーターボード１間の隙間によりヒーター
ボード１の切断精度を吸収するようにヒーターボード１
を配列した。

【００５６】［第２実施例］図３は、本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第２の実施例を説明するため
の図である。

【００５７】上述した第１の実施例においては、各ヒー
ターボード１のそれぞれをベースプレート２上に配置す
る際、予めベースプレート２上に接着剤を塗布しておい
たが、本実施例においては、図３に示すように、ヒータ
ーボード１をクランプするための吸引口５、塗布領域６
を形成する枠パターン、および塗布領域６の位置にヒー
ターボード１が置かれた後、ヒーターボード１の外側よ
り塗布領域６へ接着剤３を注入するための注入口４をベ
ースプレート２に加工しておき、各々のヒーターボード
１を配置した後、注入口４から接着剤３を注入し、ヒー
ターボード１を固定する方法とした。

【００５８】すなわち、まず、図２に示した第１の実施
例と同様に、別の箇所にて非接触法により位置決めされ
たヒーターボード１をベースプレート２上に一列に配置
して吸引口５により吸着固定する。その後、ヒーターボ
ード１の注入口４から接着剤３を塗布領域６に流し込
む。この際、接着剤注入の順番はヒーターボード１を複
数個すべて配置した後にまとめて行なってもかまわな
い。その後、接着剤３が固着したら吸引口５からの吸引
を解除する。

【００５９】なお、注入口４の位置は、塗布領域６内に
通じるように形成されていれば、図２に示す箇所に限ら
れない。

【００６０】［第３の実施例］図４は、本発明のインク
ジェットヘッドの製造方法の第３の実施例を説明するた
めの図である。

【００６１】上述した第１の実施例および第２の実施例
においては接着剤３をベースプレート２側に塗布してい
たが、本実施例においては、図４に示すように、ヒータ
ーボード１側に接着剤３を塗布してベースプレート２に
押し付けながら置くものである。

【００６２】本実施例においては、第１の実施例および
第２の実施例と同様に、別の箇所にて非接触法により位
置決めされたヒーターボード１をベースプレート２に配
置する前に、ヒーターボード１の裏面に接着剤３を１ヶ
所あるいは数ヶ所塗布する。この際、接着剤３はベース
プレート２に形成されている吸引口５を避けて塗布する
ものとする。

【００６３】その後、ベースプレート２上にヒーターボ
ード１を一列に配置し、吸引口５よりヒーターボード１
を吸引する。この後、接着剤３が固まったことを確認
し、第１および第２の実施例と同様に吸引を解除する。

【００６４】なお、接着剤３は硬化収縮率の小さなシリ
コン系のものを使用し、硬化時にヒーターボード２がズ
レることを防止している。接着剤３の材質については第
１および第２の実施例と同様とした。

【００６５】［第４の実施例］図５は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第４の実施例を説明するため
の図であり、天板５７とヒーターボード５１の関係を概
略的に示す斜視図である。

【００６６】図５において、インクの吐出口を有し、射
出成形等により製作される天板５７は、図１に示した天
板７と異なり、若干の変形（反り）が生じている。この
ため、ヒーターボード５１の配列位置は発生した変形に
応じて補正されている。

【００６７】本実施例では天板のインクの吐出方向ある
いは逆方向の反りに対するヒーターボード５１の位置関
係について示す。

【００６８】まず、天板５７の反り量を画像処理あるい
はレーザ測定器などの非接触法を用いて測定し、ヒータ
ーボード５１と接する位置の天板５７の反り量に応じて
ヒーターボード５１をインクの吐出方向あるいは逆方向
に配列位置を移動させる。但しこの際、ヒーターボード
５１の移動は吐出方向あるいは逆方向のみであり、平面
の回転方向および隣接するヒーターボード５１の横方向
への移動は行なわないものとする。

【００６９】また、天板５７の反り量がある量以下の場
合は補正を行なわないものとする本実施例の場合は、１
０μｍ以下と設定した。しかし、この値は、天板５７の
設計により変更が可能である。

【００７０】［第５の実施例］以下に本発明によるイン
クジェットヘッドの製造方法の第５の実施例を説明す
る。

【００７１】本実施例は上述した第４の実施例における
天板５７の反り量を測定する方法の一例を示すものであ
る。

【００７２】本実施例においては、まず、天板５７の全
体の反り量を画像処理あるいはレーザ測定器などの非接
触法で測定し、配列する位置を補正するかどうかの判断
を行なう。補正する場合には、天板５７とヒーターボー
ド５１との接着性が一番重要とされる部分を同時画像処
理あるいはレーザ測定器など非接触法で測定する。本実
施例ではインク吐出口を有するオリフィスプレートと呼
ばれる部分で測定を行なった。上記の様な方法で配列す
るヒーターボード５１の位置に相当する天板５７のオリ
フィスプレートを測定しつつ、ヒーターボード５１の吐
出方法あるいは逆方向の位置の補正を行なう。

【００７３】また、上記以外にもあらかじめ別の位置で
天板の反り量を測定しておき、配列位置のデータに補正
を加えて行なうことも可能である。その結果、天板５７
とヒーターボード５１との隙間は５μｍ以下となった。

【００７４】［第６の実施例］図６は本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法の第６の実施例を説明するため
の図であり、図６（Ａ）および図６（Ｂ）のそれぞれは
ベースプレートにヒーターボードを突き当てる際の位置
決めの方法を示している。これらの図において、符号１
ａは先に配列されているヒーターボード、符号１ｂはこ
れからベースプレートに配列するヒーターボード、Δｘ
は隣接するヒーターボードの隙間、Δｙは隣接するヒー
ターボードのインク吐出方向のずれである。

【００７５】上記第１乃至第４の実施例において、ヒー
ターボードをベースプレート上に配置する前に位置決め
を行なわなくてはならない。そこでその一例を示す。

【００７６】本実施例における製造方法では、図６
（Ａ）に示すように、まず、これから配置するヒーター
ボード１ｂをベースプレート２の上方で一度止め、隣接
するヒーターボードの隙間Δｘを画像処理などの非接触
法で測定しつつ、横方向の位置決めを行なう。その際、
ヒーターボードの隙間Δｘの値は各ヒーターボードの切
断精度のバラツキによりその都度変えられる。

【００７７】また、図６（Ｂ）に示すように、インク吐
出方向のずれは、ヒーターボードをベースプレート２の
上方で止めた状態で、ヒーターボードの表面を上方から
上記と同様に、画像処理などの非接触法で測定し、隣接
するヒーターボードの吐出方向のずれ量Δｙがゼロにな
るようにこれから配置するヒーターボード１ｂを移動さ
せる。

【００７８】以上の２方向の位置決めが行なわれたヒー
ターボード１ｂをベースプレート２に一列に配置する。

【００７９】その結果、隣接するヒーターボードの隙間
Δｘは設定値に対して±１μｍ以下となりインクの吐出
方向のずれΔｙは±２μｍ以下となった。

【００８０】［第７の実施例］次に、本発明の第７の実
施例によるインクジェットヘッドの製造方法について説
明する。

【００８１】図７は本発明の第７の実施例を説明するた
めの概略構成を示す斜視図である。

【００８２】本実施例は、上述したような各実施例を自
動化した例を示すものである。図７において、１００は
天板部材を示し、あらかじめ前工程においてインク流路
溝１０２、オリフィスプレート１０３、ノズル穴１０５
が形成されている。

【００８３】天板部材１００は不図示の治具によってイ
ンク流路溝１０２が上向きになるように保持され、さら
に、これを部品供給位置から作業位置に移動するための
Ｙステージ（不図示）および作業位置からベースプレー
ト接合位置に移動するためのＸステージ（不図示）によ
ってＸ，Ｙの２方向への移動が可能となっている。

【００８４】１１０はヒーターボードを示し、インク加
熱用ヒーター１１１が下向きになるように配置されてい
る。１２０はベースプレートを示し、下記のノズルユニ
ット１３０と接着するための接着剤１２１が塗布されて
いる。

【００８５】ヒーターボード１１０はフィンガー１６０
により把持されており、さらに１６０をＸ，Ｙ，θ，
Ｚ，θｙ，θｚの各自由度で姿勢制御するための自動ス
テージ，（不図示）によって６方向に姿勢制御される。

【００８６】ヒーターボード１１０を供給するための仮
位置決め台１６０と天板１００の間にはヒーターボード
１１０のヒーターの位置および端面位置を計測するため
の観察光学系１４０が設置されている。

【００８７】天板１００の供給位置の上方には天板部材
１００のオリフィスプレート１０３の位置および変形量
を測定計測するための観察光学系１４３が設置されてい
る。観察光学系１４３は天板部材１００の長手方向（Ｘ
方向）および上下方向（Ｚ方向）に関しての移動が可能
とされている。

【００８８】次に、上記の装置を用いてインクジェット
用ヘッドを組み立てる方法について説明する。

【００８９】前工程にてインク流路の溝およびノズルの
穴が加工された天板部材１００は天板供給位置に供給さ
れ、移動時および組み立て時に動かないように固定され
る。

【００９０】次に、観察光学系１４３が自動ステージ
Ｘ，Ｙの制御により天板部材１００の端に移動する。

【００９１】図８（Ａ）は観察光学系１４３が天板部材
１００の端に移動した状態を示す。観察光学系１４３に
よって得られた画像を図８（Ｂ）に示す。

【００９２】実際の天板部材１００は、成型時および加
工時のばらつきにより変形が出る場合がある。図９
（Ａ）は変形が生じた天板部材１００を測定していると
ころを示す。

【００９３】図９（Ａ）において、観察光学系１４３は
Ｘ方向に関してはを常に同じ場所となるように移動して
画像を取り込む。これに対して、天板部材１００は変形
しているため、図９（Ａ）中に示される測定点ａ，ｂ，
ｃにおける各画像は図９（Ｂ），図９（Ｃ），図９
（Ｄ）にそれぞれ示すものとなる。

【００９４】図９（Ｂ）において、画像処理エリアのＸ
方向，Ｙ方向の基準をそれぞれＸθ，Ｙθとすると、変
形のない天板部材１００の場合にはオリフィスプレート
１０３のＹ方向の位置はＹθとなる。変形した天板部材
１００の場合はオリフィスプレート１０３の位置がＹ１
となり、これを画像処理して測定点ａにおける変形量Δ
Ｙを計算する。ΔＹは次の式によって求められる。

【００９５】ΔＹ＝Ｙ１−Ｙθ また、天板部材１００固定時の位置決め精度のばらつき
によってＸ方向にずれた量ΔＸは、溝の位置Ｘ１を測定
することにより ΔＸ＝Ｙ１−Ｙθ で求められる。

【００９６】これらの変形量を天板部材１００の任意の
測定点にて計測することにより、天板部材１００に対応
した変形量を測定できる。測定した変形量は不図示の制
御用コンピュータに記憶する。

【００９７】必要な変形量の測定が終了すると天板部材
１００を天板測定位置からヒーターボード１００と天板
部材１００との接合位置に移動する。

【００９８】次に、インク加工用のヒーターが形成され
たヒーターボード１００を仮位置決め台となるフィンガ
ー１６０にヒーター形成面を下側として供給する。ヒー
ターボード１１０は、ここで１０［μｍ］以下の再現性
をもって位置決めされる。位置決めされたヒーターボー
ドはフィンガー１６０によって把持されフィンガー移動
用ステージの動きによってヒーター位置測定用の観察光
学系１４０の上方に移動する。

【００９９】図１０（Ａ）に観察光学系１４０により測
定したヒーターボード１１０の画像を示す。

【０１００】図１０（Ａ）において、画像処理エリアの
Ｘ方向、Ｙ方向の基準をそれぞれｘ０，ｙ０とすると仮
位置決めが正確に行われた場合はヒーターボード１１０
の端面Ｙ方向の位置はＹ０になるが、仮位置決め精度の
ばらつきによりヒーターボード１１０の端面位置はｙ１
になり、これを画像処理して仮位置決めのずれ量Δｙを
計算する。Δｙは次の式によって求められる。

【０１０１】Δｙ＝ｙ１−ｙ０また、Ｘ方向仮位置決め精度のばらつきによりずれた量
Δｘは、ヒーターの位置ｘ１を測定することにより、 Δｘ＝ｘ１−ｘ０で求められる。

【０１０２】測定したずれ量は不図示の制御用コンピュ
ータに記憶する。

【０１０３】Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれのずれ量Δ
ｘおよびΔｙの測定が終了したヒーターボード１１０
は、フィンガー１６０の移動によりヒーターボード１１
０と天板部材１００の接合位置に移動し、天板部材１０
０のインク流路溝１０２の上方に待機する。

【０１０４】図１０（Ｂ）および図１０（Ｃ）に天板部
材１００とヒーターボード１１０とを接合する直前の図
を示す。図１０（Ｂ）において天板部材１００の位置は
測定により、接合基準位置に対してΔＸ，ΔＹずれてい
るとする。また、ヒーターボード１１０はΔｘ，Δｙず
れているとする。この状態で天板部材１００のインク流
路溝１０２にヒーターボード１１０のヒーター位置を合
わせ、かつ、オリフィスプレート１０３とヒーターボー
ド１１０との先端を密着させるために必要となるフィン
ガー１６０のＸステージ、Ｙステージそれぞれの移動量
は、以下となる。

【０１０５】Ｘステージの移動量＝Δｘ＋ΔＸＹステージの移動量＝Δｙ＋ΔＹこうしてＸ，Ｙ方向の位置が合致したらフィンガー１６
０のＺステージを下げて天板１００とヒーターボード１
１０とを接合する。接合状態を保持するためにフィンガ
ー１６０のＺステージを退避する前に不図示の接着剤供
給手段（ディスペンサ等）を用いて接着剤１２１を塗布
する。

【０１０６】上記の作業はヒーターボード１１０の数だ
け繰返し行う。

【０１０７】このようにして天板部材１００とヒーター
ボード１１０とが接合されたノズルユニット１３０は、
次に、ベースプレート接合位置へ移動する。

【０１０８】ベースプレート接合位置の上方には、あら
かじめ接着剤１２１が塗布されたベースプレート１２０
が待機しており、これを下降させてノズルユニット１３
０と接着させることにより、長尺ノズルのインクジェッ
トヘッドが形成される。

【０１０９】［第８の実施例］図１１乃至図１３のそれ
ぞれは本発明の第８の実施例を説明するための図であ
る。

【０１１０】本実施例は、第７の実施例における天板部
材１００とヒーターボード１１０との接合精度をさらに
向上させるためのものである。

【０１１１】図１１は第８の実施例の要部構成を概略的
に示す斜視図である。図１１において、１４１，１４２
はヒーターボード１１０の端面およびヒーター位置を測
定するための観察光学系であり、図１１に示すように各
観察光学系１４１，１４２を配置することでミラー１６
３を介してヒーターボード１１０の端面の両側の画像を
同時に取り込むことができる。図１２（Ａ），（Ｂ）の
それぞれは、各観察光学系１４１，１４２により得られ
た画像の一例を示す図である。

【０１１２】仮位置決め後のヒーターボード１１０は図
１３に示すように角度θだけ傾いている場合にはＸ方
向，Ｙ方向の補正だけでは正確に天板部材１００とヒー
ターボード１１０との接合ができない場合がある。

【０１１３】図１１に示される光学配置は、このような
状態のヒーターボード１１０を補正するためのものであ
る。観察光学系１４１，１４２で取り込まれた画像を測
定することにより、ヒーターボード１１０の端面の位置
をＹ１，Ｙ２、ヒーターボード１１０の幅を１とする
と、ヒーターボード１１０の傾き角度θは次の式で求め
られる。

【０１１４】ヒーターボード１１０の傾き角度θ＝ｔａ
ｎ^-1（（Ｙ１−Ｙ２）／１）上記のようにして測定した
傾き角度θをヒーターボード１１０を把持するフィンガ
ー１６０のθステージの移動量として補正することによ
って、仮位置決めにより修正しきれなかったヒーターボ
ード１１０の傾きを補正することが可能となる。

【０１１５】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも熱エネルギーを利用して飛翔的液滴を形成し、記
録を行うインクジェット方式の記録ヘッド、記録装置に
おいて、優れた効果をもたらすものである。

【０１１６】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に一対一で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体（イ
ンク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【０１１７】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【０１１８】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に、熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を
開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含ま
れるものである。

【０１１９】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明は有効である。

【０１２０】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数個の記録ヘッドの組み合わせによってその長さを
満たす構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドと
しての構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効
果を一層有効に発揮することができる。

【０１２１】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも
本発明は有効である。

【０１２２】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング
手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。

【０１２３】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラー、または混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。

【０１２４】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは
液体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式で
はインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調
整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温
度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与
時にインクが液状をなすものであれば良い。

【０１２５】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで防止するか、またはイン
クの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを
用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号
に応じた付与によってインクが液化し、液状インクとし
て吐出するものや、記録媒体に到達する時点では既に固
化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初め
て液化する性質のインクの使用も本発明には適用可能で
ある。このような場合インクは、特開昭５４−５６８４
７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載
されるような、多孔質シート凹部または貫通孔に液状ま
たは固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。本発明において
は、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述
した膜沸騰方式を実行するものである。

【０１２６】さらに加えて、本発明に係る記録装置の形
態としては、ワードプロセッサやコンピュータ等の情報
処理機器の画像出力端末として一体または別体に設けら
れるものの他、リーダと組み合せた複写装置、さらには
送受信機能を有するファクシミリ装置の形態を採るもの
であってもよい。

【０１２７】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【０１２８】以上説明したように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。

【０１２９】請求項１、請求項１０に記載の方法におい
ては、ヒーターボードを隙間をあけて配列し、かつ、ヒ
ーターボードの切断精度に応じての隙間を管理すること
ができるため、切断精度のバラツキを吸収し、かつ、各
ヒーターボードの基準までの距離（ピッチ）を一定に保
つことができ、ヒーターボードを精度よく配列すること
ができる効果がある。

【０１３０】また、ベースプレート上にヒーターボード
を突き当てるまで隣接したヒーターボードを確認するこ
とができ、配列時のミスを補正することが可能となるた
め、歩留りを向上することができる効果がある。

【０１３１】請求項３乃至請求項６に記載の方法におい
ては、天板の形状にあわせて配列を行うため、上記効果
が一層向上する。

【０１３２】また、天板の形状およびヒーターボードの
隙間などを非接触法で測定し配列するため、機械加工に
よる位置決めさせて等の基準を作る場合にくらべ再現性
がなく、付き当て時のバラツキも少なくてすむ。

【０１３３】また、天板の反りに合わせて配列が可能と
なるため、配列したヒーターボードに天板が結合できな
いという問題が生じることはなく、天板の歩留りを向上
することができるとともに記録特性を向上することがで
きる効果がある。

【０１３４】請求項２、請求項７乃至請求項９に記載の
方法においては、接着材の注入を容易とすることができ
る効果がある。

【０１３５】上記のような各請求項に記載される本発明
の配列方法を用いることで、目的に応じた自由幅の長尺
記録ヘッドが低コストでかつ歩留りがよく製作すること
が可能となった。

【０１３６】また、基準を製作する場合に光を利用する
には材質が限定されてしまうが、本発明の方法では、そ
の様な問題が生じることはなく、広い範囲で材質を選択
が可能となった。

【０１３７】請求項１１乃至請求項１７に記載の方法に
おいては、複数個のヒーターボードを配列する際に、ヒ
ーターボードのヒーターの位置とヒーターボードの吐出
側端面の位置を非接触で測定することにより、端面基準
ではなくてヒーターの実際の位置が基準となるため、従
来のようなヒーターボードの端面を突き当て、ヒーター
ボードの切断精度がそのまま配列精度になってしまう方
法と比較して高精度の配列が可能となった。

【０１３８】また、本発明によれば、あらかじめ天板部
材のインク流路溝位置とオリフィスプレート位置を非接
触で測定することによって、ヒーターボードを配列する
際、これらのデータをもとに、実際の天板の位置に合わ
せてヒーターボードの位置を調整し天板上に直接配列す
ることで可能となった。これにより機械的に突き当てて
配列しないためヒーターボードの切断加工のばらつきを
吸収できる。また、天板の加工ばらつきによる変形、そ
りに合わせた配列が可能となり製造工程の歩留りの向上
に寄与することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法を用いて作製される長尺型イ
ンクジェットヘッドの一例の構成を示す概略斜視図であ
る。

【図２】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
１の実施例を説明するための概略断面図である。

【図３】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
２の実施例を説明するための図である。

【図４】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
３の実施例を説明するための図である。

【図５】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
４の実施例を説明するための図である。

【図６】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の第
６の実施例を説明するための図であり、（Ａ）および
（Ｂ）のそれぞれはベースプレートにヒーターボードを
突き当てる際の位置決めの方法を示す図である。

【図７】本発明の第７の実施例を説明するための概略構
成を示す斜視図である。

【図８】（Ａ）は第７の実施例における観察光学系１４
３が天板部材１００の端に移動した状態を示し、（Ｂ）
は観察光学系１４３によって得られた画像を示す図であ
る。

【図９】変形した天板のインク流路位置およびオリフィ
スプレート位置の測定を示す図であり、（Ａ）は、観察
光学系１４３はＸ方向に関してはを常に同じ場所となる
ように移動して画像を取り込む状態を示す図であり、
（Ｂ）〜（Ｄ）のそれぞれは、（Ａ）中に示される測定
点ａ，ｂ，ｃにおける各画像を示す図である。

【図１０】ヒーターボードのヒーター位置およびヒータ
ーボード端面位置の測定を示す図であり、（Ａ）は観察
光学系１４０により測定したヒーターボード１１０の画
像を示し、（Ｂ）および（Ｃ）のそれぞれは、天板部材
１００とヒーターボード１１０とを接合する直前の状態
を示す図である。

【図１１】本発明の第８の実施例を説明するための図で
あり、ヒーターボードの傾きを精度よく測定する方法を
示す概略図である。

【図１２】本発明の第８の実施例を説明するための図で
あり、ヒーターボードの傾きを精度よく測定するため
に、ヒーターボードの両側の端面位置の測定を示す説明
図である。

【図１３】本発明の第８の実施例を説明するための図で
あり、ヒーターボードの傾きを精度よく測定するため
に、ヒーターボードの両側の端面位置測定データからヒ
ーターボードの傾き角度を計算する方法の説明図であ
る。

【符号の説明】

１ヒーターボード２ベースプレート３接着剤４注入口５吸引口６接着剤塗布領域７天板１０ヒーター１１金ワイヤー１２配線基板１３コネクター１７インク吐出口１８インク供給用ピン５１ベースプレート５２ベースプレート５７天板１００天板部材１０２インク流路溝１０３オリフィスプレート１０５ノズル穴１１０ヒーターボード１１１インク加熱用ヒーター１２０ベースプレート１２１接着剤１３０ノズルユニット１４１，１４３観察光学系１６０フィンガー１６３ミラー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者寺井晴彦東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個のエネルギー発生素子を有するヒ
ーターボードをベースプレート上に複数個配列した後、
該各エネルギー発生素子に対応すべき複数のインク流路
用溝が形成された一つの天板を前記ベースプレートに接
合するインクジェットヘッドの製造方法において、前記ベースプレート上に前記各基板を互いに隙間を設け
て直接配置し、接着固定することを特徴とするインクジ
ェットヘッドの製造方法。
【請求項２】前記請求項１に記載のインクジェットヘ
ッドの製造方法において、ベースプレートのヒーターボードを配列する面に所定の
枠状のパターンが加工されていることを特徴とするイン
クジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】前記請求項１または請求項２に記載のイ
ンクジェットヘッドの製造方法において、天板の形状にあわせてヒーターボードをベースプレート
上に配列することを特徴とするインクジェットヘッドの
製造方法。
【請求項４】請求項３に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、天板の形状をあらかじめ別の箇所にて測定し、該測定結
果に基づいてヒーターボードをベースプレート上に配列
することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項５】請求項３に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、天板の形状を測定しながら、該測定結果に基づいてヒー
ターボードをベースプレート上に配列することを特徴と
するインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
のインクジェットヘッドの製造方法において、ベースプレート上にヒーターボードを配列するときに、
先に配列されているヒーターボードの位置を非接触にて
測定し、該測定結果に基づいて次のヒーターボードを配
列することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項７】請求項２に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、接着剤をベースプレートに形成された枠状のパターンの
中に予め塗布しておくことにより、ヒーターボードをベ
ースプレートに接着固定することを特徴とするインクジ
ェットヘッドの製造方法。
【請求項８】請求項２に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、ヒーターボードをベースプレートに突き当てた後、前記
ヒーターボードの横から接着剤を前記ヒーターボードと
前記ベースプレートの枠状のパターンとの隙間に流し込
んで接着固定することを特徴とする記録ヘッドの製造方
法。
【請求項９】請求項２に記載のインクジェットヘッド
の製造方法において、ヒーターボードをベースプレートに突き当てた後、前記
ヒーターボードの後から接着剤を前記ヒーターボードと
前記ベースプレートの枠状のパターンとの隙間に流し込
んで接着固定することを特徴とする記録ヘッドの製造方
法。
【請求項１０】請求項１に記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法において、ヒーターボードの裏面に接着剤を塗布した後に前記ヒー
ターボードをベースプレートに突き当てて前記ヒーター
ボードを前記ベースプレートに接着固定することを特徴
とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】インクを加熱するための複数のヒータ
ーを具備するヒーターボードが複数個配列されたヒータ
ーボードを、インク吐出用の流路とオリフィスが形成さ
れた天板部材を接合させることによりインクを吐出する
ヘッドを製造するインクジェットヘッドの製造方法にお
いて、前記ヒーターボードを直接、前記天板部材に配列して接
着固定することを特徴とするインクジェットヘッドの製
造方法。
【請求項１２】請求項１１記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法において、天板部材に直接ヒーターボードを配列する工程が、前記天板部材のインク流路位置を測定する流路位置工程
と、ヒーターボードのインク加熱用ヒーターの位置を測定す
るヒーター位置測定工程と、前記ヒーターボードの姿勢を調整する姿勢調整工程と、前記天板部材のインク流路と前記ヒーターボードのヒー
ター位置を合致させて組み合わせるヒーターボード接合
工程と、前記天板部材と前記ヒーターボードを接合してノズルユ
ニットとしたうえで、該ノズルユニットを保持固定する
ためのベースプレートを接合するベースプレート接合工
程と、を具備することを特徴とするインクジェットヘッ
ド製造方法。
【請求項１３】請求項１２記載のインクジェットヘッ
ドの製造方法において、流路位置測定工程が、天板部材を部材供給位置からインク流路位置を測定する
インク流路位置測定位置へ移動させる天板部材移動工程
と、前記インク流路位置測定位置にて、天板部材に形成され
たインク吐出用の溝の位置およびオリフィス先端部の位
置を測定するための第１の位置測定工程と、を具備する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１４】請求項１２または請求項１３に記載の
インクジェットヘッドの製造方法において、ヒーター位置測定工程が、ヒーターボードを部品供給位置からヒーター位置測定に
移動させるヒーターボード移動工程と、ヒーター位置測定位置にてヒーターボードに形成された
インク加熱用ヒーターの位置を測定する第２の位置測定
工程と、を具備することを特徴とするインクジェットヘ
ッドの製造方法。
【請求項１５】請求項１４に記載のインクジェットヘ
ッドの製造方法において、姿勢調整工程が、ヒーターボードを把持して動かすためのヒーターボード
保持手段を用いて行われるものであって、第１の位置測定工程および第２の位置測定工程から得ら
れた天板部材のインク吐出用溝位置、オリフィス先端位
置およびヒータ位置に基づいてヒーターボードの姿勢調
整量を計算するための演算工程と、前記演算工程での演算結果に基づいてヒーターボードの
姿勢を調整するヒーターボード姿勢調整手段と、を具備
することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
【請求項１６】請求項１２乃至請求項１５のいずれか
に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、ヒーターボード接合工程が、天板部材をインク流路測定位置から天板部材とヒーター
ボード接合位置に移動させる天板部材移動工程と、ヒーターボードをヒーター位置測定位置から天板部材と
ヒーターボード接合位置に移動させるヒーターボード移
動工程と、天板部材とヒーターボードを接合させる接合工程と、接合状態を保持固定するための固定工程と、を具備する
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】請求項１２乃至請求項１６のいずれか
に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、ベースプレート接合工程が、給位置からベースプレート
接合位置に移動せしめるベースプレート移動工程と、ベースプレートにノズルユニット保持固定用の接着剤を
付着させる接着剤塗布工程と、ノズルユニットとベースプレートを接合、接着させる接
合工程と、を具備することを特徴とするインクジェット
ヘッドの製造方法。
【請求項１８】請求項１乃至１７のいずれか１項に記
載のインクジェットヘッドの製造方法によって製造され
たことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１９】前記エネルギー発生素子は、インク吐
出用の熱エネルギーを発生するための電気熱変換体であ
る、請求項１８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項２０】前記電気熱変換体によって印加される
熱エネルギーにより、インクに生じる膜沸騰を利用して
吐出口よりインクを吐出させることを特徴とする、請求
項１９に記載のインクジェットヘッド。
【請求項２１】請求項２０に記載のインクジェットヘ
ッドを備え、記録信号に基づいてインクを前記インクジ
ェットヘッドの吐出口から吐出して記録を行なうインク
ジェットヘッド記録装置。