JPH08121414A - 電磁波による油圧シリンダの動的及び静的ピストン位置検出におけるオイルフィルム電気接触及びシーリング - Google Patents

電磁波による油圧シリンダの動的及び静的ピストン位置検出におけるオイルフィルム電気接触及びシーリング

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JPH08121414A
JPH08121414A JP7257637A JP25763795A JPH08121414A JP H08121414 A JPH08121414 A JP H08121414A JP 7257637 A JP7257637 A JP 7257637A JP 25763795 A JP25763795 A JP 25763795A JP H08121414 A JPH08121414 A JP H08121414A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 同軸キャパシタの接触及びシーリング構造に
関する。 【解決手段】 電磁波によって位置検出を行なって、油
圧シリンダ内のキャビティの両端部において互いに動く
部品間に電気的な連続性を形成するようにする。この構
造では、部品のうち一方に取り付けられている高い表面
導電性を有する接触及びシーリング部材を用いる。接触
及びシーリング部材の取り付けによって、部品間のオイ
ルの圧力接触のための力が与えられ、接触及びシーリン
グ部材が配置されている部品で電気的導電性を高める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的にシリンダ内で
油圧流体内の電磁波を用いて、該油圧シリンダ内におけ
るピストン・ロッド組合せの位置検出に関する。より詳
細には、本発明は、電気的接触と、可動部品間のインタ
ーフェイスでの電磁波の漏れ防止に関する。
【0002】
【従来の技術】油圧シリンダとピストンの組合せは、材
料と対象物が動き、位置決めを行なう領域において、ま
すます用いられている。油圧シリンダとピストンの組合
せの様々な用途が進歩するにつれて、作動基準がより厳
しくなり、ピストンの位置とそれに関連した変位パラメ
ータ、速度、及び加速度を正確に、確実にかつ連続して
検出する必要性が生じてきた。本分野において開発され
る見込みある解決策では、ピストンの位置を求める際
に、シリンダ内の油圧流体の電磁波を用いることを採用
する。この解決策の一態様において、シリンダ内の流体
の波動特性が、端部がショートした伝播ライン内の波動
特性と対比でき、電磁定在波の共振周波数は、シリンダ
端部とピストンとをショートした端部とみたとき、該シ
リンダ端部とピストンとの間でシリンダ内部に形成され
るキャビティの長さ、即ち伝播ラインの長さと相互に関
係する。ピストンの位置を検出するために電磁波を用い
る一つの適用例が、米国特許第4、588、953号に
開示されており、シリンダの閉じた端部とピストンとの
間でシリンダに導入される電磁波の周波数が2つの限界
値の間で変化させられ、検出された共振ピーク数がピス
トンの位置を表すものとする。
【0003】米国特許第4、737、705号における
改良は、中心コア部材を有するキャビティである、同軸
共振キャビティを形成することによって達成されてお
り、電磁波は、TEM波モードと言われるモード内に発
せられて伝播される。ピストンのロッド側のシリンダ
は、一種の同軸キャビティである。米国特許第5、18
2、979号において、別の改良が送受信のための信号
処理セクション内で共振周波数値を検出することによっ
てなされており、このうちの受信セクションは、シリン
ダ内でピストンとロッドが線形に伸張するときに生じ
る、挿入ロスの差を補償する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本技術分野において開
発が進むにつれて、共振周波数の検出においてより精密
さが求められる。ピストンの短絡態様と、伝播ラインと
してのシリンダの端部を改良し、シリンダからの電磁波
の漏れを防ぐことが重要になっている。米国特許第5、
222、449号においては、シリンダからの電磁波漏
れの問題が認識されており、ピストンの溝内に配置され
た膨張部材上にスプリットリングを設けてシーリング構
造を構成することを開示する。
【0005】
【課題を解決するための手段】油圧シリンダ電磁波ピス
トン位置検出システムにおいて、“静止している”及び
“動いている”双方の状態での電気的連続性が、互いに
可動な関係にある部品間の交わり部分を横切って達成で
きる構造的な原理が提供される。この構造的原理では、
部品の配置とシリンダの油圧流体の誘電特性とによっ
て、交わり部分を横切って交流結合が達成される、電磁
波周波数において、同軸キャパシタが形成される。交わ
り部分において、高い表面導電性を備えた材料からなる
金属接触及びシーリング部材が、一方の部品内に配置さ
れ、他方の部品に対して交わり部分を横切る位置に配置
されて、オイルフィルムによって該他方の部品から分離
されてる。接触及びシーリング部材は、一方の部品内の
溝の所定位置に保持されている。力が、交わり部分に垂
直に加えられ、接触及びシーリング部材を交わり部分の
他方側の部品に圧力接触させる。接触及びシーリング部
材が、これを保持する部品と電気的連続性を有するよう
になっている。
【0006】
【実施例】油圧シリンダにおけるピストンとロッドの組
合せの位置を電磁的に検出する際に、シリンダを電磁波
キャビティとして用いる。例えば、50メガヘルツ(M
Hz)から1.6ギガヘルツ(GHz)の周波数の帯域
のもとで定在電磁波が油圧流体内に決定され、シリンダ
の端部からピストンまでの距離であるキャビティの長さ
に直接関係する周波数共振によって、ピストンの位置が
決められる状態になっている。電気的な認識において、
キャビティは、端部がショートした伝播ラインであると
考えられる。しかしながら、油圧シリンダ内のピストン
とロッドの場合には、短絡、即ち、理想的にはインピー
ダンスを有さない“端部”は、互いに動く機械部品間に
交わり部分を含んでいる。静止状態か、又は“動いてい
る”状態のいずれかの状態で、交わり部分での電気的な
不連続によって、共振周波数を正確に判定する能力に影
響を及ぼすノイズが生じ、いかなる漏れもキャビティ内
の波の状態を低下させる。本発明に関して、互いに動け
る部品間の交わり部分を横切って“静”の電気的接触と
“動”の電気的接触双方に対するインターフェイスの構
造的な原理は、部品の直流特性と、交流結合のためによ
り高い周波数で電流の表面電流特性双方を用いることに
よって達成される。
【0007】図1を参照すると、互いに動く部品の間に
本発明のオイルフィルム接触インターフェイスの断面図
が示されている。図1において、第一部品2と第二部品
3との間の交わり部分1で、部品2と3は、互いに可動
である。交わり部分1は、円筒形表面の一部分である。
接触及びシーリング部材は、交わり部分の円筒形表面に
適合する大きさの円形であり、部品2内の溝5内の一部
分に配置されている。部品2は、支持し電気的連続性を
与える、部材4と接触する面8、9を備えている。部材
4は、矢印の方向に示した力10によって部品3と接触
させられる。接触及びシーリング部材4は、部品2と3
の金属と比較的同じ硬度の表面導電率が高い材料から形
成されており、例えば鋳造鉄、即ち鋼である部品2、3
に対して、例えばベリリウム銅合金である。図1におい
て、オイルフィルム11は、接触及びシーリング部材4
と部品3との間にその部分を含むインターフェイス内に
ある。ピストン運動を作り出すシリンダ内の油圧流体
は、交わり部分1で部品間の潤滑剤としても用いられて
おり、オイルフィルム11を形成する。本発明に従っ
て、例えば50メガヘルツ(MHz)から16ギガヘル
ツ(GHz)の電磁波周波数で、油圧流体オイル11の
フィルムが、同軸の静電結合に要求された特性を与える
適当なパラメータ制御を通して交流結合を行う。
【0008】同軸のトランスミッションラインの静電特
性は、公知であり、例えば、1992年第4版マグロー
ヒルチャプター4─12のテキスト“電磁”において述
べられている。本発明の同軸キャパシタの接触及びシー
リング部材静電容量は、図18の式1に示した関係にな
る。ここで“ε”は、オイルフィルム11の透過率であ
り、自由空間の透過率とオイルの相対的透過率(εo ×
εr )を作り出す。Lは、キャパシターの長さであり、
図2のオイルフィルムと接触する要素4の面を横切る大
きさである。D/dは、直径比であり、Dは部品3の内
径であり、dは、要素4の外径である。オイルフィルム
の厚さは均一でなければならない。部材4は、力10に
よって充分に押されるが、部品3の表面内に不完全さが
ある場合には撓むように、コンプライアンスな関係を有
していなければならない。オイルフィルム11を横切っ
て部品4と部品3が分かれることによって、極めて摩耗
寿命が伸び、摺動材料が接触する際に通常存在する接触
ノイズを除去する。
【0009】本発明の原理を適用する際に図示するよう
に、次の例を考慮する。所望の約10ナノファラドキャ
パシタンスは、62メガヘルツの周波数でピストンから
シリンダまでの交わり部分とロッドからヘッドまでの交
わり部分を横切って充分な交流結合を行う。必要とされ
る10ナノファラド静電容量は、有界のキャビティのコ
ンピュータモデルにトライアルアンドエラーキャパシタ
ンス値を置き換えることによって決定された。モデル化
されたソフトウェアは、専門分野では一般的なヒューレ
ットパッカードキャビティである。ピストンの直径が1
50mm、ロッドの直径が105mm、オイルフィルム
11の厚さが0.00254mmであると想定する。図
4に示されているように、標準的な、すぐ入手できるら
せん状切断部材が、らせんの異なるねじれ数で選択さ
れ、図1の要素4の面の交わり部分1に沿って、ピスト
ン─シリンダの交わっている長さに対しては2.54m
mであり、ロッド─ヘッドが交わっている長さに対して
は2.286mmの長さを形成する。各交わり部分間の
キャパシタンスは、上述の図18の式1に従って計算さ
れる。
【0010】2つの交わり部分のキャパシタンス値は、
式2、式3との値の一連の組合せであり、これは、所望
の値に対して充分に近接した値、約7×10-9ファラッ
ドであり、充分な交流結合を表す。部材4と部品2との
間の電気接触は、面8、9の間隙を閉じて、要素4を面
8或いは9の方向に向かわせる、交わり部分1に平行に
力を加え、力10に導電性を与えることによって達成す
ることができる。本発明のオイルフィルム接触は、一実
施例において、分離した直交方向の力を部材4にかける
ことによって構成することができる。直交方向の力のう
ち一方の力が、交わり部分1に平行に部材4に加えら
れ、溝5の面8、又は9と接触するようにし、このため
に部品2と電気的に接触することになる。直交方向の力
のうち他方の力は、交わり部分1に対して垂直方向に部
材4に加えられ、オイルフィルム11を介して部品3と
接触するようにする。図1の参照番号を適応させて、2
つの直交する力の実施例が、図2に述べられている。図
2を参照すると、交わり部分1では、第一部品2と第二
部品3が互いに可動であり、接触及びシーリング部材4
は、溝5内に配置されている。矢印によって表されてい
る力12が、交わり部分1に平行な方向に部材4に加え
られ、力12の方向に従って溝5の面8、又は9との電
気的接触を高めることになる。図2に示したように、力
12は、溝5の面8の方向に部材4に加えられる。力1
0は、交わり部分1に対して垂直に加えられ、オイルフ
ィルム11を通って交わり部分1を横切って要素4を部
品3に接触させるようにする。
【0011】次に、図3乃至図8を参照すると、接触及
びシーリング部材4が機能できるようにらせん状に切断
された材料を用いて、かつ力10、12に対して波形ス
ペーサタイプのばねを用いるための組立体と部品を表し
ている。図3において、一致している部分には同じ符号
を用いており、本発明のオイルフィルム電気接触の組立
体が示されている。図3において、接触及びシーリング
部材4は、部材4の幅を占める、断面において複数の積
層サブ部材からなり、そのうち3つの例13、14、1
5が示されている。図4において、らせん状に切断され
た材料が要素16として示されている。この材料は、約
3ミリメートルの厚さの選択された外径17、内径18
及びウェブ寸法19を有するらせん状のベリリウム銅合
金カットのような高導電性表面硬度材料である。図3に
おいて、交わり部分1が部品2としてのピストンと部品
3としてのシリンダ壁との間にある場合には、外径は、
交わり部分1内のオイルフィルム11にあり、寸法19
は、溝5内のサブ部材13、14、15の長さである。
交わり部分1が、部品2としてヘッドと部品3としてロ
ッドとの間にある場合には、内径は、交わり部分1内の
オイルフィルム11にあり、寸法19は、溝5内のサブ
部材13、14、15の長さのままである。
【0012】図3を続けて参照すると、図2に示された
力12が、側部波形スペーサばね20によって与えら
れ、接触及びシーリング要素13、14、15を溝5の
面8に対して押しつけ、部品2に電気的に接触させるよ
うになる。同様に、図1及び図2に示したように力10
が、圧縮波形スペーサばね21によって加えられ、交わ
り部分1内のオイルフィル11を横切って部品3の方向
に接触及びシール要素に力を加える。波形スペーサばね
20、21の双方によって、接触及びシーリング要素を
部品2と電気的に接触させることになる。図5、6にお
いて、側部用の波形スペーサばね20の上図と側図がそ
れぞれ示されている。サイドタイプの波形スペーサ20
は、ばね鋼から形成されていればよく、内径と外径の間
の寸法19の単位の寸法のピストンの周縁と一致するよ
うに円形である。要素20内の波の幅22は、サブ部材
13、14、15からなる要素4上に力12を作用させ
る。図7、8において、圧縮形波スペーサばね23の上
図と側図を示している。要素23の材料は、ばね鋼であ
る。サブ要素13、14、15からなる部材4の下側に
配置されたとき、個々の圧縮された高さ24は、図1と
図2の力10に作用する。
【0013】図3の組立体において、溝5は、部品2か
ら切り取られており、溝の一方側は、面8であり、他方
側は、面25であり、要素4の下側の部分の底部は面2
6である。溝5内において、部材20がサブ要素13、
14、15からなる部材4と面25との間に配置されて
おり、力12として用いる要素20の波の幅22によっ
て部材4が面8に押し付けられるようになっている。底
面26と、サブ要素13、14、15からなる部材4と
の間に配置された部材23の圧縮高さ24は、図1と図
2の力10を与えてオイルフィルム11を横切って部材
4を部品3と接触させる。図9及び図10において、本
発明のオイルフィルム接触の単一の力の実施例が示され
ている。他の図面に示されているように、双方とも同一
の参照番号を用いる。図9において、交わり部分におけ
る部品の断面図が、図10に示されており線10─10
に沿った側図を表す。図9を参照すると、部品2におい
て、図1に示したように面8と9の間の溝5が、図1の
要素4の接触及びシーリング機能を行う要素30の幅に
対して摺動嵌合する。要素30は、ベリリウム銅合金の
ような材料からなる約10ミリメートルの幅のスリット
リングである。要素30は、斜面になったコイルばね3
1によって交わり部分1内のオイルフィルム11を横切
って部品3と接触するように付勢される。斜面になった
コイルばね31は、図1に示した力10の機能を果たし
て、部品2を電気的に接触させるようにする。溝5は、
ほぼV形状の低部32を有しており、斜面になったコイ
ルバネ31の側部の動きを制限する。部品2と3が互い
に動くにつれて、要素30は、溝面8、又は9に対して
押されて部品2との接触が高まる。
【0014】図10を参照すると、スプリットリング要
素30の一部分と、図9の線10─10に沿った傾斜し
たコイルばね要素31の側図が示されている。要素30
内のスプリット33によって、要素30は、傾斜コイル
34の力で膨張できる。傾斜したコイルばね31は、接
触及びシーリング部材30に対する定常接触圧を有す
る、図1の力10として用い、部品2に対して複数の電
気接触点を通して電気接触を行う。傾斜したコイルばね
31は、さらにガータタイプの機能を与えており、ばね
31は、これが溝5内に保持される長さの完全な円形で
ある。ガータ能力は、組立において有効である。傾斜し
たコイルばね31は、商業製品であり、メーカの一つに
は、バルシール社(Balseal Corp.)があ
る。ステンレス鋼、又はベリリウム銅合金から形成され
た、0.25mm(0.010インチ)から0.35m
m(0.014インチ)の直径のワイヤを有する3mm
のコイル直径であれば充分である。図11乃至14にお
いて、弾性部材が、図2に示した力10と12の双方を
加えるように用いられる。組立体の概略図が、図11に
示されている。弾性部材の平面図が、図12に示されて
おり、図13における断面図は、図12の線13─13
に沿っている。変形収納を表すより大型のスケールに対
する弾性部材の一部分が図14に示されている。
【0015】図11を参照すると、同符号が一致する箇
所に用いられており、接触及びシーリング部材4の機能
は、断面図において示されている3層13、14、15
からなる、図4のらせん状に切断された材料16によっ
て与えられる。図2に示された力10と12の機能は、
弾性要素40によって与えられる。要素40は、面4
2、43を有する溝41内に配置されており、これらの
間には、接触及びシーリングサブ要素13、14、15
と要素40の一部分を収納するのに充分な幅を備えてい
る。溝の深さの寸法44は、要素40の垂直方向の長さ
を収納する。所定の位置において、要素40の弾性部材
40は、圧縮状態である。図12、13において、弾性
部材40は、ピストンまたはロッドの周縁の単位であ
り、“ブナN(Buna N)”ラバーから製造されて
いる。この形状は、図13、14に示されている通りで
あり、部分45は、図1、2の面9の機能を果たし、対
応する寸法48を有する部分47は図1、2の力10の
機能を果たす状態になっている。図14において、部材
40は、領域49を収納する変位部に設けられており、
圧縮時に容易に変形できるようにしている。整備時、油
圧シリンダにおいて、連続性が中断して、電磁エネルギ
ーがピストンとシリンダ壁の交わり部で漏れ、ピストン
のロッド側が同軸式のキャビティとして用いられるシリ
ンダにおいて、連続して生じる中断と漏れがロッドと、
このロッドが通るヘッドの交わる点で生じる。2つの交
わり部分は、図1に示した種類のものであり、図15に
おいて断面図として共に示している。
【0016】図15を参照すると、シリンダ60におい
て、ロッド62が取り付けられたピストン61が、ピス
トン61に対する流体圧の作用を受けて、2つの矢の付
いた矢印で示したようにいずれかの方向に動く。一個し
か示していないが、ピストンによって形成されたキャビ
ティ、シリンダの両端部及びシリンダ壁は、電磁波ピス
トン位置を決定するのに有効である。決定の際に、油圧
シリンダにおいて、ピストンとヘッドがショートされる
べき端部である、ショートされた端部を備えたトランス
ミッションラインキャビティの長さに共振周波数が直接
関係する。位置決定システムの機能は、端部間をショー
トする際における電気的連続性の特性に直接関係するこ
とは明白である。一端は、ピストン61の面63であ
り、他端は、ヘッド65の面64である。ピストン61
の周囲のシリンダ60の壁とピストン61の間の交わり
部は、電気的不連続性と漏れが起こりうる可能性のある
第一の領域であり、ロッド62の周囲のヘッド65とロ
ッド62の交わる部分が電気的不連続性と漏れが生じる
可能性のある第二領域である。電気不連続性と漏れが起
きる可能姓のある領域を形成する交わり部分は、全体の
構造の異なる部品内にあり、部品の製造と選択に影響を
及ぼす組立体において異なる問題が存在する。図1のイ
ンターフェイスにおいて、ピストン61─シリンダ60
の壁との交わりの場合、可動部材、ピストン61は図1
の部品2に相当する。ロッド62─ヘッド65の交わり
の場合、静止部材、ヘッド65は図1の部品2に相当す
る。図15において、本発明の接触及びシーリング要素
66は、図9、10に関連して述べられたスプリットリ
ング30と傾斜したコイル31である。要素66は、ピ
ストン61上とヘッド65内に用いられる。
【0017】本発明の実施において、図1のインターフ
ェイスの部品2の面8が用いられる組立体において、取
外し可能で、部品と組立体において可撓性を与える別個
の部品によって面8を設けることができる。この状態
は、ピストン61の面63で組立てられた本発明の概略
断面図である図16に示されている。図16を参照する
と、ピストン61とシリンダ60との交わり点におい
て、弾性力が部材45に与えられている状態で、ピスト
ン61は、接触及びシーリングサブ部材13、14、1
5の組立体を収納するのに切り取られた部分67を有す
る。ピストン61の面69上の取外し可能プレート68
は、図示していないが平ねじによって取りつけられてお
り、図1の面8として用いられ、組立体を所定位置に保
持し、電気連続性を作り出す。プレート68の一効果
は、このプレートの厚さがキャビティの長さを小さくす
るということであり、寸法の差が顕著である場合には、
位置決定に含まれた算出において考慮に入れなければな
らない。図17において、隣接する面を通るアクセシビ
リティが得られない溝70における本発明の組立体の状
況を示している。弾性部材45と示しているが、或いは
傾斜コイルばねでもよい力付与部材が、ロッド62がヘ
ッド65内に組立てられる前に、図示のようにねじれ状
切断部材、或いはスプリットリングの部分13、14、
15となる接触及びシーリング要素4に続く、溝70内
に挿入される。
【0018】本発明の接触及びシーリングインターフェ
イスの目的は、オイル収納というよりは電気的連続性で
ある。油圧システムにおいて、図示していないが、かな
り重い油漏れ制御機構がある。インターフェイス内の交
わり部に沿ったオイル圧の差が重要である場合には、図
示していないが、電気的連続性を損なうことなく、接触
及びシーリング要素4を通って、オイル圧解放孔を横方
向に配置することができる。今まで述べてきたことは、
電磁波によるピストン位置検出を用いる油圧シリンダ内
においてキャビティの端部をショートさせる際に、改良
された連続性を提供する電気接触及びシーリングインタ
ーフェイスを提供することである。本発明の他の態様
は、図面、詳細な説明、及び請求の範囲から得ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】互いに動く部品と用いられる要素との間のオイ
ルフィルム接触インターフェイスの概略的断面図であ
る。
【図2】2つの力を用いる一実施例の概略的断面図であ
る。
【図3】図2の実施例の接触及びシーリング部材として
らせん状に切断された材料の概略的断面図である。
【図4】らせん状に切断された材料部材である。
【図5】力を与える波形スペーサタイプ部材の上図と側
図である。
【図6】力を与える波形スペーサタイプ部材の上図と側
図である。
【図7】力を与える波形スペーサタイプ部材の上図と側
図である。
【図8】力を与える波形スペーサタイプ部材の上図と側
図である。
【図9】スプリットリングと傾斜コイルを用いる本発明
のオイルフィルム接触の単一力の実施例の概略断面図で
ある。
【図10】スプリットリングと傾斜コイル組立体の側図
である。
【図11】波形スペーサタイプ力付与部材として弾性部
材を用いる、図2の実施例の組立概略図である。
【図12】図11に示された実施例に用いられた弾性力
付与部材の上図である。
【図13】図11に示された実施例に用いられた弾性力
付与部材の側図である。
【図14】図11に示された実施例に用いられた弾性力
付与部材の断面図である。
【図15】ロッドを囲むヘッドと油圧シリンダ内のピス
トン双方における、本発明の図9及び図10の実施例の
概略断面図である。
【図16】油圧シリンダ内のピストンの面で本発明の図
11の実施例の組立の概略的断面図である。
【図17】油圧シリンダにおいてロッドを囲むヘッド内
の本発明の図11の実施例の組立を表す概略断面図であ
る。
【図18】本発明の同軸キャパシタの接触及びシーリン
グ部材キャパシタンスを求める式である。
【符号】 1 交わり部分 2、3 部品 4 接触及びシーリング部材 5 溝 8、9 面 11 オイルフィルム 13、14、15 サブ要素 20 波形スペーサばね 30 スプリットリング要素 31 傾斜コイルばね

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 オイルを支持する交わり部分においてか
    つこれに沿って可動な関係で接触する第一及び第二金属
    部品間に電気接触インターフェイスを備え、 該インターフェイスは、前記第一金属部材の一部分内に
    配置された、高い表面導電性を有する材料からなる第三
    部品を含んでおり、 前記インターフェイスは、前記オイル支持交わり部分を
    横切る少なくとも一つの接触圧を前記第二金属部品に作
    動的に与え、電気接触を前記第二金属部品に作動的に与
    える、前記第三部品に加えられる力手段を含んでいるこ
    とを特徴とする油圧シリンダ電磁波ピストン位置検出シ
    ステム。
  2. 【請求項2】 前記第一金属部材は、前記システムの前
    記ピストンであることを特徴とする請求項1に記載のシ
    ステム。
  3. 【請求項3】 前記第一金属部材は、前記システムの前
    記ロッド支持ヘッドであることを特徴とする請求項1に
    記載のシステム。
  4. 【請求項4】 前記力手段は、波形ばね部材と傾斜コイ
    ルばね部材及び弾性部材のグループから選ばれた少なく
    とも一つの部材によって形成されていることを特徴とす
    る請求項1に記載のシステム。
  5. 【請求項5】 前記第三部品は、らせん形状であり、前
    記力手段は、前記交わり部分に平行な方向に前記第三部
    品上にかかる圧力と、前記交わり部分に垂直方向に前記
    第三部品にかかる圧力とを含んでいることを特徴とする
    請求項4に記載のシステム。
  6. 【請求項6】 前記第三部品は、スプリットリング形状
    であり、前記力手段は、前記第二金属部品の前記方向に
    前記スプリットリング上に圧力をかける、傾斜コイルば
    ねであることを特徴とする請求項4に記載のシステム。
  7. 【請求項7】 前記第三部品はベリリウム銅合金からな
    ることを特徴とする請求項5に記載のシステム。
  8. 【請求項8】 前記第三部品はベリリウム銅合金である
    ことを特徴とする請求項6に記載のシステム。
  9. 【請求項9】 オイルを支持する交わり部分においてか
    つこれに沿って可動な関係で接触する第一及び第二金属
    部品間の電気接触インターフェイスを備え、 該インターフェイスは、前記第一金属部材の一部分内に
    配置された、高い表面導電性を備えた材料からなる第三
    部品を含んでおり、 前記インターフェイスは、前記第一金属部材と前記第三
    部品との間に電気連続性を作動的に形成する第一力手段
    を含み、かつ前記インターフェイスは、前記オイル支持
    交わり部において前記第二金属部材と接触する前記第三
    部品部材に圧力を作動的に加える第二力手段を形成して
    いることを特徴とする、油圧シリンダ電磁波ピストン位
    置検出システム。
  10. 【請求項10】 前記第一及び第二力手段は、傾斜した
    コイルばねによって形成されていることを特徴とする請
    求項9に記載のシステム。
  11. 【請求項11】 高い表面導電性を有する材料からなる
    部材と、ピストン及びシリンダ壁の組合せとロッド及び
    ロッド支持ヘッドの組合せのうちの少なく一つの組合せ
    の間を直列に接続されたオイルフィルム部材とを備え
    た、電磁波周波数において短絡キャビティを終端させる
    連続構造を有する、油圧シリンダ電磁波ピストン位置検
    出システム。
  12. 【請求項12】 前記部材は、前記オイルフィルムの方
    向に向いた圧力下にあることを特徴とする請求項11に
    記載のシステム。
  13. 【請求項13】 ピストンがシリンダ内の電磁波キャビ
    ティの一端を形成し、シリンダ端部が該キャビティの他
    端を形成しており、該キャビティを一つの端において終
    端させる構造が静止及び可動部材を含むようになった、
    油圧シリンダ電磁波ピストンとロッド位置検出システム
    において、 可動な関係にある第一及び第二接触金属部品間のオイル
    を支持する交わり部分と、 前記第一金属部品の一部分内に配置された、高い表面導
    電性を有する材料からなる第三部品と、 前記第一金属部品と前記第三部品との間で電気的連続性
    を高めるようになっている圧力と、前記第二金属部品の
    方向に前記第三部品を動かすようになっている圧力のう
    ち少なくとも一つの圧力を形成するようになっている力
    手段と、 が設けられていることを特徴とするシステム。
  14. 【請求項14】 前記圧力は、波形ばねと、傾斜コイル
    ばね及び圧縮されたエラストマーからなるグループの少
    なくとも一つの部材によって与えられることを特徴とす
    る請求項13に記載のキャビティ終端構造。
  15. 【請求項15】 前記第三部分は、前記ピストンの面に
    配置されており、前記ピストンの表面上のプレートによ
    って保持されていることを特徴とする請求項14に記載
    のキャビティ終端構造。
  16. 【請求項16】 前記第三部分は、前記ピストンと前記
    ヘッドのグループから選ばれた部材に配置された溝内に
    配置されていることを特徴とする請求項14に記載のキ
    ャビティ終端構造。
  17. 【請求項17】 前記第三部分はベリリウム銅合金ねじ
    れであることを特徴とする請求項16に記載のキャビテ
    ィ終端構造。
  18. 【請求項18】 前記第三部品は、ベリリウム銅合金ス
    プリットリングであることを特徴とする請求項16に記
    載のキャビティ終端構造。
  19. 【請求項19】 前記第三部品の幅は0.00254m
    mであることを特徴とする請求項16に記載のキャビテ
    ィ終端構造。
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