JPH08118043A - 常温接合装置 - Google Patents
常温接合装置Info
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- JPH08118043A JPH08118043A JP27716194A JP27716194A JPH08118043A JP H08118043 A JPH08118043 A JP H08118043A JP 27716194 A JP27716194 A JP 27716194A JP 27716194 A JP27716194 A JP 27716194A JP H08118043 A JPH08118043 A JP H08118043A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサ部品や微小機械の組み立て等、精密、
高精度の接合に適用される常温接合装置に関するもの
で、被接合物の温度上昇や変形が許されない接合を常温
で真空容器中で遠隔操作により行なうことを目的として
いる。 【構成】 被接合物１を真空容器内に配置し、常温下で
まず水平姿勢で水平方向からアルゴンイオンビームによ
り照射し、被接合物の接合面の不純原子を除去し清浄化
したのち、被接合物１を垂直姿勢として垂直方向からプ
レスロッド１５により押し付け加圧する。被接合物の回
転は、モータ８よりの回転を歯車Ａ９，歯車Ｂ１０，歯
車Ｃ３１及びフレキシブルシャフト１１を介してホルダ
ーＡ２，ホルダーＢ１６を回転することにより行なう。
接合作業完了後は、プレスロッド１５を上昇したのち真
空容器を大気開放して被接合物をホルダーＡ２，ホルダ
ーＢ１６より外して取り出す。
高精度の接合に適用される常温接合装置に関するもの
で、被接合物の温度上昇や変形が許されない接合を常温
で真空容器中で遠隔操作により行なうことを目的として
いる。 【構成】 被接合物１を真空容器内に配置し、常温下で
まず水平姿勢で水平方向からアルゴンイオンビームによ
り照射し、被接合物の接合面の不純原子を除去し清浄化
したのち、被接合物１を垂直姿勢として垂直方向からプ
レスロッド１５により押し付け加圧する。被接合物の回
転は、モータ８よりの回転を歯車Ａ９，歯車Ｂ１０，歯
車Ｃ３１及びフレキシブルシャフト１１を介してホルダ
ーＡ２，ホルダーＢ１６を回転することにより行なう。
接合作業完了後は、プレスロッド１５を上昇したのち真
空容器を大気開放して被接合物をホルダーＡ２，ホルダ
ーＢ１６より外して取り出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、センサ部品や微小機械
の組み立て等、精密、高精度の接合に適用される常温接
合装置に関する。
の組み立て等、精密、高精度の接合に適用される常温接
合装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、構造物の接合には、ティグ溶接，
ミグ溶接が、また、最近ではレーザ溶接等が用いられて
いる。
ミグ溶接が、また、最近ではレーザ溶接等が用いられて
いる。
【０００３】一方、近年ではセラミックスや複合材料あ
るいは異種金属材料の接合方法として、真空ろう付、拡
散接合技術に関する研究が盛んになり、一部で実用化さ
れつつある。
るいは異種金属材料の接合方法として、真空ろう付、拡
散接合技術に関する研究が盛んになり、一部で実用化さ
れつつある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで前述のような
従来の方法は、いずれも高温下での熱を利用した接合方
法であり、被接合物は、融点の１／２以上の高温に加熱
される。
従来の方法は、いずれも高温下での熱を利用した接合方
法であり、被接合物は、融点の１／２以上の高温に加熱
される。
【０００５】したがって、センサ部品や微小機械の組み
立て等、被接合物の温度上昇や変形を許容されない精密
かつ高精度が要求される製品の接合には適用出来ない不
具合がある。
立て等、被接合物の温度上昇や変形を許容されない精密
かつ高精度が要求される製品の接合には適用出来ない不
具合がある。
【０００６】本発明は上記不具合点を解決した新たな常
温接合装置を提供することを目的としている。
温接合装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の構成として本発明の常温接合装置は、真空容器内にお
いて常温で金属又は非金属材料同士を接合する常温接合
装置において、該装置が、被接合物を保持したホルダー
の両端を支持して、水平軸中心に回転させる機構と、上
記機構を、上下並列に配置し、相互の間隔を圧縮バネで
保持する機構と、さらにこれらを鉛直方向に摺動させる
機構と、上記各々の回転機構に独立して回転動力を伝達
するフレキシブルシャフトと、上記フレキシブルシャフ
トを電動モータにより、複数歯車の構成で同時に回転さ
せる駆動機構と、被接合物の接合面を水平方向から垂直
方向に回転位置決めする際の位置検出のための光電スイ
ッチと、接合の際、垂直方向に被接合物同士を押し当て
加圧する油圧方式等のプレス機構と、さらに、被接合物
の接合面にアルゴンイオンビームを照射して、清浄化処
理する水平に配したイオン銃とを具備したことを特徴と
している。
の構成として本発明の常温接合装置は、真空容器内にお
いて常温で金属又は非金属材料同士を接合する常温接合
装置において、該装置が、被接合物を保持したホルダー
の両端を支持して、水平軸中心に回転させる機構と、上
記機構を、上下並列に配置し、相互の間隔を圧縮バネで
保持する機構と、さらにこれらを鉛直方向に摺動させる
機構と、上記各々の回転機構に独立して回転動力を伝達
するフレキシブルシャフトと、上記フレキシブルシャフ
トを電動モータにより、複数歯車の構成で同時に回転さ
せる駆動機構と、被接合物の接合面を水平方向から垂直
方向に回転位置決めする際の位置検出のための光電スイ
ッチと、接合の際、垂直方向に被接合物同士を押し当て
加圧する油圧方式等のプレス機構と、さらに、被接合物
の接合面にアルゴンイオンビームを照射して、清浄化処
理する水平に配したイオン銃とを具備したことを特徴と
している。
【０００８】
【作用】上記のように構成した本発明の常温接合装置に
より金属又は非金属材料同士を接合する際、真空容器中
にて、常温（室温）状態で遠隔操作により接合する。
より金属又は非金属材料同士を接合する際、真空容器中
にて、常温（室温）状態で遠隔操作により接合する。
【０００９】被接合物同士を常温で直接接合する為に必
要な接合面の清浄化は、アルゴンイオンビームの照射に
より処理する。
要な接合面の清浄化は、アルゴンイオンビームの照射に
より処理する。
【００１０】そのため、予め大気中で研磨を行った被接
合物の接合面に対して真空容器内において真空度１０-4
〜１０-6Ｔｏｒｒの雰囲気で、アルゴンイオンビームを
３０〜３００ｓｅｃ間照射することによりアルゴンイオ
ンの衝撃で表面の不純原子が除去されることで清浄化さ
れ、常温での直接接合が可能となる。
合物の接合面に対して真空容器内において真空度１０-4
〜１０-6Ｔｏｒｒの雰囲気で、アルゴンイオンビームを
３０〜３００ｓｅｃ間照射することによりアルゴンイオ
ンの衝撃で表面の不純原子が除去されることで清浄化さ
れ、常温での直接接合が可能となる。
【００１１】被接合物をまず水平姿勢で水平方向からア
ルゴンイオンビームの照射後、直ちに垂直姿勢として、
垂直方向からプレスにより被接合物同士を押し付け加圧
する。
ルゴンイオンビームの照射後、直ちに垂直姿勢として、
垂直方向からプレスにより被接合物同士を押し付け加圧
する。
【００１２】被接合物の回転は、曲折，偏心状態で回転
・伝動可能なフレキシブルシャフトを介して電動モータ
の回転動力を伝達する様に構成した。
・伝動可能なフレキシブルシャフトを介して電動モータ
の回転動力を伝達する様に構成した。
【００１３】被接合物への回転伝動にフレキシブルシャ
フトを用いることにより固定化した電動モータによる駆
動部からイオンビーム照射時及びプレスによる加圧接合
時において水平から垂直へ姿勢変更する回転機構部への
伝動、さらに、上下摺動によって生じる回転機構部との
偏心量の変化を吸収して連結することができる。
フトを用いることにより固定化した電動モータによる駆
動部からイオンビーム照射時及びプレスによる加圧接合
時において水平から垂直へ姿勢変更する回転機構部への
伝動、さらに、上下摺動によって生じる回転機構部との
偏心量の変化を吸収して連結することができる。
【００１４】上記の機構を採用したことにより、装置の
小型化、機構の簡素化を図ることができる。
小型化、機構の簡素化を図ることができる。
【００１５】さらに、装置全体を、プレス機構を有する
真空容器内に設置することが出来、容器外との取合が容
易となり、遠隔操作化を図ることができる。
真空容器内に設置することが出来、容器外との取合が容
易となり、遠隔操作化を図ることができる。
【００１６】
【実施例】以下図面により本発明の１実施例について説
明する。図１は本発明の１実施例に係る常温接合装置の
正面図、図２は同装置の平面図、図３は図１におけるＡ
矢視図、図４は図１におけるＢ−Ｂ断面図を示す。
明する。図１は本発明の１実施例に係る常温接合装置の
正面図、図２は同装置の平面図、図３は図１におけるＡ
矢視図、図４は図１におけるＢ−Ｂ断面図を示す。
【００１７】これらの図において、接合を行う１対の被
接合物１は真空容器内において、上下に対向配置したホ
ルダーＡ２及びホルダーＢ１６に各々、ボールプランジ
ャ２８にて押さえ保持されている。そして該ホルダーＡ
２及びホルダーＢ１６は、両端を軸受ケース４に内蔵し
た軸受３で回転可能に支持されている。
接合物１は真空容器内において、上下に対向配置したホ
ルダーＡ２及びホルダーＢ１６に各々、ボールプランジ
ャ２８にて押さえ保持されている。そして該ホルダーＡ
２及びホルダーＢ１６は、両端を軸受ケース４に内蔵し
た軸受３で回転可能に支持されている。
【００１８】この時ホルダーＡ２及びホルダーＢ１６
は、図２に示すように共に軸受３とは着脱可能な様には
め込み構造とし、図４に示すボールプランジャ２８によ
り押さえている。
は、図２に示すように共に軸受３とは着脱可能な様には
め込み構造とし、図４に示すボールプランジャ２８によ
り押さえている。
【００１９】また軸受ケース４は、各々鉛直方向に摺動
可能なように、並列に配したガイドレール５を介して、
ベースＡ６上に固定された向かい合う１対のブラケット
７に取付けられている。
可能なように、並列に配したガイドレール５を介して、
ベースＡ６上に固定された向かい合う１対のブラケット
７に取付けられている。
【００２０】軸受ケース４には、各々初期の状態で、被
接合物１間の間隔が、ホルダーＡ２及びホルダーＢ１６
が軸受３を軸中心として回転しても干渉しないすき間と
なるよう自重力以上の力を有する圧縮バネＡ１３及び圧
縮バネＢ１４を間に設けている。
接合物１間の間隔が、ホルダーＡ２及びホルダーＢ１６
が軸受３を軸中心として回転しても干渉しないすき間と
なるよう自重力以上の力を有する圧縮バネＡ１３及び圧
縮バネＢ１４を間に設けている。
【００２１】また、同じベースＡ６上に、電動モータ８
及び回転動力を伝動するため上下にかみ合せ配置した歯
車Ａ９，歯車Ｂ１０，歯車Ｃ３１から構成される駆動機
構を設けている。
及び回転動力を伝動するため上下にかみ合せ配置した歯
車Ａ９，歯車Ｂ１０，歯車Ｃ３１から構成される駆動機
構を設けている。
【００２２】さらに、ホルダーＡ２側の軸受３と歯車Ｂ
１０を、ホルダーＢ１６側の軸受３と歯車Ｃ３１を、各
々偏心，曲折可能なフレキシブルシャフト１１で連結し
ている。
１０を、ホルダーＢ１６側の軸受３と歯車Ｃ３１を、各
々偏心，曲折可能なフレキシブルシャフト１１で連結し
ている。
【００２３】そして電動モータ８の駆動により歯車Ａ
９，歯車Ｂ１０，歯車Ｃ３１及び各フレキシブルシャフ
ト１１を介して上下の軸受３に各々回転伝動され、同時
に独立して相反する方向に回転する。
９，歯車Ｂ１０，歯車Ｃ３１及び各フレキシブルシャフ
ト１１を介して上下の軸受３に各々回転伝動され、同時
に独立して相反する方向に回転する。
【００２４】これらの上記機構をベースＢ２１上に搭載
し、また同じベースＢ２１上に図３に示すように直角位
置方向に、照射口を被接合物１に向けたアルゴンイオン
銃１８をホルダＣ１９を介して水平姿勢で固定してい
る。なお３０はアルゴンイオン銃１８より照射されるイ
オンビームである。
し、また同じベースＢ２１上に図３に示すように直角位
置方向に、照射口を被接合物１に向けたアルゴンイオン
銃１８をホルダＣ１９を介して水平姿勢で固定してい
る。なお３０はアルゴンイオン銃１８より照射されるイ
オンビームである。
【００２５】ベースＢ２１，ベースＣ２２，ベースＤ２
３は、上下に重ね相互にキー２５，２５′で位置決めさ
れボルト２６により、水平に前後左右に摺動するよう構
成され、直上に設けられた加圧プレスのプレスロッド１
５の先端と、ホルダーＡ２の受け面の位置決め調整、心
出しができるようにしている。
３は、上下に重ね相互にキー２５，２５′で位置決めさ
れボルト２６により、水平に前後左右に摺動するよう構
成され、直上に設けられた加圧プレスのプレスロッド１
５の先端と、ホルダーＡ２の受け面の位置決め調整、心
出しができるようにしている。
【００２６】そしてこれらを真空容器内のベースＥ２４
上に搭載し、いずれも真空容器内に内蔵する。
上に搭載し、いずれも真空容器内に内蔵する。
【００２７】またホルダーＢ１６の下には適当な間隔を
あけ、加圧時の当て座として受けブロック１７をベース
Ａ６上に配置し、またアルゴンイオンビーム３０の照射
時に被接合物１以外の部分に当たらないように保護する
遮へい板２０をホルダー側部に設けている。
あけ、加圧時の当て座として受けブロック１７をベース
Ａ６上に配置し、またアルゴンイオンビーム３０の照射
時に被接合物１以外の部分に当たらないように保護する
遮へい板２０をホルダー側部に設けている。
【００２８】つぎに本装置の作動について説明すると、
例えば真空度が１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒの状態で常温
（室温）の真空容器内において、図３に示す様に、ま
ず、電動モータ８を駆動してフレキシブルシャフト１１
を介してホルダーＡ２及びホルダーＢ１６を水平軸中心
に回転し、被接合物１を水平姿勢とし該被接合物１の接
合面をアルゴンイオン銃１８の照射口側に向ける。
例えば真空度が１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒの状態で常温
（室温）の真空容器内において、図３に示す様に、ま
ず、電動モータ８を駆動してフレキシブルシャフト１１
を介してホルダーＡ２及びホルダーＢ１６を水平軸中心
に回転し、被接合物１を水平姿勢とし該被接合物１の接
合面をアルゴンイオン銃１８の照射口側に向ける。
【００２９】そして、アルゴンイオン銃１８によりイオ
ンビーム３０を接合面に例えば３０〜３００ｓｅｃ間照
射する。
ンビーム３０を接合面に例えば３０〜３００ｓｅｃ間照
射する。
【００３０】照射後、直ちに、図４に示す様に、電動モ
ータ８を駆動して被接合物を保持する各ホルダーを回転
し、被接合物１を垂直姿勢とし２つの接合物１の接合面
を向かい合わせる。
ータ８を駆動して被接合物を保持する各ホルダーを回転
し、被接合物１を垂直姿勢とし２つの接合物１の接合面
を向かい合わせる。
【００３１】この回転動作の回転端、方向検出として歯
車Ａ９の回転部に光電スイッチ１２を設けている。
車Ａ９の回転部に光電スイッチ１２を設けている。
【００３２】さらに、正確に位置決めする為に図２に示
すようにインデックスプランジャ２７のピンで固定され
る。インデックスプランジャ２７のセットにより回転動
作の機械的ストッパーとなり、この時の負荷の変化で電
動モータ８に流れる電流の増大を利用して過負荷電流検
知として電動モータ８を停止させる。
すようにインデックスプランジャ２７のピンで固定され
る。インデックスプランジャ２７のセットにより回転動
作の機械的ストッパーとなり、この時の負荷の変化で電
動モータ８に流れる電流の増大を利用して過負荷電流検
知として電動モータ８を停止させる。
【００３３】ついで加圧プレスを作動し、プレスロッド
１５を下降していくと該プレスロッドの先端はホルダー
Ａ２に当たりホルダーＡ２を押し下げていく。
１５を下降していくと該プレスロッドの先端はホルダー
Ａ２に当たりホルダーＡ２を押し下げていく。
【００３４】そして、圧縮バネＡ１３及び圧縮バネＢ１
４は押し付け力に負けて縮んでいく。
４は押し付け力に負けて縮んでいく。
【００３５】被接合物１の対向する接合面が当たりさら
に押し下げていくとホルダーＢ１６の背面が固定した受
けブロック１７に当たり、接合面に加圧力（例えば１０
ｋｇｆ／ｍｍ2 ）が発生する。この状態で数分保持する
ことで接合が完了する。
に押し下げていくとホルダーＢ１６の背面が固定した受
けブロック１７に当たり、接合面に加圧力（例えば１０
ｋｇｆ／ｍｍ2 ）が発生する。この状態で数分保持する
ことで接合が完了する。
【００３６】接合作業完了後プレスロッド１５を上昇し
て無負荷にすると、圧縮バネＢ１４の復元力でホルダー
Ｂ１６が上昇し、元の状態に復帰する。
て無負荷にすると、圧縮バネＢ１４の復元力でホルダー
Ｂ１６が上昇し、元の状態に復帰する。
【００３７】同様に圧縮バネＡ１３も復元し、ホルダー
Ａ２も元の状態まで上昇する。
Ａ２も元の状態まで上昇する。
【００３８】被接合物１の取り外しは、真空容器を大気
開放したのちボールプランジャ２８を緩め、被接合物１
のホルダーＡ２及びホルダーＢ１６による保持力を緩
め、図４に示す押しねじ２９の回転により押し出してホ
ルダーＡ２及びホルダーＢ１６より外す。
開放したのちボールプランジャ２８を緩め、被接合物１
のホルダーＡ２及びホルダーＢ１６による保持力を緩
め、図４に示す押しねじ２９の回転により押し出してホ
ルダーＡ２及びホルダーＢ１６より外す。
【００３９】以上本発明の１実施例につき縷々説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものでなく本発明
の技術思想の範囲内において種々設計変更が可能であ
り、それらは何れも本発明の技術的範囲に属する。
が、本発明は上記実施例に限定されるものでなく本発明
の技術思想の範囲内において種々設計変更が可能であ
り、それらは何れも本発明の技術的範囲に属する。
【００４０】
【発明の効果】以上述べたように本発明の常温接合装置
によれば、センサ部品やマイクロマシン等の微小機械の
組み立てならびにセラミックスや複合材料、超伝導線
等、被接合物の温度上昇や変形を許容されない精密、高
精度な接合が可能となる。
によれば、センサ部品やマイクロマシン等の微小機械の
組み立てならびにセラミックスや複合材料、超伝導線
等、被接合物の温度上昇や変形を許容されない精密、高
精度な接合が可能となる。
【図１】本発明の１実施例に係る常温接合装置の正面図
である。
である。
【図２】図１の装置の平面図である。
【図３】図１のＡ矢視図である。
【図４】図１のＢ−Ｂ断面図である。
１ 被接合物 ２ ホルダーＡ ３ 軸受 ４ 軸受ケース ５ ガイドレール ６ ベースＡ ７ ブラケット ８ 電動モータ ９ 歯車Ａ １０ 歯車Ｂ １１ フレキシブルシャフト １２ 光電スイッチ １３ 圧縮バネＡ １４ 圧縮バネＢ １５ プレスロッド １６ ホルダーＢ １７ 受けブロック １８ アルゴンイオン銃 １９ ホルダーＣ ２０ 遮へい板 ２１ ベースＢ ２２ ベースＣ ２３ ベースＤ ２４ ベースＥ ２５，２５′ キー ２６ ボルト ２７ インデックスプランジャ ２８ ボールプランジャ ２９ 押しねじ ３０ イオンビーム ３１ 歯車Ｃ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤谷 泰之 兵庫県高砂市荒井町新浜二丁目１番１号 三菱重工業株式会社高砂研究所内 (72)発明者 豊田 真彦 東京都千代田区丸の内二丁目５番１号 三 菱重工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 真空容器内において常温で金属又は非金
属材料同士を接合する常温接合装置において、該装置
が、被接合物を保持したホルダーの両端を支持して、水
平軸中心に回転させる機構と、上記機構を、上下並列に
配置し、相互の間隔を圧縮バネで保持する機構と、さら
にこれらを鉛直方向に摺動させる機構と、上記各々の回
転機構に独立して回転動力を伝達するフレキシブルシャ
フトと、上記フレキシブルシャフトを電動モータによ
り、複数歯車の構成で同時に回転させる駆動機構と、被
接合物の接合面を水平方向から垂直方向に回転位置決め
する際の位置検出のための光電スイッチと、接合の際、
垂直方向に被接合物同士を押し当て加圧する油圧方式等
のプレス機構と、さらに、被接合物の接合面にアルゴン
イオンビームを照射して、清浄化処理する水平に配した
イオン銃とを具備したことを特徴とする常温接合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27716194A JP3316320B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 常温接合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27716194A JP3316320B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 常温接合装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08118043A true JPH08118043A (ja) | 1996-05-14 |
| JP3316320B2 JP3316320B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=17579659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27716194A Expired - Fee Related JP3316320B2 (ja) | 1994-10-18 | 1994-10-18 | 常温接合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3316320B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008029885A1 (fr) * | 2006-09-06 | 2008-03-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Procédé d'assemblage à température normale et dispositif d'assemblage à température normale |
| JP2008147243A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Olympus Corp | 気密封止装置 |
| US10112376B2 (en) | 2006-05-30 | 2018-10-30 | Mitsubishi Heavy Industries Machine Tool, Co., Ltd. | Device manufactured by room-temperature bonding, device manufacturing method, and room-temperature bonding apparatus |
-
1994
- 1994-10-18 JP JP27716194A patent/JP3316320B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10112376B2 (en) | 2006-05-30 | 2018-10-30 | Mitsubishi Heavy Industries Machine Tool, Co., Ltd. | Device manufactured by room-temperature bonding, device manufacturing method, and room-temperature bonding apparatus |
| WO2008029885A1 (fr) * | 2006-09-06 | 2008-03-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Procédé d'assemblage à température normale et dispositif d'assemblage à température normale |
| US8602289B2 (en) | 2006-09-06 | 2013-12-10 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Room temperature bonding using sputtering |
| US8608048B2 (en) | 2006-09-06 | 2013-12-17 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Room-temperature bonding method and room-temperature bonding apparatus including sputtering |
| JP2008147243A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Olympus Corp | 気密封止装置 |
| US7859070B2 (en) | 2006-12-06 | 2010-12-28 | Olympus Corporation | Airtight apparatus having a lid with an optical window for passage of optical signals |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3316320B2 (ja) | 2002-08-19 |
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