JPH08116575A - データ収集装置 - Google Patents
データ収集装置Info
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- JPH08116575A JPH08116575A JP25072794A JP25072794A JPH08116575A JP H08116575 A JPH08116575 A JP H08116575A JP 25072794 A JP25072794 A JP 25072794A JP 25072794 A JP25072794 A JP 25072794A JP H08116575 A JPH08116575 A JP H08116575A
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- devices
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備
えた複数の半導体製造装置に対してデータ通信機能を有
するコントロールユニットを１：１対応で設けてそれぞ
れ通信ケーブルで接続するとともに、各コントロールユ
ニットを伝送信号の変換機能を有する信号変換ユニット
および標準シリアルインタフェース（ＲＳ−２３２Ｃ，
ＲＳ−４８５）に従った通信ケーブルを介して１台のパ
ーソナルコンピュータに共通に接続するようにした。 【効果】 複数の半導体製造装置の稼働データを１台の
パーソナルコンピュータで収集することができるため、
稼働データを収集するシステムを安価に構成できるとと
もに、複数の半導体製造装置から収集した稼働データを
容易に一括統計処理することができる。
えた複数の半導体製造装置に対してデータ通信機能を有
するコントロールユニットを１：１対応で設けてそれぞ
れ通信ケーブルで接続するとともに、各コントロールユ
ニットを伝送信号の変換機能を有する信号変換ユニット
および標準シリアルインタフェース（ＲＳ−２３２Ｃ，
ＲＳ−４８５）に従った通信ケーブルを介して１台のパ
ーソナルコンピュータに共通に接続するようにした。 【効果】 複数の半導体製造装置の稼働データを１台の
パーソナルコンピュータで収集することができるため、
稼働データを収集するシステムを安価に構成できるとと
もに、複数の半導体製造装置から収集した稼働データを
容易に一括統計処理することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、データ通信技術さらに
は複数の装置からのデータ収集に利用して特に有効な技
術に関し、例えば半導体製造ラインにおける各種製造装
置（ウェハ等の処理装置を含む）からの稼働データの収
集に利用して有効な技術に関する。
は複数の装置からのデータ収集に利用して特に有効な技
術に関し、例えば半導体製造ラインにおける各種製造装
置（ウェハ等の処理装置を含む）からの稼働データの収
集に利用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造ラインにおける各種製
造装置からの稼働データの収集に関しては、半導体製造
装置協会によってＳＥＣＳ（セミコンダクタ・エクウィ
ップメント・コミュニケーション・スタンダード）なる
規格が規定されており、各半導体製造装置にＳＥＣＳ規
格に準拠して設けられた通信手段を介してホストコンピ
ュータと接続し、ホストコンピュータによって各半導体
製造装置のデータ収集を行なうようにしていた。
造装置からの稼働データの収集に関しては、半導体製造
装置協会によってＳＥＣＳ（セミコンダクタ・エクウィ
ップメント・コミュニケーション・スタンダード）なる
規格が規定されており、各半導体製造装置にＳＥＣＳ規
格に準拠して設けられた通信手段を介してホストコンピ
ュータと接続し、ホストコンピュータによって各半導体
製造装置のデータ収集を行なうようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、ＳＥＣＳ規格に
準拠したデータ通信手段を備えた半導体製造装置からの
稼働データの収集は、大型のホストコンピュータを使用
して行なっていたため、コストが高いという問題点があ
った。
準拠したデータ通信手段を備えた半導体製造装置からの
稼働データの収集は、大型のホストコンピュータを使用
して行なっていたため、コストが高いという問題点があ
った。
【０００４】そこで、本発明者らは、ＳＥＣＳ規格に準
拠したデータ通信手段を備えた半導体製造装置の稼働デ
ータを安価なパーソナルコンピュータで収集することに
ついて検討した。
拠したデータ通信手段を備えた半導体製造装置の稼働デ
ータを安価なパーソナルコンピュータで収集することに
ついて検討した。
【０００５】その結果、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ
通信は各半導体製造装置とコンピュータとの間で１：１
で行なうものであるため、そのままでは各半導体製造装
置の数だけパーソナルコンピュータを用意しなければな
らないとともに、各半導体製造装置から収集した稼働デ
ータを一括して統計的に処理するのが困難であるという
デメリットがあることが明らかになった。
通信は各半導体製造装置とコンピュータとの間で１：１
で行なうものであるため、そのままでは各半導体製造装
置の数だけパーソナルコンピュータを用意しなければな
らないとともに、各半導体製造装置から収集した稼働デ
ータを一括して統計的に処理するのが困難であるという
デメリットがあることが明らかになった。
【０００６】この発明の目的は、半導体製造ラインにお
いて各種半導体製造装置から稼働データを収集するシス
テムを安価に構成できるようにすることにある。
いて各種半導体製造装置から稼働データを収集するシス
テムを安価に構成できるようにすることにある。
【０００７】この発明の他の目的は、半導体製造ライン
において複数の半導体製造装置から収集した稼働データ
を容易に一括統計処理できるようにすることにある。
において複数の半導体製造装置から収集した稼働データ
を容易に一括統計処理できるようにすることにある。
【０００８】この発明の前記ならびにそのほかの目的と
新規な特徴については、本明細書の記述および添附図面
から明らかになるであろう。
新規な特徴については、本明細書の記述および添附図面
から明らかになるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、下記のと
おりである。
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、下記のと
おりである。
【００１０】すなわち、データを収集しようとする複数
の装置に対してデータ通信機能を有するデータ収集手段
を１：１対応で設けてそれぞれ通信ケーブルで接続する
とともに、各データ収集手段を伝送信号の変換機能を有
する信号変換装置および標準シリアルインタフェースに
従ったケーブルを介して１台のパーソナルコンピュータ
に共通に接続するようにしたものである。
の装置に対してデータ通信機能を有するデータ収集手段
を１：１対応で設けてそれぞれ通信ケーブルで接続する
とともに、各データ収集手段を伝送信号の変換機能を有
する信号変換装置および標準シリアルインタフェースに
従ったケーブルを介して１台のパーソナルコンピュータ
に共通に接続するようにしたものである。
【００１１】本発明は、データを収集しようとする装置
が、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備えた半
導体製造装置である場合に特に有効である。
が、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備えた半
導体製造装置である場合に特に有効である。
【００１２】さらに、上記データ収集手段は１枚のプリ
ント基板上に構成されたボードコンピュータとするのが
望ましい。
ント基板上に構成されたボードコンピュータとするのが
望ましい。
【００１３】
【作用】上記した手段によれば、複数の装置の稼働デー
タを最終的に１台のパーソナルコンピュータで収集する
ことができるため、稼働データを収集するシステムを安
価に構成できるとともに、複数の装置から収集した稼働
データを容易に一括統計処理できるようになる。
タを最終的に１台のパーソナルコンピュータで収集する
ことができるため、稼働データを収集するシステムを安
価に構成できるとともに、複数の装置から収集した稼働
データを容易に一括統計処理できるようになる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を図面に基づい
て説明する。
て説明する。
【００１５】図１は、本発明に係るＳＥＣＳ通信機能付
きＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）を利用したデ
ータ収集システムの一実施例を示す。
きＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）を利用したデ
ータ収集システムの一実施例を示す。
【００１６】図において、１はホストとなるパーソナル
コンピュータ、２はこのパーソナルコンピュータ１に接
続されたプリンタ、３はケーブル４ａ，４ｂを介して上
記パーソナルコンピュータ１に接続された信号変換ユニ
ット、５ａ，５ｂ，………は半導体製造ラインにおける
半導体製造装置等の被監視装置、６ａ，６ｂ，………は
上記被監視装置５ａ，５ｂ，………に対して１：１で設
けられケーブル７ａ，７ｂによってそれぞれ接続された
データ収集手段としてのコントロールユニットで、これ
らのコントロールユニット６ａ，６ｂ，………は電源線
８ａおよびケーブル８ｂによって上記信号変換ユニット
３に共通に接続されている。
コンピュータ、２はこのパーソナルコンピュータ１に接
続されたプリンタ、３はケーブル４ａ，４ｂを介して上
記パーソナルコンピュータ１に接続された信号変換ユニ
ット、５ａ，５ｂ，………は半導体製造ラインにおける
半導体製造装置等の被監視装置、６ａ，６ｂ，………は
上記被監視装置５ａ，５ｂ，………に対して１：１で設
けられケーブル７ａ，７ｂによってそれぞれ接続された
データ収集手段としてのコントロールユニットで、これ
らのコントロールユニット６ａ，６ｂ，………は電源線
８ａおよびケーブル８ｂによって上記信号変換ユニット
３に共通に接続されている。
【００１７】なお、上記ケーブル４ａ，４ｂおよび７
ａ，７ｂはＲＳ−２３２Ｃと呼ばれるシリアル通信用の
標準インタフェースに準拠したケーブル、ケーブル８ｂ
はＲＳ−４８５と呼ばれるシリアル通信用の標準インタ
フェースに準拠したケーブルである。また、この実施例
における被監視装置たる半導体製造装置（５ａ，５ｂ，
………）は、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を
それぞれ備えている。
ａ，７ｂはＲＳ−２３２Ｃと呼ばれるシリアル通信用の
標準インタフェースに準拠したケーブル、ケーブル８ｂ
はＲＳ−４８５と呼ばれるシリアル通信用の標準インタ
フェースに準拠したケーブルである。また、この実施例
における被監視装置たる半導体製造装置（５ａ，５ｂ，
………）は、ＳＥＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を
それぞれ備えている。
【００１８】上記信号変換ユニット３は、上記パーソナ
ルコンピュータ１から各コントロールユニット６ａ，６
ｂ，………に送信されるＲＳ−２３２Ｃインタフェース
に準拠した信号をＲＳ−４８５と呼ばれる標準インタフ
ェースに準拠した信号に変換し、また各コントロールユ
ニット６ａ，６ｂ，………から上記パーソナルコンピュ
ータ１に送信されるＲＳ−４８５インタフェースに準拠
した信号をＲＳ−２３２Ｃインタフェースに準拠した信
号に変換する信号変換回路３１と、交流１００ボルトの
電源電圧を直流４８ボルトの電源電圧に変換する電源変
換回路３２とを備えている。上記信号変換回路３１にお
ける信号の送信方向は上記パーソナルコンピュータ１に
よって制御されるようになっている。上記電源変換回路
３２で変換された直流４８ボルトの電源電圧は、電源線
８ｂを通して上記各コントロールユニット６ａ，６ｂ，
………に供給される。
ルコンピュータ１から各コントロールユニット６ａ，６
ｂ，………に送信されるＲＳ−２３２Ｃインタフェース
に準拠した信号をＲＳ−４８５と呼ばれる標準インタフ
ェースに準拠した信号に変換し、また各コントロールユ
ニット６ａ，６ｂ，………から上記パーソナルコンピュ
ータ１に送信されるＲＳ−４８５インタフェースに準拠
した信号をＲＳ−２３２Ｃインタフェースに準拠した信
号に変換する信号変換回路３１と、交流１００ボルトの
電源電圧を直流４８ボルトの電源電圧に変換する電源変
換回路３２とを備えている。上記信号変換回路３１にお
ける信号の送信方向は上記パーソナルコンピュータ１に
よって制御されるようになっている。上記電源変換回路
３２で変換された直流４８ボルトの電源電圧は、電源線
８ｂを通して上記各コントロールユニット６ａ，６ｂ，
………に供給される。
【００１９】上記各コントロールユニット６ａ，６ｂ，
………は、ＲＳ−２３２Ｃケーブル７ａ，７ｂを介して
上記被監視装置５ａ，５ｂ，………との間でＳＥＣＳ規
格に従ったデータ通信を行なって、各被監視装置５ａ，
５ｂ，………の稼働データを周期的に収集し、記憶する
機能を備えている。また、各コントロールユニット６
ａ，６ｂ，………は、上記パーソナルコンピュータ１か
ら要求があると各被監視装置５ａ，５ｂ，………から収
集した稼働データを送信する。この際、各コントロール
ユニット６ａ，６ｂ，………には予めＩＤ（識別符号）
が与えられており、パーソナルコンピュータ１からはＩ
Ｄを付したデータ要求信号が送信され、各コントロール
ユニット６ａ，６ｂ，………がそれを判別して指定され
たコントロールユニットのみがデータ要求に応答し、収
集した稼働データを送信するように構成されている。
………は、ＲＳ−２３２Ｃケーブル７ａ，７ｂを介して
上記被監視装置５ａ，５ｂ，………との間でＳＥＣＳ規
格に従ったデータ通信を行なって、各被監視装置５ａ，
５ｂ，………の稼働データを周期的に収集し、記憶する
機能を備えている。また、各コントロールユニット６
ａ，６ｂ，………は、上記パーソナルコンピュータ１か
ら要求があると各被監視装置５ａ，５ｂ，………から収
集した稼働データを送信する。この際、各コントロール
ユニット６ａ，６ｂ，………には予めＩＤ（識別符号）
が与えられており、パーソナルコンピュータ１からはＩ
Ｄを付したデータ要求信号が送信され、各コントロール
ユニット６ａ，６ｂ，………がそれを判別して指定され
たコントロールユニットのみがデータ要求に応答し、収
集した稼働データを送信するように構成されている。
【００２０】そして、パーソナルコンピュータ１は各被
監視装置５ａ，５ｂ，………から収集した稼働データを
処理し、各装置の稼働状態をリアルタイムでモニタ装置
に表示するとともに、キーボード等を使用して入力され
た要求に応じて稼働データの集計結果をプリンタ２に出
力することができるように構成されている。
監視装置５ａ，５ｂ，………から収集した稼働データを
処理し、各装置の稼働状態をリアルタイムでモニタ装置
に表示するとともに、キーボード等を使用して入力され
た要求に応じて稼働データの集計結果をプリンタ２に出
力することができるように構成されている。
【００２１】図２には、上記コントロールユニット６
ａ，６ｂ，………６ｎの一実施例が示されている。この
実施例のコントロールユニット６ａ，６ｂ，………６ｎ
は、特に制限されないがボードコンピュータにより構成
されており、１枚のプリント基板上にマイクロプロセッ
サ（ＣＰＵ）６１と、プログラム等が格納された読出し
専用メモリ（ＲＯＭ）６２と、収集したデータを記憶す
る随時読出し書込み可能なメモリ（ＲＡＭ）６３と、Ｒ
Ｓ−４８５インタフェースに準拠した入出力ポート６４
と、ＲＳ−２３２Ｃインタフェースに準拠した入出力ポ
ート６５と、システムクロックを生成する発振回路６６
と、外部から供給される４８Ｖの直流電圧を５Ｖの直流
電圧に変換する直流−直流変換機６７等が設けられてい
る。ＣＰＵ６１はＲＯＭ６２に内蔵されたプログラムに
従って動作し対応する被監視装置から周期的に稼働デー
タを収集するとともに、信号変換ユニットを介してパー
ソナルコンピュータ１から送られてくるコマンドを解読
して、要求に応じて収集したデータをパーソナルコンピ
ュータ１へ送信する。
ａ，６ｂ，………６ｎの一実施例が示されている。この
実施例のコントロールユニット６ａ，６ｂ，………６ｎ
は、特に制限されないがボードコンピュータにより構成
されており、１枚のプリント基板上にマイクロプロセッ
サ（ＣＰＵ）６１と、プログラム等が格納された読出し
専用メモリ（ＲＯＭ）６２と、収集したデータを記憶す
る随時読出し書込み可能なメモリ（ＲＡＭ）６３と、Ｒ
Ｓ−４８５インタフェースに準拠した入出力ポート６４
と、ＲＳ−２３２Ｃインタフェースに準拠した入出力ポ
ート６５と、システムクロックを生成する発振回路６６
と、外部から供給される４８Ｖの直流電圧を５Ｖの直流
電圧に変換する直流−直流変換機６７等が設けられてい
る。ＣＰＵ６１はＲＯＭ６２に内蔵されたプログラムに
従って動作し対応する被監視装置から周期的に稼働デー
タを収集するとともに、信号変換ユニットを介してパー
ソナルコンピュータ１から送られてくるコマンドを解読
して、要求に応じて収集したデータをパーソナルコンピ
ュータ１へ送信する。
【００２２】以上説明したように、上記実施例は、ＳＥ
ＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備えた半導体製造
装置に対してデータ通信機能を有するコントロールユニ
ットを１：１対応で設けてそれぞれ通信ケーブルで接続
するとともに、各コントロールユニットを伝送信号の変
換機能を有する信号変換ユニットおよび標準シリアルイ
ンタフェースに従った通信ケーブルを介して１台のパー
ソナルコンピュータに共通に接続するようにしたので、
複数の装置の稼働データを１台のパーソナルコンピュー
タで収集することができるという作用により、稼働デー
タを収集するシステムを安価に構成できるとともに、複
数の装置から収集した稼働データを容易に一括統計処理
できるようになるという効果がある。
ＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備えた半導体製造
装置に対してデータ通信機能を有するコントロールユニ
ットを１：１対応で設けてそれぞれ通信ケーブルで接続
するとともに、各コントロールユニットを伝送信号の変
換機能を有する信号変換ユニットおよび標準シリアルイ
ンタフェースに従った通信ケーブルを介して１台のパー
ソナルコンピュータに共通に接続するようにしたので、
複数の装置の稼働データを１台のパーソナルコンピュー
タで収集することができるという作用により、稼働デー
タを収集するシステムを安価に構成できるとともに、複
数の装置から収集した稼働データを容易に一括統計処理
できるようになるという効果がある。
【００２３】特にデータを収集しようとする装置がＳＥ
ＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備えた半導体製造
装置である場合には、ＳＥＣＳ規格が１：１通信規格で
あるにもかかわらず各装置毎にパーソナルコンピュータ
を設けたりホストコンピュータを使用することなくデー
タ収集システムを実現することができるため、低コスト
化を図る上で有効である。
ＣＳ規格に準拠したデータ通信手段を備えた半導体製造
装置である場合には、ＳＥＣＳ規格が１：１通信規格で
あるにもかかわらず各装置毎にパーソナルコンピュータ
を設けたりホストコンピュータを使用することなくデー
タ収集システムを実現することができるため、低コスト
化を図る上で有効である。
【００２４】さらに、上記データ収集手段としてのコン
トロールユニットとして、１枚のプリント基板上に構成
されたボードコンピュータを使用するようにすれば、既
に市販されている汎用製品を利用してシステムを構成す
ることができるため、いっそうコストの低減を図ること
ができる。
トロールユニットとして、１枚のプリント基板上に構成
されたボードコンピュータを使用するようにすれば、既
に市販されている汎用製品を利用してシステムを構成す
ることができるため、いっそうコストの低減を図ること
ができる。
【００２５】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば上記
実施例では、１台のパーソナルコンピュータで複数の半
導体製造装置を管理するようにしているが、管理用にコ
ンピュータはパーソナルコンピュータに限定されず、同
等の機能を備えているものであればどのようなものであ
ってもよい。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。例えば上記
実施例では、１台のパーソナルコンピュータで複数の半
導体製造装置を管理するようにしているが、管理用にコ
ンピュータはパーソナルコンピュータに限定されず、同
等の機能を備えているものであればどのようなものであ
ってもよい。
【００２６】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
製造ラインにおける半導体製造装置の稼働データの収集
システムに適用した場合について説明したが、この発明
はそれに限定されず、複数の装置からなるシステムにお
いて各装置からデータを収集する場合に利用することが
できる。
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
製造ラインにおける半導体製造装置の稼働データの収集
システムに適用した場合について説明したが、この発明
はそれに限定されず、複数の装置からなるシステムにお
いて各装置からデータを収集する場合に利用することが
できる。
【００２７】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
のとおりである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
のとおりである。
【００２８】すなわち、複数の装置の稼働データを収集
するシステムを安価に構成できるとともに、複数の装置
から収集した稼働データを容易に一括統計処理できるよ
うになる。
するシステムを安価に構成できるとともに、複数の装置
から収集した稼働データを容易に一括統計処理できるよ
うになる。
【図１】本発明を半導体製造装置の稼働データを収集す
るデータ収集システムに適用した場合の一実施例を示す
ブロック図である。
るデータ収集システムに適用した場合の一実施例を示す
ブロック図である。
【図２】図１におけるコントロールユニットの一実施例
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
１ パーソナルコンピュータ ２ プリンタ ３ 信号変換装置（信号変換ユニット） ４ａ，４ｂ，７ａ，７ｂ，８ａ 通信ケーブル ５ａ，５ｂ，………５ｎ 被監視装置（半導体製造装
置） ６ａ，６ｂ，………６ｎ コントロールユニット ８ｂ 電源線
置） ６ａ，６ｂ，………６ｎ コントロールユニット ８ｂ 電源線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０４Ｌ 12/40
Claims (3)
- 【請求項１】 データを収集しようとする複数の装置に
対してデータ通信機能を有するデータ収集手段を１：１
対応で設けてそれぞれ通信ケーブルで接続するととも
に、上記各データ収集手段を伝送信号の変換機能を有す
る信号変換装置および標準シリアルインタフェースに従
った通信ケーブルを介して１台のコンピュータ装置に共
通に接続するようにしたことを特徴とするデータ収集装
置。 - 【請求項２】 上記複数の装置は半導体製造ラインにお
ける各種製造装置であることを特徴とする請求項１に記
載のデータ収集装置。 - 【請求項３】 上記データ収集手段は１枚のプリント基
板上に構成されたボードコンピュータであることを特徴
とする請求項１または２に記載のデータ収集装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25072794A JPH08116575A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | データ収集装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25072794A JPH08116575A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | データ収集装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08116575A true JPH08116575A (ja) | 1996-05-07 |
Family
ID=17212154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25072794A Pending JPH08116575A (ja) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | データ収集装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08116575A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006165792A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | 監視制御装置 |
| JP2021521661A (ja) * | 2019-06-05 | 2021-08-26 | 北京京投卓越科技発展有限公司Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｊｉｎｇｔｏｕ Ｚｈｕｏｙｕｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Ｔ−ｎｅｔフルスペックのシングルライン・マルチソースデータ収集伝送システム |
-
1994
- 1994-10-17 JP JP25072794A patent/JPH08116575A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006165792A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | 監視制御装置 |
| JP2021521661A (ja) * | 2019-06-05 | 2021-08-26 | 北京京投卓越科技発展有限公司Ｂｅｉｊｉｎｇ Ｊｉｎｇｔｏｕ Ｚｈｕｏｙｕｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Ｔ−ｎｅｔフルスペックのシングルライン・マルチソースデータ収集伝送システム |
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