JPH08115675A - Gas-discharge display panel - Google Patents

Gas-discharge display panel

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Publication number
JPH08115675A
JPH08115675A JP6250763A JP25076394A JPH08115675A JP H08115675 A JPH08115675 A JP H08115675A JP 6250763 A JP6250763 A JP 6250763A JP 25076394 A JP25076394 A JP 25076394A JP H08115675 A JPH08115675 A JP H08115675A
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JP
Japan
Prior art keywords
resistance element
anode
resistance
display panel
bus bar
Prior art date
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Pending
Application number
JP6250763A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasunori Kima
泰則 来間
Hisao Tanabe
尚雄 田辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP6250763A priority Critical patent/JPH08115675A/en
Publication of JPH08115675A publication Critical patent/JPH08115675A/en
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  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PURPOSE: To reduce variations in the resistance value of resistance elements by properly shaping and arranging electrodes and time resistance elements, and providing tolerances to patterning accuracy and to positioning width. CONSTITUTION: A bus bar 4 is linear or in a linear shape with a projection 4b for connection to a resistance element 9, and a branching portion 8a branching from a terminal 8 and used for connection to the resistance element 9 is formed parallel to the bus bar 4, and the resistance element 9 is installed between the bus bar 4 and the branching portion 8a. Therefore, the shape of the resistance element 9 can be simplified, and variations in resistance value due to the accuracy of thick-film printing can be reduced. Also, extreme accuracy is not required in the positioning of electrodes and the resistance elements 9, and the danger of the resistance elements covering terminal portions can be avoided.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、気体放電表示パネルに
係わり、詳しくは新規な構造の電極および抵抗素子を備
えた気体放電表示パネルに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas discharge display panel, and more particularly to a gas discharge display panel having a novel structure of electrodes and resistance elements.

【0002】[0002]

【従来の技術】気体放電表示パネルには各種の型があ
り、大型化、高効率化および高精細化を目指して開発が
進められている。その中で最も代表的なものとして、2
枚の透明絶縁性基板の上にそれぞれ陰極群および陽極群
を配置し、これら2枚の基板を一定の間隔をおいてシー
ルし、その間隙内で気体放電を発生させて発光する方式
のパネルが知られている。さらに、放電電流を制御する
ために、各放電セル毎に抵抗素子を設置したパネルが提
案されており、この例として、高野他「抵抗付放電表示
パネルのパルスメモリー駆動」(1990年、テレビジ
ョン学会年次大会、p77〜78)に示されたものがあ
る。
2. Description of the Related Art There are various types of gas discharge display panels, which are being developed with the aim of increasing their size, increasing their efficiency and increasing their definition. The most representative of these is 2
A panel of a system in which a cathode group and an anode group are respectively arranged on a sheet of transparent insulating substrate, these two substrates are sealed at a constant interval, and gas discharge is generated in the gap to emit light is provided. Are known. Furthermore, a panel in which a resistance element is installed in each discharge cell in order to control the discharge current has been proposed. As an example of this, Takano et al. “Pulse memory drive of discharge display panel with resistance” (1990, Television The annual conference, p 77-78).

【0003】図1はこの文献に示されている気体放電表
示パネルの構造の概略図を表わしており、(a)はパネ
ル前面からの透視図、(b)はパネルの横断面図であ
る。
FIG. 1 shows a schematic view of the structure of the gas discharge display panel shown in this document, (a) is a perspective view from the front of the panel, and (b) is a transverse sectional view of the panel.

【0004】この気体放電表示パネルは前面板1と背面
板2の2枚の基板で構成され、前面板1に設置された陰
極3と、背面板2に設置された陽極母線4と補助陽極5
が、互いに直交するように形成されている。放電セル6
は障壁7で規定され、各放電セル6内に陽極端子8を含
み、かつ、陰極3が各放電セル6の中心付近を横切って
いる。さらに陽極端子8は抵抗素子9を介して陽極母線
4と電気的に接続されている。そして、陰極3と陽極母
線4との間に所定の電圧を印加すると、抵抗素子9を介
して陽極端子8に電流が流れ、放電セル6内に放電が発
生し、この放電で発生する紫外線でRGB三色の蛍光体
10を発光させるようになっている。この発光は前面板
1を通して外部に放射されフルカラーの画像表示が行わ
れる。この場合、補助陽極5は放電セル6に放電の種火
となる荷電粒子をプライミングスリット11を通して供
給する役目をもつ。なお、12は白バック層で、カラー
表示を鮮明にするものである。このタイプの気体放電表
示パネルでは、抵抗素子9の働きで電流制御を行うた
め、電流効率が向上し、さらに陰極3のスパッタリング
による輝度劣化を防ぎパネル寿命を長くできる利点があ
る。
This gas discharge display panel is composed of two substrates, a front plate 1 and a back plate 2. A cathode 3 installed on the front plate 1, an anode bus bar 4 and an auxiliary anode 5 installed on the back plate 2.
Are formed so as to be orthogonal to each other. Discharge cell 6
Is defined by a barrier 7, an anode terminal 8 is included in each discharge cell 6, and a cathode 3 crosses the vicinity of the center of each discharge cell 6. Further, the anode terminal 8 is electrically connected to the anode bus 4 via the resistance element 9. Then, when a predetermined voltage is applied between the cathode 3 and the anode bus bar 4, a current flows through the resistance element 9 to the anode terminal 8 to generate a discharge in the discharge cell 6, and the ultraviolet rays generated by this discharge are generated. The phosphors 10 of RGB three colors are adapted to emit light. This light emission is radiated to the outside through the front plate 1 to display a full-color image. In this case, the auxiliary anode 5 has a role of supplying charged particles serving as a pilot fire of discharge to the discharge cell 6 through the priming slit 11. Reference numeral 12 is a white back layer, which is intended to make color display clear. In this type of gas discharge display panel, the current is controlled by the function of the resistance element 9, so that there is an advantage that the current efficiency is improved and further the deterioration of the brightness due to the sputtering of the cathode 3 can be prevented and the panel life can be lengthened.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のような抵抗素子
付気体放電表示パネルでは、各放電セルに設けられた抵
抗素子の抵抗値を一定に制御することが課題となってい
る。これは、抵抗値のバラツキは各放電セルの放電電流
のバラツキ、すなわち、発光強度のバラツキに直接つな
がり、表示画面上に明るさムラを生じるからである。
In the gas discharge display panel with a resistance element as described above, it is a problem to control the resistance value of the resistance element provided in each discharge cell to a constant value. This is because the variation in the resistance value directly leads to the variation in the discharge current of each discharge cell, that is, the variation in the light emission intensity, and the brightness unevenness occurs on the display screen.

【0006】ところで、大型の気体放電表示パネルで
は、前面板および背面板上の各構成要素の形成をスクリ
ーン印刷法に代表される厚膜印刷法で行っているが、電
極や抵抗素子も例外ではない。この方法では製造上の精
度によって各構成要素の寸法や厚さにバラツキが発生し
てしまう欠点がある。したがって、従来の技術で述べた
パネルのようにL字型の抵抗素子を形成すると、その寸
法精度の不良により抵抗値に大きなバラツキが発生す
る。さらに、放電に関わる電極である端子部と抵抗素子
とを直接接続されるために、抵抗素子と端子部との位置
合わせ精度が悪いと抵抗素子が端子部を覆い隠してしま
う可能性があった。スクリーン印刷法の精度はいろいろ
な機械的パラメーターに依存するが、大きくはスクリー
ン版の精度に依存する。表示パネルが大きいほどより大
きなスクリーン版が必要になるが、それにつれてスクリ
ーン版上のパターン精度も悪くなり、電極と抵抗素子と
のパターンずれが頻繁に発生した。
By the way, in a large-scale gas discharge display panel, the constituent elements on the front plate and the rear plate are formed by a thick film printing method typified by a screen printing method, but electrodes and resistance elements are also exceptions. Absent. This method has a drawback in that the dimensions and thicknesses of the respective constituent elements vary due to manufacturing precision. Therefore, when an L-shaped resistance element is formed as in the panel described in the related art, a large variation in resistance value occurs due to poor dimensional accuracy. Furthermore, since the terminal portion, which is an electrode related to discharge, is directly connected to the resistance element, there is a possibility that the resistance element may cover the terminal portion if the alignment accuracy of the resistance element and the terminal portion is poor. . The accuracy of the screen printing method depends on various mechanical parameters, but largely depends on the accuracy of the screen plate. A larger display panel requires a larger screen plate, but the pattern accuracy on the screen plate also deteriorates accordingly, and a pattern shift between the electrode and the resistance element frequently occurred.

【0007】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、各抵抗素
子の抵抗値のバラツキを抑制するために、電極および抵
抗素子の形状および配置を適性化し、パターン精度およ
び位置合わせ精度の幅に余裕を持たせた新規な構造の電
極および抵抗素子を有する気体放電表示パネルを提供す
ることにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to reduce the variation in the resistance value of each resistance element, and to reduce the shapes of electrodes and resistance elements and An object of the present invention is to provide a gas discharge display panel having an electrode and a resistance element having a novel structure in which the layout is optimized and the pattern accuracy and the positioning accuracy have a margin.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、複数の陰極群と複数の陽極群とが互い
に直交するように前面板と背面板の対向する各板面上に
配置され、前記陰極群および前記陽極群、あるいはその
どちらか一方が母線および端子から構成され、この母線
と端子とが抵抗素子を介して電気的に接続されたタイプ
の気体放電表示パネルにおいて、前記母線が線状あるい
は線状のものに前記抵抗素子と接続するための突起部を
有する形状をしており、前記端子からは抵抗素子と接続
するための分岐部が前記母線と平行に形成され、前記母
線と前記分岐部との間に抵抗素子が設置されていること
を特徴としている。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a front plate and a back plate on opposing plate surfaces such that a plurality of cathode groups and a plurality of anode groups are orthogonal to each other. In the gas discharge display panel of the type in which the cathode group and the anode group, or one of them is composed of a bus bar and a terminal, and the bus bar and the terminal are electrically connected via a resistance element, The busbar is linear or linear and has a shape having a protrusion for connecting to the resistance element, and a branch portion for connecting to the resistance element is formed in parallel with the busbar from the terminal. A resistor element is installed between the bus bar and the branch portion.

【0009】[0009]

【作用】上述の構成からなる本発明の気体放電表示パネ
ルでは、抵抗素子の形状を単純化したため、従来のパネ
ルと比較すると、厚膜印刷の精度に起因する抵抗値のバ
ラツキを抑制することができる。また、抵抗素子を母線
と端子から伸びた分岐部との間に設置したことにより、
電極と抵抗素子との位置合わせが多少ずれても抵抗素子
の有効寸法(母線と分岐部との距離)は変化しないた
め、抵抗値に影響を及ぼさない。また、従来のパネルの
ように抵抗素子が端子部を覆い隠す可能性は極めて少な
くなった。
In the gas discharge display panel of the present invention having the above-described structure, the shape of the resistance element is simplified, so that the variation in the resistance value due to the accuracy of thick film printing can be suppressed as compared with the conventional panel. it can. Also, by installing the resistance element between the bus bar and the branch portion extending from the terminal,
Even if the electrodes and the resistance element are slightly misaligned, the effective dimension of the resistance element (the distance between the bus bar and the branch portion) does not change, and therefore the resistance value is not affected. Further, unlike the conventional panel, the possibility that the resistance element covers the terminal portion is extremely reduced.

【0010】さらに、従来のパネルでは各放電セルの中
心と陰極および陽極端子の交点とがずれている、いわゆ
るオフセット型になっているが、本発明の電極構造では
各放電セルの中心に放電に携わる端子部を設置する、い
わゆるオンセット型になっていることから、表示パネル
をメモリー駆動する際にマージン(放電書き込み電圧と
放電維持電圧との差)を大きくとれる。
Further, in the conventional panel, the center of each discharge cell and the intersection of the cathode and anode terminals are displaced from each other, which is a so-called offset type. However, in the electrode structure of the present invention, the center of each discharge cell is discharged. Since the terminal section involved is installed, which is a so-called onset type, a large margin (difference between the discharge writing voltage and the discharge sustaining voltage) can be secured when the display panel is driven by the memory.

【0011】[0011]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0012】図2は本発明に係る気体放電表示パネルの
一構成例を示すもので、(a)はパネル前面からの透視
図、(b)はパネルの横断面図である。
2A and 2B show an example of the structure of the gas discharge display panel according to the present invention. FIG. 2A is a perspective view from the front of the panel, and FIG. 2B is a cross-sectional view of the panel.

【0013】同図に示されるように、本実施例の気体放
電表示パネルは前面板1および背面板2の2枚の基板で
構成され、前面板1上に直線状の陰極3が、また背面板
2上に陽極母線4、陽極端子8および補助陽極5が設置
されている。陽極母線4は線状陽極4aと抵抗素子と接
続するための突起部4bで構成される。補助陽極5は隣
接する2本の陽極母線4の間に位置する。放電セル6は
障壁7で規定され、各放電セル6の中心に陽極端子8が
設置されている。この陽極端子8からは抵抗素子と接続
するための分岐部8aが前記陽極母線4と平行な方向に
伸びており、前記陽極母線4の突起部4bと前記陽極端
子8の分岐部8aとの間に抵抗素子9が設置されてい
る。
As shown in the figure, the gas discharge display panel of this embodiment is composed of two substrates, a front plate 1 and a rear plate 2, on which a linear cathode 3 and a back plate are arranged. An anode bus bar 4, an anode terminal 8 and an auxiliary anode 5 are installed on the face plate 2. The anode bus 4 is composed of a linear anode 4a and a protrusion 4b for connecting to a resistance element. The auxiliary anode 5 is located between two adjacent anode buses 4. The discharge cell 6 is defined by a barrier 7, and an anode terminal 8 is installed at the center of each discharge cell 6. A branch portion 8a for connecting to a resistance element extends from the anode terminal 8 in a direction parallel to the anode bus bar 4, and is provided between the protruding portion 4b of the anode bus bar 4 and the branch portion 8a of the anode terminal 8. A resistance element 9 is installed in the.

【0014】上記の構成からなる本実施例のパネルと従
来の技術で述べたパネルを比較すると、陽極母線4、陽
極端子8および抵抗素子9の形状は異なっているが、各
構成要素は従来の技術のパネルと同一の働きをし、動作
も同様であるので説明を省略する。
Comparing the panel of this embodiment having the above-mentioned structure with the panel described in the prior art, although the shapes of the anode bus bar 4, the anode terminal 8 and the resistance element 9 are different, each component is different from the conventional one. The operation is the same as that of the technology panel, and the operation is also the same, so the description thereof is omitted.

【0015】上述の構成からなる気体放電表示パネルの
構造上の利点は、まず抵抗素子の形状をL字型にかえて
単純化したため、厚膜印刷の精度に起因する抵抗値のバ
ラツキを抑制できることにある。また、抵抗素子を母線
と端子から伸びた分岐部との間に設置したことにより、
電極と抵抗素子との位置合わせが多少ずれても、抵抗素
子が陽極母線の突起部4bと陽極端子の分岐部8aとの
間にありさえすれば抵抗素子の有効寸法がこれらの距離
で規定されるため、抵抗素子の抵抗値に影響を及ぼさな
い。さらに、抵抗素子の設置位置が放電に携わる陽極端
子から離れており、陽極端子と抵抗素子との位置合わせ
ずれによって抵抗素子が端子部を覆い隠す危険性を回避
できる。電極構造をオンセット型に改良できたことも本
発明の利点であり、表示パネルをメモリー駆動する際に
マージン(放電書き込み電圧と放電維持電圧との差)を
大きくとれることになる。
The structural advantage of the gas discharge display panel having the above-described structure is that the resistance element is first changed to the L-shape to be simplified, so that the variation in the resistance value due to the accuracy of thick film printing can be suppressed. It is in. Also, by installing the resistance element between the bus bar and the branch portion extending from the terminal,
Even if the alignment between the electrode and the resistance element is slightly deviated, the effective dimension of the resistance element is defined by these distances as long as the resistance element is between the protrusion 4b of the anode bus and the branch 8a of the anode terminal. Therefore, it does not affect the resistance value of the resistance element. Further, the installation position of the resistance element is separated from the anode terminal involved in the discharge, and it is possible to avoid the risk of the resistance element covering the terminal portion due to misalignment of the anode terminal and the resistance element. The fact that the electrode structure can be improved to the onset type is also an advantage of the present invention, and a large margin (difference between the discharge writing voltage and the discharge sustaining voltage) can be secured when the display panel is driven by the memory.

【0016】次に、本発明に係る気体放電表示パネルの
製造方法について説明する。
Next, a method of manufacturing the gas discharge display panel according to the present invention will be described.

【0017】電極および抵抗素子の形成は、従来の技術
と同様に、スクリーン印刷法で行うのが最も簡便である
が、この方法ではパターン形成方法そのものに起因する
精度不良によって抵抗素子の抵抗値バラツキを抑制する
のは困難である。そこで、スクリーン印刷法に代えて、
フォトリソグラフィー法を応用した電極および抵抗素子
のパターニング方法を採用すれば抵抗値のバラツキを低
減できる。この方法に関しては、本出願人が別に出願し
た特願平6−250301号および特願平6−2503
02号に記載のとおりである。
The electrode and the resistance element are most easily formed by the screen printing method as in the conventional technique. However, in this method, the resistance value of the resistance element varies due to the poor accuracy due to the pattern forming method itself. Is difficult to control. So, instead of the screen printing method,
Variation in resistance value can be reduced by adopting a patterning method of electrodes and resistance elements to which photolithography method is applied. Regarding this method, Japanese Patent Application No. 6-250301 and Japanese Patent Application No. 6-2503 filed separately by the present applicant.
No. 02 is as described.

【0018】以下、図3に示す工程図に沿って電極を形
成する工程を説明する。
The process of forming electrodes will be described below with reference to the process chart shown in FIG.

【0019】図3において、電極を形成する基板は背面
板2となるものである。この背面板2は平面あるいは曲
面で化学的に安定なものであればよく、ガラス基板や樹
脂基板等が考えられるが、本実施例ではガラス基板を使
用し、使用前に洗浄およびアニール処理を施した。ま
た、印刷の載りを良くする目的で、図3(a)に示すよ
うにガラス基板上に下地層21としてガラスペーストを
スクリーン印刷法で塗布し、乾燥させた後、焼成を行っ
たものを背面板2として使用した。
In FIG. 3, the substrate on which the electrodes are formed is the back plate 2. The back plate 2 may be a flat or curved surface and is chemically stable, and a glass substrate, a resin substrate, or the like may be used. In this embodiment, a glass substrate is used, and cleaning and annealing treatment is performed before use. did. In order to improve the printing quality, a glass paste is applied as a base layer 21 on a glass substrate by a screen printing method as shown in FIG. 3 (a), dried, and then baked. Used as the face plate 2.

【0020】まず、前記背面板2上にスクリーン印刷法
により導電性ペーストを厚膜印刷し、ペーストの乾燥
後、ペーストの焼成を行って導電性膜22を形成した
(なお、図3(b)以下では前記下地層21の図示を省
略している)。この導電性膜22は後工程のエッチング
処理によりパターン化されて、陽極母線4、陽極端子8
および補助陽極5となるものである。導電性ペースト材
料としては、Au、Ag、Pd、Al、Ni、Cu等の
金属あるいはこれらの合金の他、ITOのような導電性
酸化物等、厚膜印刷用にペースト化が可能な導電体であ
り、化学的にエッチング処理できるものであれば何れを
使用しても構わない。本実施例では、AuおよびAgが
良好であった。
First, a conductive paste is thick-film printed on the back plate 2 by a screen printing method, and after the paste is dried, the paste is baked to form a conductive film 22 (see FIG. 3B). Below, the underlayer 21 is not shown). The conductive film 22 is patterned by an etching process in a later process, and the anode bus bar 4 and the anode terminal 8 are patterned.
And the auxiliary anode 5. Examples of the conductive paste material include metals such as Au, Ag, Pd, Al, Ni, Cu, and alloys thereof, as well as conductive oxides such as ITO, which can be formed into a paste for thick film printing. Therefore, any material can be used as long as it can be chemically etched. In this example, Au and Ag were good.

【0021】あるいは、前記導電性膜22として上記の
ような厚膜でなく、蒸着法あるいはスパッタリング法で
形成した薄膜を用いても構わない。その場合には、導電
性膜22の材料の選択肢は大きく広がり、蒸着用の錠剤
やペレットあるいはスパッタリングターゲット等の形で
市販されている導電性材料が適用可能であるが、Cr、
Al、Ni、Cu等が良好であった。
Alternatively, as the conductive film 22, a thin film formed by a vapor deposition method or a sputtering method may be used instead of the above thick film. In that case, the choice of materials for the conductive film 22 is greatly expanded, and conductive materials that are commercially available in the form of tablets or pellets for vapor deposition or sputtering targets can be used.
Al, Ni, Cu, etc. were good.

【0022】次に、図3(c)に示すように、導電性膜
22の上に液体状の感光性樹脂23を塗布して乾燥させ
た。塗布方法としては、スピンコート、ロールコート、
ブレードコート、リバースコート、スプレー、ディッピ
ング等、液体状の材料をコーティングする方法であれば
何れの方法でも構わない。また、感光性樹脂23は液体
状である必要はなく、フィルム状レジストも使用可能で
ある。フィルム状レジストを使用する場合は、ラミネー
ターを使用して導電性膜22上に直接貼り付ければよ
い。
Next, as shown in FIG. 3C, a liquid photosensitive resin 23 was applied onto the conductive film 22 and dried. As a coating method, spin coating, roll coating,
Any method may be used as long as it is a method for coating a liquid material such as blade coating, reverse coating, spraying or dipping. Further, the photosensitive resin 23 does not have to be liquid, and a film resist can be used. When a film resist is used, it may be directly attached onto the conductive film 22 using a laminator.

【0023】その後、図3(d)に示すように、陽極母
線4、陽極端子8および補助陽極5のパターンを配置し
た遮光マスク24を介して感光性樹脂23を露光した。
感光性樹脂23がフィルム状レジストである場合には、
露光後、70〜90℃で5〜15分程度熱処理を行い、
露光部の硬化を促進した方がパターン解像度は良好であ
った。
Then, as shown in FIG. 3D, the photosensitive resin 23 was exposed through a light-shielding mask 24 on which the patterns of the anode bus bar 4, the anode terminal 8 and the auxiliary anode 5 were arranged.
When the photosensitive resin 23 is a film resist,
After the exposure, heat treatment is performed at 70 to 90 ° C. for about 5 to 15 minutes,
The pattern resolution was better when the curing of the exposed area was promoted.

【0024】次いで、図3(e)に示すように、感光性
樹脂23の層のパターン現像を行う。具体的には、感光
性樹脂23としてポジ型のものを使用した場合には露光
部を、ネガ型のものを使用した場合には未露光部を専用
の現像液で化学的に溶解することで感光性樹脂23をパ
ターン現像する。そして、現像工程を終了後、感光性樹
脂23を熱処理により硬化させる。この硬化処理の結
果、導電性膜22と感光性樹脂23との間の密着性が増
加し、後工程のエッチング処理の際に発生するエッチン
グ不良を防止できる。この熱処理は感光性樹脂によって
は必ずしも必要ではない。
Next, as shown in FIG. 3E, pattern development of the layer of the photosensitive resin 23 is performed. Specifically, when the positive type is used as the photosensitive resin 23, the exposed part is chemically dissolved, and when the negative type is used, the unexposed part is chemically dissolved with a dedicated developer. The photosensitive resin 23 is pattern-developed. Then, after finishing the developing process, the photosensitive resin 23 is cured by heat treatment. As a result of this curing treatment, the adhesion between the conductive film 22 and the photosensitive resin 23 is increased, and it is possible to prevent the etching failure that occurs during the etching treatment in the subsequent process. This heat treatment is not always necessary depending on the photosensitive resin.

【0025】続いて、図3(f)に示すように、パター
ン化された感光性樹脂23をマスクとして導電性膜22
を化学的にエッチングし、陽極母線4、陽極端子8およ
び補助陽極5を同時に形成した。エッチング処理を終了
した後、洗浄および乾燥を行った。
Subsequently, as shown in FIG. 3F, the conductive film 22 is formed by using the patterned photosensitive resin 23 as a mask.
Was chemically etched to simultaneously form the anode bus bar 4, the anode terminal 8 and the auxiliary anode 5. After finishing the etching process, cleaning and drying were performed.

【0026】導電性膜22のエッチング処理後、図3
(g)に示すように、感光性樹脂23を剥離し、基板の
洗浄および乾燥を行うことにより、陽極母線4、陽極端
子8および補助陽極5を形成した。
After etching the conductive film 22, FIG.
As shown in (g), the photosensitive resin 23 was peeled off, and the substrate was washed and dried to form the anode bus bar 4, the anode terminal 8 and the auxiliary anode 5.

【0027】上述のようにして電極形成を終えた後で抵
抗素子の形成を行う。以下、抵抗素子の形成について図
4に示す工程図に沿って説明する。
After the electrode formation is completed as described above, the resistance element is formed. The formation of the resistance element will be described below with reference to the process chart shown in FIG.

【0028】まず、図4(a)に示すように、陽極母線
4、陽極端子8および補助陽極5を形成した前記背面板
2の上に感光性樹脂23の層を形成する。感光性樹脂2
3は液体状でもフィルム状でもよく、その塗布方法は前
述のいずれのコーティング法であっても構わない。
First, as shown in FIG. 4A, a layer of photosensitive resin 23 is formed on the back plate 2 on which the anode bus bar 4, the anode terminal 8 and the auxiliary anode 5 are formed. Photosensitive resin 2
3 may be in a liquid form or a film form, and its coating method may be any of the above-mentioned coating methods.

【0029】その後、図4(b)に示すように、抵抗素
子9のパターンを所定の位置に配置した遮光マスク25
を介して感光性樹脂23を露光し、次に、図4(c)に
示すように、感光性樹脂23のパターン現像を行い、後
工程で抵抗材料を埋め込むための凹部23aを形成し
た。
Thereafter, as shown in FIG. 4B, the light-shielding mask 25 in which the pattern of the resistance element 9 is arranged at a predetermined position.
Then, the photosensitive resin 23 was exposed to light through the above, and then, as shown in FIG. 4C, pattern development of the photosensitive resin 23 was performed to form a recess 23a for embedding the resistance material in a later step.

【0030】続いて、図4(d)に示すように、感光性
樹脂23に形成された凹部23aに抵抗材料26を埋め
込んだ。抵抗材料26として厚膜印刷用のRuO2 ペー
ストを使用した場合、前記凹部23aにペーストを埋め
込んだ後、ペーストを乾燥させるとペーストの体積が収
縮してしまう。このため、この工程を少なくとも2回以
上繰り返した方がよい。
Subsequently, as shown in FIG. 4D, a resistance material 26 was embedded in the recess 23a formed in the photosensitive resin 23. When a RuO 2 paste for thick film printing is used as the resistance material 26, the volume of the paste shrinks when the paste is dried after the paste is embedded in the recess 23a. Therefore, it is better to repeat this process at least twice.

【0031】抵抗材料25を充填後、図4(e)に示す
ように、感光性樹脂23を基板より剥離した。抵抗材料
としてRuO2 ペーストを使用した場合は、感光性樹脂
23を剥離した後、ペーストの焼成を行い、抵抗素子9
の形成を完了した。
After filling the resistance material 25, the photosensitive resin 23 was peeled from the substrate as shown in FIG. 4 (e). When the RuO 2 paste is used as the resistance material, the photosensitive resin 23 is peeled off, and then the paste is fired to form the resistance element 9
Formation was completed.

【0032】上記の工程あるいは従来の技術と同様の厚
膜印刷法で電極および抵抗素子を形成した後のパネル製
造工程は従来の技術と同様であるので概略的に説明する
が、白バック層12、蛍光体10をスクリーン印刷法
で、また、障壁7をスクリーン印刷法あるいはサンドブ
ラスト法で形成した。さらに、前面板1上に陰極3をス
クリーン印刷法で形成し、上記の工程で作製を終えた背
面板2と合わせてガス(Ne−XeあるいはHe−X
e)の封止を行い、目的とする気体放電表示パネルを作
製した。
The panel manufacturing process after forming the electrodes and the resistance elements by the above-mentioned process or the thick film printing method similar to the conventional technique is the same as that of the conventional technique. The phosphor 10 was formed by screen printing, and the barrier 7 was formed by screen printing or sandblasting. Further, a cathode 3 is formed on the front plate 1 by a screen printing method, and the cathode (Ne-Xe or He-X) is combined with the rear plate 2 manufactured in the above process.
The sealing of e) was performed, and a desired gas discharge display panel was produced.

【0033】以上説明してきた実施例は、放電セル6の
陽極群側に抵抗素子9を形成するタイプであったが、抵
抗素子9は陰極群側に設置してもよく、したがって上記
の説明の陽極群をすべて陰極群に置き換えてもよい。あ
るいは、陽極群および陰極群の両側に抵抗素子9を設置
することも、さらに抵抗素子9がないものも可能であ
る。また、電極の配線パターンに関して言えば、図2に
示した構造だけでなく、例えば補助陽極5のないものや
補助陽極5が立体的に配置されたものや、陽極母線4、
陽極端子8および抵抗素子9の位置、形状および寸法が
異なる構造、例えば母線の突起部4bがないものや陽極
端子8が四角形でないものや陽極端子の分岐部8aの付
け根の位置が異なるものでもその効果は本実施例と同じ
である。
Although the embodiment described above is the type in which the resistance element 9 is formed on the anode group side of the discharge cell 6, the resistance element 9 may be installed on the cathode group side. You may replace all the anode groups with the cathode group. Alternatively, the resistance element 9 may be provided on both sides of the anode group and the cathode group, or the resistance element 9 may not be provided. Regarding the wiring pattern of the electrodes, not only the structure shown in FIG. 2 but also the one without the auxiliary anode 5, the auxiliary anode 5 arranged three-dimensionally, the anode bus bar 4,
The structure in which the position, shape and size of the anode terminal 8 and the resistance element 9 are different, for example, even if the busbar protrusion 4b is not present, the anode terminal 8 is not rectangular, or the position of the base of the anode terminal branch 8a is different The effect is the same as this embodiment.

【0034】また、本発明は図2に示した構造の気体放
電表示パネルだけでなく、例えば、蛍光体発光を利用せ
ずに、Ne系のガスを放電ガスとした気体放電の発色光
をそのまま外部に取り出すパネルにも応用可能である。
Further, the present invention is not limited to the gas discharge display panel having the structure shown in FIG. 2. For example, the colored light of gas discharge using Ne-based gas as the discharge gas is used as it is without utilizing the phosphor emission. It can also be applied to a panel taken out to the outside.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の気体放電
表示パネルは、抵抗素子の形状を単純化したことによ
り、厚膜印刷の精度に起因する抵抗値のバラツキを抑制
することができる。
As described above, in the gas discharge display panel of the present invention, by simplifying the shape of the resistance element, it is possible to suppress the variation in the resistance value due to the accuracy of thick film printing.

【0036】また、抵抗素子を母線と端子から伸びた分
岐部との間に設置したことにより、電極と抵抗素子との
位置合わせにさほど厳しい精度を必要としなくなり、ま
た抵抗素子が端子部を覆い隠す危険性を回避することが
できる。
Further, since the resistance element is installed between the bus bar and the branch portion extending from the terminal, the positioning accuracy of the electrode and the resistance element is not so high, and the resistance element covers the terminal portion. The risk of hiding can be avoided.

【0037】さらに、電極構造をオンセット型に改良し
たことにより、表示パネルをメモリー駆動する際にマー
ジンを大きくとることができる。
Further, by improving the electrode structure to the onset type, a large margin can be taken when the display panel is driven by the memory.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来の気体放電表示パネルの構造の概略図を表
すもので、同図(a)はパネル前面からの透視図、同図
(b)パネルの横断面図である。
FIG. 1 shows a schematic view of the structure of a conventional gas discharge display panel, FIG. 1 (a) is a perspective view from the front surface of the panel, and FIG. 1 (b) is a transverse sectional view of the panel.

【図2】本発明に係る気体放電表示パネルの一構成例を
示すもので、同図(a)はパネル前面からの透視図、同
図(b)はパネルの横断面図である。
2A and 2B show one structural example of a gas discharge display panel according to the present invention, FIG. 2A is a perspective view from the front surface of the panel, and FIG. 2B is a cross-sectional view of the panel.

【図3】図2に示す気体放電表示パネルにおける電極を
形成する工程図である。
FIG. 3 is a process drawing of forming electrodes in the gas discharge display panel shown in FIG.

【図4】電極の形成に続いて抵抗素子を形成する工程図
である。
FIG. 4 is a process drawing of forming a resistance element after forming electrodes.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 前面板 2 背面板 3 陰極 4 陽極母線 5 補助陽極 6 放電セル 7 障壁 8 陽極端子 9 抵抗素子 10 蛍光体 11 プライミングスリット 12 白バック層 21 下地層 22 導電性膜 23 感光性樹脂 24,25 遮光マスク 26 抵抗材料 1 Front Plate 2 Back Plate 3 Cathode 4 Anode Bus 5 Auxiliary Anode 6 Discharge Cell 7 Barrier 8 Anode Terminal 9 Resistive Element 10 Fluorescent Material 11 Priming Slit 12 White Back Layer 21 Underlayer 22 Conductive Film 23 Photosensitive Resin 24, 25 Shading Mask 26 Resistance material

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の陰極群と複数の陽極群とが互いに
直交するように前面板と背面板の対向する各板面上に配
置され、前記陰極群および前記陽極群、あるいはそのど
ちらか一方が母線および端子から構成され、この母線と
端子とが抵抗素子を介して電気的に接続されたタイプの
気体放電表示パネルにおいて、前記母線が線状あるいは
線状のものに前記抵抗素子と接続するための突起部を有
する形状をしており、前記端子からは抵抗素子と接続す
るための分岐部が前記母線と平行に形成され、前記母線
と前記分岐部との間に抵抗素子が設置されていることを
特徴とする気体放電表示パネル。
1. A plurality of cathode groups and a plurality of anode groups are arranged on mutually facing plate surfaces of a front plate and a back plate so as to be orthogonal to each other, and the cathode group and / or the anode group, or either one of them. In a gas discharge display panel of a type in which a bus bar and a terminal are electrically connected to each other through a resistance element, the bus bar is linear or linear and is connected to the resistance element. And a branching portion for connecting with a resistance element is formed in parallel with the busbar from the terminal, and a resistance element is installed between the busbar and the branching portion. A gas discharge display panel characterized in that
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0936655A2 (en) * 1998-02-16 1999-08-18 Sony Corporation Planar type plasma discharge display device

Cited By (3)

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EP0936655A3 (en) * 1998-02-16 1999-12-08 Sony Corporation Planar type plasma discharge display device
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