JPH08114659A - Semiconductor magnetoelectric transducer - Google Patents

Semiconductor magnetoelectric transducer

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JPH08114659A
JPH08114659A JP6250785A JP25078594A JPH08114659A JP H08114659 A JPH08114659 A JP H08114659A JP 6250785 A JP6250785 A JP 6250785A JP 25078594 A JP25078594 A JP 25078594A JP H08114659 A JPH08114659 A JP H08114659A
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JP
Japan
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output
amplifier
hall element
hall
voltage
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Application number
JP6250785A
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Japanese (ja)
Inventor
Shiyouko Onizuka
升子 鬼塚
Yukihisa Yasuda
幸央 安田
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Publication of JPH08114659A publication Critical patent/JPH08114659A/en
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Abstract

PURPOSE: To provide a Hall IC which can accurately measure the magnetic flux density by compensating the change, when the Hall voltage output from the element varys with temperature. CONSTITUTION: The semiconductor magnetoelectric transducer comprises a Hall element 1 for outputting a differential voltage corresponding to the intensity of an applied magnetic field, Differential amplifiers 2-6 for amplifying the output voltages of the element 1, amplifiers 7-11 for outputting currents corresponding to the intensity of the magnetic field applied based on the outputs of the amplifiers 2-6, and a resistor 12 formed near the element 1 on a semiconductor substrate having the Hall element 1 formed on it to generate a voltage corresponding to the intensity of the field applied upon reception of the output currents of the amplifiers 7-11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、ホール素子により磁
界の強さを測定する半導体磁電変換装置に関するもので
あり、特にその出力特性の温度依存性の改善に係るもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor magnetoelectric conversion device for measuring the strength of a magnetic field with a Hall element, and more particularly to improving the temperature dependence of its output characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】ホール素子は、印加された磁界の強さに
比例する電圧を出力する素子であり、磁束密度−電圧変
換素子として用いられる。このホール素子と信号処理回
路とが同一の半導体基板上に形成され、1チップ化され
たホールICが、半導体磁電変換装置として利用されて
いる。この種のホールICは、一般に、ホール素子とこ
のホール素子の出力を増幅する増幅回路と、この増幅回
路から出力される信号を処理する出力回路とから構成さ
れる。
2. Description of the Related Art A Hall element is an element that outputs a voltage proportional to the strength of an applied magnetic field and is used as a magnetic flux density-voltage conversion element. The Hall element and the signal processing circuit are formed on the same semiconductor substrate, and a Hall IC integrated into one chip is used as a semiconductor magnetoelectric conversion device. This type of Hall IC is generally composed of a Hall element, an amplifier circuit that amplifies the output of the Hall element, and an output circuit that processes a signal output from the amplifier circuit.

【0003】図9に、この種のホールICのブロック図
を示す。同図において、1は印加された磁界の強さに比
例する電圧を出力するホール素子である。ホール素子1
は、外部からの電源の供給端子である入力端子1a、1
b、磁界の強さに比例する電圧信号を出力する出力端子
1c,1dを備える。21は出力端子1c,1dから出
力される出力を受けてこれを増幅する増幅回路、23は
増幅回路21の出力を処理する出力回路である。このホ
ールICの出力は出力端子24に出力される。ホール素
子1の入力端子1aにはICの内部電源(VCC)が接
続され、また、入力端子1bは接地されている。
FIG. 9 shows a block diagram of this type of Hall IC. In the figure, 1 is a Hall element that outputs a voltage proportional to the strength of the applied magnetic field. Hall element 1
Are input terminals 1a, 1 which are terminals for supplying power from the outside.
b, output terminals 1c and 1d for outputting a voltage signal proportional to the strength of the magnetic field are provided. Reference numeral 21 is an amplifier circuit that receives the output from the output terminals 1c and 1d and amplifies it, and 23 is an output circuit that processes the output of the amplifier circuit 21. The output of this Hall IC is output to the output terminal 24. The internal power supply (VCC) of the IC is connected to the input terminal 1a of the hall element 1, and the input terminal 1b is grounded.

【0004】次に動作について説明する。ホール素子1
の出力端子1c,1dの間に現れる出力電圧(以下、
「ホール電圧」と称する)は、よく知られているように
一般に次の式で表される。 VH = KH・(IH・B/d)・fH ここで、VH:ホール電圧、KH:ホール係数、IH:ホ
ール素子駆動電流、B:磁束密度、d:ホール素子の厚
み、fH:ホール素子の形状による係数である。
Next, the operation will be described. Hall element 1
The output voltage appearing between the output terminals 1c and 1d of
The "Hall voltage" is generally expressed by the following equation as is well known. Where V H = K H · (I H · B / d) · f H, V H: Hall voltage, K H: Hall coefficient, I H: Hall element drive current, B: magnetic flux density, d: the Hall element Thickness, f H : A coefficient depending on the shape of the Hall element.

【0005】増幅回路21は、このホール電圧を所定の
利得で増幅して出力回路23に対して出力する。この出
力電圧は印加された磁界の強さに比例する。出力回路2
3は、このホールICに要求される所定の出力が得られ
るように、増幅回路21の出力に対して所定の処理を行
う。この出力は出力端子24を介してICの外部に出力
される。
The amplifier circuit 21 amplifies this Hall voltage with a predetermined gain and outputs it to the output circuit 23. This output voltage is proportional to the strength of the applied magnetic field. Output circuit 2
3 performs a predetermined process on the output of the amplifier circuit 21 so that a predetermined output required for this Hall IC can be obtained. This output is output to the outside of the IC via the output terminal 24.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来のホールICにお
いて、図9に示されるようにホール素子を定電圧(VC
C)で駆動する場合のホール電圧の式を求めてみる。こ
こで、IH=V/RIN、(Vは印加電圧、RINはホール
素子1の入力抵抗)であるから、 VH = KH・(V/RIN)・(B/d)・fH となる。ところで、ホール素子の入力抵抗RINは温度依
存性を有することが知られている。したがって、ホール
素子を一定の電圧で駆動する場合、上式のRINが大きく
変化するのでホール電圧VHも温度依存性をもつように
なる。つまり、磁束密度Bが一定の場合でもホール電圧
は温度によって大きく変化してしまう。
In the conventional Hall IC, as shown in FIG. 9, the Hall element is set to a constant voltage (VC).
Let's find the formula of the Hall voltage when driving in C). Here, since I H = V / R IN , (V is an applied voltage, R IN is an input resistance of the Hall element 1), V H = K H · (V / R IN ) · (B / d) · f H. By the way, it is known that the input resistance R IN of the Hall element has temperature dependence. Therefore, when the Hall element is driven at a constant voltage, R IN in the above equation changes greatly, so that the Hall voltage V H also has temperature dependency. That is, even when the magnetic flux density B is constant, the Hall voltage changes greatly depending on the temperature.

【0007】また、ホール素子1の入力抵抗RINの絶対
値は、製造されるICごとに大きくばらつく傾向があ
る。このことによってもホール電圧の絶対値は大きくば
らついてしまう。これらの原因により磁束密度Bに対応
するホール電圧の大きさがばらつくので、正しい磁束密
度Bを測定することは困難である。
The absolute value of the input resistance R IN of the Hall element 1 tends to vary greatly depending on the manufactured IC. This also causes the absolute value of the Hall voltage to vary greatly. Due to these causes, the magnitude of the Hall voltage corresponding to the magnetic flux density B varies, so that it is difficult to measure the correct magnetic flux density B.

【0008】この発明は、以上のような問題点を解決す
るためになされたもので、磁束密度Bに対するホール電
圧が、ICごとに、あるいは、温度により変化した場合
でも、磁束密度Bを正しく測定することができる半導体
磁電変換装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above problems, and accurately measures the magnetic flux density B even if the Hall voltage with respect to the magnetic flux density B changes for each IC or due to temperature. It is an object of the present invention to provide a semiconductor magneto-electric conversion device that can do the above.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に係る半導体磁
電変換装置は、印加された磁界の強さに対応する電圧を
出力するホール素子と、上記ホール素子の出力電圧を増
幅する差動増幅器と、上記差動増幅器の出力に基づき印
加された磁界の強さに対応する電流を出力する増幅器
と、上記ホール素子が形成された半導体基板上に上記ホ
ール素子と近接して形成され、上記増幅器の出力電流を
受けて印加された磁界の強さに対応する電圧を発生する
抵抗体とを備えたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor magneto-electric conversion device having a Hall element for outputting a voltage corresponding to the strength of an applied magnetic field and a differential amplifier for amplifying an output voltage of the Hall element. An amplifier for outputting a current corresponding to the strength of a magnetic field applied based on the output of the differential amplifier; and the amplifier formed on the semiconductor substrate on which the hall element is formed in the vicinity of the hall element. And a resistor for generating a voltage corresponding to the strength of the applied magnetic field in response to the output current of.

【0010】請求項2に係る半導体磁電変換装置は、上
記増幅器を、上記差動増幅器の第1の出力を入力とする
第1のコレクタ接地増幅回路と、上記差動増幅器の第2
の出力を入力とする第2のコレクタ接地増幅回路と、上
記第1のコレクタ接地増幅回路の出力及び上記第2のコ
レクタ接地増幅回路の出力を入力とする演算増幅器と、
上記演算増幅器の出力に基づき動作し、上記第1のコレ
クタ接地増幅回路から電流を分流して出力する第1のト
ランジスタと、上記演算増幅器の出力に基づき動作し、
上記第2のコレクタ接地増幅回路から電流を分流して出
力する第2のトランジスタとから構成し、上記増幅器の
出力を上記第1のトランジスタの出力と上記第2のトラ
ンジスタの出力の和としたものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a semiconductor magneto-electric conversion device in which the amplifier has a first collector-grounded amplifier circuit having the first output of the differential amplifier as an input and a second collector of the differential amplifier.
A second collector-grounded amplifier circuit that receives the output of the input, and an operational amplifier that receives the output of the first collector-grounded amplifier circuit and the output of the second collector-grounded amplifier circuit,
A first transistor that operates based on the output of the operational amplifier, divides a current from the first grounded collector amplifier circuit, and outputs the first transistor; and operates based on the output of the operational amplifier.
A second transistor for shunting and outputting a current from the second common-collector amplifier circuit, wherein the output of the amplifier is the sum of the output of the first transistor and the output of the second transistor Is.

【0011】請求項3に係る半導体磁電変換装置は、上
記増幅器を、上記差動増幅器の出力を入力とする演算増
幅器と、上記演算増幅器の出力に基づき動作し、上記差
動増幅器の出力端の一方から電流を分流して出力するト
ランジスタとから構成したものである。
According to another aspect of the semiconductor magnetoelectric conversion device of the present invention, the amplifier is operated based on an output of the differential amplifier and an operational amplifier that receives the output of the differential amplifier, and an output terminal of the differential amplifier is operated. It is composed of a transistor that splits and outputs a current from one side.

【0012】請求項4に係る半導体磁電変換装置は、上
記抵抗体を、上記ホール素子と特性が近似するように、
上記ホール素子の構成と類似の構成により形成したもの
である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor magneto-electric conversion device in which the resistor has characteristics similar to those of the Hall element.
It is formed by a structure similar to that of the Hall element.

【0013】[0013]

【作用】請求項1の発明においては、ホール素子が印加
された磁界の強さに対応する電圧を出力し、差動増幅器
が上記ホール素子の出力電圧を増幅し、増幅器が上記差
動増幅器の出力に基づき印加された磁界の強さに対応す
る電流を出力し、上記ホール素子が形成された半導体基
板上に上記ホール素子と近接して形成された抵抗体が、
上記増幅器の出力電流を受けて印加された磁界の強さに
対応する電圧を発生する。
According to the present invention, the Hall element outputs a voltage corresponding to the strength of the applied magnetic field, the differential amplifier amplifies the output voltage of the Hall element, and the amplifier is the differential amplifier. Outputting a current corresponding to the strength of the magnetic field applied based on the output, the resistor formed in proximity to the Hall element on the semiconductor substrate on which the Hall element is formed,
It receives the output current of the amplifier and generates a voltage corresponding to the strength of the applied magnetic field.

【0014】請求項2の発明においては、第1のコレク
タ接地増幅回路及び第2のコレクタ接地増幅回路が上記
差動増幅器の出力を受けて所定の電圧を出力し、演算増
幅器が上記第1のコレクタ接地増幅回路及び上記第2の
コレクタ接地増幅回路の出力に基づき動作し、上記演算
増幅器の出力に基づき動作する第1のトランジスタ及び
第2のトランジスタが上記第1のコレクタ接地増幅回路
及び上記第2のコレクタ接地増幅回路から電流を分流
し、上記増幅器の出力とする。
According to a second aspect of the present invention, the first collector-grounded amplifier circuit and the second collector-grounded amplifier circuit receive the output of the differential amplifier and output a predetermined voltage, and the operational amplifier outputs the first voltage. The first transistor and the second transistor, which operate based on the outputs of the common-collector grounded amplifier circuit and the second common-grounded amplifier circuit, and operate based on the output of the operational amplifier, are the first common-grounded amplifier circuit and the second transistor. The current is shunted from the grounded-collector amplifier circuit of No. 2 and used as the output of the above amplifier.

【0015】請求項3の発明においては、演算増幅器が
上記差動増幅器の出力に基づき動作し、上記演算増幅器
の出力に基づき動作するトランジスタが、上記差動増幅
器の出力端の一方から電流を分流し、上記増幅器の出力
とする。
In the invention of claim 3, the operational amplifier operates based on the output of the differential amplifier, and the transistor operating based on the output of the operational amplifier divides a current from one of the output terminals of the differential amplifier. And the output of the above amplifier.

【0016】請求項4の発明においては、上記ホール素
子と特性が近似するように、上記ホール素子の構成と類
似の構成により形成された上記抵抗体が、上記ホール素
子の特性の変動を相殺する。
In the invention of claim 4, the resistor formed by a structure similar to the structure of the hall element cancels the fluctuation of the characteristics of the hall element so that the characteristics are similar to those of the hall element. .

【0017】[0017]

【実施例】【Example】

実施例1.以下、この発明に係るホールICの一実施例
を図について説明する。図1において、1は半導体基板
上にエピタキシャル層を用いて設けられたホール素子で
ある。ホール素子1は、外部からの電源(VCC)の供
給端子である入力端子1a、1b、磁界の強さに比例す
る電圧信号を出力する出力端子1c,1dとを備える。
2、3は一端が電源(VCC)に接続されたベース拡散
抵抗(R2,R3)、4、5はベースがホール素子1の
出力端子1c,1dに、コレクタが抵抗R2,R3にそ
れぞれ接続されたNPN型トランジスタ(Q4,Q
5)、6は一端がNPN型トランジスタ4、5のエミッ
タに接続され、他端が接地された定電流源である。これ
らR2,R3,Q4,Q5及び定電流源6は差動増幅回
路を構成する。この差動増幅回路は、ホール素子の出力
端子1c,1d間に発生するホール電圧VHを増幅す
る。
Example 1. An embodiment of the Hall IC according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, 1 is a Hall element provided on a semiconductor substrate using an epitaxial layer. The Hall element 1 includes input terminals 1a and 1b which are terminals for supplying a power supply (VCC) from the outside, and output terminals 1c and 1d which output a voltage signal proportional to the strength of a magnetic field.
Reference numerals 2 and 3 denote base diffusion resistors (R2, R3) whose one ends are connected to a power supply (VCC), and reference numerals 4 and 5 have bases connected to the output terminals 1c and 1d of the Hall element 1, and collectors connected to the resistors R2 and R3, respectively. NPN type transistor (Q4, Q
5) and 6 are constant current sources, one end of which is connected to the emitters of the NPN transistors 4 and 5 and the other end of which is grounded. These R2, R3, Q4, Q5 and the constant current source 6 form a differential amplifier circuit. This differential amplifier circuit amplifies the Hall voltage V H generated between the output terminals 1c and 1d of the Hall element.

【0018】7、8はNPN型トランジスタ4,5のコ
レクタに現れる出力信号をそれぞれ増幅するバッファ回
路、9はバッファ回路7の出力に設けられたベース拡散
抵抗(R9)、10は+入力がベース拡散抵抗9に接続
され、−入力がバッファ回路8の出力に接続された演算
増幅器(オペアンプ)、11はベースがオペアンプ10
の出力に接続され、コレクタがベース拡散抵抗9に接続
されたNPN型トランジスタ(Q11)、12は一端が
NPN型トランジスタ11のエミッタに接続され、他端
が接地された、ホール素子と同じエピタキシャル層を用
いて形成された抵抗(以下、「エピ抵抗」と称する)で
ある。エピ抵抗12は入力端子12a,12bを有す
る。13はこのホールICの増幅回路の出力端子であ
る。
Reference numerals 7 and 8 denote buffer circuits for amplifying the output signals appearing at the collectors of the NPN transistors 4 and 5, respectively, 9 denotes a base diffusion resistor (R9) provided at the output of the buffer circuit 7, and 10 denotes a + input as a base. An operational amplifier (op amp) whose negative input is connected to the diffusion resistor 9 and whose negative input is connected to the output of the buffer circuit 8.
Of the NPN transistor (Q11), 12 whose collector is connected to the base diffusion resistor 9 and whose one end is connected to the emitter of the NPN transistor 11 and whose other end is grounded, the same epitaxial layer as the Hall element. Is a resistor formed by using (hereinafter, referred to as "epi resistor"). The epi resistor 12 has input terminals 12a and 12b. Reference numeral 13 is an output terminal of the amplification circuit of this Hall IC.

【0019】ここで、エピ抵抗12は、ホール素子1と
同一の大きさ及び同一の構造を有し、入力抵抗の絶対
値、その温度特性が互いに近似するように構成されてい
る。このようなホール素子1とエピ抵抗12の構成及び
配置の例を図2に示す。同図によれば、図示しない半導
体基板上に、分離膜21を介してホール素子1とエピ抵
抗12が分離して形成されている。ここで、ホール素子
1とエピ抵抗12との隙間は非常に狭い。また、ホール
素子1の入力端子1a,1bは互いに対向して設けられ
ている。エピ抵抗12の入力端子12a,12bも同様
である。また、入力端子1a、1bの対向する向きと、
入力端子12a、12bの対向する向きは同じである。
このような構成をとることにより、ホール素子1とエピ
抵抗12において流れる電流の方向は同じ方向となるか
ら、これらが半導体の結晶軸に対して流れる方向も互い
に同じ方向になる。よって、これらの物理的特性は非常
に近似したものとなる。したがって、これらの入力抵抗
の絶対値及びその温度特性は互いに似たものとなる。な
お、ホール素子1及びエピ抵抗12において流れる電流
の方向が異なる場合でも、これらの温度特性は互いに近
似する。
Here, the epi resistance 12 has the same size and the same structure as the Hall element 1, and is configured so that the absolute value of the input resistance and its temperature characteristic are close to each other. FIG. 2 shows an example of the configuration and arrangement of the Hall element 1 and the epi resistance 12 as described above. As shown in the figure, the Hall element 1 and the epi resistor 12 are formed separately on a semiconductor substrate (not shown) via a separation film 21. Here, the gap between the Hall element 1 and the epi resistance 12 is very narrow. The input terminals 1a and 1b of the hall element 1 are provided so as to face each other. The same applies to the input terminals 12a and 12b of the epi resistor 12. In addition, when the input terminals 1a and 1b face each other,
The facing directions of the input terminals 12a and 12b are the same.
By adopting such a configuration, the currents flowing through the Hall element 1 and the epi resistance 12 are in the same direction, and therefore, the directions in which they flow with respect to the crystal axis of the semiconductor are also in the same direction. Therefore, these physical characteristics are very similar. Therefore, the absolute values of these input resistances and their temperature characteristics are similar to each other. Even if the directions of the currents flowing in the Hall element 1 and the epi resistance 12 are different, these temperature characteristics are close to each other.

【0020】次に動作について説明する。図1のような
回路構成において、ホール素子1に磁界を印加すると、
ホール素子1の出力端子1c,1d間に磁界に比例する
ホール電圧VHが発生する。 VH = KH・(IH・B/d)・fH = KH・(V/RIN)・(B/d)・fH ここで、VH:ホール電圧、KH:ホール係数、IH:ホ
ール素子駆動電流、B:磁束密度、d:ホール素子の厚
み、fH:ホール素子の形状による係数、V:印加電
圧、RIN:ホール素子1の入力抵抗である。
Next, the operation will be described. In the circuit configuration as shown in FIG. 1, when a magnetic field is applied to the Hall element 1,
A Hall voltage V H proportional to the magnetic field is generated between the output terminals 1c and 1d of the Hall element 1. V H = K H · (I H · B / d) · f H = K H · (V / R IN) · (B / d) · f H where, V H: Hall voltage, K H: Hall coefficient , I H : Hall element drive current, B: magnetic flux density, d: hall element thickness, f H : coefficient depending on the shape of the hall element, V: applied voltage, R IN : input resistance of the hall element 1.

【0021】このホール電圧VHに基づき、NPNトラ
ンジスタ2、3を流れるコレクタ電流I2,I3に差が生
じる。すなわち、ホール素子1の出力端子1c,1dの
うち、出力端子1cの電位が高くなるように磁界が印加
されると、コレクタ電流I2はコレクタ電流I3より大き
くなる。従って、抵抗2における電圧降下は抵抗3にお
ける電圧降下よりも大きくなるから、バッファ回路7の
入力電圧はバッファ回路8の入力電圧よりも高くなる。
従って、バッファ回路8の出力電圧はバッファ回路7の
出力電圧より低くなる。しかし、オペアンプ10の2つ
の入力端子の電位は同電位と見なせるから、バッファ回
路7とオペアンプ10の+側の入力端子との間にあるベ
ース拡散抵抗9には、バッファ回路7、8の出力電圧の
差に対応する電流I0が、NPNトランジスタ11のコ
レクタに流入する方向に流れる。
Due to the Hall voltage V H , a difference occurs in the collector currents I 2 and I 3 flowing through the NPN transistors 2 and 3 . That is, when a magnetic field is applied so that the potential of the output terminal 1c among the output terminals 1c and 1d of the Hall element 1 becomes high, the collector current I 2 becomes larger than the collector current I 3 . Therefore, the voltage drop in the resistor 2 becomes larger than the voltage drop in the resistor 3, so that the input voltage of the buffer circuit 7 becomes higher than the input voltage of the buffer circuit 8.
Therefore, the output voltage of the buffer circuit 8 becomes lower than the output voltage of the buffer circuit 7. However, since the potentials of the two input terminals of the operational amplifier 10 can be regarded as the same potential, the base diffusion resistor 9 between the buffer circuit 7 and the + side input terminal of the operational amplifier 10 has the output voltage of the buffer circuits 7 and 8. The current I 0 corresponding to the difference between the two flows in the direction of flowing into the collector of the NPN transistor 11.

【0022】また、オペアンプ10の+入力端の入力電
圧は−入力端の入力電圧よりも大きいから、オペアンプ
10の出力は+電位となる。したがって、NPN型トラ
ンジスタ11はオンし、NPN型トランジスタ11を介
してエピ抵抗12に電流I0が流れ込む。このように電
流I0がエピ抵抗12に流入することにより発生する電
圧が、このホールICの増幅回路の出力電圧となる。
Since the input voltage of the + input terminal of the operational amplifier 10 is larger than the input voltage of the − input terminal, the output of the operational amplifier 10 has a + potential. Therefore, the NPN transistor 11 is turned on, and the current I 0 flows into the epi resistance 12 via the NPN transistor 11. The voltage generated by the current I 0 flowing into the epi resistance 12 in this way becomes the output voltage of the amplifier circuit of the Hall IC.

【0023】ここで、電流I0はホール電圧VHに比例す
る。この比例係数をαとすると I0 = αVH = α・KH・(V/RIN)・(B/d)・fH となる。また、出力端子13に現れる出力電圧をV0
すると V0 = I0E = α・KH・(RE/RIN)・V・(B/d)・fH ここで、RE:エピ抵抗である。
Here, the current I 0 is proportional to the Hall voltage V H. When this proportional coefficient is α, I 0 = αV H = α · K H · (V / R IN ) · (B / d) · f H. Further, when the output voltage appearing at the output terminal 13 and V 0 V 0 = I 0 R E = α · K H · (R E / R IN) · V · (B / d) · f H wherein, R E : Epi resistance.

【0024】ところで、これらホールICのホール素子
1とエピ抵抗12は、図2のように配置されているか
ら、ホール素子1の入力抵抗RINとエピ抵抗12の入力
抵抗REとは同じ絶対値をもち、かつ、その温度係数は
同じである。したがって、上式における(RE/RIN
はホールIC及び動作温度によらず、一定となる。この
ことからわかるように、ホール素子の入力抵抗値のばら
つき及び温度変化は、エピ抵抗の入力抵抗により相殺さ
れ、出力端子13に現れる電圧は温度による影響を受け
ない。同様に、ホールICごとに生じる、ホール素子の
入力抵抗の絶対値のばらつきも相殺される。
By the way, since the Hall element 1 and the epi resistance 12 of these Hall ICs are arranged as shown in FIG. 2, the input resistance R IN of the Hall element 1 and the input resistance R E of the epi resistance 12 are the same absolute value. It has a value and its temperature coefficient is the same. Therefore, in the above equation, (R E / R IN )
Is constant regardless of the Hall IC and operating temperature. As can be seen from this, the variation in the input resistance value of the Hall element and the temperature change are canceled by the input resistance of the epi resistance, and the voltage appearing at the output terminal 13 is not affected by the temperature. Similarly, variations in absolute value of the input resistance of the Hall element, which occur for each Hall IC, are offset.

【0025】以上のように、この実施例1によれば、ホ
ール素子の入力抵抗値のばらつき及び温度変化は、同様
の特性をもつエピ抵抗の入力抵抗により相殺されるの
で、ホールICの出力電圧において、ホール素子におけ
る入力抵抗のばらつきや、その抵抗値の温度変化により
生じる変動は極めて少なくなり、磁束密度を正確に測定
することができる。
As described above, according to the first embodiment, since the variation in the input resistance value of the Hall element and the temperature change are canceled by the input resistance of the epi resistance having the same characteristic, the output voltage of the Hall IC is reduced. In the above, variations in the input resistance of the Hall element and variations in the resistance value caused by temperature changes are extremely small, and the magnetic flux density can be accurately measured.

【0026】なお、ホール素子とエピ抵抗との配置は、
図2に示される配置に限らず、図3〜図6に示される配
置でもよい。
The arrangement of the Hall element and the epi resistance is as follows.
The arrangement shown in FIGS. 3 to 6 is not limited to the arrangement shown in FIG.

【0027】図3は、2つのホール素子1と2つのエピ
抵抗12を互いに接近させた配置を示している。図3の
配置は、図2に示された配置のホール素子1とエピ抵抗
12を、2組備えたものである。ただし、1組のホール
素子1−1とエピ抵抗12−1の配置は図2の配置と全
く同じであるが、他の組のホール素子1−2とエピ抵抗
12−2の配置は、電流Iの流れる向きが図2の場合と
90°異なる点で相違する。これらホール素子1−1及
び1−2は互いに並列に接続されて図1の回路における
ホール素子1として使用される。エピ抵抗12−1及び
12−2は直列に接続されて図1の回路におけるエピ抵
抗として使用される。エピ抵抗12−1及び12−2
は、増幅回路の出力範囲によっては、どちらか一方のみ
の使用でもかまわない。このように2つのホール素子を
並列に接続することにより、ホール素子のオフセット電
圧が補償されて小さくなるという効果が、さらに付け加
えられる。
FIG. 3 shows an arrangement in which two Hall elements 1 and two epi resistors 12 are close to each other. The arrangement of FIG. 3 is provided with two sets of the Hall element 1 and the epi resistance 12 of the arrangement shown in FIG. However, the arrangement of the Hall element 1-1 and the epi resistance 12-1 of one set is exactly the same as that of FIG. 2, but the arrangement of the Hall element 1-2 and the epi resistance 12-2 of the other set is equal to that of the current. The difference is that the flowing direction of I differs from that in the case of FIG. 2 by 90 °. These Hall elements 1-1 and 1-2 are connected in parallel with each other and used as the Hall element 1 in the circuit of FIG. The epi resistors 12-1 and 12-2 are connected in series and used as the epi resistors in the circuit of FIG. Epi resistors 12-1 and 12-2
Depending on the output range of the amplifier circuit, only one of them may be used. By connecting the two Hall elements in parallel in this manner, the effect that the offset voltage of the Hall elements is compensated and becomes smaller is further added.

【0028】図4は、図3の場合と同様に2組のホール
素子1とエピ抵抗12を備える場合の例である。1組の
ホール素子1−2とエピ抵抗12−2の位置が左右入れ
違っている点で図3の配置と異なる。
FIG. 4 shows an example in which two sets of Hall elements 1 and epi resistors 12 are provided as in the case of FIG. This is different from the arrangement of FIG. 3 in that the positions of the pair of Hall elements 1-2 and the epi resistance 12-2 are different from each other.

【0029】図5は、2組のホール素子1とエピ抵抗1
2が半導体基板上のある点を中心に放射状に配置された
場合の例である。同図からわかるように、ホール素子1
及びエピ抵抗12における電流は、半導体基板上の中心
点の方向に流れる。また、ホール素子1及びエピ抵抗1
2における電流は、上記の場合とは逆に半導体基板上の
中心点から放射状に流れる向きでもかまわない。
FIG. 5 shows two sets of Hall element 1 and epi resistance 1.
2 is an example of a case where 2 are arranged radially around a certain point on the semiconductor substrate. As can be seen from the figure, Hall element 1
And the current in the epi resistance 12 flows toward the center point on the semiconductor substrate. In addition, the hall element 1 and the epi resistance 1
Contrary to the above case, the current in 2 may flow radially from the center point on the semiconductor substrate.

【0030】図6は、4つのホール素子1−1〜1−4
が1つのエピ抵抗12を囲むように配置された例であ
る。これら4つのホール素子1−1〜1−4は、図5の
2つのホール素子及び2つのエピ抵抗と同様に、半導体
基板上にある点を中心に放射状に配置されている。これ
らホール素子1−1〜1−4は互いに並列に接続されて
1つのホール素子として使用される。また、中心部には
エピ抵抗12が配置されている。エピ抵抗12が1つで
あっても温度補償の効果は得られる。なお、エピ抵抗1
2をホール素子1の周囲にさらに配置して、それらエピ
抵抗を直列に接続したものをエピ抵抗12として使用し
てもよい。
FIG. 6 shows four Hall elements 1-1 to 1-4.
Are arranged so as to surround one epi resistor 12. These four Hall elements 1-1 to 1-4 are arranged radially around a point on the semiconductor substrate, like the two Hall elements and the two epi resistors shown in FIG. These Hall elements 1-1 to 1-4 are connected in parallel with each other and used as one Hall element. Further, an epi resistor 12 is arranged in the central portion. Even if the number of the epi resistors 12 is one, the effect of temperature compensation can be obtained. In addition, epi resistance 1
2 may be further arranged around the Hall element 1 and those epi resistors connected in series may be used as the epi resistor 12.

【0031】この実施例1のホールICにおいて、図2
〜図6に示された配置から任意の配置を採用することが
できる。このことは、以下に説明する実施例2及び3に
おいても同様である。
In the Hall IC of the first embodiment, as shown in FIG.
~ Any arrangement can be adopted from the arrangements shown in Fig. 6. This also applies to Examples 2 and 3 described below.

【0032】実施例2.上記実施例1において、2つの
バッファ回路7、8を用いて電圧信号の伝達を行い、抵
抗9により電流に変換している。これらバッファ回路と
してトランジスタのコレクタ接地回路(エミッタフォロ
ワ)を用いることが考えられる。しかし、これを単に実
施例1の回路に適用すると、それぞれのバッファ回路の
トランジスタのコレクタ電流が異なるから、そのベース
−エミッタ間電圧(VBE)が異なる。このため、ホール
電圧の伝達に誤差が発生する。
Example 2. In the first embodiment, the voltage signal is transmitted using the two buffer circuits 7 and 8 and converted into the current by the resistor 9. It is conceivable to use a transistor grounded collector circuit (emitter follower) as the buffer circuit. However, if this is simply applied to the circuit of the first embodiment, the collector currents of the transistors of the respective buffer circuits are different, and thus the base-emitter voltage (V BE ) is different. Therefore, an error occurs in the transmission of the Hall voltage.

【0033】そこで、エミッタフォロワを用いる場合に
は、図2に示されるような回路構成とすればよい。同図
において、16はNPN型トランジスタ4の出力を入力
とするPNP型トランジスタ、17はNPN型トランジ
スタ5の出力を入力とするPNP型トランジスタであ
る。6b、6cはNPN型トランジスタ17、16のエ
ミッタにそれぞれ接続された電流源である。PNP型ト
ランジスタ17、18は、それぞれエミッタフォロワで
あり、その出力は抵抗を介してそれぞれオペアンプ10
の−入力端子、+入力端子に入力される。18はオペア
ンプ10の−入力端子に設けられたベース拡散抵抗(R
16)、19はPNPトランジスタ16の出力電流がコ
レクタに入力されるNPN型トランジスタである。
Therefore, when the emitter follower is used, the circuit configuration shown in FIG. 2 may be used. In the figure, 16 is a PNP transistor that receives the output of the NPN transistor 4, and 17 is a PNP transistor that receives the output of the NPN transistor 5. Reference numerals 6b and 6c are current sources connected to the emitters of the NPN type transistors 17 and 16, respectively. Each of the PNP type transistors 17 and 18 is an emitter follower, and the output of each of the PNP type transistors 17 and 18 is connected to the operational amplifier 10 via a resistor.
Is input to the-input terminal and the + input terminal of. Reference numeral 18 denotes a base diffusion resistance (R
16) and 19 are NPN transistors whose output current from the PNP transistor 16 is input to the collector.

【0034】NPN型トランジスタ19はNPN型トラ
ンジスタ11とベース、エミッタが並列に接続されてい
る。これらトランジスタ11,19が出力する電流の和
がエピ抵抗12に供給されることにより、出力電圧V0
が得られる。その他のホール素子1等は、実施例1に示
されるものと同じものである。
The NPN transistor 19 has a base and an emitter connected in parallel with the NPN transistor 11. The sum of the currents output by the transistors 11 and 19 is supplied to the epi resistance 12 to output the output voltage V 0.
Is obtained. The other Hall elements 1 and the like are the same as those shown in the first embodiment.

【0035】次に動作について説明する。ホール素子1
からトランジスタ4、5にかけての動作は実施例1の場
合と同じである。差動増幅器の出力を受けて、NPN型
トランジスタ16、17によるエミッタホロワはホール
電圧VHに対応する電圧を出力する。ここで、実施例1
の場合と同様に、ホール電圧VHに対応して、トランジ
スタ17のエミッタからトランジスタ11のコレクタに
電流I0aが流れる。
Next, the operation will be described. Hall element 1
The operation from to the transistors 4 and 5 is the same as that of the first embodiment. Receiving the output of the differential amplifier, an emitter follower by NPN-type transistors 16 and 17 outputs a voltage corresponding to the Hall voltage V H. Example 1
Similarly to the case of, the current I 0a flows from the emitter of the transistor 17 to the collector of the transistor 11 corresponding to the Hall voltage V H.

【0036】それとともに、NPN型トランジスタ11
に流れる電流に対応して、トランジスタ16のエミッタ
からトランジスタ19のコレクタに電流I0bが流れる。
この点が実施例1の場合と異なる。このように、トラン
ジスタ16からの電流を出力回路に流すと、トランジス
タ16のコレクタに流れる電流I5は小さくなり、トラ
ンジスタ17のコレクタに流れる電流I4と等しくな
る。これにより、トランジスタ16、17のベース−エ
ミッタ間の電圧VBEは等しくなるから誤差は生じない。
ここで、出力電圧V0は、実施例1の場合と同様に、電
流I0a,I0b及びエピ抵抗REとから求められる。
At the same time, the NPN transistor 11
A current I 0b flows from the emitter of the transistor 16 to the collector of the transistor 19 in accordance with the current flowing in the transistor 16.
This point is different from the case of the first embodiment. In this way, when the current from the transistor 16 is passed through the output circuit, the current I 5 flowing through the collector of the transistor 16 becomes smaller and becomes equal to the current I 4 flowing through the collector of the transistor 17. As a result, the base-emitter voltage V BE of the transistors 16 and 17 becomes equal, and no error occurs.
Here, the output voltage V 0 is obtained from the currents I 0a and I 0b and the epi resistance R E , as in the case of the first embodiment.

【0037】以上のように、この実施例2によれば、エ
ミッタフォロワを構成する2つのトランジスタのコレク
タ電流が同じになるので、コレクタ電流の差による誤差
電圧の発生を抑えることができて、バッファ回路として
簡単なエミッタフォロワを使用することができる。
As described above, according to the second embodiment, since the collector currents of the two transistors forming the emitter follower are the same, it is possible to suppress the generation of the error voltage due to the difference in the collector currents, and the buffer current. A simple emitter follower can be used as the circuit.

【0038】実施例3.上記実施例1及び2において、
差動増幅回路の出力を一度バッファ回路で受けてからオ
ペアンプに入力したが、バッファ回路を介さずに直接オ
ペアンプに入力するようにしてもよい。
Example 3. In the above Examples 1 and 2,
Although the output of the differential amplifier circuit is first received by the buffer circuit and then input to the operational amplifier, it may be directly input to the operational amplifier without passing through the buffer circuit.

【0039】図8に、この実施例3による回路構成を示
す。同図において、ベース拡散抵抗2、3、NPN型ト
ランジスタ4、5及び定電流源6により構成される初段
の差動増幅回路の出力は、バッファ回路を介さないで次
段の増幅器10に直接入力される。
FIG. 8 shows a circuit configuration according to the third embodiment. In the figure, the output of the first stage differential amplifier circuit composed of the base diffusion resistors 2 and 3, the NPN transistors 4 and 5, and the constant current source 6 is directly input to the next stage amplifier 10 without passing through the buffer circuit. To be done.

【0040】図8の回路において、NPN型トランジス
タ4、5のコレクタに流れる電流は、ホール電圧VH
対応して異なる値をとる。しかし、オペアンプ10及び
NPN型トランジスタ11は、これら電流が同じ値にな
るように、これら電流の差電流I0をNPN型トランジ
スタ5のコレクタから分流し、そのままエピ抵抗12に
流入させる。このときの差電流I0はホール電圧VHに比
例するから、出力端子13に現れる電圧V0はホール電
圧VHに比例する。
In the circuit of FIG. 8, the currents flowing through the collectors of the NPN transistors 4 and 5 have different values according to the Hall voltage V H. However, the operational amplifier 10 and the NPN-type transistor 11 shunt the difference current I 0 of these currents from the collector of the NPN-type transistor 5 so that these currents have the same value, and make the currents flow into the epi resistance 12 as they are. Since the difference current I 0 at this time is proportional to the Hall voltage V H , the voltage V 0 appearing at the output terminal 13 is proportional to the Hall voltage V H.

【0041】実施例1及び2の場合において、ホール素
子1により得られたホール電圧VHをトランジスタ4及
び5に流れる電流に変換し、この電流を電圧に変換した
後にバッファ回路7及び8に供給し、バッファ回路7及
び8の出力電圧の差を再び電流に変換し、そして、エピ
抵抗に電流を流すことにより再び電圧に変換する、とい
った複雑な信号変換がなされていた。これに対して、こ
の実施例3によれば、このような複雑な手順を踏んでい
ないので、生じる誤差を小さくすることができる。
In the cases of Examples 1 and 2, the Hall voltage V H obtained by the Hall element 1 is converted into a current flowing in the transistors 4 and 5, and this current is converted into a voltage and then supplied to the buffer circuits 7 and 8. However, a complicated signal conversion is performed such that the difference between the output voltages of the buffer circuits 7 and 8 is converted into a current again, and then the current is supplied to the epi resistance to be converted into a voltage again. On the other hand, according to the third embodiment, since such a complicated procedure is not taken, it is possible to reduce the error that occurs.

【0042】また、この実施例3によれば、図8におけ
るA点の電位とB点の電位とが等しくなるため、ベース
拡散抵抗2、3の相対性、及びNPN型トランジスタ
4、5の相対性が極めて良くなり、この差動増幅回路の
精度が上がるという効果もある。
Further, according to the third embodiment, since the potential at the point A and the potential at the point B in FIG. 8 are equal to each other, the relativity of the base diffusion resistors 2 and 3 and the relativity of the NPN type transistors 4 and 5 are high. Also, there is an effect that the performance is extremely improved and the accuracy of this differential amplifier circuit is improved.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、印加された磁界の強さに対応する電圧を出力するホ
ール素子と、上記ホール素子の出力電圧を増幅する差動
増幅器と、上記差動増幅器の出力に基づき印加された磁
界の強さに対応する電流を出力する増幅器と、上記ホー
ル素子が形成された半導体基板上に上記ホール素子と近
接して形成され、上記増幅器の出力電流を受けて印加さ
れた磁界の強さに対応する電圧を発生する抵抗体とを備
えたので、ホール素子と抵抗体とにより温度変化に起因
する電圧変動が相殺される。したがって、温度変化によ
りホール素子の特性が変化した場合でも、この変化によ
る出力変動を補償することができて、磁束密度を正しく
測定することができる。
As described above, according to the first aspect of the invention, the Hall element that outputs the voltage corresponding to the strength of the applied magnetic field and the differential amplifier that amplifies the output voltage of the Hall element are provided. An amplifier that outputs a current corresponding to the strength of a magnetic field applied based on the output of the differential amplifier; and the amplifier is formed on the semiconductor substrate on which the hall element is formed in the vicinity of the hall element. Since the resistor which generates the voltage corresponding to the strength of the magnetic field applied upon receiving the output current is provided, the voltage fluctuation caused by the temperature change is canceled by the Hall element and the resistor. Therefore, even if the characteristics of the Hall element change due to the temperature change, the output fluctuation due to this change can be compensated and the magnetic flux density can be measured correctly.

【0044】また、請求項2の発明によれば、上記増幅
器を、上記差動増幅器の第1の出力を入力とする第1の
コレクタ接地増幅回路と、上記差動増幅器の第2の出力
を入力とする第2のコレクタ接地増幅回路と、上記第1
のコレクタ接地増幅回路の出力及び上記第2のコレクタ
接地増幅回路の出力を入力とする演算増幅器と、上記演
算増幅器の出力に基づき動作し、上記第1のコレクタ接
地増幅回路から電流を分流して出力する第1のトランジ
スタと、上記演算増幅器の出力に基づき動作し、上記第
2のコレクタ接地増幅回路から電流を分流して出力する
第2のトランジスタとから構成し、上記増幅器の出力を
上記第1のトランジスタの出力と上記第2のトランジス
タの出力の和としたので、さらに、増幅回路をコレクタ
接地増幅回路により簡単に構成できるとともに、コレク
タ接地増幅回路に流れる電流が同じになり、電流の差に
よる誤差電圧の発生を抑えることができる。
According to a second aspect of the present invention, the amplifier has a first collector-grounded amplifier circuit which receives the first output of the differential amplifier and a second output of the differential amplifier. The second grounded collector amplifier circuit for inputting, and the first
And an operational amplifier which receives the output of the collector-grounded amplifier circuit and the output of the second collector-grounded amplifier circuit as input, and operates based on the output of the operational amplifier to divide the current from the first collector-grounded amplifier circuit. The output of the amplifier is composed of a first transistor for outputting and a second transistor for operating based on the output of the operational amplifier and shunting the current from the second grounded collector amplifier circuit to output the current. Since the output of the first transistor and the output of the second transistor are set to the sum, the amplifier circuit can be further simply configured by the collector-grounded amplifier circuit, and the current flowing through the collector-grounded amplifier circuit becomes the same, resulting in a difference in current. It is possible to suppress the generation of an error voltage due to.

【0045】また、請求項3の発明によれば、上記増幅
器を、上記差動増幅器の出力を入力とする演算増幅器
と、上記演算増幅器の出力に基づき動作し、上記差動増
幅器の出力端の一方から電流を分流して出力するトラン
ジスタとから構成したので、さらに、増幅回路を簡単に
構成できるとともに、変換誤差を小さくすることができ
る。
According to a third aspect of the present invention, the amplifier is operated based on the output of the operational amplifier and the output of the differential amplifier, and the output terminal of the differential amplifier is operated. Since it is composed of a transistor that splits and outputs a current from one side, the amplifier circuit can be further simply configured and the conversion error can be reduced.

【0046】また、請求項4の発明によれば、上記抵抗
体を、上記ホール素子と特性が近似するように、上記ホ
ール素子の構成と類似の構成により形成したので、さら
に、形成される半導体装置のホール素子ごとにその特性
がばらついた場合でも、これによる変動が相殺され、出
力電圧が安定する。
Further, according to the invention of claim 4, since the resistor is formed by a structure similar to that of the hall element so that the characteristics thereof are similar to those of the hall element, the semiconductor to be formed is further formed. Even if the characteristics of the Hall elements of the device vary, the fluctuations due to the variations cancel out and the output voltage stabilizes.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明の実施例1に係るホールICの回路
図である。
FIG. 1 is a circuit diagram of a Hall IC according to a first embodiment of the present invention.

【図2】 この発明の実施例1〜3に係るホール素子及
びエピ抵抗の半導体基板上における配置の一例である。
FIG. 2 is an example of an arrangement of Hall elements and epi resistors on a semiconductor substrate according to Examples 1 to 3 of the present invention.

【図3】 この発明の実施例1〜3に係るホール素子及
びエピ抵抗の半導体基板上における配置の他の例であ
る。
FIG. 3 is another example of arrangement of Hall elements and epi resistors on a semiconductor substrate according to Examples 1 to 3 of the present invention.

【図4】 この発明の実施例1〜3に係るホール素子及
びエピ抵抗の半導体基板上における配置の他の例であ
る。
FIG. 4 is another example of arrangement of Hall elements and epi resistors on a semiconductor substrate according to Examples 1 to 3 of the present invention.

【図5】 この発明の実施例1〜3に係るホール素子及
びエピ抵抗の半導体基板上における配置の他の例であ
る。
FIG. 5 is another example of the arrangement of the Hall element and the epi resistance on the semiconductor substrate according to the first to third embodiments of the present invention.

【図6】 この発明の実施例1〜3に係るホール素子及
びエピ抵抗の半導体基板上における配置の他の例であ
る。
FIG. 6 is another example of arrangement of Hall elements and epi resistors on a semiconductor substrate according to Examples 1 to 3 of the present invention.

【図7】 この発明の実施例2に係るホールICの回路
図である。
FIG. 7 is a circuit diagram of a Hall IC according to a second embodiment of the present invention.

【図8】 この発明の実施例3に係るホールICの回路
図である。
FIG. 8 is a circuit diagram of a Hall IC according to a third embodiment of the present invention.

【図9】 従来のホールICの機能ブロック図を示す。FIG. 9 shows a functional block diagram of a conventional Hall IC.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ホール素子、2、3 抵抗、4、5 NPN型トラ
ンジスタ、6 定電流源、7、8 バッファ回路、9
抵抗、10 オペアンプ、11 NPN型トランジス
タ、12 エピ抵抗、16、17 PNP型トランジス
タ、18 抵抗、19 NPN型トランジスタ。
1 Hall element, 2, 3 resistance, 4, 5 NPN type transistor, 6 constant current source, 7, 8 buffer circuit, 9
Resistance, 10 operational amplifier, 11 NPN type transistor, 12 epi resistance, 16, 17 PNP type transistor, 18 resistance, 19 NPN type transistor.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 印加された磁界の強さに対応する電圧を
出力するホール素子と、上記ホール素子の出力電圧を増
幅する差動増幅器と、上記差動増幅器の出力に基づき印
加された磁界の強さに対応する電流を出力する増幅器
と、上記ホール素子が形成された半導体基板上に上記ホ
ール素子と近接して形成され、上記増幅器の出力電流を
受けて印加された磁界の強さに対応する電圧を発生する
抵抗体とを備えた半導体磁電変換装置。
1. A Hall element that outputs a voltage corresponding to the strength of an applied magnetic field, a differential amplifier that amplifies the output voltage of the Hall element, and a magnetic field applied based on the output of the differential amplifier. An amplifier that outputs a current corresponding to the strength, and is formed on the semiconductor substrate on which the hall element is formed in the vicinity of the hall element, and corresponds to the strength of the magnetic field applied by receiving the output current of the amplifier. A semiconductor magneto-electric conversion device having a resistor that generates a voltage to operate.
【請求項2】 上記増幅器を、上記差動増幅器の第1の
出力を入力とする第1のコレクタ接地増幅回路と、上記
差動増幅器の第2の出力を入力とする第2のコレクタ接
地増幅回路と、上記第1のコレクタ接地増幅回路の出力
及び上記第2のコレクタ接地増幅回路の出力を入力とす
る演算増幅器と、上記演算増幅器の出力に基づき動作
し、上記第1のコレクタ接地増幅回路から電流を分流し
て出力する第1のトランジスタと、上記演算増幅器の出
力に基づき動作し、上記第2のコレクタ接地増幅回路か
ら電流を分流して出力する第2のトランジスタとから構
成し、上記増幅器の出力を上記第1のトランジスタの出
力と上記第2のトランジスタの出力の和としたことを特
徴とする請求項1記載の半導体磁電変換装置。
2. A first collector-grounded amplifier circuit for inputting the first output of the differential amplifier, and a second collector-grounded amplifier for inputting the second output of the differential amplifier to the amplifier. A circuit, an operational amplifier that receives the output of the first collector-grounded amplifier circuit and the output of the second collector-grounded amplifier circuit, and the first collector-grounded amplifier circuit that operates based on the output of the operational amplifier. And a second transistor that operates based on the output of the operational amplifier and that divides and outputs the current from the second common-collector ground amplifier circuit, 2. The semiconductor magnetoelectric conversion device according to claim 1, wherein the output of the amplifier is the sum of the output of the first transistor and the output of the second transistor.
【請求項3】 上記増幅器を、上記差動増幅器の出力を
入力とする演算増幅器と、上記演算増幅器の出力に基づ
き動作し、上記差動増幅器の出力端の一方から電流を分
流して出力するトランジスタとから構成したことを特徴
とする請求項1記載の半導体磁電変換装置。
3. The amplifier operates based on an operational amplifier that receives the output of the differential amplifier and the output of the operational amplifier, and divides and outputs a current from one of the output terminals of the differential amplifier. The semiconductor magnetoelectric conversion device according to claim 1, wherein the semiconductor magnetoelectric conversion device comprises a transistor.
【請求項4】 上記抵抗体を、上記ホール素子と特性が
近似するように、上記ホール素子の構成と類似の構成に
より形成したことを特徴とする請求項1乃至請求項3い
ずれかに記載の半導体磁電変換装置。
4. The resistor according to claim 1, wherein the resistor has a structure similar to that of the Hall element so that the characteristics of the resistor are similar to those of the Hall element. Semiconductor magnetoelectric converter.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015099089A (en) * 2013-11-19 2015-05-28 旭化成エレクトロニクス株式会社 Magnetic sensor

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