JPH08103672A - 回転テーブルへの加熱構造及び冷却構造 - Google Patents
回転テーブルへの加熱構造及び冷却構造Info
- Publication number
- JPH08103672A JPH08103672A JP26822894A JP26822894A JPH08103672A JP H08103672 A JPH08103672 A JP H08103672A JP 26822894 A JP26822894 A JP 26822894A JP 26822894 A JP26822894 A JP 26822894A JP H08103672 A JPH08103672 A JP H08103672A
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- Japan
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- rotary table
- heating
- rotating
- heating means
- cooling
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、回転テーブル１１と加熱手段１６
とを分離構造とし、加熱手段を固定した状態で放射熱あ
るいは液媒体による熱伝導により加熱する構造手段にし
て小型で電気的摺動機構のない回転テーブルの加熱装置
を実現することを目的とする。 【構成】 回転テーブル１１を下降させて回転テーブル
１１下面を加熱手段１６に面接触させて熱伝導を与える
上下駆動手段１５を設け、回転テーブル１１下面に、こ
れを加熱する固定した加熱手段１６を設ける構成手段。
とを分離構造とし、加熱手段を固定した状態で放射熱あ
るいは液媒体による熱伝導により加熱する構造手段にし
て小型で電気的摺動機構のない回転テーブルの加熱装置
を実現することを目的とする。 【構成】 回転テーブル１１を下降させて回転テーブル
１１下面を加熱手段１６に面接触させて熱伝導を与える
上下駆動手段１５を設け、回転テーブル１１下面に、こ
れを加熱する固定した加熱手段１６を設ける構成手段。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱対象物あるいは冷
却対象物を回転テーブルに乗せて所定の温度に加熱する
加熱装置に関する。
却対象物を回転テーブルに乗せて所定の温度に加熱する
加熱装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の回転テーブルの加熱装置を図
４と図５とを参照して説明する。図４に示す従来の装置
構成例１は、回転テーブル１１と、回転手段１３と、恒
温槽４１と、ヒータ４２と、温度センサ６０と、制御電
源１８と、ファン４３とで構成している。
４と図５とを参照して説明する。図４に示す従来の装置
構成例１は、回転テーブル１１と、回転手段１３と、恒
温槽４１と、ヒータ４２と、温度センサ６０と、制御電
源１８と、ファン４３とで構成している。
【０００３】回転テーブル１１は、このテーブルをイン
デックス送り、即ち単位ステップ角度回転移動させて外
部からの加熱対象物１００が搬入されて、この上面に乗
せて順次加熱していくテーブルであり、加熱終了後に対
象物は外部に搬出される。この回転テーブル１１上で回
転時間の間に対流、熱放射及び熱伝導を利用して加熱対
象物１００、例えばＩＣ等を所望の温度に加熱するもの
である。この回転テーブル１１は回転軸１１ａに連結さ
れていて、回転手段１３の駆動により回転される。
デックス送り、即ち単位ステップ角度回転移動させて外
部からの加熱対象物１００が搬入されて、この上面に乗
せて順次加熱していくテーブルであり、加熱終了後に対
象物は外部に搬出される。この回転テーブル１１上で回
転時間の間に対流、熱放射及び熱伝導を利用して加熱対
象物１００、例えばＩＣ等を所望の温度に加熱するもの
である。この回転テーブル１１は回転軸１１ａに連結さ
れていて、回転手段１３の駆動により回転される。
【０００４】回転手段１３は、加熱対象物をインデック
ス送りして順次回転移動させる駆動手段であり、モータ
等による駆動源とベルトやギヤにより減速されて所望の
回転角のステップ動作と停止動作を行う。恒温槽４１
は、温度センサ６０からの信号を受けて、加熱用のヒー
タ４２に与える制御電源１８を制御して所望の温度に制
御している恒温槽であり、ファン４３により恒温槽４１
内の空気を循環対流させて槽内を均一の温度にしてい
る。
ス送りして順次回転移動させる駆動手段であり、モータ
等による駆動源とベルトやギヤにより減速されて所望の
回転角のステップ動作と停止動作を行う。恒温槽４１
は、温度センサ６０からの信号を受けて、加熱用のヒー
タ４２に与える制御電源１８を制御して所望の温度に制
御している恒温槽であり、ファン４３により恒温槽４１
内の空気を循環対流させて槽内を均一の温度にしてい
る。
【０００５】図５に示す従来の装置構成例２は、回転テ
ーブル１１と、回転手段１３と、加熱手段１６と、温度
センサ６０と、制御電源１８と、スリップリング５１
と、ブラシ５２とで構成している。回転テーブル１１と
加熱手段１６は接合して一体構造を形成していて回転軸
１１ａに連結され、回転手段１３により回転される。こ
の回転する加熱手段１６に制御電源を供給し、温度セン
サ６０からの信号を通過させる為に、円盤状の回転給電
機構を設けている。給電側には、回転軸１１ａの円周状
に４極のスリップリング５１を絶縁して配置し、これ
に、外部から制御電源を供給あるいは温度センサ信号６
２を受ける。一方、回転テーブル側にはこれに対応した
ブラシ５２を設けて接触摺動しながら電気接続をしてい
る。これにより、温度センサ６０を受けて、加熱用のヒ
ータ４２に与える制御電源１８を制御して回転テーブル
１１全体を直接所望の温度にする加熱する場合である。
ーブル１１と、回転手段１３と、加熱手段１６と、温度
センサ６０と、制御電源１８と、スリップリング５１
と、ブラシ５２とで構成している。回転テーブル１１と
加熱手段１６は接合して一体構造を形成していて回転軸
１１ａに連結され、回転手段１３により回転される。こ
の回転する加熱手段１６に制御電源を供給し、温度セン
サ６０からの信号を通過させる為に、円盤状の回転給電
機構を設けている。給電側には、回転軸１１ａの円周状
に４極のスリップリング５１を絶縁して配置し、これ
に、外部から制御電源を供給あるいは温度センサ信号６
２を受ける。一方、回転テーブル側にはこれに対応した
ブラシ５２を設けて接触摺動しながら電気接続をしてい
る。これにより、温度センサ６０を受けて、加熱用のヒ
ータ４２に与える制御電源１８を制御して回転テーブル
１１全体を直接所望の温度にする加熱する場合である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、図
４の構成の場合では恒温槽４１を使用するために、装置
全体が大掛かりになる。また、図５の場合では、回転す
る加熱手段１６に制御電源１８を供給し温度センサ６０
の信号を授受する為のスリップリング５１とブラシ５２
構造が必要であり、回転軸部分に給電構造と絶縁構造を
設ける必要がある。
４の構成の場合では恒温槽４１を使用するために、装置
全体が大掛かりになる。また、図５の場合では、回転す
る加熱手段１６に制御電源１８を供給し温度センサ６０
の信号を授受する為のスリップリング５１とブラシ５２
構造が必要であり、回転軸部分に給電構造と絶縁構造を
設ける必要がある。
【０００７】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、回転テーブル１１と加熱手段１６とを分離構造と
し、加熱手段を固定した状態で放射熱あるいは液媒体に
よる熱伝導により加熱する構造手段にして小型で電気的
摺動機構のない回転テーブルの加熱装置を実現すること
を目的とする。
は、回転テーブル１１と加熱手段１６とを分離構造と
し、加熱手段を固定した状態で放射熱あるいは液媒体に
よる熱伝導により加熱する構造手段にして小型で電気的
摺動機構のない回転テーブルの加熱装置を実現すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決する為の手段】第１図と２図は、本発明に
よる第１の解決手段を示している。上記課題を解決する
ために、本発明の構成では、回転テーブル１１を下降さ
せて回転テーブル１１下面を加熱手段１６に面接触させ
て熱伝導を与える上下駆動手段１５を設け、回転テーブ
ル１１下面に、これを加熱する固定した加熱手段１６を
設ける構成手段にする。これにより、回転テーブル１１
と、これを回転する回転手段１３を有して、この回転テ
ーブル１１を加熱する回転テーブルの構造を実現する。
よる第１の解決手段を示している。上記課題を解決する
ために、本発明の構成では、回転テーブル１１を下降さ
せて回転テーブル１１下面を加熱手段１６に面接触させ
て熱伝導を与える上下駆動手段１５を設け、回転テーブ
ル１１下面に、これを加熱する固定した加熱手段１６を
設ける構成手段にする。これにより、回転テーブル１１
と、これを回転する回転手段１３を有して、この回転テ
ーブル１１を加熱する回転テーブルの構造を実現する。
【０００９】第３図は、本発明による第２の解決手段を
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、回転テーブル１１と加熱手段１６との間に、回転
テーブル１１の回転に支障を与えずに加熱手段１６から
の熱を回転テーブル１１に伝える伝熱媒体を設け、伝熱
媒体を収容する構造を回転テーブル１１と相対するテー
ブル受け１７に形成し、伝熱媒体を加熱する固定した加
熱手段１６を設ける構成手段にする。
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、回転テーブル１１と加熱手段１６との間に、回転
テーブル１１の回転に支障を与えずに加熱手段１６から
の熱を回転テーブル１１に伝える伝熱媒体を設け、伝熱
媒体を収容する構造を回転テーブル１１と相対するテー
ブル受け１７に形成し、伝熱媒体を加熱する固定した加
熱手段１６を設ける構成手段にする。
【００１０】上記の構成手段で、加熱手段１６を冷却手
段に置き換えて、回転テーブル１１を冷却する構成手段
がある。伝熱媒体としては、回転を妨げない液体や多数
の球体や粉体による伝熱媒体があり、液体の場合には、
回転テーブル１１と相対するテーブル受け１７間をシー
ルするＯリング３２を設ける構造にする。
段に置き換えて、回転テーブル１１を冷却する構成手段
がある。伝熱媒体としては、回転を妨げない液体や多数
の球体や粉体による伝熱媒体があり、液体の場合には、
回転テーブル１１と相対するテーブル受け１７間をシー
ルするＯリング３２を設ける構造にする。
【００１１】
【作用】実施例１では、上下駆動手段１５と直動ベアリ
ング１２とにより、回転テーブル１１を回転停止し下降
させて加熱手段１６と回転テーブル１１を面接触させて
熱伝導により間欠的に加熱することにより、加熱手段１
６を回転機構から分離構造を実現する作用が得られる。
実施例２では、伝熱媒体を液体とすることで、加熱手段
１６を回転機構から分離し、かつ常時回転テーブル１１
に流体の熱伝導により加熱を与える加熱構造を実現する
作用が得られる。
ング１２とにより、回転テーブル１１を回転停止し下降
させて加熱手段１６と回転テーブル１１を面接触させて
熱伝導により間欠的に加熱することにより、加熱手段１
６を回転機構から分離構造を実現する作用が得られる。
実施例２では、伝熱媒体を液体とすることで、加熱手段
１６を回転機構から分離し、かつ常時回転テーブル１１
に流体の熱伝導により加熱を与える加熱構造を実現する
作用が得られる。
【００１２】
（実施例１）本発明の実施例１を図１と図２とを参照し
て説明する。本装置の構成は、図１に示すように、回転
テーブル１１と、直動ベアリング１２と、回転手段１３
と、回転ベアリング１４と、上下駆動手段１５と、加熱
手段１６と、温度センサ６０と、制御電源１８と、テー
ブル受け１７とで構成される。
て説明する。本装置の構成は、図１に示すように、回転
テーブル１１と、直動ベアリング１２と、回転手段１３
と、回転ベアリング１４と、上下駆動手段１５と、加熱
手段１６と、温度センサ６０と、制御電源１８と、テー
ブル受け１７とで構成される。
【００１３】回転テーブル１１は、加熱手段１６を分離
した構造となっていて、回転静止時にこのテーブルの下
面が加熱手段１６と接触して熱伝導により加熱される。
テーブルを回転する時のみ、このテーブルを浮かす為の
上下駆動手段１５を設けている。
した構造となっていて、回転静止時にこのテーブルの下
面が加熱手段１６と接触して熱伝導により加熱される。
テーブルを回転する時のみ、このテーブルを浮かす為の
上下駆動手段１５を設けている。
【００１４】直動ベアリング１２は、回転軸１１ａを支
持し、かつ回転テーブル１１の上下直線方向の動きを移
動自在にするベアリングである。この外周は外スリーブ
１２ｂに固定され、この外スリーブ１２ｂは、回転ベア
リング１４に支持されて回転テーブル１１と共に回転で
き、回転手段１３の回転機構と係合していて、この回転
駆動により回転テーブル１１が回転する。他方、内周は
内スリーブ１２ａに固定されていて、回転軸１１ａに固
定されている。
持し、かつ回転テーブル１１の上下直線方向の動きを移
動自在にするベアリングである。この外周は外スリーブ
１２ｂに固定され、この外スリーブ１２ｂは、回転ベア
リング１４に支持されて回転テーブル１１と共に回転で
き、回転手段１３の回転機構と係合していて、この回転
駆動により回転テーブル１１が回転する。他方、内周は
内スリーブ１２ａに固定されていて、回転軸１１ａに固
定されている。
【００１５】回転手段１３は、外部からの制御により、
加熱対象物１００を乗せた後所望の回転速度で駆動して
回転テーブル１１をインデックス送りする。次のインデ
ックス送りまでの間は停止状態にある。回転ベアリング
１４は、回転軸１１ａを支持し、かつ回転テーブル１１
を回転方向の動きを自在にするベアリングであり、一方
はテーブル受け１７に支持固定され、他方は外スリーブ
１２ｂを支持固定している。
加熱対象物１００を乗せた後所望の回転速度で駆動して
回転テーブル１１をインデックス送りする。次のインデ
ックス送りまでの間は停止状態にある。回転ベアリング
１４は、回転軸１１ａを支持し、かつ回転テーブル１１
を回転方向の動きを自在にするベアリングであり、一方
はテーブル受け１７に支持固定され、他方は外スリーブ
１２ｂを支持固定している。
【００１６】上下駆動手段１５は、回転移動するときに
回転テーブル１１を僅か、例えば０．５ｍｍ程度浮かせ
るものであり、エアーシリンダあるいはソレノイドある
いは減速ギア付きモータを使用して上下に駆動する。
回転テーブル１１を僅か、例えば０．５ｍｍ程度浮かせ
るものであり、エアーシリンダあるいはソレノイドある
いは減速ギア付きモータを使用して上下に駆動する。
【００１７】回転テーブル１１を加熱する場合は、図２
に示すように、回転テーブル１１の回転を停止させてか
ら、上下駆動手段１５により回転軸１１ａを下げること
により、回転テーブル１１下面と加熱手段１６上面とが
接触し、これにより回転テーブル１１は熱伝導により容
易に加熱される。
に示すように、回転テーブル１１の回転を停止させてか
ら、上下駆動手段１５により回転軸１１ａを下げること
により、回転テーブル１１下面と加熱手段１６上面とが
接触し、これにより回転テーブル１１は熱伝導により容
易に加熱される。
【００１８】温度センサ６０は、回転テーブル１１下面
と接する境界位置に埋め込まれて、回転テーブル１１の
温度を検出して、制御電源１８への温度制御信号として
いる。回転テーブル１１は、回転停止・テーブル下げ・
加熱・テーブル上げ・回転開始、の繰り返し動作をす
る。この為に、回転テーブル１１を一周した後の加熱対
象物１００が搬出されるときの温度は、所望の許容温度
範囲にはいるように、温度センサ６０からのセンサ信号
６２を受け、インデックス送りのインターバル時間や、
加熱手段１６と回転テーブル１１の熱容量や熱抵抗を考
慮して、所望の温度制御を実施する。上記説明のよう
に、間欠的に回転テーブル１１に接触させて加熱するこ
とで、加熱手段１６を回転機構から分離した加熱構造を
実現できる。
と接する境界位置に埋め込まれて、回転テーブル１１の
温度を検出して、制御電源１８への温度制御信号として
いる。回転テーブル１１は、回転停止・テーブル下げ・
加熱・テーブル上げ・回転開始、の繰り返し動作をす
る。この為に、回転テーブル１１を一周した後の加熱対
象物１００が搬出されるときの温度は、所望の許容温度
範囲にはいるように、温度センサ６０からのセンサ信号
６２を受け、インデックス送りのインターバル時間や、
加熱手段１６と回転テーブル１１の熱容量や熱抵抗を考
慮して、所望の温度制御を実施する。上記説明のよう
に、間欠的に回転テーブル１１に接触させて加熱するこ
とで、加熱手段１６を回転機構から分離した加熱構造を
実現できる。
【００１９】（実施例２）本発明の実施例２は、回転テ
ーブル１１を連続的に加熱する構造例の場合である。こ
れについて、図３を参照して説明する。構成は、回転テ
ーブル１１と回転軸１１ａと、回転手段１３と回転ベア
リング１４と、加熱手段１６と、温度センサ６０と、制
御電源１８と、テーブル受け１７と、伝熱流体３１と、
シール用Ｏリング３２とで構成している。この構成で、
回転軸１１ａと、回転手段１３と回転ベアリング１４
と、加熱手段１６と、温度センサ６０と、制御電源１８
は、実施例１と同様である。
ーブル１１を連続的に加熱する構造例の場合である。こ
れについて、図３を参照して説明する。構成は、回転テ
ーブル１１と回転軸１１ａと、回転手段１３と回転ベア
リング１４と、加熱手段１６と、温度センサ６０と、制
御電源１８と、テーブル受け１７と、伝熱流体３１と、
シール用Ｏリング３２とで構成している。この構成で、
回転軸１１ａと、回転手段１３と回転ベアリング１４
と、加熱手段１６と、温度センサ６０と、制御電源１８
は、実施例１と同様である。
【００２０】回転軸１１ａと回転テーブル１１は一体構
造を形成していて回転手段１３により自在に回転でき
る。伝熱流体３１は、加熱手段１６上面と回転テーブル
１１下面の間に介在して加熱手段１６からの熱を回転テ
ーブル１１に伝える伝導用液体である。この伝熱流体３
１の収容は、テーブル受け１７と回転テーブル１１とＯ
リング３２とで収容していて、回転によっても液もれし
ないように回転円周端にＯリング３２を上下２箇所でシ
ールしている。上記説明のように、伝熱媒体を液体とす
ることで、常時回転テーブル１１に熱伝導による加熱が
与えられ、加熱印加構造を簡素に実現できる。
造を形成していて回転手段１３により自在に回転でき
る。伝熱流体３１は、加熱手段１６上面と回転テーブル
１１下面の間に介在して加熱手段１６からの熱を回転テ
ーブル１１に伝える伝導用液体である。この伝熱流体３
１の収容は、テーブル受け１７と回転テーブル１１とＯ
リング３２とで収容していて、回転によっても液もれし
ないように回転円周端にＯリング３２を上下２箇所でシ
ールしている。上記説明のように、伝熱媒体を液体とす
ることで、常時回転テーブル１１に熱伝導による加熱が
与えられ、加熱印加構造を簡素に実現できる。
【００２１】上記実施例２では、伝熱の媒体として流体
の場合で説明したが、伝熱流体３１のかわりに粉体や、
多数の球体を媒体とした場合でも良く同様にして実施す
ることができる。
の場合で説明したが、伝熱流体３１のかわりに粉体や、
多数の球体を媒体とした場合でも良く同様にして実施す
ることができる。
【００２２】また、上記実施例１、２では、加熱する場
合で説明していたが、加熱手段１６の変わりにペルチエ
素子や冷媒等を与える冷却手段を用いて回転テーブル１
１を冷却する構成としても良く、同様にして実施でき
る。
合で説明していたが、加熱手段１６の変わりにペルチエ
素子や冷媒等を与える冷却手段を用いて回転テーブル１
１を冷却する構成としても良く、同様にして実施でき
る。
【００２３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。実
施例１では、間欠的に回転テーブル１１に接触させて加
熱することで、加熱手段１６を回転機構から分離した加
熱構造を実現する効果が得られる。実施例２では、伝熱
媒体を液体とすることで、加熱手段１６を回転機構から
分離固定状態にでき、かつ常時回転テーブル１１に流体
の熱伝導による加熱を与える加熱構造を実現できる効果
が得られる。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。実
施例１では、間欠的に回転テーブル１１に接触させて加
熱することで、加熱手段１６を回転機構から分離した加
熱構造を実現する効果が得られる。実施例２では、伝熱
媒体を液体とすることで、加熱手段１６を回転機構から
分離固定状態にでき、かつ常時回転テーブル１１に流体
の熱伝導による加熱を与える加熱構造を実現できる効果
が得られる。
【００２４】
【図１】本発明の回転テーブル１１を加熱手段１６から
離した状態の構造断面図である。
離した状態の構造断面図である。
【図２】本発明の回転テーブル１１を加熱手段１６に接
触させた状態の構造断面図である。
触させた状態の構造断面図である。
【図３】本発明の回転テーブル１１の加熱手段として流
体を伝熱媒体として使用した場合の構造断面図である。
体を伝熱媒体として使用した場合の構造断面図である。
【図４】従来の、恒温槽全体を加熱して対流によって回
転テーブルを加熱する構成図である。
転テーブルを加熱する構成図である。
【図５】従来の、回転テーブル１１直下に加熱手段１６
を設け、スリップリング５１により給電する場合の構成
図である。
を設け、スリップリング５１により給電する場合の構成
図である。
１１ 回転テーブル １１ａ 回転軸 １２ 直動ベアリング １２ｂ 外スリーブ １２ａ 内スリーブ １３ 回転手段 １４ 回転ベアリング １５ 上下駆動手段 １６ 加熱手段 １７ テーブル受け １８ 制御電源 ３１ 伝熱流体 ３２ Ｏリング ４１ 恒温槽 ４２ ヒータ ４３ ファン ５１ スリップリング ５２ ブラシ ６０ 温度センサ ６２ センサ信号 １００ 加熱対象物
Claims (5)
- 【請求項１】 回転テーブル（１１）と、これを回転す
る回転手段（１３）を有して、この回転テーブル（１
１）を加熱する回転テーブルの構造において、 当該回転テーブル（１１）を下降させて当該回転テーブ
ル（１１）下面を加熱手段（１６）に面接触させて熱伝
導を与える上下駆動手段（１５）を設け、 当該回転テーブル（１１）下面に、これを加熱する固定
した加熱手段（１６）を設け、 以上を具備していることを特徴とした回転テーブルへの
加熱構造。 - 【請求項２】 回転テーブル（１１）と、これを回転す
る回転手段（１３）を有して、この回転テーブル（１
１）を加熱する回転テーブルの構造において、 当該回転テーブル（１１）と加熱手段（１６）との間
に、当該回転テーブル（１１）の回転に支障を与えずに
加熱手段（１６）からの熱を当該回転テーブル（１１）
に伝える伝熱媒体を設け、 当該伝熱媒体を収容する構造を回転テーブル（１１）と
相対するテーブル受け（１７）に形成し、 当該伝熱媒体を加熱する固定した加熱手段（１６）を設
け、 以上を具備していることを特徴とした回転テーブルへの
加熱構造。 - 【請求項３】 回転テーブル（１１）と、これを回転す
る回転手段（１３）を有して、この回転テーブル（１
１）を冷却する回転テーブルの構造において、 当該回転テーブル（１１）を下降させて当該回転テーブ
ル（１１）下面を冷却手段に面接触させて熱伝導を与え
る上下駆動手段（１５）を設け、 当該回転テーブル（１１）下面に、これを冷却する固定
した冷却手段を設け、 以上を具備していることを特徴とした回転テーブルへの
冷却構造。 - 【請求項４】 回転テーブル（１１）と、これを回転す
る回転手段（１３）を有して、この回転テーブル（１
１）を冷却する回転テーブルの構造において、 当該回転テーブル（１１）と冷却手段との間に、当該回
転テーブル（１１）の回転に支障を与えずに冷却手段か
らの熱を当該回転テーブル（１１）に伝える伝熱媒体を
設け、 当該伝熱媒体を収容する構造を回転テーブル（１１）と
相対するテーブル受け（１７）に形成し、 当該伝熱媒体を冷却する固定した冷却手段を設け、 以上を具備していることを特徴とした回転テーブルへの
冷却構造。 - 【請求項５】 請求項２、請求項４記載の伝熱媒体とし
て、 伝熱用液体を使用し、回転テーブル（１１）と相対する
テーブル受け（１７）間をシールするＯリング（３２）
を設け、 以上を具備していることを特徴とした回転テーブルへの
加熱構造及び冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26822894A JPH08103672A (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | 回転テーブルへの加熱構造及び冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26822894A JPH08103672A (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | 回転テーブルへの加熱構造及び冷却構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08103672A true JPH08103672A (ja) | 1996-04-23 |
Family
ID=17455697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26822894A Pending JPH08103672A (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | 回転テーブルへの加熱構造及び冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08103672A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160149865A (ko) * | 2015-06-19 | 2016-12-28 | 재단법인대구경북과학기술원 | 탈부착형 저온 시약 보관 자켓을 이용한 시약 교체 장치 |
| WO2017085472A1 (en) * | 2015-11-16 | 2017-05-26 | Mast Group Limited | Apparatus for conducting an assay |
-
1994
- 1994-10-06 JP JP26822894A patent/JPH08103672A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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