JPH0810010B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
- Publication number
- JPH0810010B2 JPH0810010B2 JP3001282A JP128291A JPH0810010B2 JP H0810010 B2 JPH0810010 B2 JP H0810010B2 JP 3001282 A JP3001282 A JP 3001282A JP 128291 A JP128291 A JP 128291A JP H0810010 B2 JPH0810010 B2 JP H0810010B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- permanent magnets
- magnetic bearing
- passive
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C39/00—Relieving load on bearings
- F16C39/06—Relieving load on bearings using magnetic means
- F16C39/063—Permanent magnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/041—Passive magnetic bearings with permanent magnets on one part attracting the other part
- F16C32/0417—Passive magnetic bearings with permanent magnets on one part attracting the other part for axial load mainly
- F16C32/0419—Passive magnetic bearings with permanent magnets on one part attracting the other part for axial load mainly with facing radial projections
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【０００１】
【産業用の利用分野】本発明は、完全に非接触で回転体
を支持する回転機械用の磁気軸受装置に関する。
を支持する回転機械用の磁気軸受装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気軸受装置は、非接触で回転体を支持
する回転体支持機構の代表的なものである。そして、所
謂「２軸制御形」と呼ばれる磁気軸受装置は、ロータ及
び回転軸からなる回転部を、軸方向については受動安定
形磁気軸受で支持し、半径方向についてはその位置制御
を半径方向制御用電磁石で行う様に構成されているのが
一般的である。
する回転体支持機構の代表的なものである。そして、所
謂「２軸制御形」と呼ばれる磁気軸受装置は、ロータ及
び回転軸からなる回転部を、軸方向については受動安定
形磁気軸受で支持し、半径方向についてはその位置制御
を半径方向制御用電磁石で行う様に構成されているのが
一般的である。
【０００３】ここで、従来の受動安定形磁気軸受が図
８、図９に示されている。
８、図９に示されている。
【０００４】図８において、受動安定形磁気軸受４８は
同心に配置された２つのリング状の永久磁石５０、５２
を含み、該永久磁石の上方及び下方にはリング状の磁性
材料５４、５６、５８、６０がそれぞれ取り付けられて
いる。ここで、該リング状の磁性材料はケイ素鋼板の様
な強磁性体であり、磁性材料５４、５８と磁性材料５
６、６０とがそれぞれ同心に配置されている。なお、永
久磁石５０、５２内に示された矢印は、該永久磁石の極
性を示している。
同心に配置された２つのリング状の永久磁石５０、５２
を含み、該永久磁石の上方及び下方にはリング状の磁性
材料５４、５６、５８、６０がそれぞれ取り付けられて
いる。ここで、該リング状の磁性材料はケイ素鋼板の様
な強磁性体であり、磁性材料５４、５８と磁性材料５
６、６０とがそれぞれ同心に配置されている。なお、永
久磁石５０、５２内に示された矢印は、該永久磁石の極
性を示している。
【０００５】軸方向の支持に際しては、図９において２
点鎖線及び符号φで代表して示す様な磁束が発生する。
そして該磁束φにおける磁気的な作用（吸引力）によ
り、永久磁石５０、磁性材料５４、５６から成るユニッ
トＵ１と、永久磁石５２、磁性材料５８、６０から成る
ユニットＵ２との相対位置が、軸方向Ｚへ変位するのを
防止している。
点鎖線及び符号φで代表して示す様な磁束が発生する。
そして該磁束φにおける磁気的な作用（吸引力）によ
り、永久磁石５０、磁性材料５４、５６から成るユニッ
トＵ１と、永久磁石５２、磁性材料５８、６０から成る
ユニットＵ２との相対位置が、軸方向Ｚへ変位するのを
防止している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図８、９で示
す従来の受動安定形磁気軸受においては、半径方向の剛
性Ｋruに比較して軸方向の剛性ＫZ が小さいという問題
があった。より具体的に述べると従来技術においてはＫ
Z ／Ｋruが通常は０．２前後であり、最大でも０．５
（推定）程度であった。そのため、比較的大きな受動安
定剛性を得るためには、それ以上に大きな不安定剛性を
安定化させる必要があった。これに対して、実願昭４８
−４３６２号（実開昭４９−１０４５３６号）のマイク
ロフィルムには、リング状の磁性材料をリング状の永久
磁石で挟み込んで構成した磁気軸受において、永久磁石
が軸方向に着磁しており、対向する永久磁石の極性が異
なる旨が開示されている。また、特開昭６２−２７０８
２４号公報では、半径方向の空間に相互に間隔を設けて
突出している磁性材料を備えた磁気軸受が開示されてい
る。しかし、特開昭６２−２７０８２４号公報の磁気軸
受に実願昭４８−４３６２号（実開昭４９−１０４５３
６号）のマイクロフィルムの技術を適用したとしても、
磁気軸受で支持されている回転軸が歳差運動を生じる等
により傾いてしまった場合には、何等対処することが出
来ない、という問題が生じる。さらに、永久磁石を用い
た場合には、半径方向に不平衡力が発生するが、特開昭
６２−２７０８２４号公報の磁気軸受や、実願昭４８−
４３６２号（実開昭４９−１０４５３６号）のマイクロ
フィルムの技術では、その様な不平衡力に打ち勝つこと
が出来ないので、回転軸が傾斜して回転体が中心位置に
保持出来ないのである。
す従来の受動安定形磁気軸受においては、半径方向の剛
性Ｋruに比較して軸方向の剛性ＫZ が小さいという問題
があった。より具体的に述べると従来技術においてはＫ
Z ／Ｋruが通常は０．２前後であり、最大でも０．５
（推定）程度であった。そのため、比較的大きな受動安
定剛性を得るためには、それ以上に大きな不安定剛性を
安定化させる必要があった。これに対して、実願昭４８
−４３６２号（実開昭４９−１０４５３６号）のマイク
ロフィルムには、リング状の磁性材料をリング状の永久
磁石で挟み込んで構成した磁気軸受において、永久磁石
が軸方向に着磁しており、対向する永久磁石の極性が異
なる旨が開示されている。また、特開昭６２−２７０８
２４号公報では、半径方向の空間に相互に間隔を設けて
突出している磁性材料を備えた磁気軸受が開示されてい
る。しかし、特開昭６２−２７０８２４号公報の磁気軸
受に実願昭４８−４３６２号（実開昭４９−１０４５３
６号）のマイクロフィルムの技術を適用したとしても、
磁気軸受で支持されている回転軸が歳差運動を生じる等
により傾いてしまった場合には、何等対処することが出
来ない、という問題が生じる。さらに、永久磁石を用い
た場合には、半径方向に不平衡力が発生するが、特開昭
６２−２７０８２４号公報の磁気軸受や、実願昭４８−
４３６２号（実開昭４９−１０４５３６号）のマイクロ
フィルムの技術では、その様な不平衡力に打ち勝つこと
が出来ないので、回転軸が傾斜して回転体が中心位置に
保持出来ないのである。
【０００７】本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑
みて提案されたものであり、ＫZ ／Ｋruが略々１以上と
なり、且つ、回転軸が傾いてしまった場合にも対処する
ことが出来る様な回転機械用の磁気軸受装置の提供を目
的としている。
みて提案されたものであり、ＫZ ／Ｋruが略々１以上と
なり、且つ、回転軸が傾いてしまった場合にも対処する
ことが出来る様な回転機械用の磁気軸受装置の提供を目
的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者は種々研究活動
の結果、以下の事実を発見した。すなわち、対向する永
久磁石及び磁性材料で構成される磁気回路において磁性
材料間の磁束密度を飽和させれば、半径方向の剛性と軸
方向の剛性との比ＫZ ／Ｋruが略々１．０以上となるこ
とを見出した。同時に、ロータの重心と、軸受の磁気中
心との位置関係を調節することにより、回転軸が傾いた
場合にも対処することが出来ることを見出だした。
の結果、以下の事実を発見した。すなわち、対向する永
久磁石及び磁性材料で構成される磁気回路において磁性
材料間の磁束密度を飽和させれば、半径方向の剛性と軸
方向の剛性との比ＫZ ／Ｋruが略々１．０以上となるこ
とを見出した。同時に、ロータの重心と、軸受の磁気中
心との位置関係を調節することにより、回転軸が傾いた
場合にも対処することが出来ることを見出だした。
【０００９】上記した様な事情に基き、本発明の磁気軸
受装置は、ロータ及び回転軸からなる回転部と、該ロー
タ及び軸の間に位置する固定部とを含む回転機械の前記
回転部を軸方向に受動安定形磁気軸受で支持すると共
に、半径方向の位置制御を半径方向制御用電磁石で行う
回転機械の磁気軸受装置において、前記受動安定形磁気
軸受は、軸方向に着磁したリング状の永久磁石で磁性材
料を挟持して構成され、該磁性材料を挟んで隣り合う永
久磁石の磁極が互いに反発する様に該永久磁石を軸方向
に配置し、前記回転部側及び固定部側の前記磁性材料は
互いに吸引するように配置され且つ前記回転部側及び固
定部側の前記永久磁石の間の半径方向の空間に相互に間
隔を設けて突出しており、前記受動形磁気軸受の軸方向
磁気中心と半径方向制御用電磁石の軸方向磁気中心とが
一致しており、ロータの重心は該一致している磁気中心
よりも回転軸方向上方に偏寄している。
受装置は、ロータ及び回転軸からなる回転部と、該ロー
タ及び軸の間に位置する固定部とを含む回転機械の前記
回転部を軸方向に受動安定形磁気軸受で支持すると共
に、半径方向の位置制御を半径方向制御用電磁石で行う
回転機械の磁気軸受装置において、前記受動安定形磁気
軸受は、軸方向に着磁したリング状の永久磁石で磁性材
料を挟持して構成され、該磁性材料を挟んで隣り合う永
久磁石の磁極が互いに反発する様に該永久磁石を軸方向
に配置し、前記回転部側及び固定部側の前記磁性材料は
互いに吸引するように配置され且つ前記回転部側及び固
定部側の前記永久磁石の間の半径方向の空間に相互に間
隔を設けて突出しており、前記受動形磁気軸受の軸方向
磁気中心と半径方向制御用電磁石の軸方向磁気中心とが
一致しており、ロータの重心は該一致している磁気中心
よりも回転軸方向上方に偏寄している。
【００１０】ここで前記受動形磁気軸受は、回転部分及
び固定部分のいずれについても、軸方向に着磁したリン
グ状の永久磁石で磁性材料を挟持して構成され、該磁性
材料を挟んで隣り合う永久磁石の磁極が互いに反発する
様に該永久磁石を軸方向に配置したタイプのものを用い
ても良い。或いは、回転部分または固定部分のいずれか
一方については、強磁性体製のリング状磁性材料で構成
したタイプのものを用いても良い。
び固定部分のいずれについても、軸方向に着磁したリン
グ状の永久磁石で磁性材料を挟持して構成され、該磁性
材料を挟んで隣り合う永久磁石の磁極が互いに反発する
様に該永久磁石を軸方向に配置したタイプのものを用い
ても良い。或いは、回転部分または固定部分のいずれか
一方については、強磁性体製のリング状磁性材料で構成
したタイプのものを用いても良い。
【００１１】換言すれば、リング状をした磁性材料をリ
ング状をした永久磁石で挟み込んで構成したユニットを
同心にて対向せしめて配置しても良いが、リング状をし
た対向する磁性材料のいずれか一方、すなわち支持側或
いは被支持側のいずれか一方の磁性材料はその横断面が
概略コ字状をしており、該磁性材料は永久磁石に挟み込
まれてはいない様に構成しても良い。
ング状をした永久磁石で挟み込んで構成したユニットを
同心にて対向せしめて配置しても良いが、リング状をし
た対向する磁性材料のいずれか一方、すなわち支持側或
いは被支持側のいずれか一方の磁性材料はその横断面が
概略コ字状をしており、該磁性材料は永久磁石に挟み込
まれてはいない様に構成しても良い。
【００１２】本発明の実施に際して、上記半径方向制御
用電磁石の固定部側に設けたコイルの回転軸方向両側に
は、回転部の回転軸との間の間隔を介して回転部の半径
方向及び傾き位置を検出する非接触式の半径方向及び傾
き位置検出器を設けて制御装置に接続し、その制御装置
にコイルを接続し、前記検出器からの検出信号に基づき
制御装置でコイルの励磁電流を制御して回転部の半径方
向及び傾き位置を補正するように制御をするのが好まし
い。
用電磁石の固定部側に設けたコイルの回転軸方向両側に
は、回転部の回転軸との間の間隔を介して回転部の半径
方向及び傾き位置を検出する非接触式の半径方向及び傾
き位置検出器を設けて制御装置に接続し、その制御装置
にコイルを接続し、前記検出器からの検出信号に基づき
制御装置でコイルの励磁電流を制御して回転部の半径方
向及び傾き位置を補正するように制御をするのが好まし
い。
【００１３】また、モータは、半径方向制御用電磁石の
固定部基部側に設けるのが好ましいが、回転部の固定部
基部に対向する側の回転軸心又は回転部の外周側などに
任意に設けることができる。
固定部基部側に設けるのが好ましいが、回転部の固定部
基部に対向する側の回転軸心又は回転部の外周側などに
任意に設けることができる。
【００１４】さらに、回転部回転軸の固定部基部側及び
基部に対向する固定部側に、それぞれ非常用軸受を設け
るのが好ましい。
基部に対向する固定部側に、それぞれ非常用軸受を設け
るのが好ましい。
【００１５】前記受動形磁気軸受の構成について、さら
に詳細に説明すると、ロータ及び回転軸からなる回転部
と、該ロータと回転軸との間に位置する固定部との間に
配置され、該固定部に対して前記回転部を軸方向に支持
する受動安定形磁気軸受において、リング状をした磁性
材料をリング状をした永久磁石で挟み込んで構成し、磁
性材料を介装した状態で隣接する永久磁石は軸方向に着
磁しており、その磁極が相互に反発し合う様に該永久磁
石を配置し、以て磁性材料間の磁束密度を飽和状態とす
る様になっているのが好ましい。
に詳細に説明すると、ロータ及び回転軸からなる回転部
と、該ロータと回転軸との間に位置する固定部との間に
配置され、該固定部に対して前記回転部を軸方向に支持
する受動安定形磁気軸受において、リング状をした磁性
材料をリング状をした永久磁石で挟み込んで構成し、磁
性材料を介装した状態で隣接する永久磁石は軸方向に着
磁しており、その磁極が相互に反発し合う様に該永久磁
石を配置し、以て磁性材料間の磁束密度を飽和状態とす
る様になっているのが好ましい。
【００１６】ここで、前記したリング状の磁性材料及び
永久磁石としては、それ自体がリング状をしているもの
のみならず、分割したものをリング状に配置した磁性材
料及び永久磁石をも包含する趣旨である。
永久磁石としては、それ自体がリング状をしているもの
のみならず、分割したものをリング状に配置した磁性材
料及び永久磁石をも包含する趣旨である。
【００１７】さらに、リング状をした磁性材料を複数備
え、該磁性材料の各々が永久磁石で挟み込まれている様
に構成して、複数層の磁性材料及び永久磁石が積層され
るのが好ましい。
え、該磁性材料の各々が永久磁石で挟み込まれている様
に構成して、複数層の磁性材料及び永久磁石が積層され
るのが好ましい。
【００１８】また、前記永久磁石及び磁性材料を複数積
層した積層体の少なくとも被支持側の上方及び下方に、
良導電体から成る部材を設けると好ましい。但、この良
導電体から成る部材を設けないで構成することも可能で
ある。
層した積層体の少なくとも被支持側の上方及び下方に、
良導電体から成る部材を設けると好ましい。但、この良
導電体から成る部材を設けないで構成することも可能で
ある。
【００１９】
【作用】上述した様な構成を有する本発明の磁気軸受装
置によれば、磁気軸受の半径方向作用力の回転軸方向中
心をロータの重心から軸方向に偏寄して配置してあるの
で、歳差運動等により半径方向以外の回転体回転軸の傾
きが発生しても、それに対向して、該回転軸の傾きを減
衰させる様な力を発生させることができる。そして、受
動形磁気軸受の軸方向磁気中心と半径方向制御用電磁石
の軸方向磁気中心とが一致しているので、永久磁石によ
る半径方向の不平衡力に打ち勝つ電磁力を電磁石で発生
させることにより、回転体を中心（中立）位置に保持す
ることが出来る。
置によれば、磁気軸受の半径方向作用力の回転軸方向中
心をロータの重心から軸方向に偏寄して配置してあるの
で、歳差運動等により半径方向以外の回転体回転軸の傾
きが発生しても、それに対向して、該回転軸の傾きを減
衰させる様な力を発生させることができる。そして、受
動形磁気軸受の軸方向磁気中心と半径方向制御用電磁石
の軸方向磁気中心とが一致しているので、永久磁石によ
る半径方向の不平衡力に打ち勝つ電磁力を電磁石で発生
させることにより、回転体を中心（中立）位置に保持す
ることが出来る。
【００２０】また、受動安定形回転軸方向磁気軸受は吸
引形であるため、回転軸の傾きに対してこれを引き戻そ
うとする力も発生する。この際、傾きに対する剛性を確
保する上で受動安定形磁気軸受の半径方向位置をできる
だけ回転軸中心から離すことが望ましい。したがって、
半径方向制御用電磁石の発生する力を、ロータの傾きの
情報を取り入れるなどして適切に制御することにより、
振れ（すなわち歳差運動）をも好適に制御することがで
きる。
引形であるため、回転軸の傾きに対してこれを引き戻そ
うとする力も発生する。この際、傾きに対する剛性を確
保する上で受動安定形磁気軸受の半径方向位置をできる
だけ回転軸中心から離すことが望ましい。したがって、
半径方向制御用電磁石の発生する力を、ロータの傾きの
情報を取り入れるなどして適切に制御することにより、
振れ（すなわち歳差運動）をも好適に制御することがで
きる。
【００２１】回転体が歳差運動をすると、回転体回転軸
はより倒れる方向に不安定な状態になる。この際、受動
安定形磁気軸受は吸引形であり、かつ、回転体の回転軸
から離れているので、回転体の回転軸の傾きを中立位置
に引き戻す力を発生する。そのため、歳差運動を生じた
としても増幅される事無く、中立位置すなわち歳差運動
が生じていない状態へ容易に復帰出来るのである。
はより倒れる方向に不安定な状態になる。この際、受動
安定形磁気軸受は吸引形であり、かつ、回転体の回転軸
から離れているので、回転体の回転軸の傾きを中立位置
に引き戻す力を発生する。そのため、歳差運動を生じた
としても増幅される事無く、中立位置すなわち歳差運動
が生じていない状態へ容易に復帰出来るのである。
【００２２】また、制御装置は位置検出器からの信号に
基づき、半径方向制御用電磁石のコイルの励磁電流を制
御し、回転体が傾くことによって回転体と制御磁極が離
れた方の磁気吸引力を増加して、回転軸を中立位置に戻
す様に作用している。
基づき、半径方向制御用電磁石のコイルの励磁電流を制
御し、回転体が傾くことによって回転体と制御磁極が離
れた方の磁気吸引力を増加して、回転軸を中立位置に戻
す様に作用している。
【００２３】本発明で用いられている受動安定形磁気軸
受を、軸方向に着磁したリング状の永久磁石で磁性材料
を挟持して構成され、該磁性材料を挟んで隣り合う永久
磁石の磁極が互いに反発する様に該永久磁石を軸方向に
配置して構成すれば、磁性材料の内部及び対向する磁性
材料間の空間にはそれを挟み込んでいる上下２個の永久
磁石の磁束が通過する。そのため、磁性材料の内部及び
該空間の磁束密度は、従来の受動安定形磁気軸受におけ
る磁性材料間の磁束密度よりも遥かに高くなり、容易に
飽和状態となるのである。
受を、軸方向に着磁したリング状の永久磁石で磁性材料
を挟持して構成され、該磁性材料を挟んで隣り合う永久
磁石の磁極が互いに反発する様に該永久磁石を軸方向に
配置して構成すれば、磁性材料の内部及び対向する磁性
材料間の空間にはそれを挟み込んでいる上下２個の永久
磁石の磁束が通過する。そのため、磁性材料の内部及び
該空間の磁束密度は、従来の受動安定形磁気軸受におけ
る磁性材料間の磁束密度よりも遥かに高くなり、容易に
飽和状態となるのである。
【００２４】そして磁気的に飽和することにより、軸方
向の剛性と半径方向の剛性との比ＫZ ／Ｋruが略々１．
０以上となる。その結果として、受動安定剛性ＫZ に比
較して、非常に大きな不安定剛性Ｋruを生じない機構と
なる。
向の剛性と半径方向の剛性との比ＫZ ／Ｋruが略々１．
０以上となる。その結果として、受動安定剛性ＫZ に比
較して、非常に大きな不安定剛性Ｋruを生じない機構と
なる。
【００２５】同様な現象は、支持側或いは被支持側のい
ずれか一方をリング状をした２層の磁性材料をリング状
をした３層の永久磁石で挟み込んで多層体に積層し、支
持側或いは被支持側の他方の磁性材料を断面コ字状に形
成しても発生する。この様に構成すれば、断面コ字状の
磁性材料の側にリング状の永久磁石を設けなくても良く
なる。
ずれか一方をリング状をした２層の磁性材料をリング状
をした３層の永久磁石で挟み込んで多層体に積層し、支
持側或いは被支持側の他方の磁性材料を断面コ字状に形
成しても発生する。この様に構成すれば、断面コ字状の
磁性材料の側にリング状の永久磁石を設けなくても良く
なる。
【００２６】さらに、リング状をした磁性材料を複数備
え、該磁性材料の各々が永久磁石で挟み込まれる様に構
成すれば、磁束密度が飽和状態となっている磁性材料及
び対向する磁性材料間の空間が増加するので、軸方向の
剛性がさらに向上する。
え、該磁性材料の各々が永久磁石で挟み込まれる様に構
成すれば、磁束密度が飽和状態となっている磁性材料及
び対向する磁性材料間の空間が増加するので、軸方向の
剛性がさらに向上する。
【００２７】これに加えて、支持側或いは被支持側の複
数積層した永久磁石の上方及び下方に、良導電体から成
る部材を設ければ、軸方向や半径方向軸まわりの運動に
対しての減衰力が得られる。
数積層した永久磁石の上方及び下方に、良導電体から成
る部材を設ければ、軸方向や半径方向軸まわりの運動に
対しての減衰力が得られる。
【００２８】
【実施例】以下、図１〜７を参照しつつ本発明の実施例
について説明する。なお、図８、９と同一の部材には同
一の符号が付されている。
について説明する。なお、図８、９と同一の部材には同
一の符号が付されている。
【００２９】図１は、本発明において好適に用いられる
受動安定形磁気軸受を示している。全体を符号２０で示
す受動安定形磁気軸受は、回転体（図１では図示せず）
側のＳｍ−Ｃｏ系或いはＮｄ−Ｆｅ系の永久磁石１、２
と固定体側の永久磁石４、５は、それぞれリング状に形
成され、回転軸Ｚ方向に着磁されている。
受動安定形磁気軸受を示している。全体を符号２０で示
す受動安定形磁気軸受は、回転体（図１では図示せず）
側のＳｍ−Ｃｏ系或いはＮｄ−Ｆｅ系の永久磁石１、２
と固定体側の永久磁石４、５は、それぞれリング状に形
成され、回転軸Ｚ方向に着磁されている。
【００３０】これら永久磁石１、２は強磁性体（例えば
珪素或いは鋼板）製のリング状の磁性材料７を上下から
挟み込み、永久磁石４、５は強磁性体製のリング状の磁
性材料９を上下から挟み込んである。そして、永久磁石
１、２及び４、５は、それぞれ磁性材料７、９を挟んで
互いに反発するように磁極が配置されている。
珪素或いは鋼板）製のリング状の磁性材料７を上下から
挟み込み、永久磁石４、５は強磁性体製のリング状の磁
性材料９を上下から挟み込んである。そして、永久磁石
１、２及び４、５は、それぞれ磁性材料７、９を挟んで
互いに反発するように磁極が配置されている。
【００３１】回転体側の永久磁石１、２と固定体（図１
では図示せず）側の永久磁石４、５とは、互いに吸引す
るように磁極が配置されており、磁性材料７、９は、永
久磁石１、２と永久磁石４、５との間の半径方向Ｒの空
間に相互に間隔を設けて突出されている。
では図示せず）側の永久磁石４、５とは、互いに吸引す
るように磁極が配置されており、磁性材料７、９は、永
久磁石１、２と永久磁石４、５との間の半径方向Ｒの空
間に相互に間隔を設けて突出されている。
【００３２】永久磁石１、２、４、５の厚さ寸法（軸方
向Ｚ寸法）は同一であり、符号ｔ1で示されている。一
方、磁性材料７、９の厚さ方向寸法も同一で、符号ｔ2
で示されている。
向Ｚ寸法）は同一であり、符号ｔ1で示されている。一
方、磁性材料７、９の厚さ方向寸法も同一で、符号ｔ2
で示されている。
【００３３】図１から明らかなように、永久磁石１、２
と永久磁石４、５とは、極性（永久磁石内の矢印により
表示）が異なっている。また、対向する磁性材料７、９
の間隔は、符号ｇ0 で示されている。さらに磁性材料
７、９は永久磁石１、２、４、５に対して、相互に向い
合う様に寸法βだけ突出している。
と永久磁石４、５とは、極性（永久磁石内の矢印により
表示）が異なっている。また、対向する磁性材料７、９
の間隔は、符号ｇ0 で示されている。さらに磁性材料
７、９は永久磁石１、２、４、５に対して、相互に向い
合う様に寸法βだけ突出している。
【００３４】このように配置することにより、回転体と
固定体との半径方向位置が同心状となる様に半径方向の
磁力が釣り合うと共に、回転軸方向には磁性材料７、９
及び８、１０とに集中した磁束により吸引力が発生す
る。その結果、回転体の回転軸方向の荷重を支持するこ
とができる。
固定体との半径方向位置が同心状となる様に半径方向の
磁力が釣り合うと共に、回転軸方向には磁性材料７、９
及び８、１０とに集中した磁束により吸引力が発生す
る。その結果、回転体の回転軸方向の荷重を支持するこ
とができる。
【００３５】図２を参照してさらに詳細に述べると、永
久磁石１、磁性材料７、磁性材料９、永久磁石４により
構成される第１の磁気回路内を流れる磁束は符号φ1 で
示されており、永久磁石２、磁性材料５、磁性材料９、
永久磁石７により構成される第２の磁気回路内を流れる
磁束は符号φ2 で示されている。そして、磁性材料７、
９及び両者の間に存在する空間には、第１及び第２の磁
気回路を流れる磁束が共に通過しているため磁束密度が
高くなり、容易に飽和状態となる。このことは、図２と
図１０とを比較すれば容易に理解される。
久磁石１、磁性材料７、磁性材料９、永久磁石４により
構成される第１の磁気回路内を流れる磁束は符号φ1 で
示されており、永久磁石２、磁性材料５、磁性材料９、
永久磁石７により構成される第２の磁気回路内を流れる
磁束は符号φ2 で示されている。そして、磁性材料７、
９及び両者の間に存在する空間には、第１及び第２の磁
気回路を流れる磁束が共に通過しているため磁束密度が
高くなり、容易に飽和状態となる。このことは、図２と
図１０とを比較すれば容易に理解される。
【００３６】そして、磁性材料７、９間の磁束密度が飽
和状態になることから、図１、２で示す受動安定形磁気
軸受２０の軸方向Ｚの剛性ＫZ が向上するのである。
和状態になることから、図１、２で示す受動安定形磁気
軸受２０の軸方向Ｚの剛性ＫZ が向上するのである。
【００３７】図３は、図１、２で説明した軸受２０とは
異なるタイプの受動安定形磁気軸受を示している。全体
を符号２０Ａで示す受動安定形磁気軸受は、複数の磁性
材料７ａ〜７ｈが永久磁石１ａ〜１ｉと交互に積層さ
れ、磁性材料９ａ〜９ｈも永久磁石２ａ〜２ｉと交互に
積層されている。そして磁性材料７ａ〜７ｈと９ａ〜９
ｈ、及び永久磁石１ａ〜１ｉと２ａ〜２ｉは、同心状に
配置されている。
異なるタイプの受動安定形磁気軸受を示している。全体
を符号２０Ａで示す受動安定形磁気軸受は、複数の磁性
材料７ａ〜７ｈが永久磁石１ａ〜１ｉと交互に積層さ
れ、磁性材料９ａ〜９ｈも永久磁石２ａ〜２ｉと交互に
積層されている。そして磁性材料７ａ〜７ｈと９ａ〜９
ｈ、及び永久磁石１ａ〜１ｉと２ａ〜２ｉは、同心状に
配置されている。
【００３８】その様な構成を有する磁気軸受２０Ａにお
いては、磁性材料７ａ〜７ｈと９ａ〜９ｈ及び対向する
磁性材料間の空間は、図２に関連して説明した理由によ
り磁性密度が高くなり、容易に飽和状態となる。そのた
め、軸方向剛性が非常に高くなるのである。
いては、磁性材料７ａ〜７ｈと９ａ〜９ｈ及び対向する
磁性材料間の空間は、図２に関連して説明した理由によ
り磁性密度が高くなり、容易に飽和状態となる。そのた
め、軸方向剛性が非常に高くなるのである。
【００３９】さらに図３においては、最上層の永久磁石
１ａ、２ａの上方及び最下層の永久磁石１ｉ、２ｉの下
方には、良導電体から成る部材６６、６８、７０、７２
が設けられている。これにより、永久磁石１ａ、２ａの
上方及び最下層の永久磁石１ｉ、２ｉの下方から漏れ出
る磁束を利用し、軸方向や半径方向軸まわりの運動に対
しての減衰力を得ることが出来る。
１ａ、２ａの上方及び最下層の永久磁石１ｉ、２ｉの下
方には、良導電体から成る部材６６、６８、７０、７２
が設けられている。これにより、永久磁石１ａ、２ａの
上方及び最下層の永久磁石１ｉ、２ｉの下方から漏れ出
る磁束を利用し、軸方向や半径方向軸まわりの運動に対
しての減衰力を得ることが出来る。
【００４０】なお図１１で示す様に、良導電体から成る
部材を設けることなく、複数の磁性材料７ａ〜７ｈと永
久磁石１ａ〜１ｉとを交互に積層して構成しても良い。
部材を設けることなく、複数の磁性材料７ａ〜７ｈと永
久磁石１ａ〜１ｉとを交互に積層して構成しても良い。
【００４１】図４は、本発明の磁気軸受装置で好適に用
いられる受動安定形磁気軸受の第３のタイプを示してい
る。この第３のタイプに係る受動安定形磁気軸受は、全
体を符号２０Ｂで示しており、（図４では示されていな
い）固定体側の磁性材料９ａ、９ｂがそれぞれ永久磁石
２ａ、２ｂ、２ｃにより挟まれている。一方、（図４で
は示されていない）回転体側には永久磁石は設けられて
おらず、断面がコ字状をした磁性材料２９のみが設けら
れている。
いられる受動安定形磁気軸受の第３のタイプを示してい
る。この第３のタイプに係る受動安定形磁気軸受は、全
体を符号２０Ｂで示しており、（図４では示されていな
い）固定体側の磁性材料９ａ、９ｂがそれぞれ永久磁石
２ａ、２ｂ、２ｃにより挟まれている。一方、（図４で
は示されていない）回転体側には永久磁石は設けられて
おらず、断面がコ字状をした磁性材料２９のみが設けら
れている。
【００４２】この磁性材料２９は突出部７６、７８を有
しており、磁性材料９ａ、突出部７６、及びその間の空
間は符号φ３１、φ３２で示される磁束が通過し、磁性
材料９ｂ、突出部７８、及びその間の空間は符号φ３
２、φ３３で示される磁束が通過する。従って上述の第
１及び第２のタイプの受動安定形磁気軸受（図１〜３で
示すもの）と同様に、これ等の空間の磁束密度が飽和し
て、軸方向剛性が向上するのである。
しており、磁性材料９ａ、突出部７６、及びその間の空
間は符号φ３１、φ３２で示される磁束が通過し、磁性
材料９ｂ、突出部７８、及びその間の空間は符号φ３
２、φ３３で示される磁束が通過する。従って上述の第
１及び第２のタイプの受動安定形磁気軸受（図１〜３で
示すもの）と同様に、これ等の空間の磁束密度が飽和し
て、軸方向剛性が向上するのである。
【００４３】図６、図７は本発明の磁気軸受装置の実施
例を示しており、図１〜４に関連して説明した受動安定
形磁気軸受をターボ分子ポンプに適用した状態を示すも
のである。換言すれば、図６、７においては、本発明の
磁気軸受装置を適用するべき回転機械としてターボ分子
ポンプが用いられている。
例を示しており、図１〜４に関連して説明した受動安定
形磁気軸受をターボ分子ポンプに適用した状態を示すも
のである。換言すれば、図６、７においては、本発明の
磁気軸受装置を適用するべき回転機械としてターボ分子
ポンプが用いられている。
【００４４】ここで、図５はターボ分子ポンプに組み込
まれる受動安定形磁気軸受２０Ｃを示している。この軸
受２０Ｃでは回転体側も固定体側もリング状をした２層
の磁性材料をリング状をした３層の永久磁石で挟み込ん
で多層体に積層してある。その作用については上述した
のと同様である。
まれる受動安定形磁気軸受２０Ｃを示している。この軸
受２０Ｃでは回転体側も固定体側もリング状をした２層
の磁性材料をリング状をした３層の永久磁石で挟み込ん
で多層体に積層してある。その作用については上述した
のと同様である。
【００４５】
【００４６】図６は本発明の磁気軸受装置（回転機械と
してターボ分子ポンプを用いているもの）の他の実施例
を示している。図６で示すターボ分子ポンプにおいて
は、ロータすなわち羽根車２２の回転軸部２３は、固定
部２５の筒部２６に同心に収められ、筒部２６の上部と
下部とには、それぞれ非常用軸受２８ａ、２８ｂが常時
は対向する側に非接触に設けられ、筒部２６と回転軸部
２３との間には、モータ２４が設けられている。
してターボ分子ポンプを用いているもの）の他の実施例
を示している。図６で示すターボ分子ポンプにおいて
は、ロータすなわち羽根車２２の回転軸部２３は、固定
部２５の筒部２６に同心に収められ、筒部２６の上部と
下部とには、それぞれ非常用軸受２８ａ、２８ｂが常時
は対向する側に非接触に設けられ、筒部２６と回転軸部
２３との間には、モータ２４が設けられている。
【００４７】また、羽根車２２と筒部２６との間のモー
タ２４の上方には、受動安定形磁気軸受２０が設けら
れ、筒部２６と回転軸部２３との間のモータ２４の上方
には、半径方向制御用電磁石２１が設けられている。そ
して、受動安定形磁気軸受２０の回転軸方向磁気中心す
なわち回転軸方向積層厚さの中心と、半径方向制御用電
磁石２１の回転軸方向磁気中心すなわち磁性材料の回転
軸方向厚さの中心とは、中心Ｃにおいて一致されている
と共に、羽根車２２の重心Ｇは、中心Ｃより回転軸方向
上方に偏倚量Ｅだけ偏倚されている。
タ２４の上方には、受動安定形磁気軸受２０が設けら
れ、筒部２６と回転軸部２３との間のモータ２４の上方
には、半径方向制御用電磁石２１が設けられている。そ
して、受動安定形磁気軸受２０の回転軸方向磁気中心す
なわち回転軸方向積層厚さの中心と、半径方向制御用電
磁石２１の回転軸方向磁気中心すなわち磁性材料の回転
軸方向厚さの中心とは、中心Ｃにおいて一致されている
と共に、羽根車２２の重心Ｇは、中心Ｃより回転軸方向
上方に偏倚量Ｅだけ偏倚されている。
【００４８】上部の非常用軸受２８ａの下方と、下部の
非常用軸受２８ｂの上方との筒部２６には、それぞれ非
接触センサで構成された半径方向及び傾き位置検出器２
７ａ、２７ｂが設けられ、それぞれ制御装置４０に接続
されている。そして、制御装置４０には半径方向制御用
電磁石２１に円周等配に配置された複数のコイル２１ａ
が接続されている。
非常用軸受２８ｂの上方との筒部２６には、それぞれ非
接触センサで構成された半径方向及び傾き位置検出器２
７ａ、２７ｂが設けられ、それぞれ制御装置４０に接続
されている。そして、制御装置４０には半径方向制御用
電磁石２１に円周等配に配置された複数のコイル２１ａ
が接続されている。
【００４９】図６で示す実施例において、羽根車２２に
歳差運動が発生すると、羽根車２２の重心は中心Ｃより
回転軸方向上方に偏倚量Ｅだけ偏倚しているので、回転
軸部２３はより倒れる方向に不安定な状態になる。
歳差運動が発生すると、羽根車２２の重心は中心Ｃより
回転軸方向上方に偏倚量Ｅだけ偏倚しているので、回転
軸部２３はより倒れる方向に不安定な状態になる。
【００５０】その様な不安定な状態になると、受動安定
形磁気軸受２０は吸引形であり、且つ、回転軸部２３の
中心から図示のように離れた位置に配置されているの
で、回転軸部２３の傾きを中立位置に引き戻そうとする
力を発生する。
形磁気軸受２０は吸引形であり、且つ、回転軸部２３の
中心から図示のように離れた位置に配置されているの
で、回転軸部２３の傾きを中立位置に引き戻そうとする
力を発生する。
【００５１】更に、位置検出器２７ａ、２７ｂが回転軸
部２３の傾きを検出すると、制御装置４０はこれら位置
検出器２７ａ、２７ｂからの信号に基づき、傾きに対向
する側のコイル２１ａの励磁電流を制御し、磁気吸引力
を増加して回転軸部２３を中立位置に戻す。
部２３の傾きを検出すると、制御装置４０はこれら位置
検出器２７ａ、２７ｂからの信号に基づき、傾きに対向
する側のコイル２１ａの励磁電流を制御し、磁気吸引力
を増加して回転軸部２３を中立位置に戻す。
【００５２】図７は本発明のさらに別の実施例を示して
いる。図７で示す回転機械（ターボ分子ポンプ）では、
図５で示す受動安定形磁気軸受２０Ｃに代えて、図４で
示す受動安定形磁気軸受２０Ｂを用いている。この例で
は、羽根車２２側の永久磁石１〜３（図５）が遠心力に
より破壊することを防止することができる。この実施例
で用いられる磁気軸受は、図１の実施例に比べて磁束密
度が減少するため、回転軸方向剛性は若干低下するが、
羽根車２２の応力を低減することができる。
いる。図７で示す回転機械（ターボ分子ポンプ）では、
図５で示す受動安定形磁気軸受２０Ｃに代えて、図４で
示す受動安定形磁気軸受２０Ｂを用いている。この例で
は、羽根車２２側の永久磁石１〜３（図５）が遠心力に
より破壊することを防止することができる。この実施例
で用いられる磁気軸受は、図１の実施例に比べて磁束密
度が減少するため、回転軸方向剛性は若干低下するが、
羽根車２２の応力を低減することができる。
【００５３】なお、図６、７では回転機械としてターボ
分子ポンプを用いた場合について説明したが、例えばフ
ライホイール、ジャイロ等を用いても良い。
分子ポンプを用いた場合について説明したが、例えばフ
ライホイール、ジャイロ等を用いても良い。
【００５４】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、磁
気軸受の半径方向作用力の回転軸方向中心をロータの重
心から軸方向に偏寄して配置することにより、歳差運動
等による回転軸の傾きに対して、抑制力を発生させるこ
とができる。それと共に、永久磁石による半径方向の不
平衡力に打ち勝ち、回転体を中心位置に保持することが
出来る。
気軸受の半径方向作用力の回転軸方向中心をロータの重
心から軸方向に偏寄して配置することにより、歳差運動
等による回転軸の傾きに対して、抑制力を発生させるこ
とができる。それと共に、永久磁石による半径方向の不
平衡力に打ち勝ち、回転体を中心位置に保持することが
出来る。
【００５５】また、本発明において用いられる受動安定
形磁気軸受を、リング状をした磁性材料をリング状をし
た永久磁石で挟み込んで構成すれば、受動安定形磁気軸
受を構成する永久磁石からの磁束密度を飽和状態とし
て、該軸受の軸方向剛性を高めることが出来る。具体的
には、軸方向の剛性と半径方向の剛性との比ＫZ ／Ｋru
が略々１．０以上となる。
形磁気軸受を、リング状をした磁性材料をリング状をし
た永久磁石で挟み込んで構成すれば、受動安定形磁気軸
受を構成する永久磁石からの磁束密度を飽和状態とし
て、該軸受の軸方向剛性を高めることが出来る。具体的
には、軸方向の剛性と半径方向の剛性との比ＫZ ／Ｋru
が略々１．０以上となる。
【００５６】同様に、リング状をした磁性材料をリング
状をした永久磁石で挟み込んで受動安定形磁気軸受を構
成すれば、所定の軸方向剛性を有する受動安定形磁気軸
受を小形化することが出来る。この場合、永久磁石及び
磁性材料を複数層積層することにより、軸方向剛性をさ
らに向上させることが出来る。
状をした永久磁石で挟み込んで受動安定形磁気軸受を構
成すれば、所定の軸方向剛性を有する受動安定形磁気軸
受を小形化することが出来る。この場合、永久磁石及び
磁性材料を複数層積層することにより、軸方向剛性をさ
らに向上させることが出来る。
【００５７】さらに、リング状をした磁性材料をリング
状をした永久磁石で挟み込んで受動安定形磁気軸受を構
成すると共に、最上層の永久磁石の上方と最下層の永久
磁石の下方とに、銅或いはアルミウム等の良導電体から
成る部材を設ければ、永久磁石の上方及び下方から漏れ
出る磁束を利用し、軸方向や半径方向軸まわりの運動に
対して、減衰力を発生することができる。
状をした永久磁石で挟み込んで受動安定形磁気軸受を構
成すると共に、最上層の永久磁石の上方と最下層の永久
磁石の下方とに、銅或いはアルミウム等の良導電体から
成る部材を設ければ、永久磁石の上方及び下方から漏れ
出る磁束を利用し、軸方向や半径方向軸まわりの運動に
対して、減衰力を発生することができる。
【００５８】これに加えて、回転機械の回転体を２軸制
御すると同時に、磁気軸受を１個にして磁気軸受装置を
小型軽量化し、価格を低減することができる。
御すると同時に、磁気軸受を１個にして磁気軸受装置を
小型軽量化し、価格を低減することができる。
【図１】本発明で用いられる受動安定形磁気軸受の１例
を示す断面正面図。
を示す断面正面図。
【図２】図１で示す受動安定形磁気軸受の作用を示す断
面正面図。
面正面図。
【図３】本発明で用いられる受動安定形磁気軸受の別の
タイプの例を示す断面正面図。
タイプの例を示す断面正面図。
【図４】本発明で用いられる受動安定形磁気軸受のさら
に別の例を示す断面正面図。
に別の例を示す断面正面図。
【図５】本発明で用いられる受動安定形磁気軸受をター
ボ分子ポンプに組み込む状態を示す正面図。
ボ分子ポンプに組み込む状態を示す正面図。
【図６】本発明の別の実施例を示す図。
【図７】本発明の更に別の実施例を示す図。
【図８】従来の受動安定形磁気軸受を一部破断して示す
断面正面図。
断面正面図。
【図９】図８の軸受の作用を示す断面正面図。
【図１０】本発明で用いられる受動安定形磁気軸受のそ
の他の例を示す断面正面図。
の他の例を示す断面正面図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠崎 弘行 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 白尾 祐司 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 金光 陽一 神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号 株 式会社荏原総合研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−85216（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−270824（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−104536（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 ロータ及び回転軸からなる回転部と、該
ロータ及び軸の間に位置する固定部とを含む回転機械の
前記回転部を軸方向に受動安定形磁気軸受で支持すると
共に、半径方向の位置制御を半径方向制御用電磁石で行
う回転機械の磁気軸受装置において、前記受動安定形磁
気軸受は、軸方向に着磁したリング状の永久磁石で磁性
材料を挟持して構成され、該磁性材料を挟んで隣り合う
永久磁石の磁極が互いに反発する様に該永久磁石を軸方
向に配置し、前記回転部側及び固定部側の前記磁性材料
は互いに吸引するように配置され且つ前記回転部側及び
固定部側の前記永久磁石の間の半径方向の空間に相互に
間隔を設けて突出しており、前記受動形磁気軸受の軸方
向磁気中心と半径方向制御用電磁石の軸方向磁気中心と
が一致しており、ロータの重心は該一致している磁気中
心よりも回転軸方向上方に偏寄していることを特徴とす
る磁気軸受装置。 - 【請求項２】 前記受動形磁気軸受は回転部分または固
定部分のいずれか一方を強磁性体製のリング状磁性材料
で構成した請求項１、２のいずれかに記載の磁気軸受装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3001282A JPH0810010B2 (ja) | 1990-06-28 | 1991-01-10 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02168485 | 1990-06-28 | ||
| JP2-168485 | 1990-06-28 | ||
| JP3001282A JPH0810010B2 (ja) | 1990-06-28 | 1991-01-10 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185526A JPH06185526A (ja) | 1994-07-05 |
| JPH0810010B2 true JPH0810010B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=26334479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3001282A Expired - Fee Related JPH0810010B2 (ja) | 1990-06-28 | 1991-01-10 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810010B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19729191B4 (de) * | 1997-07-09 | 2008-01-10 | Oerlikon Textile Gmbh & Co. Kg | Offenend-Spinnvorrichtung mit einem Spinnrotor |
| DE102007059467B4 (de) * | 2007-12-11 | 2010-06-02 | Minebea Co., Ltd. | Magnetisches Axiallager |
| US8212444B2 (en) | 2007-12-11 | 2012-07-03 | Minebea Co., Ltd. | Magnetic axial bearing and a spindle motor having this kind of magnetic axial bearing |
| DE102008062679A1 (de) * | 2008-12-17 | 2010-06-24 | Minebea Co., Ltd. | Fluiddynamisches Lagersystem |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49104536U (ja) * | 1972-12-27 | 1974-09-07 | ||
| JPS6285216U (ja) * | 1985-11-20 | 1987-05-30 | ||
| JPS62270824A (ja) * | 1986-05-16 | 1987-11-25 | Natl Aerospace Lab | 軸方向剛性の高いラジアル制御型磁気軸受 |
-
1991
- 1991-01-10 JP JP3001282A patent/JPH0810010B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06185526A (ja) | 1994-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6657344B2 (en) | Passive magnetic bearing for a horizontal shaft | |
| US6727618B1 (en) | Bearingless switched reluctance motor | |
| JPH0495609A (ja) | スピンドル軸の軸受構造 | |
| JPS6146684B2 (ja) | ||
| JPH0810010B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH09303395A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH0783188A (ja) | 磁気懸垂式真空ポンプ | |
| JPS6146683B2 (ja) | ||
| JPH10131966A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| US6362549B1 (en) | Magnetic bearing device | |
| US20070132328A1 (en) | Actuator | |
| JPH08296645A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3757733B2 (ja) | 公転式アクチュエータ | |
| EP0049300A1 (en) | A magnetically suspended type momentum ring assembly | |
| JPH0946964A (ja) | 発電装置 | |
| JP2002257135A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH04290609A (ja) | 受動安定形磁気軸受 | |
| JPS6399742A (ja) | 磁気軸受一体型モ−タ | |
| JPH04219494A (ja) | 高速度回転真空ポンプの磁気軸受構造 | |
| JPH04244622A (ja) | 横置形回転機械用磁気軸受装置 | |
| JPH0510905B2 (ja) | ||
| JPH08219158A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP2766552B2 (ja) | 超電導軸受装置 | |
| JPS58137618A (ja) | 磁気軸受 | |
| JP2005016677A (ja) | アキシャル型磁気浮上回転機器及び遠心ポンプ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090131 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090131 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100131 Year of fee payment: 14 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |