JPH079579U - レーザ出射ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］モニタ用照明機能の小型軽量化および照明効率
の向上をはかる。 ［構成］レンズ保持体４０の回りには、周回方向に一定
の間隔で複数たとえば１２個のＬＥＤ（発光ダイオー
ド）９２が各発光面を被加工物Ｗに向けて配設されると
ともに、各ＬＥＤ９２より発光された可視光ＲＬを被加
工物Ｗ側へ拡散して透過せしめる環状の光拡散透過板９
８が取付されている。ＬＥＤ９２より赤色の可視光が光
拡散透過板９８を介して被加工物Ｗに照射される。被加
工物Ｗで反射した赤色の可視光は、赤色の波長に対して
色収差の補正を施しているｆθレンズ３６を透過し、赤
色の波長に対して反射コーティングを施しているＸ軸回
転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２で反射され、反
射ミラー４８および光学レンズ６２を通ってＣＣＤカメ
ラ５４の撮像面に結像する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、モニタ用の照明機能を備えたレーザ出射ユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

たとえば、スキャニング方式のレーザマーキング装置におけるレーザ出射ユニ ットでは、本体側のレーザ発振部からのレーザ光が所定のタイミングで入ってく る度にそれと同期してＸ軸オプティカル・スキャナおよびＹ軸オプティカル・ス キャナがそれぞれＸ軸回転ミラー、Ｙ軸回転ミラーを所定の角度で振ることによ り、被加工物（対称物）の表面に所望のパターン（文字、記号、図形等）でレー ザ光のビームスポットを集光照射して、マーキング加工を施すようにしている。

【０００３】 従来は、このようなマーキング加工の状況をモニタするため、本体側に、レー ザ発振部からのレーザ光を出射ユニット側へ向けて全反射し、かつ被加工物から レーザ出射ユニットを通ってきた可視光を透過させるミラーと、該ミラーを透過 した可視光を受けて被加工物を撮像するモニタカメラとを設けていた。そして、 レーザ出射ユニット側では、被加工物をはっきり撮像できるように、被加工物を 蛍光燈で照らして、被加工物よりモニタカメラへ与えられる可視光の光量を多く していた。従来より、この種の蛍光燈を一体に取付したレーザ出射ユニットが知 られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】

上記のように、レーザ出射ユニットに蛍光燈を取付すると、レーザ出射ユニッ トが嵩張って重くなり、レーザ出射口の向きを変えられるような首振り型のユニ ットに構成するのが難しかった。また、蛍光燈から照射される白色光は、レーザ 出射ユニット内のｆθレンズを透過する際、およびＸ軸回転ミラーおよびＹ軸回 転ミラーで反射する際に減衰しやすく、照明効率が低いという問題もあった。

【０００５】 本考案は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、小型軽量で照明効率の高い モニタ用の照明機能を有するレーザ出射ユニットを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記の目的を達成するために、本考案の第１のレーザ出射ユニットは、レーザ 発振部からのレーザ光を対称物側へ反射し、かつ前記対称物からの可視光を前記 レーザ光と同一の光軸上に反射するミラーと、前記被加工面に可視光を照射する ための発光ダイオードを有する照明手段とを具備する構成とした。

【０００７】 また、本考案の第２のレーザ出射ユニットは、レーザ発振部からのレーザ光を 対称物側へ反射し、かつ前記対称物からの可視光を前記レーザ光と同一の光軸上 に反射するミラーと、前記ミラーからの前記レーザ光を前記対称物の表面に集光 するための光学レンズを保持する筒状のレンズ保持体と、前記レンズ保持体の回 りに各々の発光面を前記対称物側に向けて周回方向に配置され、各々が可視光を 発光する複数の発光ダイオードを有する照明手段とを具備する構成とした。

【０００８】 本考案の第３のレーザ出射ユニットは、チャンバ型の光学部品取付体の室内に 配置され、レーザ発振部からのレーザ光を対称物側へ反射しかつ前記対称物から きた可視光を透過する第１のミラーと、前記光学部品取付体の室内に配置され、 前記第１のミラーからきた前記レーザ光を前記対称物に向けて反射しかつ前記対 称物からきた可視光を前記第１のミラーに向けて反射する第２のミラーと、前記 光学部品取付体に取付され、前記ミラーからの前記レーザ光を前記対称物の表面 に集光するための光学レンズを保持する筒状のレンズ保持体と、前記レンズ保持 体の回りに各々の発光面を前記対称物側に向けて周回方向に配置され、各々が可 視光を発光する複数の発光ダイオードを有する照明手段と、前記光学部品取付体 に取付され、前記第１のミラーを透過した前記可視光を受光するモニタカメラと を具備する構成とした。

【０００９】

【作用】 本考案では、レーザ出射ユニットに発光ダイオードを取付し、発光ダイオード によってモニタ用の可視光を被加工物に照射する。発光ダイオードは、発光面に 指向性があり、被加工物に向けて可視光を効率良く発光する。また、発光ダイオ ードは、小型軽量で、配列構成の自由度が大きく、たとえばレンズ保持体の回り に周回方向に配列することで、レーザ出射ユニットを嵩張らせることもなく、ユ ニットを首振り型にすることも容易である。

【００１０】

【実施例】

以下、添付図を参照して本考案の実施例を説明する。

【００１１】 図１は、本考案の一実施例によるレーザマーキング装置におけるレーザ出射ユ ニットの構成を示す断面図である。図２は、本レーザ出射ユニット内の光学部品 取付体の外観構成を示す斜視図である。

【００１２】 図１および図２において、この実施例によるレーザ出射ユニットは、筐体１０ を有し、円筒状の光路カバー１２を介して本体側のレーザ発振部（図示せず）と 接続されている。筐体１０内には、たとえばアルミニウムからなる堅牢な光学部 品取付体１４が収容されている。この光学部品取付体１４は、チャンバ型のオプ ティカル・スキャナ取付体１６とチャンバ型のレーザ光案内室１８とが一体に嵌 め込み結合されたものである。

【００１３】 オプティカル・スキャナ取付体１６の一側面（左側面）１６ａおよび上面１６ ｂには、Ｘ軸オプティカル・スキャナ２０およびＹ軸オプティカル・スキャナ２ ２が絶縁体たとえばガラスエポキシ樹脂からなる板片状の取付部材２４，２６を 介してそれぞれ壁面に垂直に取付固定される。Ｘ軸回転ミラー３０およびＹ軸回 転ミラー３２は、被加工物（対称物）Ｗに向けてレーザ光ＬＢをスキャニングす るレーザ走査部２８を構成するもので、本考案の第２のミラーを構成するもので もあり、オプティカル・スキャナ取付体１６の室内に配置され、室外のＸ軸オプ ティカル・スキャナ２０およびＹ軸オプティカル・スキャナ２２のミラー回転駆 動軸にそれぞれ結合されている。

【００１４】 オプティカル・スキャナ取付体１６の他方の側面（右側面）１６ｃには、レー ザ光案内室１８からのレーザ光ＬＢを室内のレーザ走査部２８へ通し入れるため のレーザ光入口３４が設けられている。また、オプティカル・スキャナ取付体１ ６の下面１６ｄには、レーザ走査部２８で反射したレーザ光ＬＢを後述する室外 のｆθレンズ３６側へ出すためのレーザ光出口３８が設けられている。このレー ザ光出口３８の外側（下側）の開口部１６ｅには円筒状のレンズ保持体４０を着 脱可能に螺着取付するための雌螺子が形成されている。

【００１５】 図２において、オプティカル・スキャナ取付体１６の正面はほぼ全面にわたっ て開口されており、この開口に密閉板４２がボルト４４によって着脱可能に取付 される。この密閉板４２は、レーザ走査部２８の組立てまたは修理を行う場合に 取外しされる。

【００１６】 レーザ光案内室１８は、レーザ発振部からのレーザ光ＬＢを中に入れるための レーザ光入口１８ａと、レーザ光ＬＢをオプティカル・スキャナ取付体１６側へ 出すためのレーザ光出口１８ｂとを有している。

【００１７】 図３に示すように、レーザ光案内室１８は、レーザ光出口１８ｂの回りに形成 された直角面の凹部１８ｃがオプティカル・スキャナ取付体１６の右側面部１６ ｃと面に垂直な方向に嵌合し、凹部１８ｃの外側端部に形成された直角面の凸部 １８ｄがオプティカル・スキャナ取付体１６の右側面部１６ｃの外端部に形成さ れた直角面の凹部１６ｆと面に垂直な方向に嵌合することによって、オプティカ ル・スキャナ取付体１６の右側面部１６ｃに対して機械精度で正確に直角に結合 される。なお、レーザ光案内室１８をオプティカル・スキャナ取付体１６に固定 するためにボルト（図示せず）等を用いてよい。

【００１８】 図１に示すように、レーザ光案内室１８のレーザ光入口１８ａには、光路カバ ー１２の端面より垂直に（光軸と平行に）突出する環状のフランジ部１２ａが嵌 入する。これにより、レーザ光案内室１８は光路カバー１２に対しても機械精度 で正確に直角に結合される。なお、レーザ光案内室１８に光路カバー１２を固定 するためにボルト（図示せず）等を用いてよい。

【００１９】 レーザ光案内室１８の室内には、レーザ発振部からのレーザ光ＬＢの光軸に対 して４５゜傾いて下向きにミラー４６がミラーホルダ５０を介して固定配置され るとともに、ミラー４６からのレーザ光ＬＢの光軸に対して４５゜傾いて左向き に（レーザ光出口１８ｂを向いて）ミラー４８がミラーホルダ５２を介して固定 配置される。ミラーホルダ５０は、レーザ光案内室１８の外壁の一部を構成して いる。

【００２０】 このように、レーザ光案内室１８がオプティカル・スキャナ取付体１６に機械 精度で決まる正確な面合わせで直角または平行に嵌め込み結合され、かつレーザ 光案内室１８内でミラー４６，４８が４５゜の傾きで所定の向きに固定配置され る。これにより、レーザ発振部より光路カバー１２の中を水平に通って来たレー ザ光ＬＢは、レーザ光入口１８ａよりレーザ光案内室１８の中に入り、室内で先 ずミラー４６によって光路を９０゜垂直下方に曲げられ、次にミラー４８によっ て光路を９０゜水平に曲げられてから、レーザ光出口１８ｂを通ってオプティカ ル・スキャナ取付体１６の室内に入る。したがって、レーザ発振部からのレーザ 光ＬＢは、レーザ光案内室１８の中を通る際に光軸がずれたり傾いたりすること はなく、オプティカル・スキャナ取付体１６の室内のレーザ走査部２８の所定位 置に正しい向きで水平に入射するようになっている。

【００２１】 レーザ光案内室１８において、レーザ光出口１８ｂから見て反射ミラー４８の 反対側の外側面１８ｅには、モニタカメラとしてたとえばモノクロ型のＣＣＤカ メラ５４が取付される。外側面１８ｅに形成された開口に、環状のレンズホルダ ５６と円筒状のカメラ支持部５８とがボルト（図示せず）によって固定される。 レンズホルダ５６にはレンズ押さえリング６０によって光学レンズ６２が保持さ れている。カメラ支持部５８は、２つの円筒体からなり、外側の円筒体に形成さ れた長手（光軸）方向に長いスリット状の穴５８ａを介して内側の円筒体５８に 形成された螺子穴５８ｂにボルト６４が締付螺着することで、ＣＣＤカメラ５４ は光軸方向に移動可能つまり焦点合わせ可能に取付される。

【００２２】 レーザ光案内室１８内の下部ミラー４８は、本考案における第１のミラーを構 成するものであり、レーザ光ＬＢに対してはほぼ１００％の反射率を有している が、可視光線に対しては相当の透過率を有している。マーキング加工が行われる とき、被加工物Ｗからの可視光線が、レーザ光ＬＢとは逆方向に本レーザ出射ユ ニットのｆθレンズ３６、レーザ走査部２８を通って来て、レーザ光案内室１８ 内の下部反射ミラー４８で反射されずに透過（直進）して、光学レンズ６２を通 ってＣＣＤカメラ５４の撮像面で結像する。

【００２３】 本実施例では、チャンバ型の光学部品取付体１４を構成するレーザ光案内室１ ８の外側面１８ｅにカメラ支持部５８を介してＣＣＤカメラ５４が取付されるた め、被加工物ＷからＣＣＤカメラ５４までの光路距離が短く、ＣＣＤカメラ５４ は被加工物Ｗの表面を大きな画角で撮像することができる。これにより、ＣＣＤ カメラ５４に接続されたディスプレイ（図示せず）の画面には大きな画角で被加 工物Ｗの表面が映し出され、マーキング加工の状況を詳細にモニタすることが可 能である。

【００２４】 筐体１０の下面には、レンズ保持体４０の周囲に円筒状のカバー９０が垂設さ れている。このカバー９０の内側面とレンズ保持体４０の外周面との間の隙間に は、筐体１０の下面に垂設された支持棒９４の下端に環状の支持板９６が固定さ れ、この支持板９６の下面側に周回方向に一定の間隔で複数たとえば１２個のＬ ＥＤ（発光ダイオード）９２が各発光面を被加工物Ｗに向けて取付されている。

【００２５】 支持板９６のＬＥＤ取付面は可視光を反射する材質で構成され、各ＬＥＤ９２ より発光された可視光ＲＬが無駄なく効率的に被加工物Ｗへ向けられるようにな っている。また、カバー９０の下端でレンズ保持体４０の回りには、各ＬＥＤ９ ２より発光された可視光ＲＬを被加工物Ｗ側へ拡散して透過せしめる磨ガラスま たはプラスチック等からなる環状の光拡散透過板９８が取付されている。複数個 のＬＥＤ９２が非連続的に配置されていても、この光拡散透過板９８で可視光Ｒ Ｌが拡散または散乱するために、被加工物Ｗがほぼ一様な照度で照らされるよう になっている。なお、筐体１０の中には回路基板（図示せず）が設けられ、この 回路基板からケーブル（図示せず）を介して各ＬＥＤ９２に電圧が供給されるよ うになっている。

【００２６】 このように、本実施例における照明手段は、レンズ保持体４０の回りに配置さ れた複数個のＬＥＤ９２と環状の光拡散透過板９８とからなり、被加工物Ｗのマ ーキング面に一様な可視光を照射するようになっている。蛍光燈型の従来の照明 手段と比較して、格段に小型軽量であるため、出射ユニットが嵩張らず、支持軸 （図示せず）に接続して首振り型のユニットとすることも容易である。

【００２７】 一般にレーザマーキング装置におけるレーザ出射ユニットでは、ｆθレンズを レーザ光の波長（たとえばＹＡＧレーザ光は、１０６４ｎｍ）に対して色消しす るとともに、モニタを行う場合は可視光に対しても色消ししている。ただ、可視 光の場合、あらゆる波長に対して色収差を補正するのはレンズ構造が複雑になる ため、通常は赤色の波長（６３２．８ｎｍ）に対してのみ色消ししている。この ようなｆθレンズにおける二波長の色消しに合わせて、Ｘ軸回転ミラーおよびＹ 軸回転ミラーの表面にはレーザ光の波長（１０６４ｎｍ）および赤色可視光の波 長（６３２．８ｎｍ）を効率的に反射するための二波長反射コーティングを施す のが通例となっている。本実施例でも、ｆθレンズ３６に上記二波長の色消しを 施すとともに、Ｘ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２に上記二波長反射 コーティングを施している。

【００２８】 本実施例では、かかる赤色可視光に対するｆθレンズ３６の色消しおよびＸ軸 回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２の反射コーティングに合わせて、ＬＥ Ｄ９２が赤色ＬＥＤで構成される。これにより、マーキング加工時には、被加工 物ＷにはＬＥＤ９２より赤色の可視光が照射され、被加工物Ｗで反射した赤色の 可視光が赤色の波長（６３２．８ｎｍ）に対して色収差の補正を施しているｆθ レンズ３６を透過し、赤色の波長（６３２．８ｎｍ）に対して反射コーティング を施しているＸ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２で反射され、反射ミ ラー４８および光学レンズ６２を通ってＣＣＤカメラ５４の撮像面に結像する。

【００２９】 ＣＣＤカメラ５４は、モノクロ型のカメラであり、可視光を通じて被加工物Ｗ を輝度またはモノクロの画像として撮影する。ＣＣＤカメラ５４の受光する被加 工物Ｗからの赤色可視光ＲＬは、途中で、特にｆθレンズ３６およびＸ軸回転ミ ラー３０およびＹ軸回転ミラー３２での減衰が少ないため、撮影に十分な光量を 保持している。

【００３０】 このように、本実施例では、赤色ＬＥＤ９２によって被加工物Ｗに赤色の可視 光ＲＬを照射し、被加工物Ｗより反射した赤色可視光ＲＬをレーザ出射ユニット 内の光学系を介してＣＣＤカメラ５４に入射させるようにしたので、蛍光燈によ る白色光を被加工物Ｗに照射する従来方式よりも格段に照明効率が高く、少ない 消費電力でも明るく鮮明なモニタ画面を得ることができる。

【００３１】 また、本実施例のレーザ出射ユニットでは、チャンバ型のオプティカル・スキ ャナ取付体１６とチャンバ型のレーザ光案内室１８とが嵌め込み式で一体結合さ れてチャンバ型の光学部品取付体１４が構成され、オプティカル・スキャナ取付 体１６の室内にＸ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２（第２のミラー） が配置されるとともに、レーザ光案内室１８の室内にレーザ発振部からのレーザ 光ＬＢをＸ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２へ向けて反射し、かつ被 加工物ＷよりＸ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２を介してきた可視光 を透過するミラー４８（第１のミラー）が配置され、このミラー４８の背後に位 置するレーザ光案内室１８の外側面１８ｅにＣＣＤカメラ５４が取付される。か かる構成によれば、被加工物Ｗから最短の光路距離でＣＣＤカメラ５４を配置す ることが可能であり、最大限に大きな画角で被加工物Ｗを撮像し、マーキング加 工の状況を詳細にモニタすることができる。

【００３２】 さらに、本実施例のレーザ出射ユニットでは、チャンバ型のオプティカル・ス キャナ取付体１６に板片状の取付部材２４，２６を介してＸ軸オプティカル・ス キャナ２０およびＹ軸オプティカル・スキャナ２２が正しい位置および向きで取 付固定されるとともに、オプティカル・スキャナ取付体１６の室内にＸ軸回転ミ ラー３０およびＹ軸回転ミラー３２が正しい位置および向きで回転可能に配置さ れる。また、チャンバ型のレーザ光案内室１８内の所定位置に所定の傾きで反射 ミラー４６，４８が固定配置される。これにより、調整作業を必要とするアライ メント機構を設けなくて済む。また、光学部品取付体１４の中に光路が設けられ るので、光路カバーを設ける必要もない。

【００３３】 図４に、本実施例のレーザ出射ユニットにおけるレーザスキャニング機構の要 部の構成を示す。Ｘ軸オプティカル・スキャナ２０のミラー回転駆動軸７０にミ ラー支持部材７２を介してＸ軸回転ミラー３０が固着され、Ｙ軸オプティカル・ スキャナ２２のミラー回転駆動軸７４にミラー支持部材７６を介してＹ軸回転ミ ラー３２が接着固定される。これにより、Ｘ軸回転ミラー３０はＸ軸オプティカ ル・スキャナ２０によって回転駆動され、Ｙ軸回転ミラー３２はＹ軸オプティカ ル・スキャナ２２によって回転駆動される。両スキャナ２０，２２には制御部（ 図示せず）よりケーブル（図示せず）を介して両ミラー３０，３２を振る角度を 指示するスキャニング制御信号が与えられる。

【００３４】 レーザ光案内室１８から入って来たレーザ光ＬＢは、先ずＹ軸回転ミラー３２ に入射して、そこで全反射してからＸ軸回転ミラー３０に入射し、このミラー３ ０で全反射してのちｆθレンズ３６を通って被加工物Ｗのマーキング面に集光照 射する。マーキング面上のレーザビームスポットの位置は、Ｘ方向においてはＸ 軸回転ミラーの角度によってきまり、Ｙ方向においてはＹ軸回転ミラーの角度に よってきまる。したがって、レーザ発振部からのレーザ光が所定のタイミングで 入ってくる度に、それと同期して両スキャナ２０，２２がＸ軸回転ミラー３０、 Ｙ軸回転ミラー３２をそれぞれ所定の角度で振ることにより、被加工物Ｗの被刻 印位置にレーザ光ＬＢのビームスポットが集光照射される。そうすると、レーザ 光の照射位置付近では被加工物Ｗの表面がレーザエネルギによって局所的に加熱 されて蒸発する。この蒸発部分が所要のパターンを描くようにレーザビームスポ ットを走査すると、被加工物のマーキング面に該描画パターン（文字、記号、図 形等）がマーキング（刻印）される。

【００３５】 上記した実施例では、複数のＬＥＤ９２をレンズ保持体４０の回りに各々の発 光面を対称物Ｗ側に向けて周回方向に配置したが、ＬＥＤ９２の配置構成を任意 に変更することが可能である。たとえば、ＬＥＤ９２の間隔を１／２に短縮する か、あるいはＬＥＤ９２を複数列に配置することで、照度を増倍することができ る。その場合でも、レーザ出射ユニットが特に重くなったり嵩張ったりすること はない。

【００３６】 上記した実施例では、赤色可視光に対してｆθレンズ３６が色収差の補正（色 消し）を施され、Ｘ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２が反射コーティ ングを施されていることに合わせて、ＬＥＤ９２を赤色ＬＥＤで構成し、照明効 率を上げるようにした。色消しおよび反射コーティグの対称となる可視光の波長 が他の波長（たとえば緑）に選ばれている場合は、その波長（緑）の可視光を発 光するＬＥＤを用いればよい。

【００３７】 また、上記した実施例ではＬＥＤ９２および光拡散透過板９８を支持棒９４お よびカバー９０を介して筐体１０の下面に取付したが、たとえば筐体１０を設け ない場合には、適当な支持部材を介して光学部品取付体１４に取付することも可 能である。

【００３８】 また、上記した実施例では、ＣＣＤカメラ５４をレーザ出射ユニットに取付し て撮像画面の画角を大きくしたが、従来のようにＣＣＤカメラを本体側に設けた 場合でも本考案の照明手段をレーザ出射ユニットに取付することはもちろん可能 である。また、上記実施例はレーザマーキング装置におけるレーザ出射ユニット に係るものであったが、本考案は他のレーザ装置におけるレーザ出射ユニットに も適用可能である。したがって、本考案における第２のミラーはＸ軸回転ミラー およびＹ軸回転ミラーに限るものではなく、たとえば固定配置されたミラーでも 可能である。また、第１のミラーだけしか備えないレーザ出射ユニットでも可能 である。

【００３９】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案のレーザ出射ユニットによれば、被加工物にモニ タ用の可視光を照射する照明手段を発光ダイオードで構成したので、照明効率の 向上およびユニットの小型軽量化を実現し、モニタ用照明機能の改善をはかるこ とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例によるレーザマーキング装置
におけるレーザ出射ユニットの構成を示す断面図であ
る。

【図２】実施例によるレーザ出射ユニット内の光学部品
取付体の外観構成を示す斜視図である。

【図３】実施例における光学部品取付体を構成するオプ
ティカル・スキャナ取付体とレーザ光案内室との嵌め込
み部の構成を示す部分斜視図である。

【図４】実施例のレーザ出射ユニットにおけるレーザス
キャニング機構の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０ 筐体 １４ 光学部品取付体 １６ オプティカル・スキャナ取付体 １８ レーザ光案内室 ２０ Ｘ軸オプティカル・スキャナ ２２ Ｙ軸オプティカル・スキャナ ３０ Ｘ軸回転ミラー（第２のミラー） ３２ Ｙ軸回転ミラー（第２のミラー） ４０ レンズ保持体 ４８ 下部ミラー（第１のミラー） ５４ ＣＣＤカメラ ９０ カバー ９２ 発光ダイオード（ＬＥＤ） ９４ 支持棒 ９６ 支持板 ９８ 光拡散透過板

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ発振部からのレーザ光を対称物側
   へ反射し、かつ前記対称物からの可視光を前記レーザ光
   と同一の光軸上に反射するミラーと、 前記被加工物に可視光を照射するための発光ダイオード
   を有する照明手段と、を具備したことを特徴とするレー
   ザ出射ユニット。
2. 【請求項２】 レーザ発振部からのレーザ光を対称物側
   へ反射し、かつ前記対称物からの可視光を前記レーザ光
   と同一の光軸上に反射するミラーと、 前記ミラーからの前記レーザ光を前記対称物の表面に集
   光するための光学レンズを保持する筒状のレンズ保持体
   と、 前記レンズ保持体の回りに各々の発光面を前記対称物側
   に向けて周回方向に配置され、各々が可視光を発光する
   複数の発光ダイオードを有する照明手段と、 を具備したことを特徴とするレーザ出射ユニット。
3. 【請求項３】 チャンバ型の光学部品取付体の室内に配
   置され、レーザ発振部からのレーザ光を対称物側へ反射
   し、かつ前記対称物からきた可視光を透過する第１のミ
   ラーと、 前記光学部品取付体の室内に配置され、前記第１のミラ
   ーからきた前記レーザ光を前記対称物に向けて反射し、
   かつ前記対称物からきた可視光を前記第１のミラーに向
   けて反射する第２のミラーと、 前記光学部品取付体に取付され、前記ミラーからの前記
   レーザ光を前記対称物の表面に集光するための光学レン
   ズを保持する筒状のレンズ保持体と、 前記レンズ保持体の回りに各々の発光面を前記対称物側
   に向けて周回方向に配置され、各々が可視光を発光する
   複数の発光ダイオードを有する照明手段と、 前記光学部品取付体に取付され、前記第１のミラーを透
   過した前記可視光を受光するモニタカメラと、 を具備することを特徴とするレーザ出射ユニット。
4. 【請求項４】 前記第２のミラーは、互いに直交した軸
   で回転するＸ軸回転ミラーとＹ軸回転ミラーとからなる
   ことを特徴とする請求項３に記載のレーザ出射ユニッ
   ト。
5. 【請求項５】 前記照明手段は、前記レンズ保持体の回
   りに配置され、前記発光ダイオードより発光された可視
   光を前記対称物側に拡散して透過せしめる環状の光拡散
   透過板を有することを特徴とする請求項２または３に記
   載のレーザ出射ユニット。
6. 【請求項６】 前記光学レンズには前記レーザ光および
   所定波長の可視光についての色収差の補正が施され、前
   記第２のミラーには前記レーザ光および前記所定波長の
   可視光についての反射コーティングが施され、前記発光
   ダイオードは前記所定波長の可視光を発光することを特
   徴とする請求項３または４に記載のレーザ出射ユニッ
   ト。