JP2577999Y2 - レーザ出射ユニット - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、モニタ用の照明機能を
備えたレーザ出射ユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、スキャニング方式のレーザマ
ーキング装置におけるレーザ出射ユニットでは、本体側
のレーザ発振部からのレーザ光が所定のタイミングで入
ってくる度にそれと同期してＸ軸オプティカル・スキャ
ナおよびＹ軸オプティカル・スキャナがそれぞれＸ軸回
転ミラー、Ｙ軸回転ミラーを所定の角度で振ることによ
り、被加工物（対象物）の表面に所望のパターン（文
字、記号、図形等）でレーザ光のビームスポットを集光
照射して、マーキング加工を施すようにしている。

【０００３】従来は、このようなマーキング加工の状況
をモニタするため、本体側に、レーザ発振部からのレー
ザ光を出射ユニット側へ向けて全反射し、かつ被加工物
からレーザ出射ユニットを通ってきた可視光を透過させ
るミラーと、該ミラーを透過した可視光を受けて被加工
物を撮像するモニタカメラとを設けていた。そして、レ
ーザ出射ユニット側では、被加工物をはっきり撮像でき
るように、被加工物を蛍光燈で照らして、被加工物より
モニタカメラへ与えられる可視光の光量を多くしてい
た。従来より、この種の蛍光燈を一体に取付したレーザ
出射ユニットが知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、レーザ
出射ユニットに蛍光燈を取付すると、レーザ出射ユニッ
トが嵩張って重くなり、レーザ出射口の向きを変えられ
るような首振り型のユニットに構成するのが難しかっ
た。また、蛍光燈から照射される白色光は、レーザ出射
ユニット内のｆθレンズを透過する際、およびＸ軸回転
ミラーおよびＹ軸回転ミラーで反射する際に減衰しやす
く、照明効率が低いという問題もあった。

【０００５】本考案は、かかる問題点に鑑みてなされた
もので、小型軽量で照明効率の高いモニタ用の照明機能
を有するレーザ出射ユニットを提供することを目的とす
る。

【０００６】上記の目的を達成するため、本考案の第１
のレーザ出射ユニットは、チャンバ型の光学部品取付体
の室内に配置され、レーザ発振部からのレーザ光を対称
物側へ反射し、かつ前記対称物からきた可視光を透過す
る第１のミラーと、前記光学部品取付体の室内に配置さ
れ、前記第１のミラーからきた前記レーザ光を前記対称
物に向けて反射し、かつ前記対称物からきた可視光を前
記第１のミラーに向けて反射する第２のミラーと、前記
光学部品取付体に取付され、前記ミラーからの前記レー
ザ光を前記対称物の表面に集光するための光学レンズを
保持する筒状のレンズ保持体と、前記レンズ保持体の回
りに各々の発光面を前記対称物側に向けて周回方向に配
置され、各々が可視光を発光する複数の発光ダイオード
を有する照明手段と、前記光学部品取付体に取付され、
前記第１のミラーを透過した前記可視光を受光するモニ
タカメラとを具備する構成とした。

【０００７】また、本考案の第２のレーザ出射ユニット
は、上記第１のレーザ出射ユニットにおいて、前記第２
のミラーが、互いに直交した軸で回転するＸ軸回転ミラ
ーとＹ軸回転ミラーとからなる構成とした。

【０００８】また、本考案の第３のレーザ出射ユニット
は、上記第１のレーザ出射ユニットにおいて、前記照明
手段が、前記レンズ保持体の回りに配置され、前記発光
ダイオードより発光された可視光を前記対称物側に拡散
して透過せしめる環状の光拡散透過板を有する構成とし
た。また、本考案の第４のレーザ出射ユニットは、上記
第１または第２のレーザ出射ユニットにおいて、前記光
学レンズには前記レーザ光および所定波長の可視光につ
いての色収差の補正が施され、前記第２のミラーには前
記レーザ光および前記所定波長の可視光についての反射
コーティングが施され、前記発光ダイオードは前記所定
波長の可視光を発光する構成とした。

【０００９】

【作用】本考案では、レーザ出射ユニットに発光ダイオ
ードを取付し、発光ダイオードによってモニタ用の可視
光を被加工物に照射する。発光ダイオードは、発光面に
指向性があり、被加工物に向けて可視光を効率良く発光
する。また、発光ダイオードは、小型軽量で、配列構成
の自由度が大きく、レンズ保持体の回りに周回方向に配
列することで、レーザ出射ユニットを嵩張らせることも
なく、ユニットを首振り型にすることも容易である。そ
して、光学部品取付体に取付されたモニタカメラが両ミ
ラーを透過した被加工物からの可視光を短い光路距離で
受光するので、被加工物の表面を大きな画角で撮像し、
マーキング加工の状況を詳細にモニタすることができ
る。

【００１０】

【実施例】以下、添付図を参照して本考案の実施例を説
明する。

【００１１】図１は、本考案の一実施例によるレーザマ
ーキング装置におけるレーザ出射ユニットの構成を示す
断面図である。図２は、本レーザ出射ユニット内の光学
部品取付体の外観構成を示す斜視図である。

【００１２】図１および図２において、この実施例によ
るレーザ出射ユニットは、筐体１０を有し、円筒状の光
路カバー１２を介して本体側のレーザ発振部（図示せ
ず）と接続されている。筐体１０内には、たとえばアル
ミニウムからなる堅牢な光学部品取付体１４が収容され
ている。この光学部品取付体１４は、チャンバ型のオプ
ティカル・スキャナ取付体１６とチャンバ型のレーザ光
案内室１８とが一体に嵌め込み結合されたものである。

【００１３】オプティカル・スキャナ取付体１６の一側
面（左側面）１６ａおよび上面１６ｂには、Ｘ軸オプテ
ィカル・スキャナ２０およびＹ軸オプティカル・スキャ
ナ２２が絶縁体たとえばガラスエポキシ樹脂からなる板
片状の取付部材２４，２６を介してそれぞれ壁面に垂直
に取付固定される。Ｘ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転
ミラー３２は、被加工物（対象物）Ｗに向けてレーザ光
ＬＢをスキャニングするレーザ走査部２８を構成するも
ので、本考案の第２のミラーを構成するものでもあり、
オプティカル・スキャナ取付体１６の室内に配置され、
室外のＸ軸オプティカル・スキャナ２０およびＹ軸オプ
ティカル・スキャナ２２のミラー回転駆動軸にそれぞれ
結合されている。

【００１４】オプティカル・スキャナ取付体１６の他方
の側面（右側面）１６ｃには、レーザ光案内室１８から
のレーザ光ＬＢを室内のレーザ走査部２８へ通し入れる
ためのレーザ光入口３４が設けられている。また、オプ
ティカル・スキャナ取付体１６の下面１６ｄには、レー
ザ走査部２８で反射したレーザ光ＬＢを後述する室外の
ｆθレンズ３６側へ出すためのレーザ光出口３８が設け
られている。このレーザ光出口３８の外側（下側）の開
口部１６ｅには円筒状のレンズ保持体４０を着脱可能に
螺着取付するための雌螺子が形成されている。

【００１５】図２において、オプティカル・スキャナ取
付体１６の正面はほぼ全面にわたって開口されており、
この開口に密閉板４２がボルト４４によって着脱可能に
取付される。この密閉板４２は、レーザ走査部２８の組
立てまたは修理を行う場合に取外しされる。

【００１６】レーザ光案内室１８は、レーザ発振部から
のレーザ光ＬＢを中に入れるためのレーザ光入口１８ａ
と、レーザ光ＬＢをオプティカル・スキャナ取付体１６
側へ出すためのレーザ光出口１８ｂとを有している。

【００１７】図３に示すように、レーザ光案内室１８
は、レーザ光出口１８ｂの回りに形成された直角面の凹
部１８ｃがオプティカル・スキャナ取付体１６の右側面
部１６ｃと面に垂直な方向に嵌合し、凹部１８ｃの外側
端部に形成された直角面の凸部１８ｄがオプティカル・
スキャナ取付体１６の右側面部１６ｃの外端部に形成さ
れた直角面の凹部１６ｆと面に垂直な方向に嵌合するこ
とによって、オプティカル・スキャナ取付体１６の右側
面部１６ｃに対して機械精度で正確に直角に結合され
る。なお、レーザ光案内室１８をオプティカル・スキャ
ナ取付体１６に固定するためにボルト（図示せず）等を
用いてよい。

【００１８】図１に示すように、レーザ光案内室１８の
レーザ光入口１８ａには、光路カバー１２の端面より垂
直に（光軸と平行に）突出する環状のフランジ部１２ａ
が嵌入する。これにより、レーザ光案内室１８は光路カ
バー１２に対しても機械精度で正確に直角に結合され
る。なお、レーザ光案内室１８に光路カバー１２を固定
するためにボルト（図示せず）等を用いてよい。

【００１９】レーザ光案内室１８の室内には、レーザ発
振部からのレーザ光ＬＢの光軸に対して４５゜傾いて下
向きにミラー４６がミラーホルダ５０を介して固定配置
されるとともに、ミラー４６からのレーザ光ＬＢの光軸
に対して４５゜傾いて左向きに（レーザ光出口１８ｂを
向いて）ミラー４８がミラーホルダ５２を介して固定配
置される。ミラーホルダ５０は、レーザ光案内室１８の
外壁の一部を構成している。

【００２０】このように、レーザ光案内室１８がオプテ
ィカル・スキャナ取付体１６に機械精度で決まる正確な
面合わせで直角または平行に嵌め込み結合され、かつレ
ーザ光案内室１８内でミラー４６，４８が４５゜の傾き
で所定の向きに固定配置される。これにより、レーザ発
振部より光路カバー１２の中を水平に通って来たレーザ
光ＬＢは、レーザ光入口１８ａよりレーザ光案内室１８
の中に入り、室内で先ずミラー４６によって光路を９０
゜垂直下方に曲げられ、次にミラー４８によって光路を
９０゜水平に曲げられてから、レーザ光出口１８ｂを通
ってオプティカル・スキャナ取付体１６の室内に入る。
したがって、レーザ発振部からのレーザ光ＬＢは、レー
ザ光案内室１８の中を通る際に光軸がずれたり傾いたり
することはなく、オプティカル・スキャナ取付体１６の
室内のレーザ走査部２８の所定位置に正しい向きで水平
に入射するようになっている。

【００２１】レーザ光案内室１８において、レーザ光出
口１８ｂから見て反射ミラー４８の反対側の外側面１８
ｅには、モニタカメラとしてたとえばモノクロ型のＣＣ
Ｄカメラ５４が取付される。外側面１８ｅに形成された
開口に、環状のレンズホルダ５６と円筒状のカメラ支持
部５８とがボルト（図示せず）によって固定される。レ
ンズホルダ５６にはレンズ押さえリング６０によって光
学レンズ６２が保持されている。カメラ支持部５８は、
２つの円筒体からなり、外側の円筒体に形成された長手
（光軸）方向に長いスリット状の穴５８ａを介して内側
の円筒体５８に形成された螺子穴５８ｂにボルト６４が
締付螺着することで、ＣＣＤカメラ５４は光軸方向に移
動可能つまり焦点合わせ可能に取付される。

【００２２】レーザ光案内室１８内の下部ミラー４８
は、本考案における第１のミラーを構成するものであ
り、レーザ光ＬＢに対してはほぼ１００％の反射率を有
しているが、可視光線に対しては相当の透過率を有して
いる。マーキング加工が行われるとき、被加工物Ｗから
の可視光線が、レーザ光ＬＢとは逆方向に本レーザ出射
ユニットのｆθレンズ３６、レーザ走査部２８を通って
来て、レーザ光案内室１８内の下部反射ミラー４８で反
射されずに透過（直進）して、光学レンズ６２を通って
ＣＣＤカメラ５４の撮像面で結像する。

【００２３】本実施例では、チャンバ型の光学部品取付
体１４を構成するレーザ光案内室１８の外側面１８ｅに
カメラ支持部５８を介してＣＣＤカメラ５４が取付され
るため、被加工物ＷからＣＣＤカメラ５４までの光路距
離が短く、ＣＣＤカメラ５４は被加工物Ｗの表面を大き
な画角で撮像することができる。これにより、ＣＣＤカ
メラ５４に接続されたディスプレイ（図示せず）の画面
には大きな画角で被加工物Ｗの表面が映し出され、マー
キング加工の状況を詳細にモニタすることが可能であ
る。

【００２４】筐体１０の下面には、レンズ保持体４０の
周囲に円筒状のカバー９０が垂設されている。このカバ
ー９０の内側面とレンズ保持体４０の外周面との間の隙
間には、筐体１０の下面に垂設された支持棒９４の下端
に環状の支持板９６が固定され、この支持板９６の下面
側に周回方向に一定の間隔で複数たとえば１２個のＬＥ
Ｄ（発光ダイオード）９２が各発光面を被加工物Ｗに向
けて取付されている。

【００２５】支持板９６のＬＥＤ取付面は可視光を反射
する材質で構成され、各ＬＥＤ９２より発光された可視
光ＲＬが無駄なく効率的に被加工物Ｗへ向けられるよう
になっている。また、カバー９０の下端でレンズ保持体
４０の回りには、各ＬＥＤ９２より発光された可視光Ｒ
Ｌを被加工物Ｗ側へ拡散して透過せしめる磨ガラスまた
はプラスチック等からなる環状の光拡散透過板９８が取
付されている。複数個のＬＥＤ９２が非連続的に配置さ
れていても、この光拡散透過板９８で可視光ＲＬが拡散
または散乱するために、被加工物Ｗがほぼ一様な照度で
照らされるようになっている。なお、筐体１０の中には
回路基板（図示せず）が設けられ、この回路基板からケ
ーブル（図示せず）を介して各ＬＥＤ９２に電圧が供給
されるようになっている。

【００２６】このように、本実施例における照明手段
は、レンズ保持体４０の回りに配置された複数個のＬＥ
Ｄ９２と環状の光拡散透過板９８とからなり、被加工物
Ｗのマーキング面に一様な可視光を照射するようになっ
ている。蛍光燈型の従来の照明手段と比較して、格段に
小型軽量であるため、出射ユニットが嵩張らず、支持軸
（図示せず）に接続して首振り型のユニットとすること
も容易である。

【００２７】一般にレーザマーキング装置におけるレー
ザ出射ユニットでは、ｆθレンズをレーザ光の波長（た
とえばＹＡＧレーザ光は、１０６４ｎｍ）に対して色消
しするとともに、モニタを行う場合は可視光に対しても
色消ししている。ただ、可視光の場合、あらゆる波長に
対して色収差を補正するのはレンズ構造が複雑になるた
め、通常は赤色の波長（６３２．８ｎｍ）に対してのみ
色消ししている。このようなｆθレンズにおける二波長
の色消しに合わせて、Ｘ軸回転ミラーおよびＹ軸回転ミ
ラーの表面にはレーザ光の波長（１０６４ｎｍ）および
赤色可視光の波長（６３２．８ｎｍ）を効率的に反射す
るための二波長反射コーティングを施すのが通例となっ
ている。本実施例でも、ｆθレンズ３６に上記二波長の
色消しを施すとともに、Ｘ軸回転ミラー３０およびＹ軸
回転ミラー３２に上記二波長反射コーティングを施して
いる。

【００２８】本実施例では、かかる赤色可視光に対する
ｆθレンズ３６の色消しおよびＸ軸回転ミラー３０およ
びＹ軸回転ミラー３２の反射コーティングに合わせて、
ＬＥＤ９２が赤色ＬＥＤで構成される。これにより、マ
ーキング加工時には、被加工物ＷにはＬＥＤ９２より赤
色の可視光が照射され、被加工物Ｗで反射した赤色の可
視光が赤色の波長（６３２．８ｎｍ）に対して色収差の
補正を施しているｆθレンズ３６を透過し、赤色の波長
（６３２．８ｎｍ）に対して反射コーティングを施して
いるＸ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２で反
射され、反射ミラー４８および光学レンズ６２を通って
ＣＣＤカメラ５４の撮像面に結像する。

【００２９】ＣＣＤカメラ５４は、モノクロ型のカメラ
であり、可視光を通じて被加工物Ｗを輝度またはモノク
ロの画像として撮影する。ＣＣＤカメラ５４の受光する
被加工物Ｗからの赤色可視光ＲＬは、途中で、特にｆθ
レンズ３６およびＸ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミ
ラー３２での減衰が少ないため、撮影に十分な光量を保
持している。

【００３０】このように、本実施例では、赤色ＬＥＤ９
２によって被加工物Ｗに赤色の可視光ＲＬを照射し、被
加工物Ｗより反射した赤色可視光ＲＬをレーザ出射ユニ
ット内の光学系を介してＣＣＤカメラ５４に入射させる
ようにしたので、蛍光燈による白色光を被加工物Ｗに照
射する従来方式よりも格段に照明効率が高く、少ない消
費電力でも明るく鮮明なモニタ画面を得ることができ
る。

【００３１】また、本実施例のレーザ出射ユニットで
は、チャンバ型のオプティカル・スキャナ取付体１６と
チャンバ型のレーザ光案内室１８とが嵌め込み式で一体
結合されてチャンバ型の光学部品取付体１４が構成さ
れ、オプティカル・スキャナ取付体１６の室内にＸ軸回
転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２（第２のミラ
ー）が配置されるとともに、レーザ光案内室１８の室内
にレーザ発振部からのレーザ光ＬＢをＸ軸回転ミラー３
０およびＹ軸回転ミラー３２へ向けて反射し、かつ被加
工物ＷよりＸ軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３
２を介してきた可視光を透過するミラー４８（第１のミ
ラー）が配置され、このミラー４８の背後に位置するレ
ーザ光案内室１８の外側面１８ｅにＣＣＤカメラ５４が
取付される。かかる構成によれば、被加工物Ｗから最短
の光路距離でＣＣＤカメラ５４を配置することが可能で
あり、最大限に大きな画角で被加工物Ｗを撮像し、マー
キング加工の状況を詳細にモニタすることができる。

【００３２】さらに、本実施例のレーザ出射ユニットで
は、チャンバ型のオプティカル・スキャナ取付体１６に
板片状の取付部材２４，２６を介してＸ軸オプティカル
・スキャナ２０およびＹ軸オプティカル・スキャナ２２
が正しい位置および向きで取付固定されるとともに、オ
プティカル・スキャナ取付体１６の室内にＸ軸回転ミラ
ー３０およびＹ軸回転ミラー３２が正しい位置および向
きで回転可能に配置される。また、チャンバ型のレーザ
光案内室１８内の所定位置に所定の傾きで反射ミラー４
６，４８が固定配置される。これにより、調整作業を必
要とするアライメント機構を設けなくて済む。また、光
学部品取付体１４の中に光路が設けられるので、光路カ
バーを設ける必要もない。

【００３３】図４に、本実施例のレーザ出射ユニットに
おけるレーザスキャニング機構の要部の構成を示す。Ｘ
軸オプティカル・スキャナ２０のミラー回転駆動軸７０
にミラー支持部材７２を介してＸ軸回転ミラー３０が固
着され、Ｙ軸オプティカル・スキャナ２２のミラー回転
駆動軸７４にミラー支持部材７６を介してＹ軸回転ミラ
ー３２が接着固定される。これにより、Ｘ軸回転ミラー
３０はＸ軸オプティカル・スキャナ２０によって回転駆
動され、Ｙ軸回転ミラー３２はＹ軸オプティカル・スキ
ャナ２２によって回転駆動される。両スキャナ２０，２
２には制御部（図示せず）よりケーブル（図示せず）を
介して両ミラー３０，３２を振る角度を指示するスキャ
ニング制御信号が与えられる。

【００３４】レーザ光案内室１８から入って来たレーザ
光ＬＢは、先ずＹ軸回転ミラー３２に入射して、そこで
全反射してからＸ軸回転ミラー３０に入射し、このミラ
ー３０で全反射してのちｆθレンズ３６を通って被加工
物Ｗのマーキング面に集光照射する。マーキング面上の
レーザビームスポットの位置は、Ｘ方向においてはＸ軸
回転ミラーの角度によってきまり、Ｙ方向においてはＹ
軸回転ミラーの角度によってきまる。したがって、レー
ザ発振部からのレーザ光が所定のタイミングで入ってく
る度に、それと同期して両スキャナ２０，２２がＸ軸回
転ミラー３０、Ｙ軸回転ミラー３２をそれぞれ所定の角
度で振ることにより、被加工物Ｗの被刻印位置にレーザ
光ＬＢのビームスポットが集光照射される。そうする
と、レーザ光の照射位置付近では被加工物Ｗの表面がレ
ーザエネルギによって局所的に加熱されて蒸発する。こ
の蒸発部分が所要のパターンを描くようにレーザビーム
スポットを走査すると、被加工物のマーキング面に該描
画パターン（文字、記号、図形等）がマーキング（刻
印）される。

【００３５】上記した実施例では、複数のＬＥＤ９２を
レンズ保持体４０の回りに各々の発光面を被加工物Ｗ側
に向けて周回方向に配置したが、ＬＥＤ９２の配置構成
を任意に変更することが可能である。たとえば、ＬＥＤ
９２の間隔を１／２に短縮するか、あるいはＬＥＤ９２
を複数列に配置することで、照度を増倍することができ
る。その場合でも、レーザ出射ユニットが特に重くなっ
たり嵩張ったりすることはない。

【００３６】上記した実施例では、赤色可視光に対して
ｆθレンズ３６は色収差の補正（色消し）が施され、Ｘ
軸回転ミラー３０およびＹ軸回転ミラー３２は反射コー
ティングが施されていることに合わせて、ＬＥＤ９２を
赤色ＬＥＤで構成し、照明効率を上げるようにした。色
消しおよび反射コーティグの対象となる可視光の波長が
他の波長（たとえば緑）に選ばれている場合は、その波
長（緑）の可視光を発光するＬＥＤを用いればよい。

【００３７】また、上記した実施例ではＬＥＤ９２およ
び光拡散透過板９８を支持棒９４およびカバー９０を介
して筐体１０の下面に取付したが、たとえば筐体１０を
設けない場合には、適当な支持部材を介して光学部品取
付体１４に取付することも可能である。

【００３８】また、上記した実施例では、ＣＣＤカメラ
５４をレーザ出射ユニットに取付して撮像画面の画角を
大きくしたが、従来のようにＣＣＤカメラを本体側に設
けた場合でも本考案の照明手段をレーザ出射ユニットに
取付することはもちろん可能である。また、上記実施例
はレーザマーキング装置におけるレーザ出射ユニットに
係るものであったが、本考案は他のレーザ装置における
レーザ出射ユニットにも適用可能である。したがって、
本考案における第２のミラーはＸ軸回転ミラーおよびＹ
軸回転ミラーに限るものではなく、たとえば固定配置さ
れたミラーでも可能である。また、第１のミラーだけし
か備えないレーザ出射ユニットでも可能である。

【００３９】

【考案の効果】以上説明したように、本考案のレーザ出
射ユニットによれば、レンズ保持体の回りに複数個の発
光ダイオードを周回方向に配置することによって照明効
率の向上およびユニットの小型軽量化を実現するととも
に、レンズ保持体およびミラーを取付した光学部品取付
体にモニタカメラをも取付し、被加工物からの可視光を
両ミラーを介して短い光路距離でモニタカメラに受光さ
せるようにしたので、被加工物の表面を大きな画角で撮
像し、マーキング加工の状況を詳細にモニタすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例によるレーザマーキング装置
におけるレーザ出射ユニットの構成を示す断面図であ
る。

【図２】実施例によるレーザ出射ユニット内の光学部品
取付体の外観構成を示す斜視図である。

【図３】実施例における光学部品取付体を構成するオプ
ティカル・スキャナ取付体とレーザ光案内室との嵌め込
み部の構成を示す部分斜視図である。

【図４】実施例のレーザ出射ユニットにおけるレーザス
キャニング機構の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０ 筐体 １４ 光学部品取付体 １６ オプティカル・スキャナ取付体 １８ レーザ光案内室 ２０ Ｘ軸オプティカル・スキャナ ２２ Ｙ軸オプティカル・スキャナ ３０ Ｘ軸回転ミラー（第２のミラー） ３２ Ｙ軸回転ミラー（第２のミラー） ４０ レンズ保持体 ４８ 下部ミラー（第１のミラー） ５４ ＣＣＤカメラ ９０ カバー ９２ 発光ダイオード（ＬＥＤ） ９４ 支持棒 ９６ 支持板 ９８ 光拡散透過板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B23K 26/00 - 26/18

Claims (4)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 チャンバ型の光学部品取付体の室内に配
   置され、レーザ発振部からのレーザ光を対称物側へ反射
   し、かつ前記対称物からきた可視光を透過する第１のミ
   ラーと、 前記光学部品取付体の室内に配置され、前記第１のミラ
   ーからきた前記レーザ光を前記対称物に向けて反射し、
   かつ前記対称物からきた可視光を前記第１のミラーに向
   けて反射する第２のミラーと、 前記光学部品取付体に取付され、前記ミラーからの前記
   レーザ光を前記対称物の表面に集光するための光学レン
   ズを保持する筒状のレンズ保持体と、 前記レンズ保持体の回りに各々の発光面を前記対称物側
   に向けて周回方向に配置され、各々が可視光を発光する
   複数の発光ダイオードを有する照明手段と、 前記光学部品取付体に取付され、前記第１のミラーを透
   過した前記可視光を受光するモニタカメラとを具備する
   ことを特徴とするレーザ出射ユニット。
2. 【請求項２】 前記第２のミラーは、互いに直交した軸
   で回転するＸ軸回転ミラーとＹ軸回転ミラーとからなる
   ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ出射ユニッ
   ト。
3. 【請求項３】 前記照明手段は、前記レンズ保持体の回
   りに配置され、前記発光ダイオードより発光された可視
   光を前記対称物側に拡散して透過せしめる環状の光拡散
   透過板を有することを特徴とする請求項１記載のレーザ
   出射ユニット。
4. 【請求項４】 前記光学レンズには前記レーザ光および
   所定波長の可視光についての色収差の補正が施され、前
   記第２のミラーには前記レーザ光および前記所定波長の
   可視光についての反射コーティングが施され、前記発光
   ダイオードは前記所定波長の可視光を発光することを特
   徴とする請求項１または２に記載のレーザ出射ユニッ
   ト。