JPH079054B2 - ジルコニウム合金製原子炉心部材 - Google Patents
ジルコニウム合金製原子炉心部材Info
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- JPH079054B2 JPH079054B2 JP58157601A JP15760183A JPH079054B2 JP H079054 B2 JPH079054 B2 JP H079054B2 JP 58157601 A JP58157601 A JP 58157601A JP 15760183 A JP15760183 A JP 15760183A JP H079054 B2 JPH079054 B2 JP H079054B2
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- JP
- Japan
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- zirconium alloy
- core member
- zirconium
- compressive stress
- reactor core
- Prior art date
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Landscapes
- Heat Treatment Of Nonferrous Metals Or Alloys (AREA)
- Monitoring And Testing Of Nuclear Reactors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、耐食性が要求されるジルコニウム合金製原子
炉炉心部材に関する。
炉炉心部材に関する。
一般にジルカイロ‐２、ジルカロイ‐４などのジルコニ
ウム合金は、熱中性子吸収断面積が小さいこと、原子炉
内環境に対する耐食性に優れていること、構造材料とし
て機械的性質を充分に備えていることなどの理由から原
子炉の炉心部材として多く用いられている。
ウム合金は、熱中性子吸収断面積が小さいこと、原子炉
内環境に対する耐食性に優れていること、構造材料とし
て機械的性質を充分に備えていることなどの理由から原
子炉の炉心部材として多く用いられている。
例えば、軽水炉の燃料集合体の場合、第１図に示すよう
な構造となっている。この燃料集合体は上部タイプレー
ト１と、下部タイプレート２との間に核燃料ペレットを
被覆管３内に装着した複数本の核燃料棒４が取付けられ
ている。これら核燃料棒４は、適宜の間隔で水平に配置
されたスペーサー５に挿着支持されて整列し、横方向へ
の移動が抑制されていると共に、核燃料棒４間に冷却材
の流路を形成するようになっている。これら全体はチャ
ンネルボックス６内に収納されて一体となっている。こ
の燃料集合体は、一基の原子炉に数百本装荷されてい
る。
な構造となっている。この燃料集合体は上部タイプレー
ト１と、下部タイプレート２との間に核燃料ペレットを
被覆管３内に装着した複数本の核燃料棒４が取付けられ
ている。これら核燃料棒４は、適宜の間隔で水平に配置
されたスペーサー５に挿着支持されて整列し、横方向へ
の移動が抑制されていると共に、核燃料棒４間に冷却材
の流路を形成するようになっている。これら全体はチャ
ンネルボックス６内に収納されて一体となっている。こ
の燃料集合体は、一基の原子炉に数百本装荷されてい
る。
前記スペーサー５は第２図に示すように、外枠７で囲ま
れた四角平面の中に、縦横に配置した複数本のバー８
と、複数本のデイバイダー９が、水平面で交差して格子
状に形成されている。またバー８とデイバイダー９の端
部は外枠７に溶接され、更にバー８とバー８およびデイ
バイダー９とデイバイダー９との交差点も溶接により固
定されている。バー８とバー８の交差点には、夫々四角
枠状にランタンスプリング10が支持されている。このよ
うにして、複数個の小仕切りが形成され、この小仕切り
の中に第１図に示す燃料棒４が挿着されるようになって
いる。
れた四角平面の中に、縦横に配置した複数本のバー８
と、複数本のデイバイダー９が、水平面で交差して格子
状に形成されている。またバー８とデイバイダー９の端
部は外枠７に溶接され、更にバー８とバー８およびデイ
バイダー９とデイバイダー９との交差点も溶接により固
定されている。バー８とバー８の交差点には、夫々四角
枠状にランタンスプリング10が支持されている。このよ
うにして、複数個の小仕切りが形成され、この小仕切り
の中に第１図に示す燃料棒４が挿着されるようになって
いる。
これら燃料集合体を形成する炉心部材のうち、例えば、
チャンネルボックス６や燃料被覆管３、あるいはランタ
ンスプリング10を除くスペーサー５の構成部材などの炉
心部材は、一般にジルカロイ‐２やジルカイロ‐４など
のジルコニウム合金が用いられている。
チャンネルボックス６や燃料被覆管３、あるいはランタ
ンスプリング10を除くスペーサー５の構成部材などの炉
心部材は、一般にジルカロイ‐２やジルカイロ‐４など
のジルコニウム合金が用いられている。
しかしながら、これらジルコニウム合金で形成された炉
心部材は、その使用時間の経過とともに、いわゆるノジ
ュラーコロージョンと呼ばれる腐食反応による白色腐食
生成物が、その表面に斑点状に生成してくることがあ
る。これはジルコニウム合金が高温水と反応し、この表
面に酸化膜が形成された状態で、生成された水素が合金
基材と表面の酸化膜との間に蓄積して腐食生成物を形成
するものである。この腐食生成物は、経時的に表面に集
積し、ついには表面から剥離して、合金部材の強度低下
を招くおそれがある。また生成された水素が合金内部に
侵入するとジルコニウムの水素化物が形成され、これが
表面と垂直方向に形成されると、連続した水素化物によ
る、いわゆる水素脆性の問題があった。
心部材は、その使用時間の経過とともに、いわゆるノジ
ュラーコロージョンと呼ばれる腐食反応による白色腐食
生成物が、その表面に斑点状に生成してくることがあ
る。これはジルコニウム合金が高温水と反応し、この表
面に酸化膜が形成された状態で、生成された水素が合金
基材と表面の酸化膜との間に蓄積して腐食生成物を形成
するものである。この腐食生成物は、経時的に表面に集
積し、ついには表面から剥離して、合金部材の強度低下
を招くおそれがある。また生成された水素が合金内部に
侵入するとジルコニウムの水素化物が形成され、これが
表面と垂直方向に形成されると、連続した水素化物によ
る、いわゆる水素脆性の問題があった。
このような問題を解決するため、ジルコニウム合金を溶
解、鍛造、熱間押出、冷間加工、焼鈍など一連の工程を
経て、最終の焼鈍工程において、β焼入する方法（特開
昭55-100947）およびジルコニウム合金部材の表面を急
熱溶融後、急冷する方法（特開昭55-50453）などが提案
されている。これらの方法は、何れもジルコニウム合金
部材の少なくとも表面部の結晶構造を焼入により、針状
結晶粒のβ相（体心立方格子）に変えることにより耐ノ
ジュラーコロージョン性を向上させるものである。
解、鍛造、熱間押出、冷間加工、焼鈍など一連の工程を
経て、最終の焼鈍工程において、β焼入する方法（特開
昭55-100947）およびジルコニウム合金部材の表面を急
熱溶融後、急冷する方法（特開昭55-50453）などが提案
されている。これらの方法は、何れもジルコニウム合金
部材の少なくとも表面部の結晶構造を焼入により、針状
結晶粒のβ相（体心立方格子）に変えることにより耐ノ
ジュラーコロージョン性を向上させるものである。
しかしながら、これら焼入による方法は、耐ノジュラー
コロージョン性を向上させる反面、炉心部材としての機
械的特性が劣化する上、肉厚が1mm程度以下の薄板で長
尺であるため、焼入時に曲りやねじれを生ずる問題があ
り、満足すべきものではなかった。
コロージョン性を向上させる反面、炉心部材としての機
械的特性が劣化する上、肉厚が1mm程度以下の薄板で長
尺であるため、焼入時に曲りやねじれを生ずる問題があ
り、満足すべきものではなかった。
本発明は、優れた耐ノジュラーコロージョン性を有する
と共に、機械的特性に優れ、さらに曲りやねじれが少な
いジルコニウム合金製原子炉炉心部材を提供しようとす
るものである。
と共に、機械的特性に優れ、さらに曲りやねじれが少な
いジルコニウム合金製原子炉炉心部材を提供しようとす
るものである。
少なくとも表面が再結晶組織でα相の結晶構造を有し、
かつ表面に圧縮応力が残留しれているジルコニウム合金
製原子炉炉心部材である。
かつ表面に圧縮応力が残留しれているジルコニウム合金
製原子炉炉心部材である。
以下本発明を詳細に説明する。
本発明において用いるジルコニウム合金としては、例え
ば重量比でスズ1.2〜1.％、鉄0.07〜0.20％、クロム0.0
5〜0.15％、ニッケル0.03〜0.08％、残部ジルコニウム
よりなるジルカロイ‐２と呼称されているもの、スズ1.
2〜1.7％、鉄0.18〜0.24％、クロム0.07〜0.13％、残部
ジルコニウムおりなるジルカロイ‐４と呼称されている
もの、あるいはジルコニウム‐2.5％ニオブ系、ジルコ
ニウム‐１％ニオブ系、またはオーゼナイトなどのジル
コニウム合金に適用することができる。
ば重量比でスズ1.2〜1.％、鉄0.07〜0.20％、クロム0.0
5〜0.15％、ニッケル0.03〜0.08％、残部ジルコニウム
よりなるジルカロイ‐２と呼称されているもの、スズ1.
2〜1.7％、鉄0.18〜0.24％、クロム0.07〜0.13％、残部
ジルコニウムおりなるジルカロイ‐４と呼称されている
もの、あるいはジルコニウム‐2.5％ニオブ系、ジルコ
ニウム‐１％ニオブ系、またはオーゼナイトなどのジル
コニウム合金に適用することができる。
次に本発明のジルコニウム合金製原子炉炉心部材の製造
方法を説明する。
方法を説明する。
ジルコニウム合金を溶解、鍛造、熱間押出した後、冷間
加工と焼鈍とを複数回繰り返して行う。最終焼鈍の温度
は通常580℃近傍で約２時間半加熱して行うが、このよ
うにして得られたジルコニウム合金は残留歪がなく、ま
た結晶構造はα相（六方晶形）である。
加工と焼鈍とを複数回繰り返して行う。最終焼鈍の温度
は通常580℃近傍で約２時間半加熱して行うが、このよ
うにして得られたジルコニウム合金は残留歪がなく、ま
た結晶構造はα相（六方晶形）である。
ここまでは従来の方法と同一であるが、本発明において
は、最終焼鈍後に、次の熱処理工程を付加することによ
り、表面に圧縮応力を残留させたものである。
は、最終焼鈍後に、次の熱処理工程を付加することによ
り、表面に圧縮応力を残留させたものである。
最終焼鈍したジルコニウム合金を、例えば高周波加熱に
より、表面部をα領域の780〜860℃まで急加熱して、数
秒間保持した後、急冷することにより、結晶構造はα相
のままで細かい球状の結晶粒のままで且つ表面に圧縮応
力を残留させることができる。
より、表面部をα領域の780〜860℃まで急加熱して、数
秒間保持した後、急冷することにより、結晶構造はα相
のままで細かい球状の結晶粒のままで且つ表面に圧縮応
力を残留させることができる。
このように急加熱、急冷を行うと、内部に大きな温度差
を生じ、表面部は内部の高温部を包んで冷却するため自
由に収縮できない。この結果、表面部は内部の高温部の
ために張力を受けながら冷却する。冷却初期において
は、温度は比較的高いから降伏点が低く、表面部は多少
永久変形を起す。しかも中心部まで室温になった時に
は、表面部は中心部に比べて変形分だけ伸び過ぎている
ことになり、これが内部からの収縮力を受け、最終的に
は、表面部は中心部によって圧縮された状態となる。即
ち表面部には圧縮応力が残留し、中心部は引張応力が働
いて、つい合った状態となる。
を生じ、表面部は内部の高温部を包んで冷却するため自
由に収縮できない。この結果、表面部は内部の高温部の
ために張力を受けながら冷却する。冷却初期において
は、温度は比較的高いから降伏点が低く、表面部は多少
永久変形を起す。しかも中心部まで室温になった時に
は、表面部は中心部に比べて変形分だけ伸び過ぎている
ことになり、これが内部からの収縮力を受け、最終的に
は、表面部は中心部によって圧縮された状態となる。即
ち表面部には圧縮応力が残留し、中心部は引張応力が働
いて、つい合った状態となる。
このように表面部が再結晶組織でありかつ表面部に圧縮
応力が残留した状態では、結晶構造がα相のままでも、
耐ノジュラーコロージョン性が向上する理由については
詳らかではないが、圧縮応力が加った状態では、結晶格
子が密につまっているため、表面から内部へ酸素が拡散
しにくくなるためであると考えられる。このように酸素
の拡散が阻止されると酸化膜が形成されにくくなり、酸
化膜と合金表面との間の水素の蓄積が防止され、耐ノジ
ュラーコロージョン性が向上するものである。
応力が残留した状態では、結晶構造がα相のままでも、
耐ノジュラーコロージョン性が向上する理由については
詳らかではないが、圧縮応力が加った状態では、結晶格
子が密につまっているため、表面から内部へ酸素が拡散
しにくくなるためであると考えられる。このように酸素
の拡散が阻止されると酸化膜が形成されにくくなり、酸
化膜と合金表面との間の水素の蓄積が防止され、耐ノジ
ュラーコロージョン性が向上するものである。
なおα領域での加熱温度は780〜860℃とし、ここに短時
間保持した後、急冷すると、表面に８〜46kg/mm2の圧縮
応力が残留し、特に残留・圧縮応力が20kg/mm2以上で、
効果的に耐ノジュラーコロージョン性が得られる。この
場合780℃未満の加熱では、充分の圧縮応力が残留せ
ず、また860℃を越えると、β領域となり、急冷すると
焼入が行なわれて、表面層がβ相（体心立方格子）にな
る上、曲りやねじれが大きく、しかも機械的特性が劣化
するからである。
間保持した後、急冷すると、表面に８〜46kg/mm2の圧縮
応力が残留し、特に残留・圧縮応力が20kg/mm2以上で、
効果的に耐ノジュラーコロージョン性が得られる。この
場合780℃未満の加熱では、充分の圧縮応力が残留せ
ず、また860℃を越えると、β領域となり、急冷すると
焼入が行なわれて、表面層がβ相（体心立方格子）にな
る上、曲りやねじれが大きく、しかも機械的特性が劣化
するからである。
また本発明ジルコニウム合金の表面に、圧縮応力が残留
しているので、例えば引張強さが約45kg/mm2のジルコニ
ウム合金からなる被覆管に、上記方法により圧縮応力を
20kg/mm2残留させると、65kg/mm2の外部応力まで破断せ
ずに耐えられることになる。
しているので、例えば引張強さが約45kg/mm2のジルコニ
ウム合金からなる被覆管に、上記方法により圧縮応力を
20kg/mm2残留させると、65kg/mm2の外部応力まで破断せ
ずに耐えられることになる。
更に本発明合金は圧縮応力が残留していることにより耐
力が大きくなると共に、伸びが小さくなり、特に沸騰高
温水中に長時間曝らされる原子炉炉心部材や、化学装置
の構造材において、強度、クリープ特性など、機械的特
性の改善効果が大きい。
力が大きくなると共に、伸びが小さくなり、特に沸騰高
温水中に長時間曝らされる原子炉炉心部材や、化学装置
の構造材において、強度、クリープ特性など、機械的特
性の改善効果が大きい。
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
実施例 ジルカロイ‐４を用い、通常の溶解、鍛造を行って、ビ
レットを形成した後、熱間押出しを行い、次いで冷間圧
延と真空焼鈍を４回繰り返して、長さ28mm、幅20mm厚さ
2mmの板材を形成した。
レットを形成した後、熱間押出しを行い、次いで冷間圧
延と真空焼鈍を４回繰り返して、長さ28mm、幅20mm厚さ
2mmの板材を形成した。
次にこの板材をサイリスタ式の高周波加熱炉を用いて、
その表面を800℃に急速加熱した。この場合、炉内滞留
時間（保持時間）は約５秒であった。この後、直ちに水
冷して急速冷却を行った。次に、表面の酸化膜を研磨除
去して仕上げた。
その表面を800℃に急速加熱した。この場合、炉内滞留
時間（保持時間）は約５秒であった。この後、直ちに水
冷して急速冷却を行った。次に、表面の酸化膜を研磨除
去して仕上げた。
このようにして得られた板材を、500℃、105気圧の高温
高圧水蒸気中に放置して、加速腐食試験を行って耐食性
を調べた。この結果は第３図のグラフに曲線ａで示すよ
うに腐食による増量は48時間経過後も僅かであった。
高圧水蒸気中に放置して、加速腐食試験を行って耐食性
を調べた。この結果は第３図のグラフに曲線ａで示すよ
うに腐食による増量は48時間経過後も僅かであった。
また機械的特性を調べるため、耐力と伸びを調べたとこ
ろ、耐力は42.8kg/mm2、伸びは32.9％で、優れたクリー
プ特性を有することが確認された。
ろ、耐力は42.8kg/mm2、伸びは32.9％で、優れたクリー
プ特性を有することが確認された。
更に本発明板材の表面応力状態を見るため、Ｘ線により
残留圧縮応力を測定したところ、28kg/mm2であった。な
おこの場合のＸ線測定はCrKα（クロムケアルファー）
線を用い（20２）面からの回析線を用いて行った。
残留圧縮応力を測定したところ、28kg/mm2であった。な
おこの場合のＸ線測定はCrKα（クロムケアルファー）
線を用い（20２）面からの回析線を用いて行った。
比較例１ 前記実施例と同様な最終焼鈍を施した後、なんら熱処理
を施さないジルコニウム板材（実施例と同様な寸法）に
ついて同様な加速腐食試験を行った。
を施さないジルコニウム板材（実施例と同様な寸法）に
ついて同様な加速腐食試験を行った。
その結果、腐食による増量は第３図のグラフに曲線ｂで
示すように急激なカーブを描いた。また、同様に機械的
特性を調べたことろ耐力は42.7kg/mm2、伸びは32.9％で
あり、本発明の実施例と同等であった。また、Ｘ線によ
る圧縮応力の測定では残留が認められなかった。
示すように急激なカーブを描いた。また、同様に機械的
特性を調べたことろ耐力は42.7kg/mm2、伸びは32.9％で
あり、本発明の実施例と同等であった。また、Ｘ線によ
る圧縮応力の測定では残留が認められなかった。
比較例２ 前記実施例と同様な最終焼鈍を施した後、その外表面を
ショットピーニングを行って圧縮応力を残留させてジル
コニウム板材（実施例と同様な寸法）を作製した。前記
ショットピーニングは、一番細かい粒径の30番（標準篩
寸法;420〜125μｍ）鋳鉄粒子を用いて室温で30秒間行
った。
ショットピーニングを行って圧縮応力を残留させてジル
コニウム板材（実施例と同様な寸法）を作製した。前記
ショットピーニングは、一番細かい粒径の30番（標準篩
寸法;420〜125μｍ）鋳鉄粒子を用いて室温で30秒間行
った。
得られたジルコニウム板材は、圧縮応力が約20μｍの深
さまで残留し、10μｍの深さまでは結晶が加工組織にな
っていた。また、前記板材について同様な加速腐食試験
を行った。その結果、腐食による増量は第３図のグラフ
に曲線ｃで示すように前記比較例１よりさらに急激なカ
ーブを描いた。
さまで残留し、10μｍの深さまでは結晶が加工組織にな
っていた。また、前記板材について同様な加速腐食試験
を行った。その結果、腐食による増量は第３図のグラフ
に曲線ｃで示すように前記比較例１よりさらに急激なカ
ーブを描いた。
なお、肉厚が0.8mmのジルカロイ−２製燃料被覆管に前
記比較例２と同様なショントピーニングを施したとこ
ろ、被覆管に曲りや変形が起こった。
記比較例２と同様なショントピーニングを施したとこ
ろ、被覆管に曲りや変形が起こった。
以上説明したように、本発明に係わるジルコニウム合金
製原子炉炉心部材は、少なくとも表面が再結晶組織でα
相の結晶構造を有し、かつ表面に圧縮応力が残留してい
るため、耐ノジュラーコロージョン性と機械的特性の向
上が図られ、さらに曲りやねじれが少なく高い寸法精度
を有する等顕著な効果を奏する。
製原子炉炉心部材は、少なくとも表面が再結晶組織でα
相の結晶構造を有し、かつ表面に圧縮応力が残留してい
るため、耐ノジュラーコロージョン性と機械的特性の向
上が図られ、さらに曲りやねじれが少なく高い寸法精度
を有する等顕著な効果を奏する。
第１図は燃料集合体の一部を切欠して示す縦断面図、第
２図はスペーサーの要部を示す平面図、第３図は本発明
によるジルコニウム合金板材と従来の板材との腐食増量
の時間変化を示すグラフである。 １……上部タイプレート、２……下部タイプレート、３
……被覆管、４……核燃料棒、５……スペーサー、６…
…チャンネルボックス、７……外枠、８……バー、９…
…デイバイダー、10……ランタンスプリング。
２図はスペーサーの要部を示す平面図、第３図は本発明
によるジルコニウム合金板材と従来の板材との腐食増量
の時間変化を示すグラフである。 １……上部タイプレート、２……下部タイプレート、３
……被覆管、４……核燃料棒、５……スペーサー、６…
…チャンネルボックス、７……外枠、８……バー、９…
…デイバイダー、10……ランタンスプリング。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川島 純子 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 東 京芝浦電気株式会社総合研究所内 (72)発明者 桑江 良昇 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 東 京芝浦電気株式会社総合研究所内 (72)発明者 作山 忠 東京都千代田区内幸町１丁目１番６号 東 京芝浦電気株式会社東京事務所内 (56)参考文献 特開 昭54−87637（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−42599（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−141899（ＪＰ，Ａ) 特公 昭55−33034（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (2)
- 【請求項１】少なくとも表面が再結晶組織で、α相の結
晶構造を有し、かつ表面に圧縮応力が残留していること
を特徴とするジルコニウム合金製の原子炉炉部材。 - 【請求項２】残留圧縮応力が20kg/mm2以上であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のジルコニウム合
金製原子炉炉心部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58157601A JPH079054B2 (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | ジルコニウム合金製原子炉心部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58157601A JPH079054B2 (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | ジルコニウム合金製原子炉心部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6050133A JPS6050133A (ja) | 1985-03-19 |
| JPH079054B2 true JPH079054B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=15653281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58157601A Expired - Lifetime JPH079054B2 (ja) | 1983-08-29 | 1983-08-29 | ジルコニウム合金製原子炉心部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079054B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3009147B2 (ja) * | 1988-06-10 | 2000-02-14 | 株式会社日立製作所 | 中性子照射下で高温高圧水にさらされるオーステナイト鋼及びその用途 |
| EP0412187B1 (en) * | 1989-08-09 | 1993-05-05 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd | Structure of lip drive portion of t-die |
| JP2650094B2 (ja) * | 1994-12-09 | 1997-09-03 | 本田技研工業株式会社 | 自動溶接装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53141899A (en) * | 1977-05-18 | 1978-12-11 | Toshiba Corp | Nuclear fuel element |
| JPS5442599A (en) * | 1977-08-12 | 1979-04-04 | Kraftwerk Union Ag | Method of protecting clad pipe for nuclear reactor fuel rod |
| JPS5487637A (en) * | 1977-12-26 | 1979-07-12 | Hitachi Ltd | Pressure pipe made of zirconium alloy |
| JPS5533034A (en) * | 1978-08-28 | 1980-03-08 | Nec Corp | Liquid-phase epitaxial growing |
-
1983
- 1983-08-29 JP JP58157601A patent/JPH079054B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6050133A (ja) | 1985-03-19 |
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