JPH0788444A - 高洗浄力と浮遊異物の再付着防止機能を備えた洗浄システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】被洗浄物３を洗浄用カゴ４にセットしたものを
部品洗浄用の洗浄槽１に入れた後、底部に設けられた超
音波振動子１１より発生した超音波１２にて微小付着異
物の遊離を実施する。さらに側面には小径の多孔５があ
り、この中にはジェットポンプ２よりジェットエアーを
噴出し小径泡沫の噴流１０により被洗浄物３をたたく事
で一層の洗浄効果を高めている。さらに一方の側面には
洗浄液を循環するための循環システム吸引口１４，ダク
ト８，循環ファン７，循環システム吹き出し口１３が設
けられている。 【効果】超音波による洗浄に加えて、ジェットエアーを
用いた微小泡沫により表面をたたく事で一層の洗浄効果
を高めるとともに、洗浄液全体を循環させながら除去異
物をフィルターに吸着させるので、洗浄液の清浄度確保
と長寿命化を実現する効果がある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は一般部品の洗浄から半導
体製造装置など非常に高いレベルの清浄度確保が要求さ
れる部品まで、あらゆる部品の洗浄作業に係り、特に高
洗浄力の確保及び洗浄後の部品表面清浄度の確保が可能
であるとともに、洗浄液清浄度確保の長寿命化が図れる
洗浄システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の部品の洗浄作業における洗浄方法
としては、部品一品毎並べてジェット噴流で洗浄する
方法。洗浄槽の中に入れ部品を揺動して洗浄する方
法。洗浄槽の中で超音波を発振させ微小な付着異物を
除去する方法。洗浄槽を何槽も並べて設置しこれを順
次繰り返し洗浄を実施する方法。などがあるが、の場
合にはジェット噴流の当たらない洗浄面を作らないよう
にする工夫が必要であるうえに飛散した異物が他の面に
付着するという欠点がある。また、，，について
はいずれも洗浄槽の中で洗浄することで一旦洗浄物表面
より遊離した微小異物が洗浄物を引き上げる時、再度付
着するという問題が残る。この問題は通常、一般部品の
洗浄では問題とならないが、半導体素子や磁気ディスク
などサブミクロンオーダーの加工精度が要求される製品
を対象とする装置の部品洗浄では大変重要な問題であ
る。

【０００３】そこで、洗浄において高洗浄力の確保と一
旦遊離した微小異物の再付着を防止することを考案し
た。

【０００４】なお、この種の装置として関連するものに
は、例えば、特開平２−２４６２１７号公報が挙げられ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】半導体素子や磁気ディ
スクなどの製品はサブミクロンの加工が実施されてお
り、ミクロンオーダーの異物が製品上に付着しただけで
不良となるため、製造装置自身に対し非常に厳しい清浄
度確保の要求がされている。この問題を解決する方法と
しては、装置の組立前段階における手拭き洗浄において
洗浄布に一切汚れの付着がない状態まで洗浄を実施した
後、部品組立を実施する事が重要である。この部品組立
前の洗浄作業を軽減するためには、部品一品毎の製作完
成段階において、いかに部品表面付着異物除去の洗浄効
果を高めるかにあり、そのためには一旦洗浄した部品に
汚れの再付着がないように防止する事が重要となる。

【０００６】本発明の目的は上記の問題を解決するもの
で、部品の洗浄方法で最も有効な洗浄方法である超音波
を用いた洗浄槽に泡状ジェットエアーの吹き付けを組合
せるものである。

【０００７】また、本発明の目的はこれに合わせて洗浄
液のそのものを循環させるようにしている。さらに、こ
れに合わせて洗浄液そのものを循環させる目的で洗浄液
の循環ダクトを設けこの中を循環ファンにて勢いよく循
環させるようにしている。さらに、この循環ダクトには
微小異物吸着用のフィルターを設けており超音波洗浄及
びジェットエアーにて遊離した異物をこのフィルターで
吸着し、洗浄液の清浄度確保と長寿命化を図るようにし
ている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】超音波洗浄により遊離し
た微小異物を洗浄物より大きく引き離す方法として泡状
のジェットエアーを側面に設けた多くの小径吹き出し穴
より吹き付けるようにした。これにより従来、超音波洗
浄のみでは完全に離脱出来なかった汚れ（例えば止メ穴
のネジ底などの微小異物が超音波洗浄にて遊離されても
そのままの位置で漂っていた。）が、ジェットエアーに
より完全に外へ押し出す事が可能となる。また、これま
での洗浄で遊離した微小異物が、従来の方法では洗浄
後、洗浄物引き上げ時に再付着していたが、今回は洗浄
液をフィルターを通しながら循環するように循環ファン
を設けた循環用ダクトを用いている。そのうえこの循環
用ダクトを同一高さに設けた場合、洗浄液の循環がショ
ートパスする可能性が高くなる。そこでこの解決策とし
て循環用ダクトの吸引口と吹き出し口の高さをずらして
設置することで洗浄液全体を撹拌しながら循環するよう
にしている。

【０００９】

【作用】本システムの働きは、まず洗浄物を洗浄槽内に
つけると一定時間超音波により洗浄が実施される。次
に、これが終了すると同時に洗浄槽の側面に設けられた
多数の小径穴より微小泡状のジェットエアーが吹き出し
超音波洗による洗浄効果を一層高める作用をする。この
時洗浄物はより洗浄効果を高める目的で上下に揺動を繰
り返すようにしている。さらに、この洗浄により遊離し
た異物の再付着を防止するために洗浄液自身を循環させ
る目的で循環ダクトが設けてありこの中にはフィルター
と循環ファンが組込まれておりこの循環ファンが回転す
ることで、洗浄液の循環及び微小異物のフィルターへの
吸着が実施され洗浄液の清浄度確保と長寿命化が保てる
ようにしている。また、循環の水流についても洗浄液全
般にわたり遊離した異物の吸着ができるように循環ダク
トの開口穴の高さをずらして取り付けている。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１，図２，図３
により説明する。本システムの全体構成は、洗浄装置に
設けられた洗浄槽１の底面に超音波発振子１１を設けて
おり、洗浄用カゴ４に収納された被洗浄物３を洗浄槽１
内に入れた後、超音波発振子１１より発する超音波１２
にて洗浄物に付着している微小付着異物の遊離作用を実
行するとともに、洗浄の第２段階として、洗浄槽の側面
に取り付けた小径多孔５よりジェットポンプ２にて発生
した微小泡沫のジェットエアーの噴流１０が吹き出さ
れ、これが洗浄物をたたくことで、超音波発振子１１で
は遊離及び離脱できなかった異物をより効果的に除去で
きるようにしている。さらに洗浄の第３段階として、超
音波１２，ジェットポンプ２により遊離した異物の沈殿
及び再付着を防止するため洗浄液を循環する機構を設け
ている。この構造は、洗浄槽の側面部にダクト８を通し
て水流９を生じる機構として循環システムの吸引口１４
及び循環システム吹き出し口１３があり、この中に２機
の循環ファン７を設けている。またこの環境システムの
吸引口１４側には異物を付着除去するためのフィルター
６を設置しており、これにより洗浄液の清浄度確保と長
寿命化が達成できるようにしている。

【００１１】つまり、部品洗浄装置において、超音波洗
浄にジェットエアーと水流ファン及び微小異物吸着用の
フィルターを備えた洗浄装置である。

【００１２】ジェットエアーは洗浄槽の側面に設けた多
数の吹出し穴より微小な泡状のジェットとして勢いよく
吹き出すようになっており、一旦超音波にて遊離した微
小な異物をさらに大きく遊離拡散するものである。ま
た、一方の側面には洗浄液を循環させる循環用ダクトの
開口が対向して設けられており、吸引用及び吹出し用２
機の循環ファンを回転させることで、洗浄液に循環作用
を生じさせるようにしている。しかも、循環の水流につ
いては吸引，吹出しの各開口部が同一高さに設けた場
合、水流がショートパスを生じる。そこで本発明では洗
浄液全体にわたり乱流と循環が生じるように開口部高さ
をずらして設けている。

【００１３】また、吸引側のダクトには浮遊微小異物吸
着用のフィルターを設けており、洗浄液が循環するのに
合わせて一度浮遊した微小な異物を吸着するようにし、
被洗浄物への再付着を防止するようにした装置である。

【００１４】以上、本実施例によれば、２段階の洗浄を
実施することでより洗浄効果を向上させるとともに、洗
浄物より遊離した微小異物についても洗浄液自身を循環
させ、しかも途中に設けたフィルターにて吸着するよう
にしているため、洗浄力向上に合わせて洗浄液自身の清
浄度確保と長寿命化が図れるなど、大きな効果が期待で
きるシステムである。

【００１５】

【発明の効果】本発明によれば、洗浄物の汚れをまず底
面より発振する超音波により遊離させた後、次に側面に
設けた微小泡沫のジェットエアーにより横方向からの汚
れ除去作用を加える事で超音波では取り除けなかった汚
れや付着微小異物をより効果的に除去する事が出来る。
また、洗浄作用実施後、洗浄液中に漂う除去異物が沈殿
したり洗浄物に再付着する事を防止するために、洗浄液
自身を洗浄槽内に設けた循環用吸引口及び吹き出し口を
通して循環用ダクト内に設けられた循環ファンの作用に
より循環動作を与えるようにしている。しかもこの循環
用ダクトの吸引、吹き出し口の高さを同一レベルにせ
ず、ずらして設ける事で洗浄液全体を撹拌しながら循環
するように工夫している。さらにこの時、除去された異
物をダクト内の途中に設けたフィルターで吸着すること
で洗浄液の清浄度確保と長寿命化の確保を図っている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にの一実施例の全体システムの横断面図
である。

【図２】第１，第２段階洗浄実施例の縦断面図であり超
音波発振及びジェットエアーの発生具体図である。

【図３】本発明の洗浄液の洗浄槽内における循環システ
ムを示す縦断面図である。

【符号の説明】

１…洗浄槽、２…ジェットポンプ、３…被洗浄物、４…
洗浄用カゴ、５…小径多孔、７…循環ファン、１１…超
音波振動子、１２…超音波、１３…循環システム吹き出
し口、１４…循環システム吸引口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】部品洗浄装置において、超音波洗浄にジェ
   ットエアーと水流ファン及び微小異物吸着用のフィルタ
   ーを備え、該ジェットエアーは洗浄槽の側面に設けた多
   数の吹出し穴より微小な泡状のジェットとして勢いよく
   吹き出すように形成し、一方の側面には洗浄液を循環さ
   せる循環用ダクトの開口が対向して設けられ、吸引用及
   び吹出し用２機の循環ファンを設けたことを特徴とする
   高洗浄力と浮遊異物の再付着防止機能を備えた洗浄シス
   テム。