JPH0787240B2 - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

Info

Publication number
JPH0787240B2
JPH0787240B2 JP60236604A JP23660485A JPH0787240B2 JP H0787240 B2 JPH0787240 B2 JP H0787240B2 JP 60236604 A JP60236604 A JP 60236604A JP 23660485 A JP23660485 A JP 23660485A JP H0787240 B2 JPH0787240 B2 JP H0787240B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transistor
region
channel mos
wiring
mos transistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60236604A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6295852A (en
Inventor
資隆 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP60236604A priority Critical patent/JPH0787240B2/en
Publication of JPS6295852A publication Critical patent/JPS6295852A/en
Publication of JPH0787240B2 publication Critical patent/JPH0787240B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/10Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
    • H01L27/118Masterslice integrated circuits
    • H01L27/11803Masterslice integrated circuits using field effect technology
    • H01L27/11807CMOS gate arrays

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路に関し、特にCMOSトランジスタ
におけるラッチアップ現象の防止を図った半導体集積回
路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit, and more particularly to a semiconductor integrated circuit designed to prevent a latch-up phenomenon in a CMOS transistor.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

一般にゲートアレイ構造の半導体集積回路は、論理素子
を構成する基本素子を基本セルとし、このセルを固定的
にマトリクス状に配置し、任意の論理機能を実現するた
めに配線のみを可変に構成することにより、配線以前の
製造工程を共通化して多品種少量生産を可能にするもの
である。
Generally, in a gate array structure semiconductor integrated circuit, basic elements forming a logic element are used as basic cells, the cells are fixedly arranged in a matrix, and only wirings are variably configured to realize an arbitrary logic function. As a result, the manufacturing process before wiring can be standardized to enable high-mix low-volume production.

第5図にゲートアレイ方式のCMOS半導体集積回路のチッ
プレイアウト図を示す。図において、51は基本セルのセ
ル列、52はこれらセル列の外側や相互間に設けた配線領
域、53は入出力バッファ回路、54は信号引き出しパッド
であり。これらの配線領域52と基本セル列51において自
動配置配線プログラム処理を施すことにより、所望の論
理機能の配線を行うことができる。
FIG. 5 shows a chip layout diagram of a gate array type CMOS semiconductor integrated circuit. In the figure, 51 is a cell row of basic cells, 52 is a wiring region provided outside or between these cell rows, 53 is an input / output buffer circuit, and 54 is a signal extraction pad. By performing the automatic placement and routing program processing in the wiring region 52 and the basic cell row 51, wiring of a desired logic function can be performed.

また、前記入出力バッファ回路53は、第6図に詳細に示
すように、入力保護回路61と、高駆動CMOSトランジスタ
領域62及び入出力バッファCMOSトランジスタ領域63とで
構成している。前記高駆動CMOSトランジスタ領域62は、
出力バッファの最終段の高駆動のNチャネルMOSトラン
ジスタ領域64と、同じくPチャネルMOSトランジスタ領
域65とからなる。また、入出力バッファCMOSトランジス
タ領域63は、出力バッファ回路構成時に前記高駆動CMOS
トランジスタ領域62を駆動し或いは入力バッファ回路を
構成するMOSトランジスタのNチャネルMOSトランジスタ
領域66とPチャネルMOSトランジスタ領域67とからな
る。68はこれらトランジスタのゲートである。
Further, as shown in detail in FIG. 6, the input / output buffer circuit 53 includes an input protection circuit 61, a high drive CMOS transistor region 62 and an input / output buffer CMOS transistor region 63. The high drive CMOS transistor region 62 is
The final stage of the output buffer comprises a high-driving N-channel MOS transistor region 64 and a P-channel MOS transistor region 65. Further, the input / output buffer CMOS transistor region 63 is the high drive CMOS when the output buffer circuit is configured.
It is composed of an N-channel MOS transistor region 66 and a P-channel MOS transistor region 67 of MOS transistors which drive the transistor region 62 or constitute an input buffer circuit. 68 is the gate of these transistors.

なお、この構成において、チップ面積やコストの低減等
の目的のために、領域62と63との間、換言すれば高駆動
PチャネルMOSトランジスタ領域65と、入出力バッファ
領域63のNチャネルMOSトランジスタ領域66との間には
特に配線領域は設けておらず、両領域は近接した構成と
なっている。
In this structure, for the purpose of reducing the chip area and cost, between the regions 62 and 63, in other words, the high drive P-channel MOS transistor region 65 and the N-channel MOS transistor of the input / output buffer region 63. No wiring region is provided between the region 66 and both regions, and both regions are close to each other.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

上述した従来の半導体集積回路では、PチャネルMOSト
ランジスタ領域65とNチャネルMOSトランジスタ領域66
とが接近しているため、第7図のように両トランジスタ
間に寄生トランジスタが発生し、ラッチアップを生じ易
い。
In the conventional semiconductor integrated circuit described above, the P channel MOS transistor region 65 and the N channel MOS transistor region 66 are provided.
Since and are close to each other, a parasitic transistor is generated between both transistors as shown in FIG. 7, and latch-up is likely to occur.

即ち、第7図において、PチャネルMOSトランジスタ(6
5)のP型ソース領域71及びP型ドレイン領域72をエミ
ッタ、N基板77をベース、Pウェル78をコレクタとした
横型PNPトランジスタTr1とTr3が構成される。また、N
チャネルMOSトランジスタ(66)のN型ソース領域73又
はN型ドレイン領域74をエミッタ、Pウェル78をベー
ス、N基板77をコレクタとした縦型NPNトランジスタTr2
とTr4が構成される。これらのトランジスタのベースに
バイアスを与えるベース抵抗はR1,R3であるが、VDD電極
75とベース77及びVSS電極76とベース78間の抵抗で各拡
散層の近傍に形成される分布定数抵抗である。トランジ
スタTr1とTr2のエミッタ抵抗R2,R4は各々P及びNチャ
ネルトランジスタのソース電極71,73とVDD又はVSS電極
間に構成される抵抗である。
That is, in FIG. 7, a P-channel MOS transistor (6
The lateral PNP transistors Tr 1 and Tr 3 having the P-type source region 71 and the P-type drain region 72 of 5) as an emitter, the N substrate 77 as a base, and the P-well 78 as a collector are formed. Also, N
A vertical NPN transistor Tr 2 in which the N-type source region 73 or the N-type drain region 74 of the channel MOS transistor (66) is the emitter, the P-well 78 is the base, and the N-substrate 77 is the collector.
And Tr 4 are configured. The base resistors that bias the bases of these transistors are R 1 and R 3 , but the V DD electrode
75 and the base 77, and the resistance between the V SS electrode 76 and the base 78 is a distributed constant resistance formed in the vicinity of each diffusion layer. The emitter resistances R 2 and R 4 of the transistors Tr 1 and Tr 2 are resistances formed between the source electrodes 71 and 73 of the P and N channel transistors and the V DD or V SS electrodes, respectively.

このため、例えば出力端子VOUTに十分大きな正の外来雑
音電圧が印加された場合、出力端子に繋がるトランジス
タTr3(信号が負の場合にはトランジスタTr4になる)の
ベースとエミッタ間は順バイアスされてTr3がオンとな
り、雑音電流がトランジスタTr2のベース抵抗R3を通っ
てVSSに流入する。この結果、トランジスタTr2がオン
し、VDDからトランジスタTr1のベース抵抗R1を通って電
流が流れ、トランジスタTr1をオンする。更に、トラン
ジスタTr1のコレクタ電流によりトランジスタTr2のベー
スが再びバイアスされる。結局、第8図のように、トラ
ンジスタTr1,Tr2、抵抗R1,R2,R3,R4とからなる閉ループ
回路に正帰還がかかり、外来雑音によるトリガ電流が消
失しても電源端子VDDとVSS間に電流が定常的に流れ、所
謂ラッチアップ現象が発生する。
Therefore, for example, when a sufficiently large positive external noise voltage is applied to the output terminal V OUT , the transistor Tr 3 (which becomes the transistor Tr 4 when the signal is negative) connected to the output terminal is normally connected between the base and emitter. It is biased to turn on Tr 3 and a noise current flows into V SS through the base resistance R 3 of transistor Tr 2 . As a result, the transistor Tr 2 is turned on, current flows from V DD through the base resistor R 1 of the transistor Tr 1, turns on the transistor Tr 1. Furthermore, the collector current of the transistor Tr 1 rebiases the base of the transistor Tr 2 . After all, as shown in FIG. 8, a positive feedback is applied to the closed loop circuit composed of the transistors Tr 1 and Tr 2 and the resistors R 1 , R 2 , R 3 and R 4, and even if the trigger current due to external noise disappears, the power supply A current constantly flows between the terminals V DD and V SS , and a so-called latch-up phenomenon occurs.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明の半導体集積回路は、チップサイズを大きくする
ことなくラッチアップを防止することができるように、
出力バッファの高駆動トランジスタを駆動するトランジ
スタ及び入力バッファのトランジスタ領域をセル列の領
域内に取込み、このセル列を高駆動トランジスタ領域に
対して配線領域を挟んで配置した構成としている。
The semiconductor integrated circuit of the present invention can prevent latch-up without increasing the chip size,
The transistor driving the high drive transistor of the output buffer and the transistor region of the input buffer are taken in the region of the cell row, and the cell row is arranged so as to sandwich the wiring region with respect to the high drive transistor area.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。 Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明のゲートアレイ方式のCMOS集積回路の入
出力バッファ回路近傍のレイアウト図である。図におい
て、1は高駆動の出力バッファ最終段のNチャネルMOS
トランジスタ領域、2は同様にPチャネルMOSトランジ
スタ領域、3は入力保護回路領域、4は信号引き出しパ
ッド、5,6は基本セル列、7は前記領域1,2,3,4とセル列
5間に設けた配線領域、8はセル列5,6間に設けた配線
領域である。前記NチャネルMOSトランジスタ領域1に
はNチャネルMOSトランジスタ11を、またPチャネルMOS
トランジスタ領域2にはPチャネルMOSトランジスタ12
を夫々配置している。また、前記セル列5,6には夫々P
ウェル14内に配置したNチャネルMOSトランジスタ列15
と、これに隣接するPチャネルMOSトランジスタ列16と
を配置し、所要のCMOS回路を構成するようになってい
る。また、この実施例では配線9によって所望の論理機
能を得るように回路構成している。この配線9は、第1
層配線21と第2層配線22で多層構造に構成し、コンタク
トホールやスルーホール25等で所要の接続を図ってい
る。
FIG. 1 is a layout diagram in the vicinity of an input / output buffer circuit of a gate array type CMOS integrated circuit of the present invention. In the figure, 1 is an N-channel MOS at the final stage of a high drive output buffer.
Transistor area, 2 is a P-channel MOS transistor area in the same manner, 3 is an input protection circuit area, 4 is a signal extraction pad, 5 and 6 are basic cell rows, and 7 is between the areas 1, 2, 3, 4 and cell row A wiring area 8 is provided between the cell rows 5 and 6. An N channel MOS transistor 11 is provided in the N channel MOS transistor region 1 and a P channel MOS transistor is provided.
P-channel MOS transistor 12 is provided in the transistor region 2.
Are arranged respectively. Further, the cell rows 5 and 6 have P
N-channel MOS transistor array 15 arranged in well 14
And a P-channel MOS transistor array 16 adjacent thereto are arranged to form a required CMOS circuit. In addition, in this embodiment, the circuit is configured to obtain a desired logical function by the wiring 9. This wiring 9 is the first
The layer wiring 21 and the second layer wiring 22 are formed into a multi-layer structure, and the required connection is achieved by a contact hole, a through hole 25, or the like.

そして、この実施例では第2図乃至第4図に夫々示すよ
うに入力バッファ、出力バッファ、入出力バッファの各
回路を構成する場合、これらは図示破線で囲むような各
ブロック31〜35の組み合わせで構成できる。ここで、ブ
ロック31は前記入力保護回路領域3で構成し、ブロック
33は高駆動の出力バッファ用のN及びPの各チャネルMO
Sトランジスタ11,12で構成する。更にブロック32,34,35
はファンクションセルとして前記セル列5,6内のMOSトラ
ンジスタ列14を用いて構成する。図中、40〜49は各ブロ
ックにおける夫々の端子を示し、図示のように配線9で
相互の接続を行っている。なお、第1図においてブロッ
ク32,34,35は論理図で表しているが、実際は前記したMO
Sトランジスタで所要の回路が構成されていることは言
うまでもない。
In this embodiment, when each circuit of the input buffer, the output buffer, and the input / output buffer is configured as shown in FIGS. 2 to 4, these are combinations of blocks 31 to 35 surrounded by broken lines in the drawing. Can be configured with. Here, the block 31 comprises the input protection circuit region 3 and
33 is each channel MO of N and P for high drive output buffer
It is composed of S transistors 11 and 12. Further blocks 32, 34, 35
Is formed by using the MOS transistor array 14 in the cell arrays 5 and 6 as a function cell. In the figure, reference numerals 40 to 49 denote respective terminals in each block, which are interconnected by wiring 9 as shown in the figure. In addition, although the blocks 32, 34, and 35 are shown in the logical diagram in FIG.
It goes without saying that the required circuit is composed of S transistors.

この構成によれば、配線領域7はトランジスタ等の活性
領域は全く存在せず、配線領域8と同様である。このた
め、この配線領域7によって高駆動PチャネルMOSトラ
ンジスタ領域2とセル列5のNチャネルMOSトランジス
タ15のPウェル14までの距離Wは極めて大きくなる。し
たがって、この距離Wは第7図に示したトランジスタTr
3のベース幅Wの大きさを示すことになり、第1図にお
ける領域2,7,14で構成される寄生横型PNPトランジスタ
のベース幅を大きなものにする。これにより、この寄生
トランジスタの直流電流増幅率は小さくなり、ラッチア
ップの発生を有効に防止する。
According to this structure, the wiring region 7 has no active regions such as transistors at all, and is similar to the wiring region 8. For this reason, the distance W between the high drive P-channel MOS transistor region 2 and the P-well 14 of the N-channel MOS transistor 15 in the cell column 5 becomes extremely large due to the wiring region 7. Therefore, this distance W is equal to the transistor Tr shown in FIG.
The base width W of 3 is shown, and the base width of the parasitic lateral PNP transistor formed by the regions 2, 7, and 14 in FIG. 1 is increased. As a result, the DC current amplification factor of this parasitic transistor becomes small, and the occurrence of latch-up is effectively prevented.

また、この構成では従来の入出力バッファに相当するト
ランジスタをセル列に構成しているので、第6図におけ
る領域63を省略することができ、この省略によって得ら
れたスペースに新たにファンクションセル列を形成すれ
ば、結果としてチップサイズを大きくすることにはなら
ない。
Further, in this configuration, since the transistor corresponding to the conventional input / output buffer is configured in the cell column, the region 63 in FIG. 6 can be omitted, and the function cell column is newly added to the space obtained by this omission. However, as a result, the chip size is not increased.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明は、出力バッファの高駆動ト
ランジスタを駆動するトランジスタ及び入力バッファの
トランジスタの領域を、高駆動トランジスタ領域に対し
て配線領域を挟んで配置したセル列内に構成しているの
で、高駆動トランジスタとこれ以外のトランジスタとの
間で生ずる寄生トランジスタのベース幅を大きくし、そ
の直流電流増幅率を小さくしてラッチアップを有効に防
止できる。また、高駆動トランジスタ以外のトランジス
タ領域を省略してここに新たにセル列を配置できるの
で、セル列のトランジスタをファンクションセルとして
構成してもチップサイズを大きくすることはない。
As described above, according to the present invention, the regions of the transistors that drive the high drive transistors of the output buffer and the transistors of the input buffer are formed in the cell row in which the wiring region is arranged with respect to the high drive transistor region. Therefore, it is possible to effectively prevent the latch-up by increasing the base width of the parasitic transistor generated between the high drive transistor and the other transistors and decreasing the DC current amplification factor thereof. Further, since the transistor region other than the high drive transistor can be omitted and a new cell column can be arranged here, the chip size is not increased even if the transistors in the cell column are configured as function cells.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の半導体集積回路の要部の平面レイアウ
ト図、第2図乃至第4図は入力バッファ,出力バッフ
ァ,入出力バッファを示す図でこれらの図の(a)は論
理回路図、(b)はブロック回路図、第5図は一般的な
ゲートアレイのレイアウト図、第6図はその一部の拡大
図、第7図は寄生トランジスタを説明するための模式的
な断面図、第8図は寄生サイリスタの回路図である。 1……高駆動のNチャネルMOSトランジスタ領域、2…
…高駆動のPチャネルMOSトランジスタ領域、3……入
力保護回路領域、4……信号引き出しパッド、5,6……
基本セル例、7,8……配線領域、9……配線、14……P
ウェル、15……入力バッファ等のNチャネルMOSトラン
ジスタ、16……入力バッファ等のPチャネルMOSトラン
ジスタ、21……第1層配線、22……第2層配線、25……
コンタクト、31〜35……ブロック、40〜49……端子、51
……基本セル列、52……配線領域、53……入出力バッフ
ァ、54……信号引き出しパッド、62……高駆動CMOSトラ
ンジスタ領域、63……入力バッファ等のCMOSトランジス
タ領域、64……高駆動NチャネルMOSトランジスタ領
域、65……高駆動PチャネルMOSトランジスタ領域、66
……入力バッファ等のN型MOSトランジスタ領域、67…
…入力バッファ等のP型MOSトランジスタ領域、71,72…
…P型ソース・ドレイン領域、73,74……N型ソース・
ドレイン領域、77……N型基板、78……Pウェル、Tr1
〜Tr4……寄生トランジスタ、R1〜R4……抵抗。
FIG. 1 is a plan layout diagram of a main part of a semiconductor integrated circuit according to the present invention, and FIGS. 2 to 4 are diagrams showing an input buffer, an output buffer, and an input / output buffer. FIG. 1A is a logic circuit diagram. , (B) is a block circuit diagram, FIG. 5 is a layout diagram of a general gate array, FIG. 6 is an enlarged view of a part thereof, FIG. 7 is a schematic sectional view for explaining a parasitic transistor, FIG. 8 is a circuit diagram of the parasitic thyristor. 1 ... Highly driven N-channel MOS transistor region, 2 ...
… Highly driven P-channel MOS transistor area, 3 …… Input protection circuit area, 4 …… Signal extraction pad, 5,6 ……
Basic cell example, 7,8 ... Wiring area, 9 ... Wiring, 14 ... P
Well, 15 ... N-channel MOS transistor such as input buffer, 16 ... P-channel MOS transistor such as input buffer, 21 ... First layer wiring, 22 ... Second layer wiring, 25 ...
Contact, 31-35 …… Block, 40-49 …… Terminal, 51
…… Basic cell row, 52 …… Wiring area, 53 …… I / O buffer, 54 …… Signal extraction pad, 62 …… High drive CMOS transistor area, 63 …… CMOS buffer area such as input buffer, 64 …… High Drive N-channel MOS transistor area, 65 ... High drive P-channel MOS transistor area, 66
... N-type MOS transistor area such as input buffer, 67 ...
... P-type MOS transistor area such as input buffer, 71,72 ...
… P-type source / drain regions, 73,74 …… N-type source /
Drain region, 77 ... N type substrate, 78 ... P well, Tr 1
~ Tr 4 …… Parasitic transistor, R 1 ~ R 4 …… Resistor.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/08 331 Z 9170−4M ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical indication H01L 27/08 331 Z 9170-4M

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】セル列と入出力バッファとを備えるゲート
アレイ方式のCMOS集積回路において、P及びNチャネル
の各MOSトランジスタからなる出力バッファ用の高駆動
トランジスタ領域と、この高駆動トランジスタを駆動し
或いは入力バッファとして作用するP及びNチャネルの
トランジスタ領域とを備え、この高駆動トランジスタを
駆動し或いは入力バッファとして作用するトランジスタ
を前記セル列内のトランジスタで構成しかつ前記セル列
と前記高駆動トランジスタ領域との間に配線領域を配置
して、この配線領域に、前記高駆動トランジスタとこの
トランジスタを駆動するトランジスタとの間の配線或い
は前記入力バッファとしてのトランジスタへの配線、前
記セル列におけるセル間配線を形成したことを特徴とす
る半導体集積回路。
1. In a gate array type CMOS integrated circuit having a cell array and an input / output buffer, a high drive transistor region for an output buffer, which is composed of P and N channel MOS transistors, and drives the high drive transistor. Alternatively, a P and N channel transistor region acting as an input buffer is provided, and the transistor for driving this high driving transistor or acting as an input buffer is constituted by a transistor in the cell row, and the cell row and the high driving transistor are provided. A wiring region is arranged between the high-driving transistor and the transistor that drives the transistor, or a wiring to the transistor as the input buffer, between cells in the cell row A semiconductor integrated circuit having wiring formed therein.
JP60236604A 1985-10-22 1985-10-22 Semiconductor integrated circuit Expired - Lifetime JPH0787240B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60236604A JPH0787240B2 (en) 1985-10-22 1985-10-22 Semiconductor integrated circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60236604A JPH0787240B2 (en) 1985-10-22 1985-10-22 Semiconductor integrated circuit

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6295852A JPS6295852A (en) 1987-05-02
JPH0787240B2 true JPH0787240B2 (en) 1995-09-20

Family

ID=17003101

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60236604A Expired - Lifetime JPH0787240B2 (en) 1985-10-22 1985-10-22 Semiconductor integrated circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0787240B2 (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0821625B2 (en) * 1987-10-02 1996-03-04 三菱電機株式会社 Semiconductor integrated circuit device
JP2881809B2 (en) * 1989-05-02 1999-04-12 トヨタ自動車株式会社 How to manage order instruction cards
JP2794837B2 (en) * 1989-10-16 1998-09-10 トヨタ自動車株式会社 Parts delivery instruction device
JP2727994B2 (en) * 1994-12-28 1998-03-18 日本電気株式会社 Semiconductor integrated circuit

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60110137A (en) * 1983-11-18 1985-06-15 Sanyo Electric Co Ltd Semiconductor device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6295852A (en) 1987-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5376816A (en) Bi-cmos integrated circuit device having buried region use in common for bipolar and mos transistors
JPH0315348B2 (en)
JPH0828480B2 (en) Semiconductor integrated circuit device
KR100449874B1 (en) Semiconductor integrated circuit device
JP3962441B2 (en) Semiconductor device
JPH0787240B2 (en) Semiconductor integrated circuit
US5969391A (en) Complementary insulated-gate field-effect transistors having improved anti-latchup characteristic
US4725745A (en) Bi-MOS PLA
JPH09102551A (en) Semiconductor device
JP2602974B2 (en) CMOS semiconductor integrated circuit device
JP3060673B2 (en) Semiconductor integrated circuit
JP2661318B2 (en) Semiconductor device
JP2911345B2 (en) Semiconductor integrated circuit device
JPH08222640A (en) Semiconductor integrated circuit device
JPH0357314A (en) Semiconductor device
JPS61208864A (en) C-mos integrated circuit device
JP3065672B2 (en) Gate array type semiconductor integrated circuit device
JPH0314232B2 (en)
JPH10223846A (en) I/o protective circuit
JPH09191054A (en) Cmos transistor
JPH0636596Y2 (en) CMOS semiconductor device
JPH0566737B2 (en)
JPH0567738A (en) Semiconductor integrated circuit device
JP2778062B2 (en) Buffer circuit
JPS5832505B2 (en) semiconductor integrated circuit