JPH0785294B2 - 磁気ヘツドの有機絶縁物露出判定法 - Google Patents
磁気ヘツドの有機絶縁物露出判定法Info
- Publication number
- JPH0785294B2 JPH0785294B2 JP24521686A JP24521686A JPH0785294B2 JP H0785294 B2 JPH0785294 B2 JP H0785294B2 JP 24521686 A JP24521686 A JP 24521686A JP 24521686 A JP24521686 A JP 24521686A JP H0785294 B2 JPH0785294 B2 JP H0785294B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescence
- organic insulator
- magnetic head
- light
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気ヘッドの有機絶縁物露出判定法に係り、
特に蛍光の偏光特性を利用した有機絶縁物露出判定法に
関する。
特に蛍光の偏光特性を利用した有機絶縁物露出判定法に
関する。
磁気ヘッドの形状に関しては、エレクトロニック パッ
ケイジング テクノロジー（Electronic Packaging Tec
hnology）Vol1,No.2 p111〜113（1985−７）等に述べら
れており、表面の透明保護膜を通して内部のパターン形
状を顕微鏡により拡大して見ることについての記述があ
る。このパターンの断面形状については、ヘッドを破断
しなければ見ることができないため、非破壊的に検査す
る適当な方法がなかった。
ケイジング テクノロジー（Electronic Packaging Tec
hnology）Vol1,No.2 p111〜113（1985−７）等に述べら
れており、表面の透明保護膜を通して内部のパターン形
状を顕微鏡により拡大して見ることについての記述があ
る。このパターンの断面形状については、ヘッドを破断
しなければ見ることができないため、非破壊的に検査す
る適当な方法がなかった。
しかしながら、上記従来技術においては、ヘッドを破断
しなければ、パターンの断面形状をみることができず、
非破壊的に検査する点について配慮されていなかった。
しなければ、パターンの断面形状をみることができず、
非破壊的に検査する点について配慮されていなかった。
本発明の目的は、ヘッド内部の表面近傍を非破壊的に観
察可能とすることを目的とする。
察可能とすることを目的とする。
上記目的を達成するため、有機絶縁物が発する蛍光を観
察可能とし、この蛍光がスリット状の磁気ギャップを通
過する際に偏光特性を帯びる性質を利用して、その偏光
度を測定することにより、上記有機絶縁物がヘッドの表
面にどの程度接近しているか、または露出しているかの
有無が判定することを特徴とする。
察可能とし、この蛍光がスリット状の磁気ギャップを通
過する際に偏光特性を帯びる性質を利用して、その偏光
度を測定することにより、上記有機絶縁物がヘッドの表
面にどの程度接近しているか、または露出しているかの
有無が判定することを特徴とする。
有機絶縁物の蛍光（特定波長の光）を観察するために、
ヘッドに特定波長の光を照射する手段を設ける。磁気ギ
ャップを通過する際に上記蛍光は偏光特性を帯びるが、
その偏光度を測定するために互に90゜異なる振動方向成
分の蛍光の強さを受光素子で検出し、強度比を演算する
ことにより、有機絶縁物のヘッド表面までの距離または
ヘッド表面への露出の有無が判定できる。
ヘッドに特定波長の光を照射する手段を設ける。磁気ギ
ャップを通過する際に上記蛍光は偏光特性を帯びるが、
その偏光度を測定するために互に90゜異なる振動方向成
分の蛍光の強さを受光素子で検出し、強度比を演算する
ことにより、有機絶縁物のヘッド表面までの距離または
ヘッド表面への露出の有無が判定できる。
本発明の実施例を第１〜６図に示す。第２図は磁気ヘッ
ド断面形状を示す断面図である。１は磁気ヘッドで、上
部磁性膜３と下部磁性膜４との間には磁気ギャップを形
成する透明無機材料７とコイル５の空間を充てんするた
めの有機絶縁物６とがある。これらは基板８の上に形成
され、さらにこれらの表面は透明保護膜２で保護されて
いる。
ド断面形状を示す断面図である。１は磁気ヘッドで、上
部磁性膜３と下部磁性膜４との間には磁気ギャップを形
成する透明無機材料７とコイル５の空間を充てんするた
めの有機絶縁物６とがある。これらは基板８の上に形成
され、さらにこれらの表面は透明保護膜２で保護されて
いる。
従来ヘッドの各部寸法を測定するには第２図のY,Z方向
から顕微鏡観察するしかなかったが、Ｙ方向から見た場
合には、有機絶縁物６の先端部Ｃ点と上部磁性膜３の角
部Ｂ点とは完全には一致していないから、Ｃ点から摺動
面（Ａ面）までの距離を正確に0.1μｍオーダの精度で
測定することは困難である。また第３図に見るようにヘ
ッドをＺ方向から見た場合には、仮に有機絶縁物６が表
面（摺動面）に露出していたとしても、有機絶縁物6,磁
気ギャップ材料７は共に殆ど透明な材料のため、見分け
がつかず、有機絶縁物６の表面への露出有無を判定する
ことができなかった。有機絶縁物６の露出形状は、第３
図で磁性膜先端露出部３−１に沿って平行な形状とな
る。この有機絶縁物６の露出があると、磁気ヘッド１が
ディスク面を滑走するときの摺動特性が悪くなるため、
露出有無を明確に判定する必要がある。
から顕微鏡観察するしかなかったが、Ｙ方向から見た場
合には、有機絶縁物６の先端部Ｃ点と上部磁性膜３の角
部Ｂ点とは完全には一致していないから、Ｃ点から摺動
面（Ａ面）までの距離を正確に0.1μｍオーダの精度で
測定することは困難である。また第３図に見るようにヘ
ッドをＺ方向から見た場合には、仮に有機絶縁物６が表
面（摺動面）に露出していたとしても、有機絶縁物6,磁
気ギャップ材料７は共に殆ど透明な材料のため、見分け
がつかず、有機絶縁物６の表面への露出有無を判定する
ことができなかった。有機絶縁物６の露出形状は、第３
図で磁性膜先端露出部３−１に沿って平行な形状とな
る。この有機絶縁物６の露出があると、磁気ヘッド１が
ディスク面を滑走するときの摺動特性が悪くなるため、
露出有無を明確に判定する必要がある。
本発明はこの有機材料６と無機材料７の識別法として蛍
光観察法に着目した。ある特定の波長の光（例えば緑色
の光）で照明し、その照明光とは別波長の特定の光（例
えば赤色の光；蛍光と言う）を観察すると、無機材料は
蛍光を発しないが、有機材料は明瞭な蛍光を発する。し
かるに第２図で上記照明光を対物レンズ９側からあてる
と、有機絶縁物６の先端Ｃが表面に露出していなくて
も、上記蛍光は透明材料の磁気ギャップ７を通って表面
に見えてくるため、対物レンズを通して蛍光が見えたか
どうかだけでは、有機絶縁物６の露出有無を判定するこ
とができない。
光観察法に着目した。ある特定の波長の光（例えば緑色
の光）で照明し、その照明光とは別波長の特定の光（例
えば赤色の光；蛍光と言う）を観察すると、無機材料は
蛍光を発しないが、有機材料は明瞭な蛍光を発する。し
かるに第２図で上記照明光を対物レンズ９側からあてる
と、有機絶縁物６の先端Ｃが表面に露出していなくて
も、上記蛍光は透明材料の磁気ギャップ７を通って表面
に見えてくるため、対物レンズを通して蛍光が見えたか
どうかだけでは、有機絶縁物６の露出有無を判定するこ
とができない。
そこで本発明では第１図，第４図及び第５図の方法によ
り蛍光観察による有機絶縁物の露出有無判定を可能にし
た。
り蛍光観察による有機絶縁物の露出有無判定を可能にし
た。
第１図で照明光源12から出た光は照明レンズ11を通りダ
イクロイックミラ（プリズム）10に入射し、プリズム反
射面に施された蒸着膜フィルタの作用により、特定の波
長の光のみが反射され対物レンズ９に向い、他の波長の
光はプリズムを透過してしまうか吸収されてしまう。対
物レンズを通過した特定波長の光は磁気ヘッド１を照明
すると磁気ヘッドからは照明光と同波長の反射光の他に
照明光波長とは異なる特定波長の光（蛍光）を発する。
これらの光が対物レンズを通って再びダイクロイックミ
ラ10を通過する際、プリズム表面に施された蒸着膜フィ
ルタの作用により、上記磁気ヘッドの反射光成分の光を
遮へいし、蛍光成分の波長の光を透過させることができ
る。このようにして透過した蛍光成分は結像レンズ13,1
5によりTVカメラ16上に像を結ぶ。この際本発明では結
像光路中に検光子（偏光板）14を挿入することにより、
有機絶縁物６から出射された光が平行スリット状の磁気
ギャップ７を通過する際に受ける偏光状態を測定可能に
している。
イクロイックミラ（プリズム）10に入射し、プリズム反
射面に施された蒸着膜フィルタの作用により、特定の波
長の光のみが反射され対物レンズ９に向い、他の波長の
光はプリズムを透過してしまうか吸収されてしまう。対
物レンズを通過した特定波長の光は磁気ヘッド１を照明
すると磁気ヘッドからは照明光と同波長の反射光の他に
照明光波長とは異なる特定波長の光（蛍光）を発する。
これらの光が対物レンズを通って再びダイクロイックミ
ラ10を通過する際、プリズム表面に施された蒸着膜フィ
ルタの作用により、上記磁気ヘッドの反射光成分の光を
遮へいし、蛍光成分の波長の光を透過させることができ
る。このようにして透過した蛍光成分は結像レンズ13,1
5によりTVカメラ16上に像を結ぶ。この際本発明では結
像光路中に検光子（偏光板）14を挿入することにより、
有機絶縁物６から出射された光が平行スリット状の磁気
ギャップ７を通過する際に受ける偏光状態を測定可能に
している。
第３図で平行スリット状の磁気ギャップ７を上記蛍光が
通過する際、同図Ｐ方向の振動成分は著しく減衰する
が、スリット方向に沿うＳ方向の振動成分は殆ど減衰し
ない。このＳ成分とＰ成分の蛍光の強度比S/Pを測定す
ると例えば第５図のようになり、磁気ヘッドのギャップ
深さGD（第２図でＣ点からＡ面までの距離）が長いと強
度比は大きくなり、一方GDが０以下では有機材料が完全
に表面に露出しているため、蛍光の偏光特性は殆どなく
なり、強度比は１に収れんすることがわかる。
通過する際、同図Ｐ方向の振動成分は著しく減衰する
が、スリット方向に沿うＳ方向の振動成分は殆ど減衰し
ない。このＳ成分とＰ成分の蛍光の強度比S/Pを測定す
ると例えば第５図のようになり、磁気ヘッドのギャップ
深さGD（第２図でＣ点からＡ面までの距離）が長いと強
度比は大きくなり、一方GDが０以下では有機材料が完全
に表面に露出しているため、蛍光の偏光特性は殆どなく
なり、強度比は１に収れんすることがわかる。
この強度比S/Pを測定するために、第１図で結像光路中
に偏光板14を挿入し、これを光軸回りに回転させること
により、光通過方向を変化させ第３図のＳ方向に一致さ
せ、またそれと90゜方向に回転させることにより、Ｐの
方向の成分を検出することができる。
に偏光板14を挿入し、これを光軸回りに回転させること
により、光通過方向を変化させ第３図のＳ方向に一致さ
せ、またそれと90゜方向に回転させることにより、Ｐの
方向の成分を検出することができる。
一般に蛍光は光が弱く、さらに偏光板を通過した光は減
衰するため、十分な光強度が得られない。このため第１
図では画像加算処理回路17によりTV画像フレームを累積
加算し、画像のコントラストを改善してモニタTV18に画
像を表示する。モニタ画像の一例を第４図に示すが、同
画面上で磁性膜３−1,4−１を横切って縦方向測定ライ
ン（同図中破線）上の輝度信号波形を表示すると同図左
の波形のようになり、磁気ギャップの上部磁性膜近傍が
明るくなる。この有機絶縁物蛍光の明るさを、画面の基
準部の明るさと比較することにより第４図のように明る
さI1,I2を検出することができる。I1は磁性膜部の明る
さを基準にした場合、I2は基板８の任意の点の明るさを
基準にした場合の明るさである。
衰するため、十分な光強度が得られない。このため第１
図では画像加算処理回路17によりTV画像フレームを累積
加算し、画像のコントラストを改善してモニタTV18に画
像を表示する。モニタ画像の一例を第４図に示すが、同
画面上で磁性膜３−1,4−１を横切って縦方向測定ライ
ン（同図中破線）上の輝度信号波形を表示すると同図左
の波形のようになり、磁気ギャップの上部磁性膜近傍が
明るくなる。この有機絶縁物蛍光の明るさを、画面の基
準部の明るさと比較することにより第４図のように明る
さI1,I2を検出することができる。I1は磁性膜部の明る
さを基準にした場合、I2は基板８の任意の点の明るさを
基準にした場合の明るさである。
第５図で、GD＝０の判定基準値L0として蛍光強度比S/P
は約２となるが、データのばらつきを考えてL0＜L1とな
る基準値L1をもって良品と不良品（有機材料が露出して
いるもの）を判定することができる。
は約２となるが、データのばらつきを考えてL0＜L1とな
る基準値L1をもって良品と不良品（有機材料が露出して
いるもの）を判定することができる。
ここで磁気ギャップの厚さａ（第６図）は１μｍ以下の
程度であるが、多少ａが大きくても、高倍の対物レンズ
で画像総合倍率を十分大きくすれば焦点深度が浅くなる
ことと、有機材料Ｃ点から出た蛍光は磁気ギャップ材料
７の屈折率をｎ＝1.64とするとＡ面における全反射角θ
は約37゜となりａの幅に関係せずに、対物レンズに入射
するスリット状の光の幅（＜ａ）が決まってくるので、
上述した偏光特性は得られる。
程度であるが、多少ａが大きくても、高倍の対物レンズ
で画像総合倍率を十分大きくすれば焦点深度が浅くなる
ことと、有機材料Ｃ点から出た蛍光は磁気ギャップ材料
７の屈折率をｎ＝1.64とするとＡ面における全反射角θ
は約37゜となりａの幅に関係せずに、対物レンズに入射
するスリット状の光の幅（＜ａ）が決まってくるので、
上述した偏光特性は得られる。
有機材料による蛍光のばらつき等も考慮して、強度比S/
Pと同時に偏光板14を結像光路から除去した場合の蛍光
全体の明るさをチェックできるようにしておくと総合的
な判断をする上で便利である。
Pと同時に偏光板14を結像光路から除去した場合の蛍光
全体の明るさをチェックできるようにしておくと総合的
な判断をする上で便利である。
また本発明における磁気ヘッドの照明光のあて方として
は、対物レンズ９を通さなくても、他の任意の方向から
照射することが可能である。
は、対物レンズ９を通さなくても、他の任意の方向から
照射することが可能である。
本発明により、磁気ヘッドのギャップ深さと同時に、有
機絶縁物の露出有無の判定が可能になり非破壊測定が可
能になった。
機絶縁物の露出有無の判定が可能になり非破壊測定が可
能になった。
第１図は蛍光の偏光特性を測定するための装置構成を示
すための構成図、第２図は磁気ヘッド断面形状と対物レ
ンズを示す説明図、第３図は磁気ヘッドを摺動面側から
見た説明図、第４図はモニタ画面上の蛍光の輝度信号波
形を示す説明図、第５図は蛍光の偏光特性とギャップ深
さGDの関係を示す関係図、第６図は磁気ギャップ部にお
ける蛍光の全反射特性を示す説明図である。 １……磁気ヘッド ２……保護膜 3,4……磁性膜 ５……コイル ６……有機絶縁物 ７……磁気ギャップ ８……基板 ９……対物レンズ 10……ダイクロイックミラ 11……照明レンズ 12……照明光源 13,15……結像レンズ 14……偏光板（検光子） 16……TVカメラ 17……画像加算処理装置 18……モニタTV
すための構成図、第２図は磁気ヘッド断面形状と対物レ
ンズを示す説明図、第３図は磁気ヘッドを摺動面側から
見た説明図、第４図はモニタ画面上の蛍光の輝度信号波
形を示す説明図、第５図は蛍光の偏光特性とギャップ深
さGDの関係を示す関係図、第６図は磁気ギャップ部にお
ける蛍光の全反射特性を示す説明図である。 １……磁気ヘッド ２……保護膜 3,4……磁性膜 ５……コイル ６……有機絶縁物 ７……磁気ギャップ ８……基板 ９……対物レンズ 10……ダイクロイックミラ 11……照明レンズ 12……照明光源 13,15……結像レンズ 14……偏光板（検光子） 16……TVカメラ 17……画像加算処理装置 18……モニタTV
Claims (1)
- 【請求項１】磁気ヘッドの表面に特定波長の光を照射し
たときに、有機物が発する蛍光を観察し、この蛍光が磁
気ギャップを通過する際に生ずる偏光特性を、互に90゜
異なる振動方向成分の上記蛍光の強度比として検出した
ことを特徴とする磁気ヘッドの有機絶縁物露出判定法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24521686A JPH0785294B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気ヘツドの有機絶縁物露出判定法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24521686A JPH0785294B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気ヘツドの有機絶縁物露出判定法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63100606A JPS63100606A (ja) | 1988-05-02 |
| JPH0785294B2 true JPH0785294B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=17130359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24521686A Expired - Lifetime JPH0785294B2 (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気ヘツドの有機絶縁物露出判定法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0785294B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0778860B2 (ja) * | 1988-10-18 | 1995-08-23 | 株式会社日立製作所 | 薄膜磁気ヘッド |
| CN113167145B (zh) | 2018-12-07 | 2022-12-13 | 雅各布斯车辆系统公司 | 包括至少两个摇臂和单向联接机构的气门致动系统 |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP24521686A patent/JPH0785294B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63100606A (ja) | 1988-05-02 |
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