JPH0785291B2 - 磁気ヘツド - Google Patents

磁気ヘツド

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JPH0785291B2 JP61158987A JP15898786A JPH0785291B2 JP H0785291 B2 JPH0785291 B2 JP H0785291B2 JP 61158987 A JP61158987 A JP 61158987A JP 15898786 A JP15898786 A JP 15898786A JP H0785291 B2 JPH0785291 B2 JP H0785291B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、単結晶フェライトと多結晶フェライトとの接
合フェライトによる複合型の磁気ヘッドに関するもので
あり、特に摺動ノイズ低減のための改良に関するもので
ある。
〔発明の概要〕
本発明は、磁気記録媒体摺接部分に単結晶フェライトを
用い後部磁気回路を構成する部分に多結晶フェライトを
用いた複合型の磁気ヘッドにおいて、 前記単結晶フェライトと多結晶フェライトの接合界面に
酸化物磁性薄膜を形成することにより、 接合界面における拡散を抑え、摺動ノイズレベルの著し
く小さい磁気ヘッドを実現しようとするものである。
〔従来の技術〕
近年、ビデオテープレコーダ等の機器の小型化,長時間
化等の要求や所謂デジタルビデオテープレコーダ等の出
現に伴って、高密度記録や短波長記録が進められ、これ
に対応して高抗磁力磁気記録媒体が使用されるようにな
っている。
したがって、従来多用されている単結晶フェライトヘッ
ドでは記録特性と再生特性の両立が難しく、例えば磁気
記録媒体と接触するフロントギャップ側に高飽和磁束密
度を有する単結晶フェライトを用い、バックギャップ側
に高透磁率を有する多結晶フェライトを用いた、所謂接
合フェライト型の磁気ヘッドが提案されている。
この接合フェライト型磁気ヘッドは、従来型接合ヘッド
同様の単純な構造でありながら高密度記録が可能で、さ
らには優れた電磁変換効率を有する。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、上記接合フェライト型磁気ヘッドを作成する
際に、単結晶フェライトと多結晶フェライトとを接合一
体化するには、例えばガラス融着による方法が考えられ
る。しかしながら、この方法によれば接合温度を900℃
程度と低く設定でき拡散の低減を図ることができるもの
の、単結晶フェライトと多結晶フェライトとの間には、
膜厚300〜1200Å程度のガラス膜が介在され、熱膨張係
数の違いから内部歪が発生すること、絶縁物であるガラ
スを介在させることにより磁気抵抗が増大しSN比が劣化
すること、ガラスがフェライトを浸食すること、等が問
題となる。
そこでさらに従来、単結晶フェライトと多結晶フェライ
トとを窒素雰囲気中、1200〜1300℃程度の温度条件下、
5kg/cm2以上の圧力で直接接合する、いわゆる熱間加圧
処理が提案されている。
しかしながら、この熱間加圧処理によった場合、接合条
件の選択が困難であるばかりか、単結晶フェライトの拡
散によりこれらの界面にうねりが生ずるという現象が現
れ、また単結晶フェライトと多結晶フェライトとの接合
界面に生ずる拡散層は70〜300μmにも達することか
ら、単結晶フェライト部の長さのバラツキの大きい磁気
ヘッドとなってしまうという欠点を有する。
本発明者等の実験によれば、例えば上記接合フェライト
をビデオテープレコーダ用磁気ヘッドとした場合、単結
晶フェライト部の長さ(拡散層の長さも含む)と摺動ノ
イズとは密接な関係にあり、単結晶フェライト部の長さ
が大きい程摺動ノイズが増加する傾向にあることが判明
した。
したがって、単結晶フェライト部の長さは磁気ギャップ
のデプスと略一致させるのが理想的であるが、前述の熱
間加圧処理による場合には、界面のうねりや拡散が生ず
ることによりその制御が難しく、安全を見越してやや多
めになるように設定しているのが現状である。
あるいは、界面にCo,CoO,Co3O4等を介在させる方法も提
案されているが、拡散の抑制効果は充分なものとは言い
難く、100μm程度の拡散は避けられず、作成される磁
気ヘッドのノイズは大きなものとなる。
そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、拡散層の形成を抑制することにより単結
晶フェライトの長さを適正な値に制御可能とし、これに
よって摺動ノイズレベルの極めて小さな接合フェライト
型の磁気ヘッドを提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕 本発明者等は、上述の目的を達成せんものと長期に亘り
鋭意研究の結果、単結晶フェライトと多結晶フェライト
との界面の介在膜として酸化物磁性薄膜が非常に有効で
あることを見出した。
本発明にかかる知見に基づいて完成されたものであっ
て、磁気記録媒体摺接部分に単結晶フェライトを用い後
部磁気回路を構成する部分に多結晶フェライトを用いた
複合型の磁気ヘッドにおいて、前記単結晶フェライトと
多結晶フェライトの接合界面に酸化物磁性薄膜を形成し
たことを特徴とするものである。
〔作用〕
単結晶フェライトと多結晶フェライトとを高温で圧着す
ると、これらの界面が多結晶フェライト側に不規則に移
動する現象が生ずる。
これは固相拡散により単結晶フェライトの結晶方位に多
結晶フェライトの結晶粒が揃ってしまうこと(グレイン
成長Grain Growthと呼ばれている。)による。
本発明では、この界面に酸化物磁性薄膜を介することに
より、界面移動現象を最小限に抑制させることを特徴と
している。
その原理は、酸化物磁性薄膜の結晶粒構造が深く関わっ
ているものと考えられる。すなわち、通常の粉末治金法
で作成した多結晶フェライトと比べて酸化物磁性薄膜の
結晶粒が非常に細かく、また均一であることから、以下
の不連続粒成長現象により界面の移動が抑制されたもの
と推定される。
一般的知見として、フェライト焼結過程における結晶粒
成長は初期の結晶粒径(すなわち粉末の粒径)により大
きく異なり、細かく揃った結晶粒の多結晶体の場合、不
連続粒成長現象が現れることが知られている。不連続粒
成長とは、加熱温度により結晶粒成長が徐々に生ずるこ
となく、ある温度Txから急激に粒径が大きくなることを
言い、その温度Tx以下で加熱しても粒径の成長はほとん
ど生じないことが特徴である。
したがって、単結晶フェライトと多結晶フェライトを酸
化物磁性薄膜の結晶粒成長開始温度Txより低い温度で接
合すれば、粒成長が生じないので界面移動が抑制される
ことになる。
〔実施例〕
以下、本発明の具体的な実施例について図面を参照しな
がら説明する。
本発明を適用した接合フェライト型の磁気ヘッドは、第
1図及び第2図に示すように、磁気記録媒体対接面側で
磁気ギャップgを構成する単結晶フェライト部(1)
と、磁気ヘッドのバックギャップ側で磁気回路の大部分
を占める多結晶フェライト部(2)とを、酸化物磁性薄
膜(3)を介して接合一体化して構成されるものであ
る。なお、磁気ギャップg近傍部は、トラック幅を所定
の値に設定するためのトラック幅規制溝が切り欠かれ、
さらに磁気記録媒体に対する当たりを確保するために高
融点ガラス等の非磁性材(4),(5)が充填されてい
る。
接合フェライト型の磁気ヘッドでは、高抗磁力を有する
磁気記録媒体に対処するため、磁気ギャップは高飽和磁
束密度を有する単結晶フェライトにより構成する。一
方、フロントギャップ近傍のヘッドチップ部を除く磁気
回路の大部分は、磁気ヘッド全体の平均的な透磁率を高
める目的で、高透磁率を有する多結晶フェライトにより
構成する。これによって、記録時には磁気ヘッド全体が
高飽和磁束密度材料で構成されたのと同等の特性を示
し、高抗磁力磁気記録媒体に対しても充分な記録を行う
ことができ、また再生時には磁気ヘッドの平均透磁率が
高いことから良好な電磁変換特性を示す。
そして、本発明では、上記単結晶フェライト部(1)と
多結晶フェライト部(2)との接合界面に、膜厚1〜5
μm程度の酸化物磁性薄膜(3)を介在させたことを大
きな特徴としている。
上記酸化物磁性薄膜(3)は、非常に細かく揃った結晶
粒を有し、加熱により不連続粒成長を示す。したがっ
て、この酸化物磁性薄膜(3)が結晶粒成長する温度以
下の条件で熱間加圧処理を行えば、上記単結晶フェライ
ト部(1)と多結晶フェライト部(2)と間に拡散層が
形成されることはなく、界面のうねり等は解消される。
この結果、単結晶フェライト部(1)の長さLは、所定
の値に正確に抑えることができる。
上記酸化物磁性薄膜(3)としては、Mn−Znフェライ
ト,Mnフェライト,Ni−Znフェライト,Niフェライト,Fe−
Znフェライト,Feフェライト(マグネタイト)等のスピ
ネル型結晶構造を有するフェライト磁性薄膜や、YIG,Gd
IG等のガーネット型結晶構造を有する磁性薄膜、YFeO3
等のオルソフェライト型の磁性薄膜等が挙げられる。
これら酸化物磁性薄膜(3)は、スパッタ法や真空蒸着
法、メッキ法、CVD法、LPE法等の手法によって簡単に形
成することができる。
したがって、本実施例の磁気ヘッドを作成するには、先
ず単結晶フェライトブロックと多結晶フェライトブロッ
クとを用意し、これらの接合面を鏡面加工した後、前記
接合面にそれぞれ酸化物磁性薄膜を0.8〜3μm程度の
膜厚で被着し、熱間加圧処理により接合フェライトブロ
ックを作成する。この熱間加圧処理の条件としては、加
熱温度1200〜1300℃,圧力5kg/cm2前後とすればよい。
そして、この接合フェライトブロックに対して、巻線溝
加工,トラック幅規制溝加工等を施す等、通常の磁気ヘ
ッド作成の工程を経ることにより本実施例の磁気ヘッド
は完成される。
ところで、上述の磁気ヘッドでは、単結晶フェライト部
(1)の長さLが摺動ノイズに大きな影響を与える。本
発明者等が単結晶フェライト部(1)の長さLをいろい
ろと変え、その時の摺動ノイズレベルを測定したとこ
ろ、第3図に示すように、単結晶フェライト部(1)の
長さLが100μmを越えると摺動ノイズレベルが急激に
増加することが明らかとなった。したがって、単結晶フ
ェライト部(1)の長さLは、デプス0の線に略一致さ
せて100μm以下に抑えることが好ましい。本発明の磁
気ヘッドでは、酸化物磁性薄膜(3)を介在させて単結
晶フェライトの拡散を防止しているので、前記単結晶フ
ェライト部(1)の長さを容易に所定の値に制御するこ
とができ、L≦100μmとすることができる。これに対
して、単なる熱間加圧処理では、拡散が生ずることから
前述の制御が難しく、摺動ノイズを犠牲にしても単結晶
フェライト部(1)の長さLをやや多めに設定せざるを
得なかった。
次に、本発明者等が実際に作成した磁気ヘッドの実験デ
ータにより本発明を説明する。
先ず、下記の組成を有する単結晶フェライト及び多結晶
フェライトを用い、これらにそれぞれMn0.5Zn0.5Fe2O4
なる組成を有する合金ターゲットを用いて酸化物磁性薄
膜を膜厚3μmで形成し、窒素雰囲気中で650℃,2時間
アニール処理した後、熱間加圧接合し、第1図に示すと
同様に接合フェライト型磁気ヘッドを作成した。これを
実施例とする。なお、熱間加圧処理の処理条件は、接合
温度1250℃,加圧圧力5kg/cm2,窒素雰囲気中とした。
単結晶フェライト組成 Fe2O3 52.0mol% MnO 28.0mol% ZnO 20.0mol% 多結晶フェライト組成 Fe2O3 52.0mol% MnO 28.0mol% ZnO 20.0mol% 次に、これと同様の組成を有する単結晶フェライト及び
多結晶フェライトを用い、これらを直接熱間加圧処理し
て磁気ヘッドを作成した。これを比較例とする。
得られた各磁気ヘッドについて、単結晶フェライト部と
多結晶フェライト部の接合界面を顕微鏡により観察し
た。第4図は酸化物磁性薄膜をスパッタ法により形成し
た場合の接合界面における結晶構造の様子を示す顕微鏡
写真(倍率150倍)であり、第5図は直接熱間加圧処理
した場合の接合界面における結晶構造の様子を示す顕微
鏡写真(倍率150倍)である。
これら顕微鏡写真より有らかなように、酸化物磁性薄膜
を設けた場合には、単結晶フェライトと多結晶フェライ
トとの界面が上記酸化物磁性薄膜を境にはっきりと分か
れており、単結晶フェライトの拡散による界面のうねり
がほとんど見られない。これに対して、直接熱間加圧処
理したものでは、単結晶フェライトが拡散し、実質的な
単結晶フェライト部の長さが増加し、また界面にうねり
が生じているのが観察される。
次に、上記実施例及び比較例(但し、拡散層が140μm
のものを選んで比較例1とし、拡散層が70μmのものを
選んで比較例2とした。)について、その摺動ノイズレ
ベルを測定した。
摺動ノイズレベルの測定方法としては、磁気テープを走
行させないで1インチビデオテープレコーダのシステム
ノイズのノイズレベルをスペクトラムアナライザで測定
した後、消磁した磁気テープを走行させ、同様にスペク
トラムアナライザで摺動ノイズレベルを測定した。な
お、測定に際しては、磁気テープとしてCo被着γ−Fe2O
3系の1インチ幅磁気テープ(ソニー社製,商品名V1K及
びV16)を用い、1インチビデオテープレコーダとして
はソニー社製,BVH−2000等を使用した。測定結果を第6
図ないし第8図に示す。これら図面において、最もノイ
ズレベルの低い線は、システムノイズレベルを示すもの
で、その他の3本の線が磁気テープ及び1インチビデオ
テープレコーダの組み合わせを変えて測定した時の摺動
ノイズレベルを示すものである。
第6図は実施例の摺動ノイズレベルを示すもので、いず
れの磁気テープ,ビデオテープレコーダを用いた場合に
も、摺動ノイズレベルが低い値に抑えられていることが
わかる。これに比べて、第7図に示す比較例1や第8図
に示す比較例2の摺動ノイズレベルは、かなり高いレベ
ルにあることがわかる。
そこで、上記各実施例,比較例の摺動ノイズレベルをよ
り明確に比較するために、20MHz,30MHz,40MHzにおける
摺動ノイズレベルをプロットし、1枚の図面にまとめた
ところ、第9図に示すような結果が得られた。なお、こ
の測定データは、磁気テープとしてソニー社製,1インチ
磁気テープV−1Kを、ビデオテープレコーダとしてソニ
ー社製,BVH−2000を用いた時の値である。
その結果、単結晶フェライトと多結晶フェライトとの界
面に酸化物磁性薄膜を介在させることによって、少なく
とも5dB程度の摺動ノイズレベルの改善に見られること
がわかった。
〔発明の効果〕 以上の説明からも明らかなように、本発明におては、単
結晶フェライトと多結晶フェライトとの接合界面に酸化
物磁性薄膜を介在させているので、これらの接合界面に
おける拡散が著しく抑えられ、界面のうねり等が解消さ
れるとともに、単結晶フェライト部の長さを所定の値に
正確に抑えることができる。したがって、本発明を適用
した接合フェライト型の磁気ヘッドは、極めて摺動ノイ
ズレベルの低いものとなる。
また、単結晶フェライトと多結晶フェライトとの間に介
在される酸化物磁性薄膜は、これらの接合境界部分にお
ける磁気的な結合に悪影響を及ぼすこともなく、したが
ってSN比の高い磁気ヘッドとすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を適用した磁気ヘッドの一例を示す外観
斜視図であり、第2図は第1図A−A線における断面図
である。 第3図は単結晶フェライト部の長さと摺動ノイズレベル
の関係を示す特性図である。 第4図及び第5図は単結晶フェライトと多結晶フェライ
トとの接合界面における結晶構造を示す顕微鏡写真であ
り、第4図は酸化物磁性薄膜を介在させた場合の顕微鏡
写真、第5図は直接熱間加圧処理した場合の顕微鏡写真
である。 第6図は本発明を適用した実施例における摺動ノイズレ
ベルの周波数特性を示す特性図、第7図は比較例におけ
る摺動ノイズレベルの周波数特性を示す特性図、第8図
は他の比較例における摺動ノイズレベルの周波数特性を
示す特性図である。 第9図は実施例における摺動ノイズレベルを比較例のそ
れと比べて示す特性図である。 1……単結晶フェライト部 2……他結晶フェライト部 3……酸化物磁性薄膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 菅井 徹 東京都品川区北品川6丁目5番6号 ソニ ー・マグネ・プロダクツ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−83320(JP,A)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁気記録媒体摺接部分に単結晶フェライト
    を用い後部磁気回路を構成する部分に多結晶フェライト
    を用いた複合型の磁気ヘッドにおいて、 前記単結晶フェライトと多結晶フェライトの接合界面に
    酸化物磁性薄膜を形成したことを特徴とする磁気ヘッ
    ド。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2513205B2 (ja) * 1987-02-04 1996-07-03 ソニー株式会社 複合磁気ヘツド
JPS63205809A (ja) * 1987-02-20 1988-08-25 Canon Inc 磁気ヘツド
JPH0730465B2 (ja) * 1989-01-09 1995-04-05 日本碍子株式会社 負圧形磁気ヘッドスライダ及びその製造方法
JPH05114110A (ja) * 1991-10-22 1993-05-07 Hitachi Metals Ltd 磁歪振動ノイズを減少させた浮上型磁気ヘツド
EP0541156B1 (en) * 1991-11-04 1997-04-09 Koninklijke Philips Electronics N.V. Magnetic head having a core portion of polycrystalline MnZn ferroferrite
JPH10188212A (ja) * 1996-12-25 1998-07-21 Sony Corp 磁気ヘッド

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54121108A (en) * 1978-03-13 1979-09-20 Akai Electric Mnnzn ferrite monocrystal magnetic head and method of fabricating same

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KR880002125A (ko) 1988-04-29
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JPS6314311A (ja) 1988-01-21

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