JPH0777209A - エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット - Google Patents

エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット

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JPH0777209A
JPH0777209A JP22437493A JP22437493A JPH0777209A JP H0777209 A JPH0777209 A JP H0777209A JP 22437493 A JP22437493 A JP 22437493A JP 22437493 A JP22437493 A JP 22437493A JP H0777209 A JPH0777209 A JP H0777209A
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JP
Japan
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air
pipe
built
filter
gas
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JP22437493A
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English (en)
Inventor
Shoichi Seto
正一 瀬戸
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Fujitsu Isotec Ltd
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Fujitsu Isotec Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 供給された気体から微粒子やミストを分離し
て、清浄な気体を出力するエアーフィルター内蔵型エア
ーパイプユニットに関し、上流側の分岐配管から取り出
す気体の量が多少変化しても、下流側の分岐配管の出力
圧力に影響が及ばず、設置や配管設計が容易で、設置ス
ペースも少なくて済むエアーフィルター内蔵型エアーパ
イプユニットを提供することを目的とする。 【構成】 気体の流れを貫通可能な管路部材11と、管
路部材11を包囲して開口部11Aを覆うフィルター素
子12と、フィルター素子12の周囲を包囲して管路部
材11の外壁との間に容積11Bを形成する圧力容器部
材13と、管路部材11の両端にそれぞれ設けた接続部
材14と、を有する構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、供給された気体から微
粒子やミストを分離して、清浄な気体を出力するエアー
フィルター内蔵型エアーパイプユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】特殊ガスの供給系や、エアー駆動システ
ムのエアー供給系には、エアーフィルターが使用され
る。これらの供給系を構成する配管構成には、接続、分
離等が容易で、配管、保守等の作業スペースや、配管構
成の占める配置スペースが少なくて済むことが求められ
る。
【0003】図5は、従来のエアーフィルターの接続例
の説明図である。図中、(a) は並列接続、(b) は直列接
続を示す。ここでは、配管を分岐して複数の機器に圧縮
空気を供給する場合のエアーフィルターの配置が示され
る。
【0004】図5(a) において、圧縮空気の供給装置か
ら延長された主管50には、個別配管50A、50B、
50C、50Dが分岐接続される。個別配管50A、5
0B、50C、50Dには、それぞれエアーフィルター
ユニット51が接続され、それぞれのエアーフィルター
ユニット51を通じて、図示しない複数の装置に圧縮空
気が供給される。それぞれの装置では、供給された圧縮
空気を調圧し、エアーシリンダーやエアーモーターを駆
動させて、必要な機械動作を実行する。
【0005】図5(b) において、圧縮空気の供給装置か
ら延長された主管56には、大容量のエアーフィルター
ユニット55が接続される。エアーフィルターユニット
55には、主配管58が接続され、主配管58からは、
複数の個別配管58A、58B、58C、58Dが分岐
接続される。個別配管50A、50B、50C、50D
を通じて、図示しない複数の装置に圧縮空気が供給され
る。
【0006】図5(a) 、(b) のエアーフィルターユニッ
ト51、55は、矢印で示されるように、供給された圧
縮空気を袋状のフィルター素子Fに貫通させて、圧縮空
気に含まれるダストやミストを漉し取る。エアーフィル
ターユニット51、57の底には、漉し取った水を噴出
させるための水抜き弁Mが設けてある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のエアーフィルタ
ーユニットで、図5(a) のような圧縮空気供給経路を構
成した場合、エアーフィルターユニット51の圧損が大
きいため、個別配管50A、50B、50C、50Dの
順で圧力が大きく低下する問題がある。個別配管50A
から圧縮空気を少しでも多く取り出すと、その影響は、
直ちに、下流側の個別配管50B、50C、50Dに及
ぶ。
【0008】そして、個別配管50B、50C、50D
の圧力が低下して、圧縮空気を使用する装置が誤動作し
たり、圧力低下を検知してこれらの装置で構成されるシ
ステムの全体が自動停止される可能性がある。
【0009】また、従来のエアーフィルターユニット
は、配管構造とは独立した単なる濾過機能だけの装置で
ある。従って、全体の配管構造の中に予め設置スペース
を確保しておかないと、エアーフィルターユニットを設
置できない問題がある。
【0010】また、従来のエアーフィルターユニット
は、下部の透明な圧力容器の底部分に分離された水をた
める構造だから、高さが大きく、小型のものでも10c
m、大型のものでは30cmにも達する。従って、エア
ーフィルターユニット自体の占めるスペースに加えて、
エアーフィルターユニットを取付け/取外しする作業ス
ペースや、水抜き等を行う保守スペースをかなりの広さ
に確保して配管設計する必要があった。
【0011】また、従来のエアーフィルターユニット
は、水抜きを行う保守スペースを確保した上で、その高
さ方向を垂直にして取り付ける必要があった。従って、
エアーフィルターユニットに接続される配管は、かなり
高い位置に配置しておく必要があり、例えば、床面に這
わせた固定配管には取付けできない問題がある。
【0012】そして、配管を高い位置で横切らせると、
床面上の交通を遮断したり、圧縮空気を実際に使用する
装置の陰に、清掃、保守点検、調整等が困難な死スペー
スを形成する結果となる。
【0013】また、従来のエアーフィルターユニット
は、その両側に接続された配管が支持枠等に固定されて
軸方向に移動できない場合、エアーフィルターユニット
を取外すことができない問題がある。
【0014】そして、エアーフィルターユニットを取外
す場合、まず、両側に接続された配管の少なくとも一方
を支持枠から開放して、軸方向に配管を退去できる状態
にする必要がある。そして、この一連の作業は、通常、
圧縮空気を実際に使用する装置の陰の狭くて不自由なス
ペースで実施されることになる。
【0015】また、従来のエアーフィルターユニット
は、下部の透明な圧力容器に圧縮空気を蓄えて、断続的
に圧縮空気が取り出された場合の出力圧力を平滑する構
造である。そして、透明な圧力容器の容積によって、平
滑できる限界の圧縮空気取り出し量が決定されている。
従って、エアーフィルターユニット全体を大容量のもの
に交換しない限り、圧縮空気取り出し量の限界を変更で
きない問題がある。
【0016】本発明は、上流側の分岐配管から取り出す
気体の量が多少変化しても、下流側の分岐配管の出力圧
力に影響が及ばず、設置や配管設計が容易で、設置スペ
ースも少なくて済むエアーフィルター内蔵型エアーパイ
プユニットを提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】図1は本発明の基本的な
構成の説明図である。図1において、請求項1のエアー
フィルター内蔵型エアーパイプユニットは、気体の流れ
を貫通可能で、その管壁に開口部11Aを設けた管路部
材11と、前記管路部材11を包囲して前記開口部11
Aを覆うフィルター素子12と、前記フィルター素子1
2の周囲を取り巻いて配置され、前記管路部材11の外
壁との間に容積13Bを形成し、気体の取り出し口13
Aを設けた圧力容器部材13と、前記管路部材11の両
端にそれぞれ設けた接続部材14と、を有するものであ
る。
【0018】請求項2のエアーフィルター内蔵型エアー
パイプユニットは、請求項1のエアーフィルター内蔵型
エアーパイプユニットにおいて、前記管路部材は、前記
フィルター素子を固定した外側管路部材と、前記外側管
路部材の内側空間を、気密を保って軸方向に移動可能な
内側管路部材と、で構成され、前記圧力容器部材は、前
記内側管路部材に対して一方の側が固定され、前記外側
管路部材の外壁に対して他方の側が気密を保って軸方向
に移動可能な部材、で構成され、前記内側管路部材と前
記外側管路部材の軸方向の相対的な位置関係を固定する
固定手段、を設けたものである。
【0019】請求項3のエアーフィルター内蔵型エアー
パイプユニットは、請求項2のエアーフィルター内蔵型
エアーパイプユニットにおいて、前記外側管路部材の端
部に配置されて、前記管路部材の外壁と前記圧力容器部
材との間の空間を、前記フィルター素子側と前記取り出
し口側とに2分割してオリフィスを構成する隔壁部材を
設けたものである。
【0020】
【作用】図1において、請求項1のエアーフィルター内
蔵型エアーパイプユニットは、供給された気体から微粒
子やミストを除去するのみならず、供給された気体の貫
流経路をも兼ねる。従って、この貫流経路を延長して、
適当な位置にエアーフィルター内蔵型エアーパイプユニ
ットを配置することにより、フィルター素子12の圧損
と無関係な気体の供給系を下流側に構成できる。
【0021】フィルター素子12は、その直径方向に気
体を貫流させて供給された気体から微粒子やミストを除
去する。濾過された気体は、取り出し口13Aを通じて
出力される。管路部材11は、供給された気体を、フィ
ルター素子12とは無関係に下流側へそのまま供給でき
る。容積13Bは、濾過された気体を蓄積し、取り出さ
れる気体の断続に対して、出力圧力の変化を平滑する。
【0022】請求項2のエアーフィルター内蔵型エアー
パイプユニットでは、管路部材が伸縮可能に構成され
る。また、この伸縮操作を通じて、管路部材の内外、お
よび圧力容器部材の内外の気密が保持される。従って、
固定手段を解除すれば、管路部材を内側に縮めて、一対
の接続手段の間の距離を短くすることができる。
【0023】固定手段としては、内側管路部材と外側管
路部材を外側に向かって付勢するバネ手段と、このバネ
手段に対抗して、内側管路部材と外側管路部材の合計の
長さを一定に拘束するストッパーと、の組合せを利用で
きる。
【0024】請求項3のエアーフィルター内蔵型エアー
パイプユニットでは、隔壁部材がフィルター素子側の空
間と取り出し口側の空間との間にオリフィスを形成す
る。フィルター素子側の空間が、濾過された気体を蓄積
し、取り出される気体の断続に対して、出力圧力の変化
を平滑する機能を有する。フィルター素子側の空間の容
積は、管路部材を伸縮させて自在に調整できる。
【0025】例えば、エアーフィルター内蔵型エアーパ
イプユニットのフィルターの端部に仕切り弁を設け、ブ
ランチ用パイプ(圧力容器部材)の内径に微小の隙間を
与えることにより、ブランチ用パイプ内部は、仕切り弁
の抵抗により2気室化し、フィルター側の副室が常に、
取り出し側のブランチ室よりもエアー圧が高めになるよ
うに、フィルター抵抗に対して仕切り弁抵抗が小さくな
るように設定する。
【0026】これにより、分岐したエアー駆動機器類の
エアー消費量Nm3 に対するNm3のエアー補充に際
し、フィルター抵抗によるエアー損失(圧力差、時間
差)の影響を、副室側の内部容積を可変できる構造によ
り、最小化を可能にする。
【0027】
【実施例】図2は実施例のエアーフィルター内蔵型エア
ーパイプユニットの構成の説明図、図3、図4は、エア
ーフィルター内蔵型エアーパイプユニットの接続例の説
明図である。図2中、(a) は外観、(b) は断面を示す。
ここでは、圧縮コイルバネとストローク調整カラーの組
合せで、両端のコネクタの間の最大距離を固定しつつ
も、そのままの状態で、両端のコネクタの間の距離を内
側に短くすることも可能な構造が示される。
【0028】図2(a) 、(b) において、スライドパイプ
23の内側には、スルーパイプ27が挿入される。スラ
イドパイプ23とスルーパイプ27は、仕切り弁26に
設けたロッドシールで気密を保ったまま、軸方向に移動
可能である。
【0029】スライドパイプ23の外側の端部には、六
角ナット30を介して、両路開閉型雄カプラ31が設け
てある。一方、スルーパイプ27の外側の端部には、ス
ルーパイプホルダー29を介して、両路開閉型雌カプラ
32が設けてある。両路開閉型雄カプラ31と両路開閉
型雌カプラ32は、2つの配管を気密状態で結合するも
ので、規格が揃えてあるため、相互に結合可能である。
【0030】スルーパイプ27の外側には、スルーパイ
プホルダー29を介して、ブランチシリンダー21が固
定される。ブランチシリンダー21は、スルーパイプホ
ルダー29にねじ込んで固定され、両者の隙間は、Oリ
ング34によって気密が保持される。
【0031】ブランチシリンダー21の他方の端部に
は、スライドパイプホルダー22がねじ込まれて固定さ
れる。ブランチシリンダー21とスライドパイプホルダ
ー22の隙間もまた、Oリングによって気密が保持され
る。スライドパイプホルダー22とスライドパイプ23
の摺動面にはロッドシールが配置され、スライドパイプ
23とスルーパイプ27を軸方向に相対移動させた場合
でも、スライドパイプホルダー22とスライドパイプ2
3の間の気密が保持される。
【0032】スライドパイプ23の内側の端部には、フ
ィルター25が固定される。フィルター25は、フィル
ター素子の一方の端部に仕切り弁26を固定し、他方の
端部に取付け用のねじ込み部を固定して構成される。フ
ィルター25は、ねじ込み部でスライドパイプ23に取
り付けられ、ねじ込み部から分離して全体を交換可能で
ある。
【0033】仕切り弁26は、ブランチシリンダー21
の内側の空間を、スライドパイプ23側(副室)と、ス
ルーパイプ27側(ブランチ室)とに分割する。副室
は、フィルター25を通過した圧縮空気のたまりを形成
しており、ブランチ室の圧力が急低下した場合に、仕切
り弁26とブランチシリンダー21の隙間で構成される
オリフィスを通じて、ブランチ室に圧縮空気を流入さ
せ、ブランチ室の圧力低下を緩和する。
【0034】ブランチシリンダー21のスルーパイプ2
7側には、圧縮空気取り出し用の継手用管用テーパネジ
35が複数配置される。継手用管用テーパネジ35は、
不要なものに盲ネジをねじ込み、圧縮空気を使用する装
置側の配管に必要な数だけを利用する。ブランチシリン
ダー21のスライドパイプ23側には、圧縮空気から分
離された水分やオイル分を外部に取り出すためのドレー
ン33が設けてある。
【0035】ブランチシリンダー21とスルーパイプ2
7の間の空間には、圧縮コイルバネ28が配置される。
圧縮コイルバネ28は、スルーパイプホルダー29と仕
切り弁26を軸方向に外側に向かって付勢する。一方、
ブランチシリンダー21とスライドパイプ23の間の空
間には、ストローク調整カラー24が配置される。スト
ローク調整カラー24は、スライドパイプホルダー22
とフィルター25の距離の下限を定める。
【0036】すなわち、ストローク調整カラー24は、
ブランチシリンダー21、スライドパイプホルダー22
等と協働して圧縮コイルバネ28のばね力に対抗し、ス
ライドパイプ23とスルーパイプ27の合計の長さを限
界付ける。
【0037】これにより、エアーフィルター内蔵型エア
ーパイプユニットの全長(両路開閉型雄カプラ31、両
路開閉型雌カプラ32の間隔)が一定に保たれる。ま
た、両路開閉型雄カプラ31と両路開閉型雌カプラ32
を軸方向の内側に向かって押せば、圧縮コイルバネ28
が押し縮められて、エアーフィルター内蔵型エアーパイ
プユニットの全長が短くなる。
【0038】実施例のエアーフィルター内蔵型エアーパ
イプユニットは、大きく分けて、ブランチシリンダー2
1と、スライドパイプ23の二本構造になっており、伸
縮用のスライドパイプ23の端部には、フィルター25
と仕切り弁26が附属されている。また、スライドパイ
プ23は、ブランチシリンダー21の内部のスルーパイ
プ27によってガイドされ、圧縮コイルバネ28によっ
て片側に押されて、ストローク調整カラー24に突き当
たっている。
【0039】実施例のエアーフィルター内蔵型エアーパ
イプユニットは、軸方向のどちらの方向からでも圧縮空
気を供給することが可能となっているが、圧縮空気の流
通経路において、内部抵抗の小さい方から順番に上げる
と、スライドパイプ23<スルーパイプ27<仕切り弁
26<フィルター25の順になっている。
【0040】ブランチシリンダー21の内部は、仕切り
弁26によって、2気室状に分割されており、仕切り弁
26を中心に、ストローク調整カラー24側を副室、圧
縮コイルバネ28側をブランチ室とそれぞれ呼ぶことに
する。副室とブランチ室の容積配分は、ストローク調整
カラー24の長さにより任意に設定できる。
【0041】ストローク調整カラー24は、長さの異な
るものが数種類準備される。ストローク調整カラー24
の交換は、スライドパイプホルダー22とブランチシリ
ンダー21のねじ込みを外し、スライドパイプ23から
スルーパイプ27を軸方向に抜き取り、スライドパイプ
23からフィルター25のねじ込みを外す手順で実施さ
れる。
【0042】図3において、実施例のエアーフィルター
内蔵型エアーパイプユニットは、1個のエアーフィルタ
ー内蔵型エアーパイプユニットの両路開閉型雄カプラ3
1に対して、別の1個のエアーフィルター内蔵型エアー
パイプユニットの両路開閉型雌カプラを接続すれば、連
続的に連結できる。
【0043】ブランチシリンダー21の中心を軸方向に
貫通して、圧損の少ない圧縮空気の主供給経路が形成さ
れ、主供給経路からは、内部のフィルターの高抵抗を通
じて装置A、B、Cへの分岐経路が並列に形成される。
【0044】このように構成された主供給経路では、例
えば、装置Cで配管が外れて、圧縮空気が漏れ出した場
合でも、図2のフィルター25の高抵抗や、仕切り弁2
6のオリフィスによって、スライドパイプ23およびス
ルーパイプ27で構成される主供給経路内の圧力低下が
抑制され、装置B、装置Aに対して、安定した圧縮空気
の供給を継続できる。
【0045】また、例えば、装置Bに接続されたエアー
フィルター内蔵型エアーパイプユニットを取外す場合、
エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニットの長さを
縮めながら、両端における両路開閉型雄カプラと両路開
閉型雌カプラの結合を解除できる。従って、このとき、
両隣りのエアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット
を軸方向に移動する必要が無い。
【0046】図4において、圧縮空気供給機41から
は、実施例のエアーフィルター内蔵型エアーパイプユニ
ット20A〜20Eを貫通して、圧縮空気の主供給経路
が形成される。図示しないベルトコンベアラインに沿っ
て配置された組立装置42A〜42Eは、それぞれ専用
のエアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット20A
〜20Eを通じて取り出された圧縮空気によって作動す
る。
【0047】このように構成された組立ラインでは、例
えば、エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット2
0Aごと組立装置42Aを取外し、同じくエアーフィル
ター内蔵型エアーパイプユニット20Dごと取り外した
組立装置42Dの場所に移動して、そのまま接続し直す
ことができる。すなわち、組立装置42Aと組立装置4
2Dの配置替えが簡単に実施できる。
【0048】
【発明の効果】請求項1のエアーフィルター内蔵型エア
ーパイプユニットによれば、エアーフィルター内蔵型エ
アーパイプユニットの中心を貫通して、圧損の少ない気
体の供給経路が形成されるから、複数のエアーフィルタ
ー内蔵型エアーパイプユニットを連結した場合に、気体
の供給側から遠い下流側でも、圧力低下の少ない気体を
安定して取り出すことができる。
【0049】また、圧損の高いフィルター素子を通じて
気体が分岐されるから、分岐された側の圧力低下が管路
部材内の圧力低下に直接的に影響せず、下流側でも安定
した圧力を確保できる。
【0050】請求項2のエアーフィルター内蔵型エアー
パイプユニットによれば、接続手段の間隔を圧縮して、
両隣りの配管やコネクタを軸方向に動かすことなく、エ
アーフィルター内蔵型エアーパイプユニットを取付け/
取外しできる。
【0051】そして、従来のエアーフィルターユニット
と異なり、分岐のための配管構造と一体化しているか
ら、全体の配管構造の中に容易に設置できなる。また、
従来のエアーフィルターユニットと異なり、下部に圧力
容器を吊り下げず、水抜きのスペースも最小限で済み、
その分、取付け/取外しする作業スペースや、水抜き等
の保守スペースを節約できる。
【0052】請求項3のエアーフィルター内蔵型エアー
パイプユニットによれば、従来のエアーフィルターユニ
ットと異なり、気体を蓄える容積(副室)を任意に増減
できるから、種々の気体取り出し条件に適合させて、最
適な副室容積を設定でき、断続的に気体が取り出された
場合にも出力圧力を有効に平滑できる。
【0053】本発明のエアーフィルター内蔵型エアーパ
イプユニットによれば、供給側の圧搾エアー状態に影響
されないクリーンなエアーを、パイプスペースだけで多
方向に分岐できる。すなわち、従来のような吊り下げ型
の圧力容器が無いため、その保守スペース等も含めて、
エアー供給配管系の高さ方向が大幅にコンパクト化され
る。
【0054】そして、エアーフィルター内蔵型エアーパ
イプユニットの長さ方向に伸縮できる構造により、両隣
りの配管や設備に影響を及ぼすことなく、取付け/取外
しが可能であるから、エアー供給配管系のライン配管が
シンプルかつ少スペースで実現される。
【0055】また、エアーフィルター内蔵型エアーパイ
プユニットから分岐したエアー駆動機器類のエアー消費
量に対するエアー補充において、副室に充填された高圧
エアーが利用されるから、フィルター抵抗によるエアー
損失の影響(圧力差、時間差)を最小化できる。
【0056】さらに、エアーフィルター内蔵型エアーパ
イプユニットを長さ方向にN本延長した場合に、上流側
のフィルター抵抗による圧力損失を受けずに、下流側に
安定エアーを供給できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基本的な構成の説明図である。
【図2】実施例のエアーフィルター内蔵型エアーパイプ
ユニットの構成の説明図である。
【図3】エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット
の接続例の説明図である。
【図4】エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット
の接続例の説明図である。
【図5】従来のエアーフィルターの接続例の説明図であ
る。
【符号の説明】
11 管路部材 12 フィルター素子 13 圧力容器部材 14 接続手段 11A 開口部 13A 取り出し口 13B 容積

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 気体の流れを貫通可能で、その管壁に開
    口部(11A)を設けた管路部材(11)と、 前記管路部材(11)を包囲して前記開口部(11A)
    を覆うフィルター素子(12)と、 前記フィルター素子(12)の周囲を取り巻いて配置さ
    れ、前記管路部材(11)の外壁との間に容積(13
    B)を形成し、気体の取り出し口(13A)を設けた圧
    力容器部材(13)と、 前記管路部材(11)の両端にそれぞれ設けた接続部材
    (14)と、を有することを特徴とするエアーフィルタ
    ー内蔵型エアーパイプユニット。
  2. 【請求項2】 請求項1のエアーフィルター内蔵型エア
    ーパイプユニットにおいて、前記管路部材は、 前記フィルター素子を固定した外側管路部材と、 前記外側管路部材の内側空間を、気密を保って軸方向に
    移動可能な内側管路部材と、で構成され、 前記圧力容器部材は、 前記内側管路部材に対して一方の側が固定され、前記外
    側管路部材の外壁に対して他方の側が気密を保って軸方
    向に移動可能な部材、で構成され、 前記内側管路部材と前記外側管路部材の軸方向の相対的
    な位置関係を固定する固定手段、を設けたことを特徴と
    するエアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット。
  3. 【請求項3】 請求項2のエアーフィルター内蔵型エア
    ーパイプユニットにおいて、 前記外側管路部材の端部に配置されて、前記管路部材の
    外壁と前記圧力容器部材との間の空間を、前記フィルタ
    ー素子側と前記取り出し口側とに2分割してオリフィス
    を構成する隔壁部材、を設けたことを特徴とするエアー
    フィルター内蔵型エアーパイプユニット。
JP22437493A 1993-09-09 1993-09-09 エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット Pending JPH0777209A (ja)

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JP22437493A Pending JPH0777209A (ja) 1993-09-09 1993-09-09 エアーフィルター内蔵型エアーパイプユニット

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JP (1) JPH0777209A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0919665A (ja) * 1995-07-04 1997-01-21 Shibaura Eng Works Co Ltd 超音波洗浄装置
JP2016195962A (ja) * 2015-04-02 2016-11-24 賢 飯田 集じん装置およびカートリッジフィルター

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0919665A (ja) * 1995-07-04 1997-01-21 Shibaura Eng Works Co Ltd 超音波洗浄装置
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