JPH0774762B2 - レーザ周波数計 - Google Patents
レーザ周波数計Info
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- JPH0774762B2 JPH0774762B2 JP24788488A JP24788488A JPH0774762B2 JP H0774762 B2 JPH0774762 B2 JP H0774762B2 JP 24788488 A JP24788488 A JP 24788488A JP 24788488 A JP24788488 A JP 24788488A JP H0774762 B2 JPH0774762 B2 JP H0774762B2
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Description
【発明の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本発明は、レーザの光周波数を測定するレーザ周波数計
の改良に関するものである。
の改良に関するものである。
《従来の技術》 従来レーザ光の光周波数を測定する場合は、一般にレー
ザの波長を測定して、演算により周波数を求めている。
ザの波長を測定して、演算により周波数を求めている。
第４図はレーザの波長を測定する波長計の第１の従来例
で、回折格子を利用したものを示す原理構成図である。
被測定光を回折格子に入射すると、回折格子31を回転中
心32の回りに回転することによって光の入射角θが変化
する。光検出器33に入射する光の波長は入射角θに依存
するので、θを測ることで被測定光の波長値λｘを測定
することができる。
で、回折格子を利用したものを示す原理構成図である。
被測定光を回折格子に入射すると、回折格子31を回転中
心32の回りに回転することによって光の入射角θが変化
する。光検出器33に入射する光の波長は入射角θに依存
するので、θを測ることで被測定光の波長値λｘを測定
することができる。
第５図は波長計の第２の従来例で、マイケルソン干渉計
を利用するものを示す原理構成図である。ハーフミラー
41で未知の波長λｘの被測定光ビームと既知の波長λ
refの参照光ビーム（例えばHe−Neレーザ633nm等）を合
波しマイケルソン干渉計に入射する。合波された光はハ
ーフミラー42で２方向に分離され、一方は可動ミラー43
で反射され他方は固定ミラー44で反射されて光検出器45
に入射する（被測定光と参照光の分離手段は図では省
略）。可動ミラー43が△ｌ動くと光検出器45に干渉縞が
明暗の変化となって現れる。このとき被測定光の干渉縞
変化数をMx、参照光の干渉縞変化数をMrefとすると、次
式が成立つ。
を利用するものを示す原理構成図である。ハーフミラー
41で未知の波長λｘの被測定光ビームと既知の波長λ
refの参照光ビーム（例えばHe−Neレーザ633nm等）を合
波しマイケルソン干渉計に入射する。合波された光はハ
ーフミラー42で２方向に分離され、一方は可動ミラー43
で反射され他方は固定ミラー44で反射されて光検出器45
に入射する（被測定光と参照光の分離手段は図では省
略）。可動ミラー43が△ｌ動くと光検出器45に干渉縞が
明暗の変化となって現れる。このとき被測定光の干渉縞
変化数をMx、参照光の干渉縞変化数をMrefとすると、次
式が成立つ。
△ｌ≒Mx・λx/2≒Mref・λref/2 …（１） したがって、 λｘ＝（Mref/Mx）・λref …（２） より被測定光の波長λｘを測定することができる。
《発明が解決しようとする課題》 しかしながら、上記の各従来方式は共に機械的な可動部
分があるため、高速応答性が悪い。また第４図の方式の
場合は機械精度が測定精度に影響するので、高精度化が
困難で経時変化にも弱い。また第５図の方式も可動距離
が大きいので高精度化が困難である。精度を上げるには
第４図の場合には回折格子と光検出器の距離を大きく
し、第５図の場合は可動距離△ｌを大きくしなければな
らないが、いずれも光学系が大きくなるという問題を生
じる。また大型のファブリ・ペロー干渉計を用いて圧力
掃引により波長を精密に測定する方式もあるが、大型で
真空ポンプが必要等測定時間が長くなり、実用的でな
い。
分があるため、高速応答性が悪い。また第４図の方式の
場合は機械精度が測定精度に影響するので、高精度化が
困難で経時変化にも弱い。また第５図の方式も可動距離
が大きいので高精度化が困難である。精度を上げるには
第４図の場合には回折格子と光検出器の距離を大きく
し、第５図の場合は可動距離△ｌを大きくしなければな
らないが、いずれも光学系が大きくなるという問題を生
じる。また大型のファブリ・ペロー干渉計を用いて圧力
掃引により波長を精密に測定する方式もあるが、大型で
真空ポンプが必要等測定時間が長くなり、実用的でな
い。
本発明はこのような課題を解決するためになされたもの
で、簡単な構成で高精度かつ高速応答でレーザ周波数を
測定できるレーザ周波数計を実現することを目的とす
る。
で、簡単な構成で高精度かつ高速応答でレーザ周波数を
測定できるレーザ周波数計を実現することを目的とす
る。
《課題を解決するための手段》 本発明に係るレーザ周波数計は被測定レーザ光を第１の
周波数で位相変調する位相変調器と、この位相変調器の
出力光と第２の周波数で位相変調され発振周波数が既知
の参照レーザ光とを合波する光学手段と、この光学手段
の出力光を入射するファブリ・ペロー・エタロンと、こ
のファブリ・ペロー・エタロンを透過する光を検出する
光検出器と、この光検出器の出力を前記第１の周波数で
位相検波する第１の増幅手段と、この第１の増幅手段の
出力を記憶する第１のメモリ回路と、前記光検出器の出
力を前記第２の周波数で位相検波する第２の増幅手段
と、この第２の増幅手段の出力を記憶する第２のメモリ
回路と、前記ファブリ・ペロー・エタロンのミラー間隔
を微小変化させる掃引手段と、この掃引手段によるミラ
ー間隔の変化に対応する第１のメモリ回路出力と第２の
メモリ回路出力に基づいて被測定レーザ光の周波数を演
算する周波数演算回路とを備えたことを特徴とする。
周波数で位相変調する位相変調器と、この位相変調器の
出力光と第２の周波数で位相変調され発振周波数が既知
の参照レーザ光とを合波する光学手段と、この光学手段
の出力光を入射するファブリ・ペロー・エタロンと、こ
のファブリ・ペロー・エタロンを透過する光を検出する
光検出器と、この光検出器の出力を前記第１の周波数で
位相検波する第１の増幅手段と、この第１の増幅手段の
出力を記憶する第１のメモリ回路と、前記光検出器の出
力を前記第２の周波数で位相検波する第２の増幅手段
と、この第２の増幅手段の出力を記憶する第２のメモリ
回路と、前記ファブリ・ペロー・エタロンのミラー間隔
を微小変化させる掃引手段と、この掃引手段によるミラ
ー間隔の変化に対応する第１のメモリ回路出力と第２の
メモリ回路出力に基づいて被測定レーザ光の周波数を演
算する周波数演算回路とを備えたことを特徴とする。
《作用》 ファブリ・ペロー・エタロンの透過光は光検出器で検出
され、それぞれの増幅手段でそれぞれ被測定レーザ光お
よび参照レーザ光の干渉信号の１次微分信号が検出さ
れ、メモリ回路を介して被測定レーザ光の周波数が演算
される。
され、それぞれの増幅手段でそれぞれ被測定レーザ光お
よび参照レーザ光の干渉信号の１次微分信号が検出さ
れ、メモリ回路を介して被測定レーザ光の周波数が演算
される。
《実施例》 以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第１図は本発明に係るレーザ周波数計の一実施例を示す
構成ブロック図である。１は参照レーザで、発振周波数
が安定な既知の周波数で、例えばRb吸収線に出力周波数
を制御した半導体レーザ（λ＝780.244nm）を使用す
る。2,3はそれぞれ被測定レーザ光，参照レーザ光を入
射して位相変調するLiNbO3等の電気光学結晶からなる第
1,第２の位相変調器で、15は第１の位相変調器２を第１
の周波数f1で励振する第１の発振器、16は第２の位相変
調器３を第２の周波数f2で励振する第２の発振器、４は
第１の位相変調器２の出力光をその一方の面に入射し他
方の面に第２の位相変調器３の出力光を入射して両方の
光を合波する光学手段を構成するハーフミラー、5,6は
ハーフミラー４の出力光を入射するピンホール、７はピ
ンホール5,6の通過光を入射するファブリ・ペロー・エ
タロンである。ファブリ・ペロー・エタロン７は互いの
焦点が他方の鏡面上に来るように配置された２枚の半透
性の凹面鏡71,72およびそのミラー間隔を微小に掃引す
る掃引手段を構成するPZT等の圧電アクチュエータ73か
らなり、真空チャンバ76内に構成されている。13は圧電
アクチュエータ73を駆動する例えば0.5Hzの三角波発振
器、８はファブリ・ペロー・エタロン７を透過する光を
入射する光検出器、９は発振器15の出力を参照信号とし
て光検出器８の出力信号を位相検波する第１の増幅手段
を構成するロックインアンプ、10は発振器16の出力を参
照信号として光検出器８の出力信号を位相検波する第２
の増幅手段を構成するロックインアンプ、11はロックイ
ンアンプ９の出力信号を記憶する第１のメモリ回路、12
はロックインアンプ10の出力信号を記憶する第２のメモ
リ回路、14はメモリ回路9.10の出力および発振器13の出
力を入力して被測定光の周波数値を演算する周波数演算
回路である。
構成ブロック図である。１は参照レーザで、発振周波数
が安定な既知の周波数で、例えばRb吸収線に出力周波数
を制御した半導体レーザ（λ＝780.244nm）を使用す
る。2,3はそれぞれ被測定レーザ光，参照レーザ光を入
射して位相変調するLiNbO3等の電気光学結晶からなる第
1,第２の位相変調器で、15は第１の位相変調器２を第１
の周波数f1で励振する第１の発振器、16は第２の位相変
調器３を第２の周波数f2で励振する第２の発振器、４は
第１の位相変調器２の出力光をその一方の面に入射し他
方の面に第２の位相変調器３の出力光を入射して両方の
光を合波する光学手段を構成するハーフミラー、5,6は
ハーフミラー４の出力光を入射するピンホール、７はピ
ンホール5,6の通過光を入射するファブリ・ペロー・エ
タロンである。ファブリ・ペロー・エタロン７は互いの
焦点が他方の鏡面上に来るように配置された２枚の半透
性の凹面鏡71,72およびそのミラー間隔を微小に掃引す
る掃引手段を構成するPZT等の圧電アクチュエータ73か
らなり、真空チャンバ76内に構成されている。13は圧電
アクチュエータ73を駆動する例えば0.5Hzの三角波発振
器、８はファブリ・ペロー・エタロン７を透過する光を
入射する光検出器、９は発振器15の出力を参照信号とし
て光検出器８の出力信号を位相検波する第１の増幅手段
を構成するロックインアンプ、10は発振器16の出力を参
照信号として光検出器８の出力信号を位相検波する第２
の増幅手段を構成するロックインアンプ、11はロックイ
ンアンプ９の出力信号を記憶する第１のメモリ回路、12
はロックインアンプ10の出力信号を記憶する第２のメモ
リ回路、14はメモリ回路9.10の出力および発振器13の出
力を入力して被測定光の周波数値を演算する周波数演算
回路である。
上記のような構成のレーザ周波数計の動作を次に説明す
る。被測定レーザ光は位相変調器２により周波数f1で位
相変調を受け、参照レーザ光は位相変調器３により周波
数f2で位相変調を受ける。位相変調された被測定レーザ
光および参照レーザ光はハーフミラー４で合波される。
被測定レーザ光および参照レーザ光は、それぞれピンホ
ール5,6の両方を通過するように光軸が調整されてい
る。その結果、ハーフミラー４において被測定レーザ光
が透過し参照レーザ光が反射して合波されると、ピンホ
ール5,6を通過し同一光路を通ってファブリ・ペロー・
エタロン７に入射する。ファブリ・ペロー・エタロン７
に入射した光は凹面鏡71と72の間を３往復して入射光と
干渉して凹面鏡72を通過する。すなわち凹面鏡71と72の
焦点は互いの鏡面上にあるので、入射光は凹面鏡72で反
射して焦点74に至ってそこで反射し、凹面鏡72で反射し
て入射光と平行光となりさらに凹面鏡71で反射して焦点
75に至って反射し、凹面鏡71で反射して入射光と同一経
路に戻り、干渉する。ファブリ・ペロー・エタロン７を
透過した光は光検出器８で検出される。光検出器８の出
力はロックインアンプ9,10においてそれぞれ周波数f1,f
2で同期検波され、ロックインアンプ９からは被測定レ
ーザ光のファブリ・ペロー・エタロン７の透過信号の１
次微分波形が出力され、ロックインアンプ10からは参照
レーザ光のファブリ・ペロー・エタロン７の透過信号の
１次微分波形が得られる。ファブリ・ペロー・エタロン
７のミラー間隔は発振器13により三角波で掃引されてい
るので、ミラー掃引長とロックインアンプ9,10の出力信
号との関係は第２図のようになる。ただし参照レーザ光
の光周波数が0.78μｍ、被測定レーザ光の光周波数が1.
55μｍ、三角波の掃引周波数が0.5Hzの場合を一例とし
て示している。この一次微分波形がそれぞれメモリ回路
11,12に記憶され、メモリ回路11,12の出力と発振器13出
力から被測定レーザ周波数が周波数演算回路14で演算さ
れる。
る。被測定レーザ光は位相変調器２により周波数f1で位
相変調を受け、参照レーザ光は位相変調器３により周波
数f2で位相変調を受ける。位相変調された被測定レーザ
光および参照レーザ光はハーフミラー４で合波される。
被測定レーザ光および参照レーザ光は、それぞれピンホ
ール5,6の両方を通過するように光軸が調整されてい
る。その結果、ハーフミラー４において被測定レーザ光
が透過し参照レーザ光が反射して合波されると、ピンホ
ール5,6を通過し同一光路を通ってファブリ・ペロー・
エタロン７に入射する。ファブリ・ペロー・エタロン７
に入射した光は凹面鏡71と72の間を３往復して入射光と
干渉して凹面鏡72を通過する。すなわち凹面鏡71と72の
焦点は互いの鏡面上にあるので、入射光は凹面鏡72で反
射して焦点74に至ってそこで反射し、凹面鏡72で反射し
て入射光と平行光となりさらに凹面鏡71で反射して焦点
75に至って反射し、凹面鏡71で反射して入射光と同一経
路に戻り、干渉する。ファブリ・ペロー・エタロン７を
透過した光は光検出器８で検出される。光検出器８の出
力はロックインアンプ9,10においてそれぞれ周波数f1,f
2で同期検波され、ロックインアンプ９からは被測定レ
ーザ光のファブリ・ペロー・エタロン７の透過信号の１
次微分波形が出力され、ロックインアンプ10からは参照
レーザ光のファブリ・ペロー・エタロン７の透過信号の
１次微分波形が得られる。ファブリ・ペロー・エタロン
７のミラー間隔は発振器13により三角波で掃引されてい
るので、ミラー掃引長とロックインアンプ9,10の出力信
号との関係は第２図のようになる。ただし参照レーザ光
の光周波数が0.78μｍ、被測定レーザ光の光周波数が1.
55μｍ、三角波の掃引周波数が0.5Hzの場合を一例とし
て示している。この一次微分波形がそれぞれメモリ回路
11,12に記憶され、メモリ回路11,12の出力と発振器13出
力から被測定レーザ周波数が周波数演算回路14で演算さ
れる。
次に第２図に示す１次微分波形から周波数演算回路14に
おいて被測定レーザ光波長λｘを演算する方法を説明す
る。ただしファブリ・ペロー・エタロン７を通過した２
つの光ビームの干渉ピーク位置は第２図の１次微分波形
のゼロクロス点と一致する。ファブリ・ペロー・エタロ
ン７は前述のような構成であるため、干渉ピークの間隔
はλx/6,λref/6となり、被測定光の干渉ピーク数Mxに
対応する掃引距離を△ｌ、掃引距離△ｌに対応する参照
光の干渉ピーク数をMref、参照光のミラー掃引距離の端
数をα，βとすると、次式が成立つ。
おいて被測定レーザ光波長λｘを演算する方法を説明す
る。ただしファブリ・ペロー・エタロン７を通過した２
つの光ビームの干渉ピーク位置は第２図の１次微分波形
のゼロクロス点と一致する。ファブリ・ペロー・エタロ
ン７は前述のような構成であるため、干渉ピークの間隔
はλx/6,λref/6となり、被測定光の干渉ピーク数Mxに
対応する掃引距離を△ｌ、掃引距離△ｌに対応する参照
光の干渉ピーク数をMref、参照光のミラー掃引距離の端
数をα，βとすると、次式が成立つ。
△ｌ＝（λx/6）・（Mx−１） ＝（λref/6）・（Mref−１）＋α＋β …（３） したがって、 λｘ＝λref・（Mref−１）／（Mx−１） ＋６（α＋β）／（Mx−１）（nm） …（４） となり、被測定光周波数fxは次式で求められる。
fx＝c/λｘ …（５） 次にα，βの求め方を示す。被測定レーザ光のエタロン
透過光が干渉ピークa,bとなったときの圧電アクチュエ
ータ73の印加電圧をそれぞれVa、Vbとし、参照レーザ光
のエタロン透過光が干渉ピークc,dとなったときの圧電
アクチュエータ73の印加電圧をそれぞれVc、Vdとする。
参照レーザ光の干渉ピーク間隔はλref/6で一定である
ので、ミラー掃引長Δｘは圧電アクチュエータ73の印加
電圧Ｖの関数となり、 Δｘ＝Ｇ（Ｖ） …（６） と表すことができる。したがって、α，βはそれぞれ次
式で演算できる。
透過光が干渉ピークa,bとなったときの圧電アクチュエ
ータ73の印加電圧をそれぞれVa、Vbとし、参照レーザ光
のエタロン透過光が干渉ピークc,dとなったときの圧電
アクチュエータ73の印加電圧をそれぞれVc、Vdとする。
参照レーザ光の干渉ピーク間隔はλref/6で一定である
ので、ミラー掃引長Δｘは圧電アクチュエータ73の印加
電圧Ｖの関数となり、 Δｘ＝Ｇ（Ｖ） …（６） と表すことができる。したがって、α，βはそれぞれ次
式で演算できる。
α＝Ｇ（Vb）−Ｇ（Vd） …（７） β＝Ｇ（Vc）−Ｇ（Va） …（８） 上記の実施励における数値例として例えば、λref＝78
0,244nmとしてλｘ＝1,55μｍを測定することができ
る。
0,244nmとしてλｘ＝1,55μｍを測定することができ
る。
このような構成のレーザ周波数計によれば、ファブリ・
ペロー・エタロンを使用しているのでマイケルソンの干
渉計を用いる場合よりも干渉縞のフィネス（finesse:干
渉ピークの鋭さ）が高い。このため干渉ピークの印加電
圧Va〜Vdを精度良く検出でき、ミラー掃引距離の端数
α，βも精度良く測定することができる。したがってミ
ラー掃引が微小量でも高精度の測定ができる。
ペロー・エタロンを使用しているのでマイケルソンの干
渉計を用いる場合よりも干渉縞のフィネス（finesse:干
渉ピークの鋭さ）が高い。このため干渉ピークの印加電
圧Va〜Vdを精度良く検出でき、ミラー掃引距離の端数
α，βも精度良く測定することができる。したがってミ
ラー掃引が微小量でも高精度の測定ができる。
また参照レーザ光と被測定レーザ光のエタロン透過信号
を異なる変調周波数により分離するので、光検出器が１
つですみ、２つの光ビームを分離する光学手段も必要な
い。また参照レーザ光と被測定レーザ光が同一波長でも
信号を分離することができるので、測定可能である。
を異なる変調周波数により分離するので、光検出器が１
つですみ、２つの光ビームを分離する光学手段も必要な
い。また参照レーザ光と被測定レーザ光が同一波長でも
信号を分離することができるので、測定可能である。
また被測定レーザ光の偏波面がいかなる場合でも、２つ
の光ビームの透過信号を分離することができる。例え
ば、円偏波のレーザ光でも発振周波数を測定することが
できる。
の光ビームの透過信号を分離することができる。例え
ば、円偏波のレーザ光でも発振周波数を測定することが
できる。
また平面ミラーのファブリ・ペロー・エタロンに比べて
同じ掃引長に対して３倍の干渉縞が観測できる。したが
って（４）式からも明らかなように、波長測定精度が３
倍向上する。
同じ掃引長に対して３倍の干渉縞が観測できる。したが
って（４）式からも明らかなように、波長測定精度が３
倍向上する。
またPZTでミラー間隔を掃引するので高速掃引ができ、
測定時間の短縮を測ることができる。
測定時間の短縮を測ることができる。
また回折格子やマイケルソン干渉計を用いた波長計と比
べて小型で簡単な構成とすることができる。
べて小型で簡単な構成とすることができる。
また参照レーザ光の波長に絶対精度がでているため、被
測定レーザ光の波長値にも絶対精度がでる。したがって
回折格子の波長計のように校正する必要がない。
測定レーザ光の波長値にも絶対精度がでる。したがって
回折格子の波長計のように校正する必要がない。
なお上記の実施例では焦点が互いの鏡面上にある２つの
凹面鏡を用いて掃引長に対する精度を高めているが、こ
れに限らず平面鏡を用いたファブリ・ペロー・エタロン
を使用することもできる。
凹面鏡を用いて掃引長に対する精度を高めているが、こ
れに限らず平面鏡を用いたファブリ・ペロー・エタロン
を使用することもできる。
また上記の実施例において、参照レーザ１として変調出
力のものを使用すれば、位相変調器３を省略することが
できる。
力のものを使用すれば、位相変調器３を省略することが
できる。
第３図は第１図のレーザ周波数計の変形例で、ファブリ
・ペロー・エタロンの凹面鏡の１つを半透性の平面鏡で
置換えたものを示す要部構成ブロック図である。図にお
いて、71は第１図と同じ凹面鏡、72はこの凹面鏡71に平
行に配置された半透性の平面鏡である。この平面鏡77
は、疑似的に平面鏡77の鏡面79に関して凹面鏡71と対称
な反対側の位置に点線で示した凹面鏡78があるのと同じ
効果を生じる。すなわち凹面鏡71と平面鏡77の間隔およ
び平面鏡77と疑似的な凹面鏡78との間隔は等しい。この
疑似的な凹面鏡78の焦点74が凹面鏡71の鏡面上に来るよ
うに平面鏡77の位置を定める。凹面鏡71と疑似的な凹面
鏡78の特性は同じなので、このようにすると凹面鏡71の
焦点は疑似的な凹面鏡78の鏡面上に来るようになる。動
作は第１図の場合と同様であるので、説明を省略する。
このような構成のファブリ・ペロー・エタロンによれ
ぱ、第１図の場合と比べて鏡の間隔をさらに半分にする
ことができる。
・ペロー・エタロンの凹面鏡の１つを半透性の平面鏡で
置換えたものを示す要部構成ブロック図である。図にお
いて、71は第１図と同じ凹面鏡、72はこの凹面鏡71に平
行に配置された半透性の平面鏡である。この平面鏡77
は、疑似的に平面鏡77の鏡面79に関して凹面鏡71と対称
な反対側の位置に点線で示した凹面鏡78があるのと同じ
効果を生じる。すなわち凹面鏡71と平面鏡77の間隔およ
び平面鏡77と疑似的な凹面鏡78との間隔は等しい。この
疑似的な凹面鏡78の焦点74が凹面鏡71の鏡面上に来るよ
うに平面鏡77の位置を定める。凹面鏡71と疑似的な凹面
鏡78の特性は同じなので、このようにすると凹面鏡71の
焦点は疑似的な凹面鏡78の鏡面上に来るようになる。動
作は第１図の場合と同様であるので、説明を省略する。
このような構成のファブリ・ペロー・エタロンによれ
ぱ、第１図の場合と比べて鏡の間隔をさらに半分にする
ことができる。
《発明の効果》 以上述べたように本発明によれば、高精度かつ高速応答
でレーザ周波数を測定できるレーザ周波数計を簡単な構
成で実現することができる。
でレーザ周波数を測定できるレーザ周波数計を簡単な構
成で実現することができる。
第１図は本発明に係るレーザ周波数計の一実施例を示す
構成ブロック図、第２図は第１図装置の動作を示す説明
図、第３図は第１図装置の一変形例を示す要部構成ブロ
ック図、第４図および第５図は従来のレーザ周波数計を
示す原理図である。 ２……位相変調器、４……光学手段、７……ファブリ・
ペロー・エタロン、８……光検出器、９……第１の増幅
手段、10……第２の増幅手段、11……第１のメモリ回
路、12……第２のメモリ回路、14……周波数演算回路、
73……掃引手段、f1……第１の周波数、f2……第２の周
波数。
構成ブロック図、第２図は第１図装置の動作を示す説明
図、第３図は第１図装置の一変形例を示す要部構成ブロ
ック図、第４図および第５図は従来のレーザ周波数計を
示す原理図である。 ２……位相変調器、４……光学手段、７……ファブリ・
ペロー・エタロン、８……光検出器、９……第１の増幅
手段、10……第２の増幅手段、11……第１のメモリ回
路、12……第２のメモリ回路、14……周波数演算回路、
73……掃引手段、f1……第１の周波数、f2……第２の周
波数。
Claims (1)
- 【請求項１】被測定レーザ光を第１の周波数で位相変調
する位相変調器と、この位相変調器の出力光と第２の周
波数で位相変調され発振周波数が既知の参照レーザ光と
を合波する光学手段と、この光学手段の出力光を入射す
るファブリ・ペロー・エタロンと、このファブリ・ペロ
ー・エタロンを透過する光を検出する光検出器と、この
光検出器の出力を前記第１の周波数で位相検波する第１
の増幅手段と、この第１の増幅手段の出力を記憶する第
１のメモリ回路と、前記光検出器の出力を前記第２の周
波数で位相検波する第２の増幅手段と、この第２の増幅
手段の出力を記憶する第２のメモリ回路と、前記ファブ
リ・ペロー・エタロンのミラー間隔を微小変化させる掃
引手段と、この掃引手段によるミラー間隔の変化に対応
する第１のメモリ回路出力と第２のメモリ回路出力に基
づいて被測定レーザ光の周波数を演算する周波数演算回
路とを備えたことを特徴とするレーザ周波数計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24788488A JPH0774762B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | レーザ周波数計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24788488A JPH0774762B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | レーザ周波数計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0295224A JPH0295224A (ja) | 1990-04-06 |
| JPH0774762B2 true JPH0774762B2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=17170031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24788488A Expired - Fee Related JPH0774762B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | レーザ周波数計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0774762B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140055125A (ko) * | 2012-10-30 | 2014-05-09 | 에스케이텔레콤 주식회사 | 주파수 측정 방법 및 장치 |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP24788488A patent/JPH0774762B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20140055125A (ko) * | 2012-10-30 | 2014-05-09 | 에스케이텔레콤 주식회사 | 주파수 측정 방법 및 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0295224A (ja) | 1990-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |