JPH0772693B2 - コリオリ式質量流量測定装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】一般的にいえば、本発明は、桁状に固定取
り付けされた少なくとも一の流管を利用したコリオリ力
式質量流量測定装置に関するものであり、更に詳しくい
えば、前記方法は精度、安定性、融通性を実質的に高め
るために、前記利用される新規なセンサー及び回路構成
を利用した装置の改良に関する。

【０００２】本発明は、これまで知られてきた流量計の
概念には無い改良を行なうものであり、米国特許第４１
８７７２１号に説明されているような桁状に取り付けら
れた連続した流管を含むコリオリ力式質量流量計を用い
て流動する流体の質量流量を測定し、そのための新規な
センサーと回路構成とを利用するものである。

【０００３】本発明による新規な測定装置に用いるセン
サーは上記流管の全体としての振動の運動を正確に表わ
すアナログ信号を出力することによりコリオリ力の正確
な測定を可能にする。

【０００４】この点において、本発明のセンサーは、流
量計の取り付けプラットホームに設けられた構造物を参
照手段として、従って振動の固定された中央点の位置に
左右されるかたちでデジタル信号を出力するこれまでの
センサーと異なっている。

【０００５】先行技術のセンサーにおけるデジタル信号
は、振動の１サイクル程度の時間幅を通して、振動する
導管に関して“静的な”構造物と静的な中央面に実質的
に参照手段を求めたものである。このような“静的な”
物理的構造物をデジタル的な参照手段として用いること
を回避すれば、温度や流体圧力のような外的条件のゆら
ぎによって惹起される流量計の前記構造物や特に空間的
な配向の変化を含む導管の空間的な配向の如き導管の物
理的特性の変動に対して必要なマニュアルな補償処理が
不要となる。

【０００６】本発明に従えば、上述の如き難点を解消す
ることができる。このため、本発明は（ａ）両開放端部
が固設され駆動手段により付勢されて振動するようにな
された少なくとも一の連続的な導管、（ｂ）両端が固設
され導管に実質的に平行に配設された振動部材であり、
導管と実質的に同一の共振周波数を有すると共に導管と
逆相で振動することにより互いに音叉状に動作するよう
にしてなる振動部材、（ｃ）導管及び振動部材を振動せ
しめる駆動手段、（ｄ）導管の運動に応答して電気的信
号を発生する少なくとも一対の実質上同一のセンサーか
らなるセンサー手段であって、これら一対のセンサーの
各々が、（ｉ）導管の各端部から実質的に等距離にある
位置、かつ、（ii）導管の中央点から実質的に等距離に
ある位置、に導管に沿って配設してなるセンサー手段、
（ｅ）信号処理手段、（ｆ）導管を流通する流体の質量
流量を、一対のセンサーのうちの一方のセンサーに隣接
した導管部分がその振動経路の与えられた点を通過する
すべての各時点と、一対のセンサーのうちの他方のセン
サーに隣接した導管部分がその振動経路の前記与えられ
た点に対応する点を通過するすべての各時点と、の時間
差の関数として指示するようにした質量流量読取手段、
を備えてなり、センサー手段は少なくとも一対の磁気式
速度センサーからなり、各々の磁気式速度センサーは磁
石及びコイルで構成すると共に、前記コイルは常にコイ
ルに対応する磁石の均一な磁場内を運動するように磁石
及びコイルを構成配置してなり、更に、磁気式速度セン
サーはそれぞれが導管の振動運動の全体を通してセンサ
ーに隣接した導管部分の速度を表わす連続的な信号を発
生すると共に、信号処理手段は、同一の回路要素で形成
された少なくとも一対の回路部分であって、各々が前記
一対の磁気式速度センサーのうちの一のコイルの出力に
それぞれ同様に接続された回路部分からなり、かつ、各
回路部分はセンサーコイルからの出力を少なくとも１段
の積分器を通して導くようにした、流体の質量流量を測
定するためのコリオリ式質量流量測定装置を提供するこ
とを特色とする。

【０００７】コリオリ力を導管の速度の大きさの関数と
して決定するために速度センサーを利用するというより
も、本発明ではむしろ速度センサーを、振動する導管の
全体としての行程に対応する正確な信号を生成し、質量
流によって誘起されるコリオリ力によって惹起される振
動管の２本の脚部の如き二つの対応する対向部分の所定
の振動平面を通る運動間の遅延時間が決定されるように
利用するものである。

【０００８】以下の考察において明らかにされるよう
に、速度の関数として導管の運動をアナログ的に測定す
る技術は動的なすなわち振動する導管に関して固定の中
央点または“静的”で離散的（ディスクリート）な物理
的構造物に参照手段を求めるということをしないもので
ある。

【０００９】従って、このアナログ的測定は、特許第４
１８７７２１号の第１図に示された如きコリオリ力式質
量流量計を用いる際には、外界条件の変動によって惹起
される長期性の構造上の方向のゆらぎとは無関係にな
る。これらの外界条件の変動に対しては離散的（ディス
クリート）で「静的な」構造物の位置の補償が必要とな
る。速度センサーについていえば、このゆらぎからの独
立性は、流量計構造の外的条件の変化によって生じた歪
みはセンサーの具体的な参照手段よりもその大きさが実
質的に小さいという事実に基づいている。本発明の測定
装置においては、各センサーの信号は少なくとも１回、
望ましくは複数回積分され、その積分器の出力の各々は
低域負帰還回路を経て該積分器の入力側に戻される。こ
の装置における段階によれば、センサー出力信号中に調
波(harmonics）を誘起する外界の振動に対する感度が最
小限にされ、センサー信号の位相に影響されることなく
積分器回路内に生成されたドリフトが消去され、更にセ
ンサー出力信号中の低周波数成分、すなわち駆動される
導管の振動数よりも低い周波数成分が除去される。

【００１０】従って、本発明の目的は、流量計の固定さ
れた中央点または取り付けプラットホームに固定された
機械的な構造物に“静的”な参照手段を求めるのではな
く、（１）動的な参照手段に基づいて正確な質量流量測
定を行なうことができ、（２）外的条件の変動によって
惹起される構造上のゆらぎを補償する性質を固有に有す
る改良された質量流量測定装置を提供することである。

【００１１】本発明の別の目的は、センサー出力信号に
影響を与えるような流量計の構造中を伝わる振動に対し
て不感な改良された質量流量測定装置を提供することに
ある。

【００１２】本発明のもう１つの目的は、温度や流体圧
力のような動的な環境に実質的に不感な改良された質量
流量測定装置を提供することにある。

【００１３】これら及びそれ以外の本発明の目的と特徴
は、以下の説明と図面によって明らかになろう。

【００１４】ここで図面に注目すると、類似の構成要素
は類似の参照番号が種々の図面を通して用いられてい
る。

【００１５】本発明装置の実施に好適な例示的な流量計
は図１に描かれており、参照番号１０で概括的に指定さ
れている。

【００１６】この実例としての流量計１０は多くの点で
米国特許第４１８７７２１号において述べられているも
のと類似している。本発明の測定装置はここに述べるも
の以外に本発明の範囲を逸脱することなく様々な形状の
流量計に用いることが容易に了解される筈である。

【００１７】前記特許に示された知見のうち、図１に示
した流量計１０についての次に挙げる特徴は特に本発明
との関連が強い。

【００１８】すなわち、流量計は１つの導管１４を取り
付けるプラットホーム１２を含んでいる。導管１４の取
り付けは、圧力に感応するジョイントを用いずに、回転
振動用の片持ばり型の入口１５及び出口１６に近接した
管支持体２６によってなされる。図示の導管１４は側部
脚１８及び２０が、これらの間に延在する横断結合部２
２と共に設けられている。

【００１９】上記の実例では、通常磁石とコイルの形を
とる駆動機構２５が導管１４及び往復振動部材３０上に
担持されており、周知の駆動回路２７によって、導管１
４が軸線Ｗ−Ｗの周りで振動し、その結果コリオリの偏
向力が軸線Ｏ−Ｏの周りに導管１４のたわみを生ずるよ
う駆動される。

【００２０】往復振動部材３０としては種々の形のもの
が考えられる。例えば単葉状のばね、広くなった方の端
部を取り付け固定されたＶ字部材、あるいは図示された
矩形構造物であってよい。

【００２１】この振動部材３０は、流体で導管１４が満
たされた時にこの導管が持つ共振振動数と実質的に同じ
共振振動数を持っている。この振動部材と導管１４と
は、動作時に両者が１つの音叉を形づくるように取り付
けられていることである。

【００２２】従って、導管１４及び振動部材３０は、駆
動機構２５によって共通の共振振動数で駆動される。

【００２３】本発明による測定装置においては、好適な
センサー３３，３３′はそれぞれ導管１４の全体的な振
動を正確に表わす線型の連続的な信号を生成する。この
点、前述の米国特許第４１８７７２１号における具体例
と異なっている。前記特許においては導管の偏向は振動
の経路の固定の中心点に配置された振動する導管に関し
て固定された機械的な構造物の通過を中心点で振動する
導管の両脚部の通過をデジタル的に検知することにより
測定される。

【００２４】前記の先行技術における具体化例において
は、導管１４の側脚部１８，２０上にセンサーを置き、
振動の中心点でデジタル信号のみを生成するよう導管に
取り付けられたセンサー部分と共働する固定構造物を配
置することにより、生成されたタイミング信号を振動中
心点を通過する脚１８と２０との間の遅延時間を決定す
るために使用された。

【００２５】米国特許第４１８７７２１号によれば、こ
の遅延時間に導管１４の幾何学的形状に依存した定数を
乗ずることにより導管の中を通過する質量流量に等しく
なる。

【００２６】本発明による測定装置はこのような後者の
知見を利用するが、ここに述べる独特の方法によって導
管の振動の通過経路の所定の平面を通る脚１８と２０の
通過の遅延時間を決定することにより、正確度のより高
い質量流量測定を行なうことを利用する。

【００２７】センサー３３，３３′の出力信号の意義は
図２を参照することにより、よりよく理解されるであろ
う。

【００２８】図２のとおり、導管の位置は縦軸に、時間
は横軸に各々プロットされている。理想的な条件の下で
は、米国特許第４１８７７２１号において特に企図され
ているように、“静的な”中心点を表わす線Ａ−Ｃによ
って流体の流れていない条件下で固定の中心面の周りの
振動が特定される。

【００２９】しかし、導管１４の中を流れる流体の温度
変化や圧力変化、更に取り付けプラットホームの振動な
どを含むような実際の作業条件下では、導管１４の振動
は固定の中央点に対して変位するから典型的には図示の
曲線で描かれているように変動する振動の通過経路の特
定点の周りで生ずる。

【００３０】例えば、まず温度が一定状態からはずれて
上昇、次に下降してはずれたとすると、実際に対称性振
動が名目上の静的振動の通過経路の特定点の周りで起る
のは点Ａ，Ｂ，Ｃにおいてのみである。かくして、実際
の振動は、図解上の理由で誇張されているが、変化する
中央点を表わす曲線の周りで対称的に起っている。

【００３１】このように図２は振動の通常の静的な中央
点が変動する外的条件下では実際に変動する中央点から
逸脱することを示す。

【００３２】図２に示したような振動の実際の中央点か
らの逸脱の結果としての中央点ドリフトに応じた再校正
を行なう必要を無くすために、図１に示された流量計
は、導管の実際の全振動の線型表示であるアナログ信号
を生成するセンサーを利用しており、この点流量計の取
り付けプラットホームに固定された構造物に関連したデ
ジタル信号を生成するものとは異なっている。

【００３３】図１に示す速度センサーは軸線Ｗ−Ｗから
離れた結合部２２の所に置かれる。センサー３３，３
３′は、図１に示すように脚１８，２０の外側の縁部に
配置することが結合部２２に配置するよりも好ましい。
重要なことはセンサーを常に導管に対し対称的に対向配
置することである。

【００３４】考察の便宜上、図３，図４に描かれた速度
センサーを実施例としているが、これは別のセンサーで
あってもよい。

【００３５】図３を参照すると、速度センサー４０は１
つの磁石、好ましくは永久磁石４２を含んでおり、この
磁石は図１に示すように本発明の実例では導管に隣接し
て取り付けプラットホーム１２に取り付け固定されてい
る。また、このセンサー４０は、コイル４５を担持し導
管に取り付けられていてよい１つのボビン４４を含んで
いる。

【００３６】図４を参照すると、コイルの巻線は磁石４
２の両磁極面４７，４８に近接しており、両磁極面に位
置した巻線終端を接続している直線部分を除いて常に均
一な磁束の場の中に置かれるようになっている。

【００３７】ボビン４４は実質的に矩形のものである。
上記磁石及びボビンの取り付けに関して見れば、図３に
示されたような導管は鉛直方向に往復運動を行なう。従
って、コイル４５の上部及び下部の水平方向巻線は実質
的に均一な磁石４２の磁束の場を直角方向に横切る。こ
れによりコイル４５の近接した磁石４２に対する相対速
度の線型関数に対応した電位が誘起される。磁石４２の
磁極面４７と４８は、そこにおける磁束が各面に対して
垂直となるよう十分に離れていることが好ましい。磁石
４２の外形については、その磁極面４７，４８が導管の
最大振幅よりも大きくとり、これによりコイル４５の上
部及び下部が均一な磁場内に保たれることを確実にす
る。

【００３８】好ましくは、磁極面４７，４８は導管の振
動とコリオリ力により誘起される偏位の間、コイル４５
との間の間隙が変化しないように位置決めされる。もち
ろん、もし所望であれば上述の配置に代えて導管に磁石
４２を取り付けボビン４４をコイルに固定して取り付け
てよい。

【００３９】図５に戻ると、センサー回路が平行に並ん
でおり−一方にはダッシュを付してある−速度センサー
４０に関して既に説明した１組のコイル４５，４５′が
描かれている。本発明による測定装置においてはこのよ
うなコイル４５，４５′からの出力信号は質量流量に応
じて誘起されたコリオリ力や図１の２５のような駆動機
構によってそれぞれ生ずる導管の振動に基づく組み合わ
された振動数成分と、衝撃、温度のゆらぎ、流体圧力の
変動等の外乱によって惹き起される振動数の変動による
成分を合成した波形を事実上持っている。

【００４０】本発明の測定装置によれば、速度センサー
４５，４５′の出力は累算接合部４８，４８′へ供給さ
れ、そこから更に積分器４９，４９′へ送られる。外乱
に対する感度を減ずるために数段の積分器を設け得るこ
とが理解されよう。積分器４９，４９′の出力は各々速
度センサーコイル４５，４５′からの低周波数信号成分
を通過させる低減フィルター５０，５０′へ接続され、
更に各々累算接合部へ負帰還される。フィルター５０，
５０′は抵抗５１，５１′；容量５２，５２′及び増幅
器５３，５３′を含み、図示の如く従来より知られてい
る配置のものである。こうして、速度センサー４５，４
５′からの信号の処理に際して低周波数成分は実際上打
ち消し合い、これにより積分器４９，４９′の出力から
このような低周波数成分は実質的に除去される。積分器
４９，４９′の出力は抵抗５４，５４′を経て飽和レベ
ルで動作する増幅器５５，５５′へ送られる。よく知ら
れているように、増幅器５５，５５′は振動波形入力を
近似的に先端を切ったのこぎり波形を持つクリップされ
た信号波形の出力に変換する。

【００４１】比較器６０，６０′は各々その一方の入力
端で抵抗５７，５７′を介して増幅器５５，５５′から
の出力に接続されている。比較器６０，６０′の参照入
力はそれぞれ抵抗６３，６３′を介して参照電圧に接続
され、また、例えば別の抵抗値を有する抵抗６５，６６
を介して接地される。従って、参照電圧Ｖａは比較器６
０に与えられ、Ｖｂは比較器６０′へ与えられる。一
方、比較器６０の出力の矩形波は電圧Ｖａの関数として
“ＯＮ”位置へバイアスされる。すなわち、増幅器５５
の出力に関連して描かれたバイアスラインの位置で“Ｏ
ＦＦ”に切り換えられる。同じ手段によって比較器６
０′からの出力信号は“ＯＦＦ”位置にバイアスされて
いる。すなわち参照電圧Ｖｂの関数としてバイアスライ
ンｂの位置で再び切り換えられる。このバイアスは、流
量計１０のダイナミックレンジ全体にわたりセンサー４
５が振れてすなわち導管内の流量が最大となった場合で
も、比較器６０′からの立上り波形に先立って比較器６
０からの立上り波形を与えるように調整される。

【００４２】比較器６０，６０′の矩形波出力は読み取
り回路７０へ与えられる。この読み取り回路は、例えば
米国特許第４１８７７２１号に記されたもの、あるいは
刊行物となっている「モデルＢ質量流量計の指示マニュ
アル（Instruction Manual Model B Mass Flow Mete
r）」に記載され、Micro Motion社，7070 Winchester C
ircle, Boulder, Colorado 80301 から市販され、時間
差を計算して単位時間あたりの所望の質量単位で質量流
量を算出しその値を表示するものと同一のものである。

【００４３】以下に述べるように、読み取り回路７０は
基本的には、詳細が例えば米国特許第４１８７７２１号
に記載されているアップダウンカウンタあるいは「モデ
ルＢ質量流量計の指示マニュアル」のその詳細が記載さ
れているアナログ積分器を構成している。これらの適例
とする回路のいずれも、読み取り回路に入力された比較
器６０，６０′の矩形波出力の立上り部分と立下り部分
との間の遅延時間を測定するように志向したものであ
る。

【００４４】図１〜図５及び上述の説明から明らかなよ
うに、上述のセンサー及び回路を使用する本発明測定装
置によっていくつかの重要な利点が保証される。導管の
全体的な振動運動の正確な線型関数を表わすアナログ信
号を生成することによって導管の弾性偏向を生起するコ
リオリ力を測定する改良された手段が提供される。詳し
くいえば、図１のセンサー３３，３３′が導管の全体的
な実際の振動運動の線型関数となっている信号を生成す
る。

【００４５】一般に、多段の設置は好ましいが、極端に
多くの積分段を設けると回路中に不安定さが認められ
る。実際の流量計システムにおいて積分器を設けること
による利点が損なわれてしまう段数がどの位かについ
て、当業者であれば容易に気付く筈である。

【００４６】図３，図４に示されたような速度センサー
４０は経済的であり、センサー３３，３３′として最も
有効であるように思われる。これは、理論上の長所とは
対立するが、ある意味での組立の容易性、適当な回路要
素の入手のし易さと安定性とに負うところが大きい。

【００４７】図１に示すようなコリオリ力式質量流量計
１０に速度センサー４０が採用され、そのセンサー出力
が１段あるいは多段にわたり積分されると、従来最も厄
介だった使用条件、例えば導管の中を流れる流体の温度
が２００℃あるいはそれ以上も実質的に変動するような
条件のもとでも長期的な安定性が得られる。

【００４８】導管に直接冷凍剤が降りかかるようなこと
があっても、数サイクル以上は本発明ではコリオリ力式
質量流量計１０の感度と精度を破壊することはできな
い。先行技術における従来の検知、信号処理及び測定技
法を用いた振動管型のコリオリ力流量計の場合には、こ
のような条件のもとでは重大な動作破壊を招く。

【００４９】流量計の動作は図６から図９にかけて描か
れた信号とタイミングを表わすチャートを参照すると更
に判り易くなる。これらの図についての議論及び読み取
り回路７０の動作については、図５の回路７０が基本的
には好ましくは米国特許第４１８７７２１号に記された
ような加算−減算カウンタか、あるいは「モデルＢ質量
流量計指示マニュアル」に記されたような積分器のいず
れかであることに留意すれば判り易い。加算−減算カウ
ンタあるいはアナログ積分器回路のいずれも同一の目的
を達成するものであるので、読み取り回路７０がどのよ
うに動作するかに関する以下の議論は便宜上各々の場合
について繰返さない。その代り、いずれか一方の機能を
持つことを表わす合成語“カウンタ／積分器”を使用す
る。図５の積分器４９，４９′の出力は、図６に示され
ているように、コリオリ力に由来する振動以外の周波数
成分が上述した如く消去された後では、導管内に流れの
存在しない条件下において、そろった同一の繰返し波形
を有している。各比較器６０，６０′への参照電圧Ｖａ
とＶｂが異なっている結果、比較器６０，６０′から読
み取り回路７０への矩形波入力は図７に示される如く、
比較器６０からのものが、比較器６０′からのものより
も長い間“ＯＮ”レベルにある。従って、比較器６０か
らの信号の立上りによって開始される減算カウント／積
分は比較器６０′からの信号によって終了し、これら事
象間の遅延時間を表わすカウント／積分信号レヘルと共
に常に正の値に保たれる。

【００５０】同様に、読み取り回路７０の加算カウント
／積分部は、比較器６０′からの信号の折れ下り端によ
って動作を開始し、比較器６０からの信号の折れ下り端
によって動作を終了する。従ってやはり遅延時間を表わ
す正の値に保たれる。上記のように、この関係は参照電
圧Ｖａ，Ｖｂの相対的な大きさを調整することによって
維持される。流れの無い条件下では、カウント／積分
は、加算・減算について同一である。

【００５１】図８を参照すると、積分器４９，４９′か
ら出力される繰返し信号は、導管内に流れがある条件下
においてシフトを起すことが理解されよう。

【００５２】比較器６０からの信号が“ＯＮ”である時
間の相対的な長さも、比較器６０′からの信号が“Ｎ
Ｏ”である時間の相対的な長さも変らないが、両者の信
号変化の間の遅延時間は図９に示すように変る。

【００５３】減算カウント／積分が読み取り回路７０内
に記録されている期間と、同じく加算カウント／積分が
記録されている期間とは一致しない。両者の差は質量流
量を表わしている。簡潔にいえば、図６に示すように流
れが無い条件下において読み取り回路７０によってなさ
れている減算カウント／積分と加算カウント／積分と
は、導管が軸線Ｏ−Ｏの周りで無偏向故に同一であり、
減算カウント／積分と加算カウント／積分とを合わせて
加える読み取り回路７０は無流量を指示する。一方、流
れが存在する条件下では、図９に示すように、振動する
導管の上昇ストロークによって比較器６０からの矩形波
信号は相対的に前進し、一方、比較器６０′からの矩形
波信号は引き延ばされる。これにより読み取り回路７０
への加算カウント／積分入力は増加し、減算カウント／
積分入力は減少する。

【００５４】従って、振動する質量流量計を通る質量流
量は図９に示すように、加算カウント／積分と減算カウ
ント／積分の差の関数となる。

【００５５】要するに、本発明は導管の振動に影響を与
える外部の物理的ファクターの変動に起因した、導管の
振動挙動における構造的及び周波数変動の問題を処理し
たことになる。導管の全体的な振動運動の線型関数とし
てのアナログ信号を生成するセンサーを用い、振動の全
体にわたって振動駆動機構によって惹起される振動以外
の、物理的変化に対応する周波数成分を積分し、ろ波
し、消去するための回路を用いることによって、本発明
による安定で正確な質量流量測定装置が提供される。外
乱に対する感度を最小にするためにセンサーの出力は、
少なくとも一度は１段の積分とされることが好ましく、
特に加速度センサーからの出力信号の場合は数段の積分
が望ましい。信号がこのように生成されると、すなわ
ち、導管の全体的な振動に線型に関連した信号が得られ
ると、これらの信号は例えば容易に矩形波に変換され、
それらの信号間の遅延時間がコリオリ力による管の対向
部分の偏向に対応するものとしてモニターされ、流量計
を流れる質量流量が正確に測定される。

【００５６】上述しまた図示により説明した本発明は、
流量計及びセンサーの適例を用いた実施例に係るもので
あるが、これは多様な変更が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の質量流量測定装置の見取図。

【図２】本発明に用いる典型的な振動導管の運動を図示
したもの。

【図３】図１に示した流量計の磁石−コイルセンサー構
造の好ましい例を示し、振動する導管に関して１つの配
置関係にある状態について描かれている。この配置関係
については当業者であれば多くの中の一例であることが
理解されよう。

【図４】図３と同じ好ましい磁石−コイル速度センサー
の細部の配置を描いたもので、コイルと磁極面の間の一
つの好ましい寸法関係を示している。当業者であれば導
管の振動運動と外部条件のゆらぎによる長期的な導管の
空間的配向のゆがみのいずれにも無関係にコイル外周が
均一な磁束の場の中に置かれることが理解されるであろ
う。

【図５】図３と図４で示されたセンサーと共に用い得る
電子回路。

【図６】図２に示された信号と実質的に同一の信号が外
部誤差信号を補償された後の様子を、無流量の場合につ
いて理想的な信号生成を仮定して描いた図。

【図７】図６のセンサー出力に対応した好適な質量流量
計の読み取り信号を図示したもの。

【図８】発生するような外部的な誤差信号を補償した後
の流量が存在する時についての図６と同様の図。

【図９】図８に示されたセンサー出力に対応した好適な
質量流量計の読み取り信号を図示したもの。

【符号の説明】

１０：流量計、１２：取り付けプラットホーム、１４：
導管、１５：流入口、１６：流出口、１８，２０：側脚
部、３３，３３′：センサー、４５，４５′：コイル、
４２：磁石。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−52570（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−126194（ＪＰ，Ａ) 特公 昭43−26009（ＪＰ，Ｂ１) 特公 昭52−34481（ＪＰ，Ｂ１) 実公 昭54−15044（ＪＰ，Ｙ１)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）両開放端部が固設され駆動手段に
   より付勢されて振動するようになされた少なくとも一の
   連続的な導管、（ｂ）両端が固設され前記導管に実質的
   に平行に配設された振動部材であり、前記導管と実質的
   に同一の共振周波数を有すると共に該導管と逆相で振動
   することにより互いに音叉状に動作するようにしてなる
   前記振動部材、（ｃ）前記導管及び前記振動部材を振動
   せしめる駆動手段、（ｄ）前記導管の運動に応答して電
   気的信号を発生する少なくとも一対の実質上同一のセン
   サーからなるセンサー手段であって、これら一対のセン
   サーの各々が、（ｉ）前記導管の各端部から実質的に等
   距離にある位置、かつ、（ii）前記導管の中央点から実
   質的に等距離にある位置、に前記導管に沿って配設して
   なる前記センサー手段、（ｅ）信号処理手段、（ｆ）前
   記導管を流通する流体の質量流量を、前記一対のセンサ
   ーのうちの一方のセンサーに隣接した導管部分がその振
   動経路の与えられた点を通過するすべての各時点と、前
   記一対のセンサーのうちの他方のセンサーに隣接した導
   管部分がその振動経路の前記与えられた点に対応する点
   を通過するすべての各時点との時間差の関数として指示
   するようにした質量流量読取手段、を備えてなり、前記
   センサー手段は少なくとも一対の磁気式速度センサーか
   らなり、各々の該磁気式速度センサーは磁石及びコイル
   で構成すると共に、前記コイルは常に該コイルに対応す
   る磁石の均一な磁場内を運動するように前記磁石及びコ
   イルを構成配置してなり、更に、前記磁気式速度センサ
   ーはそれぞれが前記導管の振動運動の全体を通してセン
   サーに隣接した前記導管部分の速度を表わす連続的な信
   号を発生すると共に、前記信号処理手段は、同一の回路
   要素で形成された少なくとも一対の回路部分であって、
   各々が前記一対の磁気式速度センサーのうちの一の前記
   コイルの出力にそれぞれ同様に接続された回路部分から
   なり、かつ、前記各回路部分はセンサーコイルからの前
   記出力を少なくとも１段の積分器を通して導くようにし
   たこと、を特徴とする流体の質量流量を測定するための
   コリオリ式質量流量測定装置。