JPH0771648A - 開閉バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ガスを供給する配管途中に組付けられる開閉バ
ルブにおいて、ハウジング内に露結することを防止す
る。 【構成】ハウジング本体を外側ハウジング１と内側ハウ
ジング２とに二つ割りにしてメンテナンスをし易くし、
外側ハウジング１と内側ハウジング２との間にヒータ３
を入れ、ハウジング内壁の温度を上げている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
るガス供給用配管などに用いられる開閉バルブに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、拡散装置あるいはエピタキシアル
成長装置などの半導体製造装置には、種々のガスを供給
するガス供給装置が備えられている。そして、このガス
供給装置にはガスボンベからガスを供給する配管や種々
のバルブなどが複数備えられていた。このバルブの中で
開閉を目的とした二方弁が多く、その構造は単純なもの
であった。

【０００３】この開閉バルブは図面には示さないが、ハ
ウジングの中に弁座があり、その弁座の開口をプランジ
ャーのディスクで塞ぐが開くかで弁の開閉を行なってい
た。また、配管への取付けはバルブの開口の外周囲にあ
るフランジと配管のフランジとをハッキングを介して合
せボルトとナットで締付け固定していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たバルブの内壁の表面温度はバルブ内を流れる気体に比
べ低くく、バルブ内壁に接触している気体が液化凝固
し、バルブの開のときにバルブ内壁に残された不要な液
が再度気化し配管を通り処理室に浸入し、処理すべき半
導体基板を汚染させ品質に重大な欠陥をもたらすという
問題があった。

【０００５】従って、本発明の目的は、バルブを開くと
きにハウジング内に残留するガスを放出しない開閉バル
ブを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、一端に
開口をもつとともにこの開口の内側周囲に面をもつハウ
ジングと、このハウジング内の一方向に移動し該開口を
開閉する円板状部材をもつプランジャーとを備える開閉
バルブにおいて、前記ハウジングを二つ割りにし、二つ
に分離した内側ハウジングと外側ハウジングの間にヒー
タを挿入する開閉バルブである。

【０００７】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。

【０００８】図１は本発明の一実施例を示す開閉バルブ
の断面図である。この開閉バルブは、図１に示すよう
に、一端に開口を有しその端部の内面に弁座６ｂをもつ
とともに他端にフランジをもつ内側ハウジング２とこの
内側ハウジングを包みフランジ部で固定ボルト５で固定
する外側ハウジング１とにハウジング本体を分割し、こ
の内側ハウジング２と外側ハウジング１との間にヒータ
３を挿入してある。また、ヒータ３に電流を供給する導
線はヒータ線導入口４からハウジング外に引出されてい
る。

【０００９】また、望ましくは、弁座６ｂの近くのフラ
ンジ部に熱電対を埋設し、バルブ本体の温度を検出し、
ヒータ電源にフィードバックしバルブ本体の温度を一定
にすることである。上述したようにハウジング本体を二
つ割りにしたことは、ヒータ３の交換あるいはバルブ自
体のメンテナンスを容易にするという利点がある。さら
に、この二つ割りにすることによってバルブ自体の製作
も容易になり、コスト低減に繋がる利点もある。

【００１０】

【発明の効果】以上説明した様に本発明は、バルブ本体
にヒータを内蔵しハウジング内壁の温度を上げることに
よって、高温のガスが露結することがないので、ハウジ
ング内に残留するガスを放出することがないという効果
を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す開閉バルブの断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 外側ハウジング ２ 内側ハウジング ３ ヒータ ４ ヒータ線導入口 ５ 固定ボルト ６ ディスク ６ａ パッキング ６ｂ 弁座 ６ｃ プランジャ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端に開口をもつとともにこの開口の内
   側周囲に面をもつハウジングと、このハウジング内の一
   方向に移動し該開口を開閉する円板状部材をもつプラン
   ジャーとを備える開閉バルブにおいて、前記ハウジング
   を二つ割りにし、二つに分離した内側ハウジングと外側
   ハウジングの間にヒータを挿入することを特徴とする開
   閉バルブ。