JPH0770739A - 蒸着用るつぼの温度制御装置 - Google Patents
蒸着用るつぼの温度制御装置Info
- Publication number
- JPH0770739A JPH0770739A JP22164393A JP22164393A JPH0770739A JP H0770739 A JPH0770739 A JP H0770739A JP 22164393 A JP22164393 A JP 22164393A JP 22164393 A JP22164393 A JP 22164393A JP H0770739 A JPH0770739 A JP H0770739A
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- crucible
- vapor deposition
- vapor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 膜厚の均一な蒸着膜を形成する。
【構成】 誘導加熱コイル２２に交番電流を流すことに
より、長尺るつぼ２１内の溶融アルミ１３を誘導加熱し
てアルミ蒸気を発生させる。回転する冷却キャン１６に
巻回して走行する帯状フィルム１０の表面に、アルミ蒸
気１４が蒸着し、所要膜厚の蒸着膜１５を形成する。帯
状フィルム１０の幅方向における蒸着膜の膜厚ばらつき
が許容値を越えそうになると、膜厚が増大した部分にお
いて、制御用コイル１に通電をしてこの部分の交番磁界
を弱め、当該部分への加熱入力を減らしてアルミ蒸気を
減らす。
より、長尺るつぼ２１内の溶融アルミ１３を誘導加熱し
てアルミ蒸気を発生させる。回転する冷却キャン１６に
巻回して走行する帯状フィルム１０の表面に、アルミ蒸
気１４が蒸着し、所要膜厚の蒸着膜１５を形成する。帯
状フィルム１０の幅方向における蒸着膜の膜厚ばらつき
が許容値を越えそうになると、膜厚が増大した部分にお
いて、制御用コイル１に通電をしてこの部分の交番磁界
を弱め、当該部分への加熱入力を減らしてアルミ蒸気を
減らす。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アルミ真空蒸着装置等
の、誘導加熱るつぼを蒸発源とする蒸着装置に適用する
蒸着用るつぼの温度制御装置に関するものである。
の、誘導加熱るつぼを蒸発源とする蒸着装置に適用する
蒸着用るつぼの温度制御装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の装置の第１例である、アル
ミ真空蒸着装置の要部を破断した正面図、図５は従来の
装置の第２例である、アルミ真空蒸着装置の要部を破断
した正面図である。
ミ真空蒸着装置の要部を破断した正面図、図５は従来の
装置の第２例である、アルミ真空蒸着装置の要部を破断
した正面図である。
【０００３】図４に示すように、図示しない真空容器内
で回転するロール状の冷却キャン１６に巻回して走行す
る帯状フィルム１０の下方で、誘導加熱コイル１２によ
って蒸発源である複数の短尺るつぼ１１をそれぞれ誘導
加熱し、この各々の短尺るつぼ１１内の溶融アルミ１３
からアルミ蒸気１４を蒸発させ、帯状フィルム１０に蒸
着膜１５を蒸着する。そして、各々の短尺るつぼ１１の
誘導加熱コイル１２からの入熱を制御することにより、
帯状フィルム１０の幅方向における蒸着膜１５の膜厚分
布を制御する。
で回転するロール状の冷却キャン１６に巻回して走行す
る帯状フィルム１０の下方で、誘導加熱コイル１２によ
って蒸発源である複数の短尺るつぼ１１をそれぞれ誘導
加熱し、この各々の短尺るつぼ１１内の溶融アルミ１３
からアルミ蒸気１４を蒸発させ、帯状フィルム１０に蒸
着膜１５を蒸着する。そして、各々の短尺るつぼ１１の
誘導加熱コイル１２からの入熱を制御することにより、
帯状フィルム１０の幅方向における蒸着膜１５の膜厚分
布を制御する。
【０００４】ところがこの短尺るつぼ１１を使用した場
合、各々の短尺るつぼ１１から蒸発したアルミ蒸気１４
が帯状フィルム１０に付着するとき、図４に示すよう
に、蒸着膜１５には原理的に幅方向の厚薄が発生する。
合、各々の短尺るつぼ１１から蒸発したアルミ蒸気１４
が帯状フィルム１０に付着するとき、図４に示すよう
に、蒸着膜１５には原理的に幅方向の厚薄が発生する。
【０００５】この欠点を解消するために、アルミ蒸気１
４の蒸発源として、図５に示す、長尺るつぼ２１が用い
られている。この装置では、長尺るつぼ２１を取り巻く
誘導加熱コイル２２によって長尺るつぼ２１を誘導加熱
し、断熱板２３によって誘導加熱コイル２２を長尺るつ
ぼ２１から断熱して溶融アルミ１３からアルミ蒸気１４
を蒸発させ、帯状フィルム１０に蒸着膜１５をその幅方
向にほぼ均一に蒸着する。
４の蒸発源として、図５に示す、長尺るつぼ２１が用い
られている。この装置では、長尺るつぼ２１を取り巻く
誘導加熱コイル２２によって長尺るつぼ２１を誘導加熱
し、断熱板２３によって誘導加熱コイル２２を長尺るつ
ぼ２１から断熱して溶融アルミ１３からアルミ蒸気１４
を蒸発させ、帯状フィルム１０に蒸着膜１５をその幅方
向にほぼ均一に蒸着する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述した長尺るつぼ２
１を用いた蒸着装置では、蒸着開始からある時間内にお
いては蒸着膜１５が帯状フィルム１０の幅方向にほぼ均
一に蒸着される。ところが、長時間蒸着を続けると、長
尺るつぼ２１の輻射熱の、断熱板２３の断熱効果の変化
等により、長尺るつぼ２１の長さ方向（フィルム幅方
向）の温度分布にばらつきが発生し、アルミ蒸気１４の
蒸発量も変化するので蒸着膜１５の膜厚のばらつきが大
きくなることがある。従って、蒸着開始から長時間が経
過し、膜厚のばらつきが大きくなると、長尺るつぼ２
１、断熱板２２等を交換する必要があるので、ラインの
ダウンタイムが増加し、生産性を低下させていた。
１を用いた蒸着装置では、蒸着開始からある時間内にお
いては蒸着膜１５が帯状フィルム１０の幅方向にほぼ均
一に蒸着される。ところが、長時間蒸着を続けると、長
尺るつぼ２１の輻射熱の、断熱板２３の断熱効果の変化
等により、長尺るつぼ２１の長さ方向（フィルム幅方
向）の温度分布にばらつきが発生し、アルミ蒸気１４の
蒸発量も変化するので蒸着膜１５の膜厚のばらつきが大
きくなることがある。従って、蒸着開始から長時間が経
過し、膜厚のばらつきが大きくなると、長尺るつぼ２
１、断熱板２２等を交換する必要があるので、ラインの
ダウンタイムが増加し、生産性を低下させていた。
【０００７】本発明は、このような課題を解決するため
に提案されたもので、蒸着中に蒸着用るつぼの温度分布
を部分的に制御し、被蒸着物の膜厚分布を改善する温度
制御装置を提供することを目的とする。
に提案されたもので、蒸着中に蒸着用るつぼの温度分布
を部分的に制御し、被蒸着物の膜厚分布を改善する温度
制御装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の、本発明による蒸着用るつぼの温度制御装置の構成
は、蒸着用るつぼと、この蒸着用るつぼを加熱する誘導
加熱コイルを具備した蒸着装置において、複数の制御用
コイルを備え、しかも各制御用コイルから出力される各
交番磁界が、蒸着用るつぼの異なる部分を通ると共に前
記誘導加熱コイルから出力された交番磁界と作用する状
態にして、前記制御用コイルを配列したことを特徴とす
る。
の、本発明による蒸着用るつぼの温度制御装置の構成
は、蒸着用るつぼと、この蒸着用るつぼを加熱する誘導
加熱コイルを具備した蒸着装置において、複数の制御用
コイルを備え、しかも各制御用コイルから出力される各
交番磁界が、蒸着用るつぼの異なる部分を通ると共に前
記誘導加熱コイルから出力された交番磁界と作用する状
態にして、前記制御用コイルを配列したことを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】蒸着用るつぼを誘導加熱コイルからの交番磁界
によって誘導加熱し、蒸着用るつぼから蒸着蒸気を蒸発
させて被蒸着物に蒸着し、この被蒸着物の表面に蒸着膜
を形成する。蒸着時間が経過して前記蒸着用るつぼの温
度分布が不均一になり、被蒸着物の蒸着膜の膜厚のばら
つきが許容値を超えそうになると、各々の制御用コイル
に誘起される電流をそれぞれ制御することによって誘導
加熱コイルからの入熱量を部分的に調節し、蒸着用るつ
ぼの温度を部分的に制御して蒸着用るつぼの温度分布を
ほぼ均一にし、被蒸膜の膜厚のばらつきを許容値内に維
持する。
によって誘導加熱し、蒸着用るつぼから蒸着蒸気を蒸発
させて被蒸着物に蒸着し、この被蒸着物の表面に蒸着膜
を形成する。蒸着時間が経過して前記蒸着用るつぼの温
度分布が不均一になり、被蒸着物の蒸着膜の膜厚のばら
つきが許容値を超えそうになると、各々の制御用コイル
に誘起される電流をそれぞれ制御することによって誘導
加熱コイルからの入熱量を部分的に調節し、蒸着用るつ
ぼの温度を部分的に制御して蒸着用るつぼの温度分布を
ほぼ均一にし、被蒸膜の膜厚のばらつきを許容値内に維
持する。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例である、アルミ真空
蒸着装置の要部を破断した正面図、図２は図１のII-II
断面図、図３は図２のIII-III 断面図である。図１、図
２及び図３において、２１は長尺るつぼであり、図示し
ない真空容器内で回転するロール状の冷却キャン１６の
下方に固設され、るつぼ２１の外周には、内部から水冷
する角管状の誘導加熱コイル２２が、断熱板２３を介し
て固設されている。そして、その下方（るつぼ２１の底
面）には、内部から水冷する管状の複数の制御用コイル
１がるつぼ２１の長さ方向（冷却キャン１６の幅方向）
つまりフィルム１０の幅方向に列設されている。この制
御用コイル１には消弧機能付の電磁スイッチ３が導体２
によって連結されている。又、コイル１の長さはコイル
２２の磁界４が充分及ぶ長さとされている。
蒸着装置の要部を破断した正面図、図２は図１のII-II
断面図、図３は図２のIII-III 断面図である。図１、図
２及び図３において、２１は長尺るつぼであり、図示し
ない真空容器内で回転するロール状の冷却キャン１６の
下方に固設され、るつぼ２１の外周には、内部から水冷
する角管状の誘導加熱コイル２２が、断熱板２３を介し
て固設されている。そして、その下方（るつぼ２１の底
面）には、内部から水冷する管状の複数の制御用コイル
１がるつぼ２１の長さ方向（冷却キャン１６の幅方向）
つまりフィルム１０の幅方向に列設されている。この制
御用コイル１には消弧機能付の電磁スイッチ３が導体２
によって連結されている。又、コイル１の長さはコイル
２２の磁界４が充分及ぶ長さとされている。
【００１１】各々の制御用コイル１のスイッチ３をそれ
ぞれ開にして交番磁界４による電流を誘起させないで、
誘導加熱コイル２２に交番電流を印加通電すると、この
交番電流で発生する交番磁界４によって長尺るつぼ２１
に誘導電流が流れ、この誘導電流によって長尺るつぼ２
１を誘導加熱する。この誘導加熱によって長尺るつぼ２
１内の溶融アルミ１３からアルミ蒸気１４を蒸発させ、
真空容器外の図示しない膜厚検出器によって蒸着膜１５
の膜厚を検出しながら、回転する冷却キャン１６に巻回
して走行する帯状フィルム１０の表面に蒸着し、所要の
膜厚の蒸着膜１５を形成する。
ぞれ開にして交番磁界４による電流を誘起させないで、
誘導加熱コイル２２に交番電流を印加通電すると、この
交番電流で発生する交番磁界４によって長尺るつぼ２１
に誘導電流が流れ、この誘導電流によって長尺るつぼ２
１を誘導加熱する。この誘導加熱によって長尺るつぼ２
１内の溶融アルミ１３からアルミ蒸気１４を蒸発させ、
真空容器外の図示しない膜厚検出器によって蒸着膜１５
の膜厚を検出しながら、回転する冷却キャン１６に巻回
して走行する帯状フィルム１０の表面に蒸着し、所要の
膜厚の蒸着膜１５を形成する。
【００１２】蒸着時間が長時間経過して帯状フィルム１
０の幅方向における蒸着膜１５の膜厚のばらつきが許容
値を超えそうになると、この膜厚が増大した部分（長尺
るつぼ２１の温度が上昇した部分）の制御用コイル１の
スイッチ３を閉にし、誘導加熱コイル２２からの交番磁
界４によってこの制御用コイル１に電流を誘起する。こ
の電流は交番磁界４を弱めるように作用するので、この
制御用コイル１の近傍では交番磁界４が弱められ、長尺
るつぼ２１への加熱入力が減少してその温度が低下す
る。従って、この制御用コイル１の近傍のアルミ蒸気１
４の蒸発量が減少し、蒸着膜１５の膜厚が減少する。こ
のようにして、図示しない膜厚検出器によって図示しな
い真空容器から出る帯状フィルム１０の蒸着膜１５の膜
厚を検出しながら各々の制御用コイル１のスイッチ３を
開閉してその電流の誘起をそれぞれ制御することによ
り、長尺るつぼ２１の温度を部分的に制御してその温度
分布を長さ方向においてほぼ均一にし、被蒸膜１５の膜
厚のばらつきを許容値内に維持する。
０の幅方向における蒸着膜１５の膜厚のばらつきが許容
値を超えそうになると、この膜厚が増大した部分（長尺
るつぼ２１の温度が上昇した部分）の制御用コイル１の
スイッチ３を閉にし、誘導加熱コイル２２からの交番磁
界４によってこの制御用コイル１に電流を誘起する。こ
の電流は交番磁界４を弱めるように作用するので、この
制御用コイル１の近傍では交番磁界４が弱められ、長尺
るつぼ２１への加熱入力が減少してその温度が低下す
る。従って、この制御用コイル１の近傍のアルミ蒸気１
４の蒸発量が減少し、蒸着膜１５の膜厚が減少する。こ
のようにして、図示しない膜厚検出器によって図示しな
い真空容器から出る帯状フィルム１０の蒸着膜１５の膜
厚を検出しながら各々の制御用コイル１のスイッチ３を
開閉してその電流の誘起をそれぞれ制御することによ
り、長尺るつぼ２１の温度を部分的に制御してその温度
分布を長さ方向においてほぼ均一にし、被蒸膜１５の膜
厚のばらつきを許容値内に維持する。
【００１３】なお、本発明は前述した実施例に限定され
るものでなく、スイッチ３の代わりに可変抵抗器等の電
流制御装置を用いてもよく、制御用コイル１をるつぼ２
１の側面（誘導加熱コイル２２の外側）に配設してもよ
い。また、連続真空蒸着装置だけでなく、あらゆる誘導
加熱式蒸着装置に適用することができる。
るものでなく、スイッチ３の代わりに可変抵抗器等の電
流制御装置を用いてもよく、制御用コイル１をるつぼ２
１の側面（誘導加熱コイル２２の外側）に配設してもよ
い。また、連続真空蒸着装置だけでなく、あらゆる誘導
加熱式蒸着装置に適用することができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明では、蒸着用るつぼ及び誘導加熱
コイルの周辺に、複数の制御用コイルを配設したことに
より、蒸着時間が経過して被蒸着物の蒸着膜の膜厚ばら
つきが許容値を超えそうになっても、各々の制御用コイ
ルに流れる電流をそれぞれ制御して蒸着用るつぼの温度
を部分的に制御することにより、被蒸膜の膜厚ばらつき
を許容値内に維持することができる。従って、蒸着装置
を長時間連続して運転することが可能になり、ラインの
ダウンタイムを減少させてその生産性を向上することが
できる。
コイルの周辺に、複数の制御用コイルを配設したことに
より、蒸着時間が経過して被蒸着物の蒸着膜の膜厚ばら
つきが許容値を超えそうになっても、各々の制御用コイ
ルに流れる電流をそれぞれ制御して蒸着用るつぼの温度
を部分的に制御することにより、被蒸膜の膜厚ばらつき
を許容値内に維持することができる。従って、蒸着装置
を長時間連続して運転することが可能になり、ラインの
ダウンタイムを減少させてその生産性を向上することが
できる。
【図１】本発明の一実施例であるアルミ真空蒸着装置の
要部を破断して示す正面図。
要部を破断して示す正面図。
【図２】図１のII-II 断面図。
【図３】図２のIII-III 矢視図。
【図４】従来装置のアルミ真空蒸着装置の要部を破断し
て示す正面図。
て示す正面図。
【図５】従来装置の他のアルミ真空蒸着装置の要部を破
断して示す正面図。
断して示す正面図。
１ 制御用コイル ３ スイッチ ４ 交番磁界 １０ 帯状フィルム １３ 溶融アルミ １４ アルミ蒸気 １５ 蒸着膜 ２１ 長尺るつぼ ２２ 誘導加熱コイル ２３ 断熱板
フロントページの続き (72)発明者 長井 直之 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 蒸着用るつぼと、この蒸着用るつぼを加
熱する誘導加熱コイルを具備した蒸着装置において、 複数の制御用コイルを備え、しかも各制御用コイルから
出力される各交番磁界が、蒸着用るつぼの異なる部分を
通ると共に前記誘導加熱コイルから出力された交番磁界
と作用する状態にして、前記制御用コイルを配列したこ
とを特徴とする蒸着用るつぼの温度制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22164393A JPH0770739A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 蒸着用るつぼの温度制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22164393A JPH0770739A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 蒸着用るつぼの温度制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0770739A true JPH0770739A (ja) | 1995-03-14 |
Family
ID=16769999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22164393A Pending JPH0770739A (ja) | 1993-09-07 | 1993-09-07 | 蒸着用るつぼの温度制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0770739A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1560467A1 (en) * | 2002-07-19 | 2005-08-03 | Lg Electronics Inc. | Source for thermal physical vapor deposition of organic electroluminescent layers |
| JP2011052301A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着用蒸着材料の蒸発、昇華方法および真空蒸着用るつぼ装置 |
| CN102808167A (zh) * | 2011-06-02 | 2012-12-05 | 丽佳达普株式会社 | 坩埚装置、坩埚装置控制方法、膜厚测量装置及包含它的薄膜沉积设备 |
| CN109518152A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-03-26 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 金属源剩余量检测装置及检测方法、蒸镀设备 |
| CN109576650A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-05 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 蒸镀设备 |
-
1993
- 1993-09-07 JP JP22164393A patent/JPH0770739A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1560467A1 (en) * | 2002-07-19 | 2005-08-03 | Lg Electronics Inc. | Source for thermal physical vapor deposition of organic electroluminescent layers |
| JP2011052301A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Hitachi Zosen Corp | 真空蒸着用蒸着材料の蒸発、昇華方法および真空蒸着用るつぼ装置 |
| CN102808167A (zh) * | 2011-06-02 | 2012-12-05 | 丽佳达普株式会社 | 坩埚装置、坩埚装置控制方法、膜厚测量装置及包含它的薄膜沉积设备 |
| CN109518152A (zh) * | 2018-12-19 | 2019-03-26 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 金属源剩余量检测装置及检测方法、蒸镀设备 |
| CN109576650A (zh) * | 2018-12-24 | 2019-04-05 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 蒸镀设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010109 |