JPH0769277B2 - Ｘ線分光器 - Google Patents
Ｘ線分光器Info
- Publication number
- JPH0769277B2 JPH0769277B2 JP62203146A JP20314687A JPH0769277B2 JP H0769277 B2 JPH0769277 B2 JP H0769277B2 JP 62203146 A JP62203146 A JP 62203146A JP 20314687 A JP20314687 A JP 20314687A JP H0769277 B2 JPH0769277 B2 JP H0769277B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- arm
- crystal
- rowland circle
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は、波長分解能の高い高精度のＸ線分光器に関す
る。
る。
例えば任意の物質のＸ線吸収端近傍における吸収特性を
精密に観測することによって、結晶構造等の精密な分析
を行うことができる。このようなイグザフス（EXAFS）
測定装置においては高精度のＸ線分光器を必要とする
が、例えば１つのローランド円上にＸ線源と湾曲分光結
晶およびスリットを配置した従来のＸ線分光器を用いて
分光制度を向上するためには、ローランド円を著しく大
きくしなければならない。このため装置が極めて大形に
なって、しかも分光されたＸ線の強度は著しく弱くなる
欠点があった。従って本発明は小形で簡単な機構によ
り、高精度のＸ線分光を行い得ると共に分光されたＸ線
の強度減衰も小さい装置を提供するものである。
精密に観測することによって、結晶構造等の精密な分析
を行うことができる。このようなイグザフス（EXAFS）
測定装置においては高精度のＸ線分光器を必要とする
が、例えば１つのローランド円上にＸ線源と湾曲分光結
晶およびスリットを配置した従来のＸ線分光器を用いて
分光制度を向上するためには、ローランド円を著しく大
きくしなければならない。このため装置が極めて大形に
なって、しかも分光されたＸ線の強度は著しく弱くなる
欠点があった。従って本発明は小形で簡単な機構によ
り、高精度のＸ線分光を行い得ると共に分光されたＸ線
の強度減衰も小さい装置を提供するものである。
本発明は第１、第２の２つのローランド円上にそれぞれ
所望の湾曲分光結晶とスリットとを配置すると共に第１
のローランド円上にＸ線源を配置して、第１のローラン
ド円上のスリットが第２のローランド円上にも乗るよう
にしたもので、第１のローランド円は抽出されるＸ線の
波長に応じて移動するが第２のローランド円は一定位置
を保持する。すなわち、このような２段分光器を構成す
ることによって、例えば第１のローランド円は主として
波長分解能の向上に寄与し、第２のローランド円はSN比
の向上に寄与するようにすることができる。また第１、
第２のローランド円上に配置する分光結晶の組み合わせ
を適当に選定することにより、高調波のような不要反射
波を除去してSN比を増大し、あるいは強力なＸ線を用い
てイグザフス測定等の制度を向上することができる。更
に不要反射波を有効に除去あるいは減少し得るから、イ
オンチェンバあるいはシンチレーションカウンタのよう
な例えばイグザフス測定に有効なＸ線検出器の使用が容
易で、大形高価な半導体検出器等を必要としない作用効
果がある。
所望の湾曲分光結晶とスリットとを配置すると共に第１
のローランド円上にＸ線源を配置して、第１のローラン
ド円上のスリットが第２のローランド円上にも乗るよう
にしたもので、第１のローランド円は抽出されるＸ線の
波長に応じて移動するが第２のローランド円は一定位置
を保持する。すなわち、このような２段分光器を構成す
ることによって、例えば第１のローランド円は主として
波長分解能の向上に寄与し、第２のローランド円はSN比
の向上に寄与するようにすることができる。また第１、
第２のローランド円上に配置する分光結晶の組み合わせ
を適当に選定することにより、高調波のような不要反射
波を除去してSN比を増大し、あるいは強力なＸ線を用い
てイグザフス測定等の制度を向上することができる。更
に不要反射波を有効に除去あるいは減少し得るから、イ
オンチェンバあるいはシンチレーションカウンタのよう
な例えばイグザフス測定に有効なＸ線検出器の使用が容
易で、大形高価な半導体検出器等を必要としない作用効
果がある。
図面は本発明実施例の平面図で、基台板１の一部に切欠
部２を設けて、点ｆにＸ線管の焦点を配置するようにし
てある。この基台板１に、上記点ｆで互いに直交するよ
うに形成された例えば凹溝よりなる直線状の第１および
第２の案内路3.4を設けてある。また両端に形成した円
柱状の突起5.6を上記各案内路に摺動自在に嵌合し、か
つ第１ローランド円r1の直径に相当した長さを有する第
１アーム７を設けて、第２案内路４に嵌合した上記突起
６上に第１湾曲分光結晶８を、その湾曲面の接線がこの
アームと直交するように固定してある。なお結晶８は周
知のように上記第１ローランド円の直径に相当する曲率
半径を有するが、その前面の中央部における突起６を軸
として回転自在な台板９を設けてある。この台板９に透
溝よりなる第３の直線状案内路10を、その延長が結晶８
の前面中央を通る軸線と交わるように形成して、摺動板
11をこの案内路10に摺動自在に嵌合し、上記摺動板に第
１スリット12を固定してそのスリットが常に前記結晶８
の方向を向くようにしてある。かつ前記第１アーム７の
中点に軸13をもって第１ローランド円r1の半径に相当す
る長さの第２アーム14を回動自在に結着し、その先端を
上記第１スリット12の位置において摺動板11に回動自在
なように結着してある。
部２を設けて、点ｆにＸ線管の焦点を配置するようにし
てある。この基台板１に、上記点ｆで互いに直交するよ
うに形成された例えば凹溝よりなる直線状の第１および
第２の案内路3.4を設けてある。また両端に形成した円
柱状の突起5.6を上記各案内路に摺動自在に嵌合し、か
つ第１ローランド円r1の直径に相当した長さを有する第
１アーム７を設けて、第２案内路４に嵌合した上記突起
６上に第１湾曲分光結晶８を、その湾曲面の接線がこの
アームと直交するように固定してある。なお結晶８は周
知のように上記第１ローランド円の直径に相当する曲率
半径を有するが、その前面の中央部における突起６を軸
として回転自在な台板９を設けてある。この台板９に透
溝よりなる第３の直線状案内路10を、その延長が結晶８
の前面中央を通る軸線と交わるように形成して、摺動板
11をこの案内路10に摺動自在に嵌合し、上記摺動板に第
１スリット12を固定してそのスリットが常に前記結晶８
の方向を向くようにしてある。かつ前記第１アーム７の
中点に軸13をもって第１ローランド円r1の半径に相当す
る長さの第２アーム14を回動自在に結着し、その先端を
上記第１スリット12の位置において摺動板11に回動自在
なように結着してある。
また第２ローランド円r2を基台板１上の適当な位置に設
定して、その半径に相当する長さの第３、第４および第
５のアーム15,16,17の一端を上記ローランド円r2の中心
に軸18でそれぞれ独立に回動し得るように結着してあ
る。この第３アーム15の先端を第１スリット12の位置に
おいて摺動板11に回動自在に結着し、第４アーム16の先
端に第２湾曲分光結晶19をその接線がこのアームと直交
するように固定してある。上記結晶19の前面中央部を通
る軸線上に配置した円柱状の突起20をアーム16の先端に
設けて、前記案内路10に摺動自在に嵌合し、第１スリッ
ト12に対して結晶19を前記結晶８の反対側に配置してあ
る。
定して、その半径に相当する長さの第３、第４および第
５のアーム15,16,17の一端を上記ローランド円r2の中心
に軸18でそれぞれ独立に回動し得るように結着してあ
る。この第３アーム15の先端を第１スリット12の位置に
おいて摺動板11に回動自在に結着し、第４アーム16の先
端に第２湾曲分光結晶19をその接線がこのアームと直交
するように固定してある。上記結晶19の前面中央部を通
る軸線上に配置した円柱状の突起20をアーム16の先端に
設けて、前記案内路10に摺動自在に嵌合し、第１スリッ
ト12に対して結晶19を前記結晶８の反対側に配置してあ
る。
更に台板21の一端に前記突起20を回動自在に嵌合すると
共に延長部が上記突起20の位置を通るような直線状の第
４案内路22を台板21に形成して、その案内路に摺動自在
に嵌合した摺動板23に第２スリット24を固定し、このス
リット24の位置に第５アーム17の先端を回動自在に結着
してある。かつ摺動板23に固定した可動台25の上には、
第２スリット24の背後に配置した試料取付台26を設ける
と共に更にその背後にシンチレーションカウンタその他
適宜のＸ線検出器27を設けてある。
共に延長部が上記突起20の位置を通るような直線状の第
４案内路22を台板21に形成して、その案内路に摺動自在
に嵌合した摺動板23に第２スリット24を固定し、このス
リット24の位置に第５アーム17の先端を回動自在に結着
してある。かつ摺動板23に固定した可動台25の上には、
第２スリット24の背後に配置した試料取付台26を設ける
と共に更にその背後にシンチレーションカウンタその他
適宜のＸ線検出器27を設けてある。
また前記円柱状突起６に結着した可動台28には第２案内
路４と平行な螺杆29を螺合して、これをパルスモータ30
で駆動するようにしてある。更に前記摺動板11に固定し
た可動台31には第３案内路10と平行な螺杆32を螺合し
て、この螺杆を駆動するパルスモータ33を台板９に取り
付けると共に突起20に回動自在に取り付けた可動台34に
も上記案内路10と平行な螺杆35を螺合して、これをパル
スモータ36に連結してある。かつ第４案内路22と平行な
螺杆37を可動台25に螺合して、これをパルスモータ38に
連結してある。
路４と平行な螺杆29を螺合して、これをパルスモータ30
で駆動するようにしてある。更に前記摺動板11に固定し
た可動台31には第３案内路10と平行な螺杆32を螺合し
て、この螺杆を駆動するパルスモータ33を台板９に取り
付けると共に突起20に回動自在に取り付けた可動台34に
も上記案内路10と平行な螺杆35を螺合して、これをパル
スモータ36に連結してある。かつ第４案内路22と平行な
螺杆37を可動台25に螺合して、これをパルスモータ38に
連結してある。
上記装置において、モータ30.33.36および38はそれぞれ
複数相のパルス順序に対応した方向へそのパルス速度に
比例する速度で回転する。従ってこれらの制御により、
例えばモータ30をを回転すると第１湾曲分光結晶８が第
２案内路４に沿って移動するから、第１ローランド円r1
の位置が決定する。またモータ33を動作させると第１ス
リット12が案内路10上を移動すると共に台板９および第
２アーム14が回転する。すなわちこの動作によってＸ線
管の焦点ｆから結晶８までの距離と結晶８からスリット
12までの距離が等しくなるように設定しておくと、矢印
を付した細線のように上記焦点から発生して結晶８で反
射したＸ線がスリット12に焦点を結んでこのスリットを
通過する。また上記モータ33の動作に際しては、同時に
モータ36を一定の割合で動作させることにより第２湾曲
分光結晶19が第２ローランド円r2上の所定の位置に配置
されて、スリット12を通過したＸ線が更にこの結晶で反
射する。従ってモータ38を同時に動作させて、スリット
24を第４案内路22上で移動させると、この結晶で反射し
たＸ線が上記スリット24を通過して、取付台26上に設定
した任意の試料に入射し、その試料を透過したＸ線が検
出器27で検出される。
複数相のパルス順序に対応した方向へそのパルス速度に
比例する速度で回転する。従ってこれらの制御により、
例えばモータ30をを回転すると第１湾曲分光結晶８が第
２案内路４に沿って移動するから、第１ローランド円r1
の位置が決定する。またモータ33を動作させると第１ス
リット12が案内路10上を移動すると共に台板９および第
２アーム14が回転する。すなわちこの動作によってＸ線
管の焦点ｆから結晶８までの距離と結晶８からスリット
12までの距離が等しくなるように設定しておくと、矢印
を付した細線のように上記焦点から発生して結晶８で反
射したＸ線がスリット12に焦点を結んでこのスリットを
通過する。また上記モータ33の動作に際しては、同時に
モータ36を一定の割合で動作させることにより第２湾曲
分光結晶19が第２ローランド円r2上の所定の位置に配置
されて、スリット12を通過したＸ線が更にこの結晶で反
射する。従ってモータ38を同時に動作させて、スリット
24を第４案内路22上で移動させると、この結晶で反射し
たＸ線が上記スリット24を通過して、取付台26上に設定
した任意の試料に入射し、その試料を透過したＸ線が検
出器27で検出される。
このように各パルスモータ30その他に加えるパルスの速
度を制御して分光結晶８と19およびスリット12と24をそ
れぞれ一定の割合で動作させると、結晶８で反射したＸ
線は常にスリット12の位置に焦点を結んでこのスリット
を通過し、またそのＸ線は結晶19で反射してスリット24
の位置に焦点を結ぶ。すなわち点ｆにおいて発生したＸ
線が結晶８および19で２段階の分光を受けるから試料台
26上の試料に極めて精密に所定の波長を有するＸ線を入
射させることができると共にその波長を自動的に所望の
速度で変化させて波長特性の自動測定を行うことができ
る。
度を制御して分光結晶８と19およびスリット12と24をそ
れぞれ一定の割合で動作させると、結晶８で反射したＸ
線は常にスリット12の位置に焦点を結んでこのスリット
を通過し、またそのＸ線は結晶19で反射してスリット24
の位置に焦点を結ぶ。すなわち点ｆにおいて発生したＸ
線が結晶８および19で２段階の分光を受けるから試料台
26上の試料に極めて精密に所定の波長を有するＸ線を入
射させることができると共にその波長を自動的に所望の
速度で変化させて波長特性の自動測定を行うことができ
る。
図面は本発明実施例の平面図である。なお図において、
ｆはＸ線源の配置点、r1並びにr2はそれぞれ第１および
第２のローランド円、4.10.22は案内路、29.32.35.37は
螺杆である。
ｆはＸ線源の配置点、r1並びにr2はそれぞれ第１および
第２のローランド円、4.10.22は案内路、29.32.35.37は
螺杆である。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線源が配置される位置において互いに直
交する第１および第２の直線状案内路と、第１ローラン
ド円の直径に相当する長さを有し両端が上記２本の案内
路の各々に沿って移動する第１アームと、接線がこの第
１アームと直交するようにその一端に取り付けられた第
１湾曲分光結晶と、前記第１ローランド円の半径に相当
する長さを有してその一端が上記第１アームの中央の点
に回動自在に結着されると共に他端に第１スリットを回
動自在に取り付けた第２アームと、何れも第２ローラン
ド円の半径に等しい長さを有してそれらの一端をこの第
２ローランド円の中心に回動自在に結着されると共に他
端にはそれぞれ回動自在な第１スリットと固定の第２湾
曲分光結晶および回動自在な第２スリットを取り付けら
れた第３、第４および第５のアームと、延長部が常に前
記第１湾曲分光結晶の中央を通るように形成されて上記
第１スリットおよび第２湾曲分光結晶を案内する第３の
直線状案内路と、延長部が常に上記第２湾曲分光結晶の
中央を通るように形成されて第２スリットを案内する第
４の直線状案内路と、前記第１および第２の分光結晶並
びに第１および第２のスリットをこれらの案内路に沿っ
て所定の割合で移動させるモータとよりなることを特徴
とするＸ線分光器
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62203146A JPH0769277B2 (ja) | 1987-08-17 | 1987-08-17 | Ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62203146A JPH0769277B2 (ja) | 1987-08-17 | 1987-08-17 | Ｘ線分光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6446631A JPS6446631A (en) | 1989-02-21 |
| JPH0769277B2 true JPH0769277B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=16469179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62203146A Expired - Lifetime JPH0769277B2 (ja) | 1987-08-17 | 1987-08-17 | Ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0769277B2 (ja) |
-
1987
- 1987-08-17 JP JP62203146A patent/JPH0769277B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6446631A (en) | 1989-02-21 |
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