JPH0762612B2 - 超音波磁歪遅延線を用いた測長装置 - Google Patents
超音波磁歪遅延線を用いた測長装置Info
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- JPH0762612B2 JPH0762612B2 JP5030188A JP3018893A JPH0762612B2 JP H0762612 B2 JPH0762612 B2 JP H0762612B2 JP 5030188 A JP5030188 A JP 5030188A JP 3018893 A JP3018893 A JP 3018893A JP H0762612 B2 JPH0762612 B2 JP H0762612B2
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- ultrasonic
- transmitter
- reflected wave
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/48—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means
- G01D5/485—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using wave or particle radiation means using magnetostrictive devices
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばガソリンスタン
ドのガソリンンタンクの液面の測定、油圧シリンダー内
部に組み込みピストンロッドのストロークの検出、ある
いは各種産業用機械の可動部の位置検出等に使用して好
適な超音波磁歪遅延線を用いた測長装置に関する。
ドのガソリンンタンクの液面の測定、油圧シリンダー内
部に組み込みピストンロッドのストロークの検出、ある
いは各種産業用機械の可動部の位置検出等に使用して好
適な超音波磁歪遅延線を用いた測長装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁場をかけるとその長さが伸長ま
たは縮小する一般的な超音波磁歪遅延線を用いた測長装
置として提案されているものは、超音波振動による不要
な反射波を減衰させるため、超音波磁歪遅延線の両端部
または一方の端部にゴム材等の緩衝材からなる無反射支
持体を設けていた。
たは縮小する一般的な超音波磁歪遅延線を用いた測長装
置として提案されているものは、超音波振動による不要
な反射波を減衰させるため、超音波磁歪遅延線の両端部
または一方の端部にゴム材等の緩衝材からなる無反射支
持体を設けていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置では、不要な反射
波を完全に減衰させることは難しく、反射波同士が交差
して検出パルスに干渉するため、検出パルスが乱れてし
まい、精度の高い位置検出が出来なくなるという不都合
があった。また、安定した大きな検出パルスを得るため
に強い超音波振動を発生させると、反射波を減衰させて
徐々に消滅するのが困難になるという不都合があった。
の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置では、不要な反射
波を完全に減衰させることは難しく、反射波同士が交差
して検出パルスに干渉するため、検出パルスが乱れてし
まい、精度の高い位置検出が出来なくなるという不都合
があった。また、安定した大きな検出パルスを得るため
に強い超音波振動を発生させると、反射波を減衰させて
徐々に消滅するのが困難になるという不都合があった。
【０００４】また、上述のように無反射支持体を用いて
不要の反射波を完全に消滅させたとしても、無反射支持
体を設けたことにより、装置全体が大型化するという不
都合があった。本発明はかかる点に鑑みてなされたもの
で、無反射支持体を使用しないで、反射波を積極的に使
用して高精度な位置検出をすることを目的とする超音波
磁歪遅延線を用いた測長装置を提案しようとするもので
ある。
不要の反射波を完全に消滅させたとしても、無反射支持
体を設けたことにより、装置全体が大型化するという不
都合があった。本発明はかかる点に鑑みてなされたもの
で、無反射支持体を使用しないで、反射波を積極的に使
用して高精度な位置検出をすることを目的とする超音波
磁歪遅延線を用いた測長装置を提案しようとするもので
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の超音波磁歪遅延
線を用いた測長装置は例えば図１乃至図３に示す如く、
超音波磁歪遅延線１の一端に送波器４を配設し、他端を
開放端とし、超音波磁歪遅延線１の外周に測長範囲全域
に亘って検出コイル３を配設し、超音波磁歪遅延線１に
沿って磁石片２を移動可能に配設し、送波器４に加える
駆動パルスＡに対する検出コイル３に生じる検出パルス
Ｂの遅れ時間により、磁石片２の位置を測定する超音波
磁歪遅延線を用いた測長装置において、送波器４に印加
する駆動パルスＡの周期Ｔ1 を超音波磁歪遅延線１の送
波器端における反射波Ｃの発生時間に合わせて、駆動パ
ルスＡを送波器端における反射波Ｃの位相に合わせるよ
うにしたものである。
線を用いた測長装置は例えば図１乃至図３に示す如く、
超音波磁歪遅延線１の一端に送波器４を配設し、他端を
開放端とし、超音波磁歪遅延線１の外周に測長範囲全域
に亘って検出コイル３を配設し、超音波磁歪遅延線１に
沿って磁石片２を移動可能に配設し、送波器４に加える
駆動パルスＡに対する検出コイル３に生じる検出パルス
Ｂの遅れ時間により、磁石片２の位置を測定する超音波
磁歪遅延線を用いた測長装置において、送波器４に印加
する駆動パルスＡの周期Ｔ1 を超音波磁歪遅延線１の送
波器端における反射波Ｃの発生時間に合わせて、駆動パ
ルスＡを送波器端における反射波Ｃの位相に合わせるよ
うにしたものである。
【０００６】また、本発明の超音波磁歪遅延線を用いた
測長装置は、反射波Ｃを反射波検出手段としての送波器
４、反射波検出器８で検出し、反射波Ｃと同期した駆動
パルスＡを送波器４に加えて、反射波Ｃと駆動パルスＡ
の位相と合わせるようにしたものである。また、本発明
の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置は、駆動パルスＡ
から次の駆動パルスＡまでの時間Ｔ1 と駆動パルスＡか
ら検出パルスＢまでの時間Ｔ2 との比を計算し、送波器
４から磁石片２までの距離Ｓに対応する位置信号を出力
するものである。
測長装置は、反射波Ｃを反射波検出手段としての送波器
４、反射波検出器８で検出し、反射波Ｃと同期した駆動
パルスＡを送波器４に加えて、反射波Ｃと駆動パルスＡ
の位相と合わせるようにしたものである。また、本発明
の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置は、駆動パルスＡ
から次の駆動パルスＡまでの時間Ｔ1 と駆動パルスＡか
ら検出パルスＢまでの時間Ｔ2 との比を計算し、送波器
４から磁石片２までの距離Ｓに対応する位置信号を出力
するものである。
【０００７】
【作用】上述せる本発明によれば、送波器４に加える駆
動パルスＡの周期Ｔ1 を送波器４から超音波磁歪遅延線
１に印加された駆動パルスＡが超音波磁歪遅延線１の開
放端で反射し、送波器４まで戻って来るまでの時間に合
わせて反射波Ｃと駆動パルスＡの位相を合わせるように
したので、駆動パルスＡと反射波Ｃとが同一時点で合成
されようになるので、不要な反射波が発生せず、精度の
高い検出パルスＢを検出することが出来る。
動パルスＡの周期Ｔ1 を送波器４から超音波磁歪遅延線
１に印加された駆動パルスＡが超音波磁歪遅延線１の開
放端で反射し、送波器４まで戻って来るまでの時間に合
わせて反射波Ｃと駆動パルスＡの位相を合わせるように
したので、駆動パルスＡと反射波Ｃとが同一時点で合成
されようになるので、不要な反射波が発生せず、精度の
高い検出パルスＢを検出することが出来る。
【０００８】また、本発明によれば、反射波Ｃを送波器
４、反射波検出器８で検出し、反射波Ｃと同期した駆動
パルスＡを送波器４に加えて、反射波Ｃと駆動パルスＡ
との位相を合わせるようにしので、常に精度の高い検出
パルスＢを検出することが出来る。また、本発明によれ
ば、駆動パルスＡから次の駆動パルスＡまでの時間Ｔ1
と駆動パルスＡから検出パルスＢまでの時間Ｔ2 との比
を計算し、送波器４から磁石片２までの距離Ｓに対応す
る位置信号を出力するので、駆動パルスＡが伝搬する速
度Ｖによらないで、磁石片２の位置を検出することが出
来る。
４、反射波検出器８で検出し、反射波Ｃと同期した駆動
パルスＡを送波器４に加えて、反射波Ｃと駆動パルスＡ
との位相を合わせるようにしので、常に精度の高い検出
パルスＢを検出することが出来る。また、本発明によれ
ば、駆動パルスＡから次の駆動パルスＡまでの時間Ｔ1
と駆動パルスＡから検出パルスＢまでの時間Ｔ2 との比
を計算し、送波器４から磁石片２までの距離Ｓに対応す
る位置信号を出力するので、駆動パルスＡが伝搬する速
度Ｖによらないで、磁石片２の位置を検出することが出
来る。
【０００９】
【実施例】以下に、図１乃至図３を参照して本発明の超
音波磁歪遅延線を用いた測長装置の一実施例について詳
細に説明する。図１において、１は超音波磁歪遅延線で
あり、２は超音波磁歪遅延線１の長さ方向に移動可能に
所定距離離隔して対向して配置された磁石片である。３
は検出コイルであり、超音波磁歪遅延線１の測長範囲の
全域に亘って巻回される。４は送波器であり、超音波磁
歪遅延線１の一端に配設される。５は駆動パルス発生回
路であり、送波器４に所定の駆動パルスを印加する。６
は検出コイル３に発生する誘起電圧を検出するものであ
る。７は演算回路であり、駆動パルスに対する検出パル
スの遅れ時間を計算してその距離に相当する信号を出力
端子ｅから出力するようにするものである。
音波磁歪遅延線を用いた測長装置の一実施例について詳
細に説明する。図１において、１は超音波磁歪遅延線で
あり、２は超音波磁歪遅延線１の長さ方向に移動可能に
所定距離離隔して対向して配置された磁石片である。３
は検出コイルであり、超音波磁歪遅延線１の測長範囲の
全域に亘って巻回される。４は送波器であり、超音波磁
歪遅延線１の一端に配設される。５は駆動パルス発生回
路であり、送波器４に所定の駆動パルスを印加する。６
は検出コイル３に発生する誘起電圧を検出するものであ
る。７は演算回路であり、駆動パルスに対する検出パル
スの遅れ時間を計算してその距離に相当する信号を出力
端子ｅから出力するようにするものである。
【００１０】上述の装置では、図３に示すように、駆動
パルス発生回路５からの駆動パルスＡによって、送波器
４から超音波磁歪遅延線１に超音波振動を加えると、超
音波磁歪遅延線１を超音波が伝搬してゆく。
パルス発生回路５からの駆動パルスＡによって、送波器
４から超音波磁歪遅延線１に超音波振動を加えると、超
音波磁歪遅延線１を超音波が伝搬してゆく。
【００１１】このとき、検出コイル３だけでは検出コイ
ル３にパルス電圧は発生しないが、超音波磁歪遅延線１
に接近して磁石片２を置くと、超音波磁歪遅延線１が部
分的に磁化されるため、この部分を超音波振動が通過す
るとき、透磁率が小さくなるいわゆる逆磁歪現象により
検出コイル３に誘起起電圧による検出パルスＢが生じ
る。この検出パルスＢは開放端での反射により２度発生
する。この一度目の検出パルスＢを検出回路６で検出す
る。
ル３にパルス電圧は発生しないが、超音波磁歪遅延線１
に接近して磁石片２を置くと、超音波磁歪遅延線１が部
分的に磁化されるため、この部分を超音波振動が通過す
るとき、透磁率が小さくなるいわゆる逆磁歪現象により
検出コイル３に誘起起電圧による検出パルスＢが生じ
る。この検出パルスＢは開放端での反射により２度発生
する。この一度目の検出パルスＢを検出回路６で検出す
る。
【００１２】磁石片２を超音波磁歪遅延線１に沿って移
動させると、駆動パルスＡに対する検出パルスＢの遅れ
が移動距離に比例して変化し、駆動パルス発生回路５か
らの駆動パルスＡと検出回路６からの検出パルスＢを演
算回路７に送り、駆動パルスＡに対する検出パルスＢの
遅れ時間を計算し、その距離に相当する出力信号を出力
する。
動させると、駆動パルスＡに対する検出パルスＢの遅れ
が移動距離に比例して変化し、駆動パルス発生回路５か
らの駆動パルスＡと検出回路６からの検出パルスＢを演
算回路７に送り、駆動パルスＡに対する検出パルスＢの
遅れ時間を計算し、その距離に相当する出力信号を出力
する。
【００１３】送波器４から送信される超音波振動は超音
波磁歪遅延線１の内部を伝搬し、一方の端部から他方の
端部へと反射を繰り返し、次第に減衰して消滅するよう
になる。
波磁歪遅延線１の内部を伝搬し、一方の端部から他方の
端部へと反射を繰り返し、次第に減衰して消滅するよう
になる。
【００１４】ここで、超音波磁歪遅延線１の長さは予め
分かっているので、これにより駆動パルス発生回路５に
おいて駆動パルスＡの発生周期Ｔ1 を超音波振動による
反射波Ｃが超音波磁歪遅延線１の長さＬを往復する周期
と同一になるように設定して装置を構成する。
分かっているので、これにより駆動パルス発生回路５に
おいて駆動パルスＡの発生周期Ｔ1 を超音波振動による
反射波Ｃが超音波磁歪遅延線１の長さＬを往復する周期
と同一になるように設定して装置を構成する。
【００１５】また、反射波Ｃが長さ２Ｌを進み送波器４
の設けられた端部で反射するとき、反射波Ｃの位相と同
一位相となるように、送波器４を駆動し、新しい超音波
振動を発生せしめるように駆動パルス発生回路５による
駆動パルスＡの発生条件を設定する。
の設けられた端部で反射するとき、反射波Ｃの位相と同
一位相となるように、送波器４を駆動し、新しい超音波
振動を発生せしめるように駆動パルス発生回路５による
駆動パルスＡの発生条件を設定する。
【００１６】このように、反射波Ｃを駆動パルスＡの新
しい超音波振動と重ね合わせることにより、位相の整っ
た強い超音波振動を得るので、Ｓ／Ｎ比の良い大きな振
動の検出波を得られるので、無反射支持体によって反射
波を抑える必要がないので、無反射支持体のスペース分
だけ装置全体を小型化することが出来る。
しい超音波振動と重ね合わせることにより、位相の整っ
た強い超音波振動を得るので、Ｓ／Ｎ比の良い大きな振
動の検出波を得られるので、無反射支持体によって反射
波を抑える必要がないので、無反射支持体のスペース分
だけ装置全体を小型化することが出来る。
【００１７】図２に本発明の超音波磁歪遅延線を用いた
測長装置の別の実施例について詳細に説明する。図２に
おいて、図１に示したものと同一のものには同一の符号
を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
測長装置の別の実施例について詳細に説明する。図２に
おいて、図１に示したものと同一のものには同一の符号
を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
【００１８】図２において、８は反射波検出回路であ
り、図３に示した反射波Ｃが送波器４のところまで戻っ
てきたことを反射検出器８で検出し、この反射波Ｃと同
期した駆動パルスＡを、駆動パルス発生回路９によって
発生させ、送波器４を駆動させるようにしたところが図
１に示した超音波磁歪遅延線を用いた測長装置と異なる
ところである。
り、図３に示した反射波Ｃが送波器４のところまで戻っ
てきたことを反射検出器８で検出し、この反射波Ｃと同
期した駆動パルスＡを、駆動パルス発生回路９によって
発生させ、送波器４を駆動させるようにしたところが図
１に示した超音波磁歪遅延線を用いた測長装置と異なる
ところである。
【００１９】これにより、反射波Ｃを検出して、これと
同期した駆動パルスＡを発生させているので、超音波磁
歪遅延線１の長さＬを変更したときに、超音波磁歪遅延
線１の長さＬによって駆動パルスＡのドライブ周期を調
整する必要がなく、また、温度変化によって駆動パルス
Ａのドライブ周期が変化したときに、反射波Ｃと新しい
超音波振動の位相がずれることがない。
同期した駆動パルスＡを発生させているので、超音波磁
歪遅延線１の長さＬを変更したときに、超音波磁歪遅延
線１の長さＬによって駆動パルスＡのドライブ周期を調
整する必要がなく、また、温度変化によって駆動パルス
Ａのドライブ周期が変化したときに、反射波Ｃと新しい
超音波振動の位相がずれることがない。
【００２０】本例では、送波器４が反射波Ｃを検出する
機能を合わせ持つため、超音波振動が超音波磁歪遅延線
１内を１往復する時間Ｔ1 を測定することが出来る。駆
動パルスＡから検出パルスＢまでの時間をＴ2 とし、超
音波磁歪遅延線１の長さをＬとし、送波器４から磁石片
２までの距離をＳとし、超音波磁歪遅延線１内を超音波
振動が伝搬する速度をＶとすると、Ｔ1 ＝２Ｌ／Ｖ，Ｔ
2 ＝Ｓ／Ｖとなる。
機能を合わせ持つため、超音波振動が超音波磁歪遅延線
１内を１往復する時間Ｔ1 を測定することが出来る。駆
動パルスＡから検出パルスＢまでの時間をＴ2 とし、超
音波磁歪遅延線１の長さをＬとし、送波器４から磁石片
２までの距離をＳとし、超音波磁歪遅延線１内を超音波
振動が伝搬する速度をＶとすると、Ｔ1 ＝２Ｌ／Ｖ，Ｔ
2 ＝Ｓ／Ｖとなる。
【００２１】ここで、前記２式からＶを消去すると、Ｔ
2 ／Ｔ1 ＝Ｓ／２Ｌ，Ｓ＝Ｔ2 ・２Ｌ／Ｔ1 となる。つ
まり、超音波振動が伝搬する速度Ｖが温度変化により変
化しても、上式の演算をすることにより、速度Ｖに関係
なく磁石片２の位置Ｓを計算することが出来る。
2 ／Ｔ1 ＝Ｓ／２Ｌ，Ｓ＝Ｔ2 ・２Ｌ／Ｔ1 となる。つ
まり、超音波振動が伝搬する速度Ｖが温度変化により変
化しても、上式の演算をすることにより、速度Ｖに関係
なく磁石片２の位置Ｓを計算することが出来る。
【００２２】本例によれば、送波器４に加える駆動パル
スＡの周期Ｔ1 を送波器４から超音波磁歪遅延線１に印
加された駆動パルスＡが超音波磁歪遅延線１の開放端で
反射し、送波器４まで戻って来るまでの時間に合わせて
反射波Ｃと駆動パルスＡの位相を合わせるようにしたの
で、駆動パルスＡと反射波Ｃとが同一時点で合成されよ
うになるので、不要な反射波が発生せず、精度の高い検
出パルスＢを検出することが出来る。
スＡの周期Ｔ1 を送波器４から超音波磁歪遅延線１に印
加された駆動パルスＡが超音波磁歪遅延線１の開放端で
反射し、送波器４まで戻って来るまでの時間に合わせて
反射波Ｃと駆動パルスＡの位相を合わせるようにしたの
で、駆動パルスＡと反射波Ｃとが同一時点で合成されよ
うになるので、不要な反射波が発生せず、精度の高い検
出パルスＢを検出することが出来る。
【００２３】また、本例によれば、反射波Ｃを送波器
４、反射波検出器８で検出し、反射波Ｃと同期した駆動
パルスＡを送波器４に加えて、反射波Ｃと駆動パルスＡ
との位相を合わせるようにしので、常に精度の高い検出
パルスＢを検出することが出来る。
４、反射波検出器８で検出し、反射波Ｃと同期した駆動
パルスＡを送波器４に加えて、反射波Ｃと駆動パルスＡ
との位相を合わせるようにしので、常に精度の高い検出
パルスＢを検出することが出来る。
【００２４】また、本例によれば、駆動パルスＡから次
の駆動パルスＡまでの時間Ｔ1 と駆動パルスＡから検出
パルスＢまでの時間Ｔ2 との比を計算し、送波器４から
磁石片２までの距離Ｓに対応する位置信号を出力するの
で、駆動パルスＡが伝搬する速度Ｖによらないで、磁石
片２の位置を検出することが出来る。
の駆動パルスＡまでの時間Ｔ1 と駆動パルスＡから検出
パルスＢまでの時間Ｔ2 との比を計算し、送波器４から
磁石片２までの距離Ｓに対応する位置信号を出力するの
で、駆動パルスＡが伝搬する速度Ｖによらないで、磁石
片２の位置を検出することが出来る。
【００２５】尚、上述の実施例は本発明の一例であり、
本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取
り得ることは勿論である。
本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取
り得ることは勿論である。
【００２６】
【発明の効果】上述せる本発明によれば、送波器に加え
る駆動パルスの周期を送波器から超音波磁歪遅延線に印
加された駆動パルスが超音波磁歪遅延線の開放端で反射
し、送波器まで戻って来るまでの時間に合わせて反射波
と駆動パルスの位相を合わせるようにしたので、駆動パ
ルスと反射波とが同一時点で合成されようになるので、
不要な反射波が発生せず、精度の高い検出パルスを検出
することが出来る。また、本発明によれば、反射波を送
波器、反射波検出器で検出し、反射波と同期した駆動パ
ルスを送波器に加えて、反射波と駆動パルスとの位相を
合わせるようにしたので、常に精度の高い検出パルスを
検出することが出来る。また、本発明によれば、駆動パ
ルスから次の駆動パルスまでの時間と駆動パルスから検
出パルスまでの時間との比を計算し、送波器から磁石片
までの距離に対応する位置信号を出力するので、駆動パ
ルスが伝搬する速度によらないで、磁石片の位置を検出
することが出来る。
る駆動パルスの周期を送波器から超音波磁歪遅延線に印
加された駆動パルスが超音波磁歪遅延線の開放端で反射
し、送波器まで戻って来るまでの時間に合わせて反射波
と駆動パルスの位相を合わせるようにしたので、駆動パ
ルスと反射波とが同一時点で合成されようになるので、
不要な反射波が発生せず、精度の高い検出パルスを検出
することが出来る。また、本発明によれば、反射波を送
波器、反射波検出器で検出し、反射波と同期した駆動パ
ルスを送波器に加えて、反射波と駆動パルスとの位相を
合わせるようにしたので、常に精度の高い検出パルスを
検出することが出来る。また、本発明によれば、駆動パ
ルスから次の駆動パルスまでの時間と駆動パルスから検
出パルスまでの時間との比を計算し、送波器から磁石片
までの距離に対応する位置信号を出力するので、駆動パ
ルスが伝搬する速度によらないで、磁石片の位置を検出
することが出来る。
【図１】本発明の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置の
一実施例の構成図である。
一実施例の構成図である。
【図２】本発明の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置の
別の実施例の構成図である。
別の実施例の構成図である。
【図３】本発明の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置の
一実施例の波形図である。
一実施例の波形図である。
１ 超音波磁歪遅延線 ２ 磁石片 ３ 検出コイル ４ 送波器 ５ 駆動パルス発生回路 ６ 検出器 ７ 演算回路 ８ 反射波検出回路 ９ 駆動パルス発生回路 １０ 演算回路 Ａ 駆動パルス Ｂ 検出パルス Ｃ 反射波 Ｌ 超音波磁歪遅延線１の長さ Ｓ 送波器４から磁石片２までの距離 Ｔ1 駆動パルスＡの周期 Ｔ2 駆動パルスＡから検出パルスＢまでの時間 ｅ 出力端子
Claims (3)
- 【請求項１】超音波磁歪遅延線の一端に送波器を配設
し、他端を開放端とし、前記超音波磁歪遅延線の外周に
測長範囲全域に亘って検出コイルを配設し、前記超音波
磁歪遅延線に沿って磁石片を移動可能に配設し、前記送
波器に加える駆動パルスに対する前記検出コイルに生じ
る検出パルスの遅れ時間により、前記磁石片の位置を測
定する超音波磁歪遅延線を用いた測長装置において、前
記送波器に印加する前記駆動パルスの周期を前記超音波
磁歪遅延線の送波器端における反射波の発生時間に合わ
せて、前記駆動パルスを前記送波器端における反射波の
位相に合わせるようにしたことを特徴とする超音波磁歪
遅延線を用いた測長装置。 - 【請求項２】前記反射波を反射波検出手段で検出し、前
記反射波と同期した駆動パルスを前記送波器に加えて、
前記反射波と前記駆動パルスの位相と合わせるようにし
たことを特徴とする請求項１記載の超音波磁歪遅延線を
用いた測長装置。 - 【請求項３】前記駆動パルスから次の駆動パルスまでの
時間と前記駆動パルスから前記検出パルスまでの時間と
の比を計算し、前記送波器から前記磁石片までの距離に
対応する位置信号を出力することを特徴とする請求項２
記載の超音波磁歪遅延線を用いた測長装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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