JPH0756996A - 生産管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単でしかも効率良く被生産物を生産できる
生産管理方法を提供すること。 【構成】 予め、生産設備における標準待機時間ｒと標
準処理時間ｓとから成る標準作業時間ｔを各被生産物毎
に設定しておき、処理が終了した時点で各被生産物に対
する実作業時間Ｔから標準作業時間ｔを差し引いて進捗
度をそれぞれ算出し、この進捗度の大きな被生産物から
先に次の処理を行う。また、各作業での進捗度を累積し
て総合進捗度を算出して投入順を決定したり、一日の一
定時刻を最初の処理の投入時刻ｔ１として算出し、一定
時刻の２４時間後の時刻を最後の処理の処理終了時刻ｔ
３として算出する生産管理方法でもある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、生産設備に投入する複
数の被生産物の最適な投入順を決定する生産管理方法に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】被生産物の生産においては、一定の単位
（以下、ロットとする）で製造ライン上を搬送し、各ロ
ット毎に所定の処理を施している。この製造ラインには
各処理を施すための製造装置から成る種々の生産設備が
配置されており、複数のロットが製造ラインに投入され
ている。

【０００３】例えば、半導体装置の製造では２５枚のウ
エハを１ロットとした複数のロットが生産設備に投入さ
れ、その生産設備における処理が終了した後に次の生産
設備へと順次搬送される。また、あるロットが生産設備
に搬送された時点で前に搬送された他のロットの処理が
終了していない場合には搬送されたロットは待ち行列内
に並べられることになり、その待ち行列の中の優先順の
高いものから処理が施される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな待ち行列の中から優先順の高いものを選択して処理
を行うようにするには、それらのロットに関する処理条
件や納期などの種々の情報を集めて総合的に判断する必
要があり多大な時間を要することになる。また、処理条
件などのある項目に基づいて優先順を決定すると偏りが
大きくなり、全体の生産性低下を招くことになる。さら
に、製造ライン内でのロットの滞留時間を求める場合に
日付（年月日）や時刻に基づいて計算しているため、年
や月を越える際の計算処理を行う必要があり日付計算の
複雑化を招くことになる。よって本発明は簡単でしかも
効率良く被生産物を生産できる生産管理方法を提供する
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために成された生産管理方法である。すなわ
ち、この生産管理方法は、複数の被生産物をそれぞれ生
産設備へ投入する投入時刻から処理が始まる処理開始時
刻までの待機時間と処理開始時刻から処理終了時刻まで
の処理時間とから成る実作業時間に基づいて次の生産設
備における被生産物の投入順を決定する方法であり、予
め、生産設備における標準待機時間と標準処理時間とか
ら成る標準作業時間をそれぞれの被生産物毎に設定して
おき、一の生産設備による処理が終了した時点で各被生
産物に対する実作業時間から標準作業時間を差し引いた
値より成る進捗度をそれぞれ算出し、次の生産設備にお
いてこの進捗度の大きな被生産物から先に処理を行うよ
うにする生産管理方法である。

【０００６】また、次の生産設備における被生産物の投
入順は、次の生産設備よりも前の各生産設備における処
理が終了した時点で算出した各進捗度を累積して成る総
合進捗度に基づいて決定したり、数日に渡る作業を行う
場合には、一日のうちの一番最初の処理における被生産
物の実作業時間を予め設定した一定時刻を投入時刻とし
て算出し、かつ、この一日のうちの一番最後の処理にお
ける被生産物の実作業時間を一定時刻の２４時間後の時
刻を処理終了時刻として算出する。さらに、標準作業時
間として各被生産物の優先度に応じた係数を掛けた値を
用いた生産管理方法でもある。

【０００７】

【作用】生産設備における標準待機時間と標準処理時間
とから成る標準作業時間を各被生産物毎に設定してお
き、その被生産物の実作業時間からその標準作業時間を
差し引いた値を求めて進捗度とする。この進捗度は、被
生産物のある生産設備における処理が終了した時点での
基準作業時間からの遅れまたは進み具合を表したもので
あり、進捗度が正の値となる場合にはその値だけ遅れて
いることになり、一方、進捗度が負の値となる場合には
その値だけ進んでいることになる。

【０００８】この進捗度を各被生産物毎に算出し、この
進捗度の大きいものから次の生産設備における処理を行
うようにする。これにより、一元的な判断により遅れて
いる被生産物を優先的に処理することができる。

【０００９】また、各生産設備における処理が終了した
時点で算出した各進捗度を累積して総合進捗度を求め、
これに基づいて被生産物の投入順を決定することによ
り、製造ラインの全体の流れを考慮した生産管理を行う
ことができるようになる。さらに、数日に渡る作業を行
う場合、一日のうちの一定時刻をその日の一番最初の処
理の投入時刻とし、一定時刻の２４時間後の時刻をその
日の一番最後の処理の終了時刻として進捗度を算出する
ことで、一日単位での生産管理を行うことができるよう
になり、また、一定時刻での処理回数をカウントするこ
とで年や月の計算が容易となる。

【００１０】また、被生産物の標準作業時間として、そ
の被生産物の処理条件や納期などから成る優先度に応じ
た係数を標準作業時間に掛けることで、さらに適切な進
捗度を算出することができるようになる。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明の生産管理方法の実施例を図
に基づいて説明する。図１は本発明の生産管理方法を説
明する図であり、（ａ）は進捗度（＋）の場合、（ｂ）
は進捗度（−）の場合である。すなわち、この生産管理
方法は、生産設備へ投入する複数の被生産物の最適な投
入順を決定して効率良い生産を行うための方法である。

【００１２】例えば、半導体装置の製造においてはロッ
ト毎に各生産設備に投入され、種々の作業が順次進めら
れる。ここで、ある被生産物を所定の生産設備に投入し
た時刻を投入時刻ｔ１、その生産設備での処理を始める
時刻を処理開始時刻ｔ２、その処理が終了する時刻を処
理終了時刻ｔ３とし、また投入時刻ｔ１から処理開始時
刻ｔ２までをその被生産物の待機時間Ｒ、処理開始時刻
ｔ２から処理終了時刻ｔ３までをその被生産物の処理時
間Ｓ、さらに待機時間Ｒと処理時間Ｓとを合計した時間
を実作業時間Ｔとする。

【００１３】被生産物を所定の生産設備に投入するにあ
たり、先ず、その生産設備における標準待機時間ｒと標
準処理時間ｓとから成る標準作業時間ｔを設定してお
く。標準作業時間ｔのうちの標準待機時間ｒは、その被
生産物の処理条件にともなう時間、例えば材料準備や温
度、圧力設定等に要する時間や処理枚数、生産設備内で
の搬送時間等から標準的に算出されるものである。ま
た、標準作業時間ｔのうちの標準処理時間ｓは、その被
生産物における所定の処理を通常行うにあたり必要とす
る標準的な処理時間から成るものである。

【００１４】次に、標準作業時間ｔを設定した生産設備
に被生産物を投入して所定の作業を開始する。投入した
時点でその投入時刻ｔ１をセットして、待機時間Ｒのカ
ウントを始める。そして、生産設備における所定の準備
が終了して被生産物の処理を始める時点で処理開始時刻
ｔ２をセットして待機時間Ｒを求める。

【００１５】次に、被生産物の処理を進めていき、その
処理が終了した時点で処理終了時刻ｔ３をセットして処
理時間Ｓを求める。これにより待機時間Ｒと処理時間Ｓ
とから成る実作業時間Ｔを算出することができる。

【００１６】実作業時間Ｔを算出した後に、この実作業
時間Ｔから予め設定した標準作業時間ｔを差し引いて進
捗度を算出する。すなわち、この進捗度は実作業時間Ｔ
が標準作業時間ｔからどの程度離れているかを示すもの
であり、実作業時間Ｔの方が標準作業時間ｔよりも長く
なった場合には正の値となる（図１（ａ）参照）。

【００１７】例えば、標準作業時間ｔが６０分で実作業
時間Ｔが６５分であった場合には進捗度は＋５というこ
とになり、５分の遅れであることが分かる。一方、実作
業時間Ｔの方が標準作業時間ｔよりも短い場合には進捗
度が負の値となる（図１（ｂ）参照）。例えば、標準作
業時間ｔが６０分で実作業時間Ｔが５３分であった場合
には進捗度は−７ということになり、７分早いというこ
とが分かる。

【００１８】生産設備における作業が終了した時点でこ
のような進捗度を求め、次の生産設備における被生産物
の投入順の決定を行う。すなわち、一つの作業が終了し
た時点で各被生産物毎における進捗度が求まり、次の生
産設備において処理待ちとなっている各被生産物のうち
のこの進捗度の大きいものから順次投入するようにす
る。これにより、標準作業時間ｔからの遅れが大きいも
のから優先的に処理を進めることができる。

【００１９】各被生産物における進捗度はそれぞれ設定
した標準作業時間ｔに基づいて得られるものであり、各
進捗度により次の生産設備における投入順を一元的に決
めることができる。

【００２０】また、各被生産物における標準作業時間ｔ
は、必要に応じて各被生産物の優先度を考慮した係数を
掛けて重み付けを行うようにしてもよい。例えば、ある
被生産物の処理を同じ条件の他の被生産物よりも優先的
に行いたい場合、標準作業時間ｔに所定の係数を掛けて
他の被生産物における標準作業時間ｔよりもその被生産
物の標準作業時間ｔの方が短くなるようにする。これに
より、両方の被生産物における実作業時間Ｔが等しい場
合であっても優先度の高い被生産物の方が進捗度が大き
くなり、次の生産設備において優先的に処理されること
になる。

【００２１】次に、総合進捗度による生産管理方法を説
明する。図２に示すように、作業１から作業ｎまでの一
連の工程において各作業が終了した時点で被生産物の進
捗度Ｓ１からＳｎがそれぞれ算出されている。総合進捗
度とは、各作業が終了した時点で算出された進捗度Ｓ１
からＳｎを累積したものであり、次の作業ｎ＋１におけ
る被生産物の投入順をこの総合進捗度にて決定する。

【００２２】各進捗度Ｓ１からＳｎはそれぞれの作業１
からｎにて設定された標準作業時間ｔに基づいて算出さ
れており、これらを累積して総合進捗度を求めることで
一連の工程における総合的な進捗状況を把握することが
できる。このため、作業ｎが終了した時点で算出された
総合進捗度の大きいものから次の作業ｎ＋１を進めるよ
うにすれば各被生産物の総合的な進捗状況に基づいた生
産管理を行うことができるようになる。

【００２３】図３は総合進捗度の具体例を説明する図で
ある。すなわち、この図は、各ロット（例えばａ〜ｄ）
における各作業（例えば１〜３）の終了時点での進捗度
と総合進捗度とを示したものである。なお、一番最初の
作業１においてはそれ以前の進捗度が無いためにそれ自
体が総合進捗度となる。

【００２４】例えば、作業１の終了時点でのロットａの
進捗度Ｓ１（図２参照）は＋５であり、ロットｂでは＋
１０、ロットｃでは−７、ロットｄでは−３である。こ
のため、作業２においてはこの中で一番進捗度Ｓ１の大
きいロットｂを優先的に投入し、次にロットａ、ロット
ｄ、ロットｃの順に投入する。

【００２５】そして、作業２が終了した時点での進捗度
Ｓ２は、ロットａが−２、ロットｂが＋５、ロットｃが
−２、ロットｄが＋３である。これらの進捗度Ｓ２と前
の作業１における進捗度Ｓ１とを累積して作業２の終了
時点における総合進捗度を求める。

【００２６】例えばロットａの総合進捗度は作業１での
進捗度Ｓ１（＋５）と作業２での進捗度Ｓ２（−２）と
を累積して＋３ということになる。同様に、ロットｂで
はＳ１（＋１０）＋Ｓ２（＋５）＝＋１５、ロットｃで
はＳ１（−７）＋Ｓ２（−２）＝−９、ロットｄではＳ
１（−３）＋Ｓ２（＋３）＝０である。作業３の投入に
おいては、これらの総合進捗度の大きいものから優先的
に処理するようにする。

【００２７】同様に、作業３が終了した時点で各ロット
ａ〜ｄにおける進捗度Ｓ３を算出し、さらに総合進捗度
を算出する。例えば、作業３の総合進捗度を算出するに
は、作業２の終了時点で算出した総合進捗度に作業３に
おける進捗度Ｓ３を加算すればよい。すなわち、前の作
業における総合進捗度にその作業における進捗度を加算
するようにする。このように、各作業においてそれ以前
での進捗度を累積した総合進捗度に基づき次の作業にお
ける投入順を決定していき、総合的な進捗状況に合った
生産管理を行う。

【００２８】上記説明したような進捗度または総合進捗
度に基づいた生産管理方法は、例えば各生産設備を統括
管理するコンピュータを用いて行うものであり、進捗度
や総合進捗度の大きさ順にソートを行い、ディスプレイ
等に表示して各生産設備の担当者に知らせるようにす
る。

【００２９】このような処理をコンピュータ内で行うた
め、図４に示すようなロットテーブルを用いている。こ
のロットテーブルには、各ロットにおける現在の作業名
と進捗度および総合進捗度、処理開始時刻ｔ２等から成
るロット情報が格納されている。先の述べたように、各
作業の終了時点でそれぞれのロットにおける進捗度や総
合進捗度を算出し、次の作業においてその中から進捗度
または総合進捗度の大きなものを選択する必要がある。
そこで、ロットテーブル内の各ポインターにそれぞれの
ロット情報を格納しておき、さらにそのロット情報とと
もに次のロット情報の位置を示す次順ポインターを格納
しておく。

【００３０】つまり、あるポインターに格納されている
次順ポインターには、ロット情報の進捗度または総合進
捗度の次の大きさのものが格納されているポインターが
示されており、これにより全てのロット情報の順番が定
まるようになっている。

【００３１】このロットテーブルに新たなロット情報を
追加する場合には、最初の未使用ポインター内にそのロ
ット情報を格納し、既に格納されている各ポインターの
ロット情報の進捗度または総合進捗度と新たに追加した
ロット情報の進捗度または総合進捗度との比較を行う。

【００３２】そして、比較の結果、既に格納されている
ロット情報の進捗度または総合進捗度と新たに追加した
ロット情報の進捗度または総合進捗度とが順番につなが
るように各ポインターの次順ポインターの値を書き換え
る。

【００３３】また、ロットテーブルの中からロット情報
を削除するには、そのロット情報をロットテーブルの中
から削除した後に、削除したロット情報の進捗度または
総合進捗度の前後の進捗度または総合進捗度が格納され
たロット情報がそれぞれつながるようにそれらの各ポイ
ンターに格納された次順ポインターの値を書き換える。
このようなロットテーブルを用いることによりロット情
報のソートなどの処理を容易に行うことができるように
なる。

【００３４】次に、生産工程が数日にわたる場合の日付
管理を図５に基づいて説明する。数日にわたる生産工程
を行う場合、一日のうちの一定時刻、例えば午前０時を
基準として設定し、この一定時刻での進捗度を毎日算出
する。すなわち、一日のうちの一番最後の作業が終了し
た時点でその作業の実作業時間Ｔｎを算出するが、その
処理終了時刻ｔ３から次の日の午前０時（ｔ０）までの
時間ｇ１は実際に稼働していないため、その時間ｇ１を
最後の作業の実作業時間Ｔｎに加えるようにする。

【００３５】すなわち、一日の最後の作業においては、
投入時刻ｔ１から一定時刻ｔ０までの間を実作業時間Ｔ
ｎとして計算し、その時点での進捗度を算出する。ま
た、次の日の一番最初の作業の実作業時間Ｔ１’は、投
入時刻ｔ１から処理終了時刻ｔ３までの時間であるが一
定時刻ｔ０から投入時刻ｔ１までの時間ｇ２を加えるよ
うにする。つまり、一日の最初の作業においては、一定
時刻ｔ０から処理終了時刻ｔ３までの時間を実作業時間
Ｔ１’とし、その作業時間Ｔ１’を用いて進捗度を算出
する。

【００３６】さらに、その日の最後の作業の実作業時間
Ｔｎ’は投入時刻ｔ１から処理終了時刻ｔ３までの時間
に処理終了時刻ｔ３から次の一定時刻ｔ０までの時間ｇ
１’を加え、その次の日の最初の作業の実作業時間Ｔ
１’’は一定時刻ｔ０から投入時刻ｔ１までの時間ｇ
２’に投入時刻ｔ１から処理終了時刻ｔ３までの時間を
加えたものとなる。

【００３７】このように、一日の一定時刻ｔ０を設定し
て、この時刻ｔ０をその日の最初の作業時間の投入時刻
として進捗度を算出し、その時刻ｔ０の２４時間後の一
定時刻ｔ０を最後の作業時間の処理終了時刻として進捗
度を算出することで、２４時間毎の日付をカウントする
ことができる。

【００３８】例えば、その年の１月１日を起算日として
日付のカウントを行えば、年月のカウント等のいわゆる
カレンダーの処理を行う必要が無くなり、日付管理が容
易となる。また、年間に何度か存在する長期休暇の際に
も、稼働カレンダーを参照することなく日付のカウント
に基づいて行えばよい。

【００３９】なお、この実施例において一日のうちの一
定時刻ｔ０の例として午前０時を用いたが本発明はこれ
に限定されず、一日のうちで生産設備の稼働が停止して
いる時刻を一定時刻ｔ０として設定すればよい。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように本発明の生産管理方
法によれば次のような効果がある。すなわち、生産設備
の待ち行列における被生産物の投入順をそれ以前の作業
の終了時点で算出した進捗度の大きさに基づいて決定し
ているため、投入に最適な被生産物を一元的に、しかも
容易に選択することが可能となる。また、ロットの優先
度を考慮した標準作業時間に基づいて進捗度を算出して
いるため、投入順の偏りを軽減することができる。さら
に、毎日一定時刻に進捗度を算出することで日付のカウ
ントを行うことができるため、日付管理における処理を
簡素化することが可能となる。これらにより、効率良く
被生産物を生産することができるようになり、生産性向
上を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産管理方法を説明する図で、（ａ）
は進捗度（＋）の場合、（ｂ）は進捗度（−）の場合を
示すものである。

【図２】総合進捗度を説明する図である。

【図３】進捗度の具体例を説明する図である。

【図４】ロットテーブルを説明する図である。

【図５】日付管理を説明する図である。

【符号の説明】

ｔ１ 投入時刻 ｔ２ 処理開始時刻 ｔ３ 処理終了時刻 Ｒ 待機時間 Ｓ 処理時間 Ｔ 実作業時間 ｒ 標準待機時間 ｓ 標準処理時間 ｔ 標準作業時間

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の被生産物をそれぞれ生産設備へ投
   入する投入時刻から処理を始める処理開始時刻までの待
   機時間と該処理開始時刻から処理終了時刻までの処理時
   間とから成る実作業時間に基づいて次の生産設備におけ
   る該被生産物の投入順を決定する生産管理方法であっ
   て、 予め、前記生産設備における標準待機時間と標準処理時
   間とから成る標準作業時間をそれぞれの被生産物毎に設
   定しておき、 一の生産設備による処理が終了した時点で各被生産物に
   対する前記実作業時間から前記標準作業時間を差し引い
   た値より成る進捗度をそれぞれ算出し、 次の生産設備において前記進捗度の大きな被生産物から
   先に処理を行うことを特徴とする生産管理方法。
2. 【請求項２】 前記次の生産設備における被生産物の投
   入順は、該次の生産設備よりも前の各生産設備における
   処理が終了した時点で算出した各進捗度を累積して成る
   総合進捗度に基づいて決定されることを特徴とする請求
   項１記載の生産管理方法。
3. 【請求項３】 数日にわたる作業を行う場合、一日のう
   ちの一番最初の処理における被生産物の前記実作業時間
   は予め設定した一定時刻を前記投入時刻として算出し、
   かつ、該一日のうちの一番最後の処理における該被生産
   物の実作業時間は該一定時刻の２４時間後の時刻を前記
   処理終了時刻として算出することを特徴とする請求項１
   または２記載の生産管理方法。
4. 【請求項４】 前記標準作業時間は前記各被生産物の優
   先度に応じた係数を掛けた値であることを特徴とする請
   求項１、２または３記載の生産管理方法。