JPH0755473A - 音響式ジャイロ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 音圧検出器における温度依存性を改善して広
い温度範囲で使用可能とする。 【構成】 ケース１は検出チャネルにより連結された２
つの部屋１３、１４を有し、またケース１内に満たされ
た流体を駆動するスピーカ２、検出チャネル内における
音圧検出器が設けられている。音圧検出器として、入力
インピーダンスが１０14〜１０15ΩのＦＥＴを容量−電
流変換素子として用いたバックエレクトレット型コンデ
ンサーマイクロホン３１、３２を用いる。またこのバッ
クエレクトレット型コンデンサーマイクロホン３１、３
２における振動膜を金属箔で構成する。あるいは、音圧
検出器として圧電振動板を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、音響式ジャイロに関
し、特に、音によって振動する流体が回転運動を受ける
時に生じるコリオリの力を利用してその回転角速度を検
出する、音響式ジャイロに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上記のような音響式ジャイロとしては、
例えば特開平２−２１８９１２号公報に記載されたもの
が知られている。この音響式ジャイロでは、内側が空気
等の流体で満たされ且つ音響的に閉じたケースを隔壁に
よって２つの部屋に分けるとともに、これらの部屋をケ
ース上部に形成した検出チャネル（ダクト）によって連
結ないし連通する構成としている。またケースに取付け
た一対のマイクロホンによって、検出チャネルの中央の
両側の２つの点における音圧がそれぞれ検出される。そ
してこれらマイクロホンの出力を例えば位相比較器に入
力して位相差に応じた出力を得ている。

【０００３】この従来例においては、音源を駆動する
と、２つの部屋には絶対値が等しく符号が反対の体積変
化が差動的に与えられ、またこの振動的な体積変化によ
って検出チャネルの内部の空気には振動的な流れが発生
する。ここで、ケースは、２つの部屋が検出チャネルに
よって連結されて１つの音響共振系が構成されたもので
あるから、ケースが静止している状態において、音源が
例えば正弦波出力によって駆動された場合、検出チャネ
ルの内部の空気は検出チャネルの連結方向（長さ方向）
に振動する。そしてこの振動時において、検出チャネル
の２つの点に生じる音圧は互いに等しい。ここで、検出
チャネルの内部で音圧が０になる音響的中立点は、２つ
の部屋の容積が等しい場合には検出チャネルの中央であ
り、またこの中央では音圧はゼロとなる。よって通常
は、２つの部屋の容積に違いを持たせることによって音
響的中立点を検出チャネルの中央からずらして位置させ
ている。これにより、検出チャネルの２つの点では音圧
が残存し、この残存する音圧をマイクロホンにより検出
している。

【０００４】一方、ケースが回転している場合には、２
つの点にはコリオリの力よって差圧が発生する。そして
この差圧が静止時における２つの点の音圧にそれぞれ分
けられて加減算される結果、２つの点の音圧はケースの
回転角速度に応じた位相変化が生じる。そしてこのよう
なコリオリの力によって生じる音圧の位相差を検知し、
またこの位相差に基づき、例えば特開平２−２１８９１
２号公報の第５図に示された角速度と出力信号との関係
から、ケースの回転角速度を求めている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の音響
式ジャイロにおいて、上記検出チャンネルの２か所の音
圧を検出する音圧検出器であるマイクロホンとしては、
例えばバックエレクトレット型コンデンサーマイクロホ
ンが使用されている。また、このバックエレクトレット
型コンデンサーマイクロホンにおいては、その容量−電
流変換素子（インピーダンス変換用素子）としては接合
形ＦＥＴが。またその音圧検出用の振動板としては樹脂
製のものが、それぞれ一般的に使用されている。

【０００６】ところが、上記の接合形ＦＥＴはその入力
インピーダンスが温度依存性が大きいし、また樹脂製の
振動板はその粘弾性のために音圧に対する振動膜の変位
の温度依存性が大きい。そしてこのような温度依存性に
より、バックエレクトレット型コンデンサーマイクロホ
ンの出力の位相にも温度依存性が生じる結果、音響式ジ
ャイロの出力の位相が環境温度によって大きく変化して
しまい、狭い温度範囲、具体的には０〜４０℃程度の範
囲でしか音響式ジャイロを実用的に使用できないという
問題がある。

【０００７】本発明の目的は、音圧検出器における温度
依存性を改善することで広い温度範囲で使用可能であ
る、音響式ジャイロを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】第１の発明に係る音響式
ジャイロは、検出チャネルにより連結された２つの部屋
を有するケースと、前記ケース内に満たされた流体を駆
動する音源と、前記検出チャネル内の所定の場所での音
圧を検出する音圧検出器とを有し、前記音圧の位相変化
に基づいて前記ケースの回転角速度を検知する音響式ジ
ャイロにおいて、前記音圧検出器が、入力インピーダン
スが１０14〜１０15ΩのＦＥＴを容量−電流変換素子
（インピーダンス変換用素子）として用いてなるバック
エレクトレット型コンデンサーマイクロホンである、こ
とを特徴とするものである。

【０００９】第２の発明に係る音響式ジャイロは、検出
チャネルにより連結された２つの部屋を有するケース
と、前記ケース内に満たされた流体を駆動する音源と、
前記検出チャネル内の所定の場所での音圧を検出する音
圧検出器とを有し、前記音圧の位相変化に基づいて前記
ケースの回転角速度を検知する音響式ジャイロにおい
て、前記音圧検出器が、音圧検出用の振動膜が金属箔か
らなるバックエレクトレット型コンデンサーマイクロホ
ンである、ことを特徴とするものである。

【００１０】第３の発明に係る音響式ジャイロは、検出
チャネルにより連結された２つの部屋を有するケース
と、前記ケース内に満たされた流体を駆動する音源と、
前記検出チャネル内の所定の場所での音圧を検出する音
圧検出器とを有し、前記音圧の位相変化に基づいて前記
ケースの回転角速度を検知する音響式ジャイロにおい
て、前記音圧検出器が、入力インピーダンスが１０14〜
１０15ΩのＦＥＴを容量−電流変換素子として用いると
ともに、音圧検出用の振動膜が金属箔からなるバックエ
レクトレット型コンデンサーマイクロホンである、こと
を特徴とするものである。

【００１１】第４の発明に係る音響式ジャイロは、検出
チャネルにより連結された２つの部屋を有するケース
と、前記ケース内に満たされた流体を駆動する音源と、
前記検出チャネル内の所定の場所での音圧を検出する音
圧検出器とを有し、前記音圧の位相変化に基づいて前記
ケースの回転角速度を検知する音響式ジャイロにおい
て、前記音圧検出器が圧電振動板である、ことを特徴と
するものである。

【００１２】上記のような入力インピーダンスが１０14
〜１０15ΩのＦＥＴとしては、具体的には例えばＭＯＳ
ＦＥＴが使用される。

【００１３】また上記の振動膜に金属箔として使用でき
る金属としては、チタン、アルミニウム、鉄、ニッケ
ル、パーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ合金）等が挙げられ、特に
ニッケルやパーマロイが好ましい。また金属箔の厚さ
は、薄ければ薄い程感度が良好となるが、実用上は、５
〜１０μｍ程度が適当である。

【００１４】更に、上記の音圧検出器に用いられる圧電
振動板としては、例えば、円盤状の圧電セラミックスを
金属板に貼付して構成され、圧電セラミックスが音圧を
うけて歪みを生じた時において音圧に応じた電圧を発生
するものが用いられる。

【００１５】

【作用】第１の発明のように、入力インピーダンスが１
０14〜１０15ΩのＦＥＴを用いて構成されるバックエレ
クトレット型コンデンサーマイクロホンを音圧検出検出
器として用いることで、音圧検出器の出力における位相
の温度依存性が極小ないしほぼゼロになり、広い環境温
度の範囲、具体的には−３０〜８０℃程度の範囲で使用
できるようになる。

【００１６】また第２の発明のように、音圧検出器とし
て用いるバックエレクトレット型コンデンサーマイクロ
ホンの振動膜を金属箔とすることで、音圧検出器の出力
における位相の温度依存性が改善されて、広い温度範囲
で位相変化が安定した出力を得ることができる。

【００１７】更に第３の発明のように、高い入力インピ
ーダンスのＦＥＴと金属箔からなる振動膜を用いたバッ
クエレクトレット型コンデンサーマイクロホンを音圧検
出器に使用することで、上記第１、２の発明の相乗作用
により、音圧検出器における出力の位相の温度依存性が
著しく改善され、温度による位相の変化が無視できる程
度の大きさになる。よって、広い温度範囲で位相変化が
安定した出力が得られる。

【００１８】また第４の発明のように、音圧検出器とし
て圧電振動板を使用することで、温度による音圧検出器
の出力の位相変化を防止できる。このため温度依存性が
著しく改善できて、広い温度範囲で使用できるようにな
る。また圧電振動板は例えば上記のバックエレクトレッ
ト型コンデンサマイクロホンより安価であるため、コス
トダウンも図れる。

【００１９】

【実施例】以下に添付図面を用いて本発明の実施例を説
明する。

【００２０】図１〜２は本発明に係る第１実施例の音響
式ジャイロを示した。この音響式ジャイロは、音響的に
閉じたケース１０を用いてなるものであり、ケース１０
の内側には空気等の流体が満たされている。

【００２１】ケース１０の内部には、略中央部に透孔を
有する隔壁１１、並びに隔壁１１の上端に一体に連結さ
れた平板状の隔壁１２が形成されている。隔壁１１によ
って、ケース１０の内側が容積Ｖ１の部屋１３と容積Ｖ
２の部屋１４とに分けられる。また隔壁１１の透孔には
音源となるスピーカ２０が取り付けられている。隔壁１
２とケース１０の上面との間には、上記２つの部屋１
３、１４を連結ないし連通する、長さｌの検出チャネル
１５が形成されている。

【００２２】ケース１０の上面には、一対のバックエレ
クトレット型コンデンサーマイクロホン３１、３２が距
離ｄで取付けられている。これらバックエレクトレット
型コンデンサーマイクロホン３１、３２によって検出チ
ャネル１５の両側の点Ｑ１、Ｑ２における音圧がそれぞ
れ検出される。これらバックエレクトレット型コンデン
サーマイクロホン３１、３２の出力の位相差は、例えば
図１に示したように、増幅器４１、４２を介して位相比
較器４３に入力される。位相比較器４３は、これらの入
力の位相差に応じた出力を発生し、この出力は指示計器
４４に表示される。

【００２３】この実施例の音響式ジャイロでは、例えば
図１に示した発振器４５からの信号によって、スピーカ
２０が駆動された場合、部屋１３と１４には絶対値が等
しく符号が反対の体積変化が差動的に与えられる。そし
てこのスピーカ２０により与えられる振動的な体積変化
によって検出チャネル１５内部の空気には振動的な流れ
が発生する。

【００２４】ここで、この実施例の音響式ジャイロは、
隔壁１１により仕切られた部屋１３と１４が検出チャネ
ル１５によって連結されて音響共振系を構成し、またこ
の音響共振系における共振角速度ωは、式（１）とな
る。

【００２５】

【数１】

【００２６】但し、Ｌは検出チャネル１５の音響イナー
タンスであり、Ｌ＝ρｌ／Ｓ（ρ：ケース１０の内部の
流体の密度、Ｓ：検出チャネル１５の断面積）で表され
る。またＣ１、Ｃ２をそれぞれ容積Ｖ１、Ｖ２の部屋１
３、１４の音響コンプライアンスとすれば、Ｃｏ＝Ｃ１
・Ｃ２／（Ｃ１＋Ｃ２）となる。尚、音響コンプライア
ンスＣ１、Ｃ２はそれぞれ、Ｃ１＝Ｖ１／γＰｏ、Ｃ２
＝Ｖ２／γＰｏ（γ：流体の比熱比、Ｐｏ：ケース１０
の内部の流体の静圧力）で表される。更に、Ｃ´は、音
源の出力インピーダンスを表すコンプライアンスであ
り、音源であるスピーカ２０のコーン部が音圧を受けて
撓む度合いを示す。

【００２７】そして、ケース１０が静止している状態に
おいて、スピーカ２０が角周波数ωの正弦波出力によっ
て駆動された場合、検出チャネル１５の内部の空気は、
ｕ（ｔ）＝Ｕｃｏｓωｔ（但し、ｔ：時間、Ｕ：速度振
幅）の速度で、検出チャネル１５の長さｌ方向に振動す
る。

【００２８】上記の振動時において、検出チャネル１５
において点Ｑ１、Ｑ２に生じる音圧は互いに等しくｐ
（ｔ）であり、これは点Ｑ１、Ｑ２が例えば検出チャネ
ル１５の長さ方向の中央に位置する場合、式（２）で表
される。そして、検出チャネル１５の駆動音圧が０にな
る音響的中立点は、Ｖ１＝Ｖ２であれば、検出チャネル
１５の中央であり、またこの音響的中立点ではｐ（ｔ）
＝０となる。

【００２９】

【数２】

【００３０】一方、ケース１０が、垂直線Ｚ−Ｚの回り
に角速度Ωで回転している場合、点Ｑ１、Ｑ２にはコリ
オリの力より、Δｐ（ｔ）＝２ρｄΩｕ（ｔ）＝２ρｄ
ΩＵｃｏｓω（ｔ）なる差圧が発生する。そしてこの差
圧は、上記の静止状態における点Ｑ１、Ｑ２の音圧に、
それぞれ１／２つづに分けられて加減算される。つまり
ケース１０が回転している時の点Ｑ１、Ｑ２の音圧をそ
れぞれｐ１（ｔ）、ｐ２（ｔ）とすれば、これらは式
（３）、（４）となる。またこれらの式において、Ａ、
θはそれぞれ式（５）、（６）である。

【００３１】

【数３】

【００３２】

【数４】

【００３３】

【数５】

【００３４】

【数６】

【００３５】このようにして、ケース１０の回転に応じ
た位相差がバックエレクトレット型コンデンサーマイク
ロホン３１、３２の出力から検出される。そしてこの位
相差に基づいて、従来と同様にして、ケース１０の回転
角速度が求められる。

【００３６】ここで、バックエレクトレット型コンデン
サーマイクロホンは、図３に示したように、マイクのカ
バー１の中に振動膜２、スペーサー３、背極（固定極）
板４、ＦＥＴ５を内蔵した構造である。そして、背極板
４にはエレクトレット帯電処理によって、永久に持続す
る電荷４ａが付着されている。従って、振動膜２とスペ
ーサー３と背極板４とによって、コンデンサーが形成さ
れている。尚、上記の電荷４ａに代えて、振動膜２の背
極板４との対向面に電荷を付着する構成であっても良
い。

【００３７】このような構成を備えたバックエレクトレ
ット型コンデンサーマイクロホン３１、３２において、
振動膜２に音圧が作用すると、音圧に対応して振動膜２
が変位し、従って振動膜２と背極板４との距離が変化す
るため、上記のコンデンサーの容量が変化する。このコ
ンデンサー両極間の電圧Ｖｃは、以下の式（７）で表さ
れる。但し、Ｑ：背極板４に生成された電荷、Ｃ：コン
デンサ容量、ε：両極間に挟まれた物質（この場合は空
気）の誘電率、Ａ：対向両極の面積、ｌ：対向両極の距
離、である。

【００３８】

【数７】

【００３９】よって、音圧により振動膜２が変位した時
のコンデンサー両極間の電圧Ｖｃの時間的変化は、下式
（８）となり、振動膜２の変位に対応した電圧となる。

【００４０】

【数８】

【００４１】このコンデンサーの電圧Ｖｃは、図４のよ
うに、ＦＥＴ５のゲートＧとソースＳ間に印加され、バ
ックエレクトレット型コンデンサーマイクロホンの出力
電圧ＶｏとしてＦＥＴ５のドレンＤと抵抗Ｒの間より取
出されている。尚、ＦＥＴ５のソースＳはアースに接続
され、またドレンＤは抵抗Ｒを介して電源電圧Ｖに接続
されている。この出力電圧Ｖｏは、Ｖｏ＝Ｖ−Ｒ・Ｉｄ
で求めることができる。但し、ＩｄはＦＥＴのドレン電
流である。また、ゲート電圧Ｖｇとドレン電流Ｉｄとの
関係は図５に示した通りであり、ドレン電流Ｉｄは、ゲ
ート電圧Ｖｇ、即ちコンデンサーの電圧Ｖｃに対応して
流れる。よってバックエレクトレット型コンデンサーマ
イクロホン出力電圧Ｖｏは、音圧に対応した出力とな
る。

【００４２】ところで、バックエレクトレット型コンデ
ンサーマイクロホンにおいては、上記のコンデンサ容量
Ｃと、ＦＥＴ５のゲートＧの入力インピーダンスＲｇと
で形成される時定数τ＝ＣＲｇが存在する。従ってバッ
クエレクトレット型コンデンサーマイクロホンの出力の
位相θは、（９）式のようにこの時定数τに依存するよ
うになる。但し、ｆｅ＝１／２πＣＲｇ、ｆ：音圧の周
波数（スピーカ２０の駆動周波数）。

【００４３】

【数９】

【００４４】また、ＦＥＴ５のゲートＧの入力インピー
ダンスＲｇは、温度依存性があり、温度上昇とともに指
数関数的に減少し、例えば８０℃では２５℃に比べて２
桁以上減少する。ここで、ＦＥＴ５が接合型ＦＥＴであ
る場合には、入力インピーダンスＲｇは２５℃では１．
１×１０11Ω、６０℃では２．０×１０9 Ω、８０℃で
は６．７×１０8 Ωである。そして、スピーカ２０の駆
動周波数ｆが例えば２００Ｈｚの場合には、上記の位相
θは２５℃で０．０２９ｄｅｇ（ｆｅは０．１Ｈｚ）、
６０℃で１．５７５ｄｅｇ（ｆｅは５．５Ｈｚ）、８０
℃で４．６８８ｄｅｇ（ｆｅは１６．４Ｈｚ）となる。
但し、コンデンサ容量Ｃは約１．４５×１０-11 （Ｆ）
とした。よって、環境温度が８０℃になると２５℃の時
に比べて位相θは約４．７ｄｅｇ変化してしまう。尚、
参考までに、周波数ｆが４３０Ｈｚの場合は、位相θは
２５℃で０．０１３ｄｅｇ、６０℃で０．７ｄｅｇ、８
０℃で２．１ｄｅｇである。

【００４５】一方、ＦＥＴ５として、入力インピーダン
スがＭＯＳＦＥＴを用いた場合、入力インピーダンスＲ
ｇが２５℃では１０14〜１０15Ω、８０℃では１０11〜
１０12Ωであるため、環境温度が２５℃から８０℃にな
って入力インピーダンスＲｇが３桁変化した場合でも、
２５℃で位相θが３×１０-5〜３×１０-6ｄｅｇ（ｆｅ
は１．０６×１０-4〜１．０６×１０-5Ｈｚ）、８０℃
では位相θが０．０３〜０．００３ｄｅｇ（ｆｅは０．
１０６〜０．０１０６×１０-5Ｈｚ）であり、８０℃に
なっても位相θの変化は最大０．０３ｄｅｇ程度であ
る。尚、スピーカ２０の駆動周波数ｆは２００Ｈｚとし
た。よって、ＦＥＴ５にＭＯＳＦＥＴのように入力イン
ピーダンスが１０14〜１０15Ω（温度２５℃）のＦＥＴ
を用いることで、上記のように接合型ＦＥＴを用いた場
合に比べて温度依存性が格段に少なくなる。

【００４６】尚、位相θは、上記の式（６）から明らか
なように、スピーカ２０の駆動角周波数ωが低い程大き
くなり、従って上記の駆動周波数ｆが小さい程大きくな
るが、図６のように、ＦＥＴ５の周波数ｆに対するゲイ
ン（ｄＢ）が周波数２００Ｈｚ程度以上で安定するなど
の理由から、スピーカ２０の駆動周波数ｆとしては、通
常は２００〜５００Ｈｚが用いられる。また、上記の式
（１）により得られる共振角周波数でスピーカ２０を駆
動するのが音響式ジャイロにおける消費電力を最小限に
できるとの理由からも、スピーカ２０は２００〜５００
Ｈｚ程度の周波数で駆動するのが実用的である。

【００４７】次に、第２実施例の音響式ジャイロは、上
記の音圧検出器としてのバックエレクトレット型コンデ
ンサーマイクロホンとして、振動膜２が５〜１０μｍ程
度のニッケル箔などの金属箔で作られたものである。

【００４８】ここで、従来のバックエレクトレット型コ
ンデンサーマイクロホンでは、振動膜２が樹脂フィルム
で作られている。このような樹脂フィルム製の振動膜２
の場合、樹脂の粘弾性によって、振動膜２が受ける音圧
に伴う振動膜２の変位の位相が温度依存性を受けてしま
う。つまり、振動膜２にかかる正弦波圧力が加わった場
合における振動膜２の変位の位相θには、ｔａｎθ＝ω
・ｃ／ｋなる式がなりたつ。ここで、ωは圧力（正弦波
圧力）の角周波数で、音響式ジャイロの場合にはスピー
カ２０の駆動各周波数であり、一定値である。またｃは
粘性係数、ｋはばね定数である。そしてこれら粘性係数
ｃやばね定数ｋは温度によって大きく変化し、特にガラ
ス転移点の前後では大きく変化する。従って、振動膜２
が樹脂フィルムである場合、温度による粘性係数ｃやば
ね定数ｋの変化に伴い、振動膜２の圧力に対する変位の
位相θが大きくずれるようになり、この結果、広い温度
範囲にわたって音響式ジャイロから安定した位相変化の
出力が得られなくなる。

【００４９】一方、第２実施例のように振動膜２を金属
箔とすることで、この金属箔が、音響式ジャイロが使用
される一般的な温度範囲である−３０℃〜８０℃におい
て剛体であるとみなせ、よって金属箔の粘性係数ｃやば
ね定数ｋの温度変化が極めて小さくて無視できる程度と
なる。そしてこの結果、上記のような温度変化による位
相ずれが生じることがなく、広い温度範囲において位相
変化の安定した出力を得ることができる。

【００５０】尚、以上のように振動膜２を金属箔とする
とともに、実施例１のようにＦＥＴ５をＭＯＳＦＥＴと
する構成を併用することで、相乗作用により、一層の効
果が得られ、音響式ジャイロの出力における位相変化を
極めて安定したものとできることは勿論である。

【００５１】第３実施例の音響式ジャイロでは、第１，
第２実施例においてバックエレクトレット型コンデンサ
ーマイクロホン３１、３２に代えて、圧電振動板を用い
たものであり、その他の構成は、実施例１、２と同様で
ある。

【００５２】図７はこのような圧電振動板の一例を示し
た。この圧電振動板は、黄銅板やステンレス板などの金
属板２１の上面に接着剤２２を介して圧電体薄膜２３を
接着するとともに、この圧電体薄膜２３の上面に銀など
からなる電極２４を形成して構成される。圧電体薄膜２
３としては、例えば圧電セラミックスが用いられる。ま
た図９に、音圧検出器として圧電振動板を用いた実施例
３の音響式ジャイロと、同じくバックエレクトレット型
コンデンサーマイクロホンを用いた音響式ジャイロにお
ける、音圧検出器の出力信号における位相の温度（℃）
に対する依存性を示したもので、環境温度２０℃の位相
を基準として、これと−３０℃〜８０℃における各位相
との位相ずれを表したものである。そして、バックエレ
クトレット型コンデンサーマイクロホンの場合、環境温
度が４０℃以上では位相の変化が著しいのに対し、圧電
振動板の場合には環境温度が４０℃以上でも位相変化が
極めて小さい。よって、実施例３のように圧電振動板を
用いることで、特に環境温度４０℃以上において著しい
効果が得られ、位相変化が安定した出力が得られる。

【００５３】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、音圧検出
器の出力における位相の温度依存性が抑えられる結果、
広い温度範囲で安定して使用することができる音響式ジ
ャイロを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の音響式ジャイロの平面図であ
る。

【図２】（ａ）は図１におけるＡ−Ａ線の断面図、
（ｂ）は同じくＢ−Ｂ線の断面図である。

【図３】音圧検出器として用いられるバックエレクトレ
ット型コンデンサーマイクロホンの一部断面斜視図であ
る。

【図４】図３のバックエレクトレット型コンデンサーマ
イクロホンの回路図である。

【図５】バックエレクトレット型コンデンサーマイクロ
ホンにおけるゲート電圧とドレン電流との関係を示した
グラフである。

【図６】バックエレクトレット型コンデンサーマイクロ
ホンにおける出力の周波数特性を示したグラフである。

【図７】（ａ）は実施例の音響式ジャイロに用いる圧電
振動板の平面図、（ｂ）は同じく側面図である。

【図８】圧電振動板と従来のバックエレクトレット型コ
ンデンサーマイクロホンとにおける出力の位相の温度依
存性を示したグラフである。

【符号の説明】

１…カバー ２…振動膜 ３…スペーサ ４…背極板 ５…ＦＥＴ １０…ケース １１、１２…隔壁 １３、１４…部屋 １５…検出チャネル ２０…スピーカ ２１…金属板 ２２…接着剤 ２３…圧電体薄膜 ２４…電極 ３１、３２…バックエレクトレット型コンデンサーマイ
クロホン ４３…位相比較器

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検出チャネルにより連結された２つの部
   屋を有するケースと、前記ケース内に満たされた流体を
   駆動する音源と、前記検出チャネル内の所定の場所での
   音圧を検出する音圧検出器とを有し、前記音圧の位相変
   化に基づいて前記ケースの回転角速度を検知する音響式
   ジャイロにおいて、 前記音圧検出器が、入力インピーダンスが１０14〜１０
   15ΩのＦＥＴを容量−電流変換素子として用いてなるバ
   ックエレクトレット型コンデンサーマイクロホンである
   ことを特徴とする音響式ジャイロ。
2. 【請求項２】 検出チャネルにより連結された２つの部
   屋を有するケースと、前記ケース内に満たされた流体を
   駆動する音源と、前記検出チャネル内の所定の場所での
   音圧を検出する音圧検出器とを有し、前記音圧の位相変
   化に基づいて前記ケースの回転角速度を検知する音響式
   ジャイロにおいて、 前記音圧検出器が、音圧検出用の振動膜が金属箔からな
   るバックエレクトレット型コンデンサーマイクロホンで
   あることを特徴とする音響式ジャイロ。
3. 【請求項３】 検出チャネルにより連結された２つの部
   屋を有するケースと、前記ケース内に満たされた流体を
   駆動する音源と、前記検出チャネル内の所定の場所での
   音圧を検出する音圧検出器とを有し、前記音圧の位相変
   化に基づいて前記ケースの回転角速度を検知する音響式
   ジャイロにおいて、 前記音圧検出器が、入力インピーダンスが１０14〜１０
   15ΩのＦＥＴを容量−電流変換素子として用いるととも
   に、音圧検出用の振動膜が金属箔からなるバックエレク
   トレット型コンデンサーマイクロホンであることを特徴
   とする音響式ジャイロ。
4. 【請求項４】 検出チャネルにより連結された２つの部
   屋を有するケースと、前記ケース内に満たされた流体を
   駆動する音源と、前記検出チャネル内の所定の場所での
   音圧を検出する音圧検出器とを有し、前記音圧の位相変
   化に基づいて前記ケースの回転角速度を検知する音響式
   ジャイロにおいて、 前記音圧検出器が圧電振動板であることを特徴とする音
   響式ジャイロ。