JPH0754956Y2 - マイクロ波励起型無電極発光装置 - Google Patents
マイクロ波励起型無電極発光装置Info
- Publication number
- JPH0754956Y2 JPH0754956Y2 JP1989074446U JP7444689U JPH0754956Y2 JP H0754956 Y2 JPH0754956 Y2 JP H0754956Y2 JP 1989074446 U JP1989074446 U JP 1989074446U JP 7444689 U JP7444689 U JP 7444689U JP H0754956 Y2 JPH0754956 Y2 JP H0754956Y2
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- JP
- Japan
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- microwave
- electrodeless
- arc tube
- light
- flash lamp
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、水銀等の発光材料が封入された無電極発光
管をマイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起
型無電極発光装置に関する。
管をマイクロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起
型無電極発光装置に関する。
例えば、特開昭50−54172号に開示されているように、
従来より水銀等の発光材料が封入された発光管をマイク
ロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型無電極発
光装置が知られている。この発光装置は通常紫外線光源
として使用され、紫外線硬化型樹脂の硬化処理や半導体
装置の製造の際のレジストの耐熱性向上のための処理等
への応用が試みられている。
従来より水銀等の発光材料が封入された発光管をマイク
ロ波で励起させて発光させるマイクロ波励起型無電極発
光装置が知られている。この発光装置は通常紫外線光源
として使用され、紫外線硬化型樹脂の硬化処理や半導体
装置の製造の際のレジストの耐熱性向上のための処理等
への応用が試みられている。
マイクロ波励起型無電極発光装置が有する利点として
は、発光管の内部に電極を配置する必要がないため発光
管の径を細くでき，従って有電極の発光装置に比べより
線状光源に近くなり、樋状の放物面鏡などの光学系と組
み合わせた際の照度が高くなることがあげられる。ま
た、発光管の径が細いということは、管壁自体の熱輻射
が少なくなることでもあり、光照射の対象物の耐熱性が
低い場合には好適である。
は、発光管の内部に電極を配置する必要がないため発光
管の径を細くでき，従って有電極の発光装置に比べより
線状光源に近くなり、樋状の放物面鏡などの光学系と組
み合わせた際の照度が高くなることがあげられる。ま
た、発光管の径が細いということは、管壁自体の熱輻射
が少なくなることでもあり、光照射の対象物の耐熱性が
低い場合には好適である。
上記のマイクロ波励起型の発光装置も、通常の有電極の
放電励起型のランプと同様、気化した水銀等に絶縁破壊
が生じ、電離した電子のなだれ効果により放電が生じな
ければならない。しかし、無電極発光管内には、初期電
子を電離させるための放電機構がないため、効率よく始
動させるためには外部から何らかの形で気化した発光材
料を電離する手段が必要となる。
放電励起型のランプと同様、気化した水銀等に絶縁破壊
が生じ、電離した電子のなだれ効果により放電が生じな
ければならない。しかし、無電極発光管内には、初期電
子を電離させるための放電機構がないため、効率よく始
動させるためには外部から何らかの形で気化した発光材
料を電離する手段が必要となる。
本考案は、上記課題を考慮してなされたものであり、無
電極発光管を外部から電離させる手段を備え効率よく始
動することのできる無電極発光装置の提供を目的とす
る。
電極発光管を外部から電離させる手段を備え効率よく始
動することのできる無電極発光装置の提供を目的とす
る。
かかる目的を達成するため、本考案のマイクロ波励起型
無電極発光装置は、内部に発光材料が封入された無電極
発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空胴
を構成するマイクロ波空洞器と、マイクロ波を発生させ
るマグネトロンと、該マグネトロンにより発生したマイ
クロ波の導波管と、該導波管により導かれたマイクロ波
をマイクロ波空洞に結合させる結合手段を具備し、前記
無電極発光管を照射する位置に設けられ紫外線を含む光
を放出するフラッシュランプとを備え、かつ点灯スイッ
チを介して主電源に接続されるように並列に設けられた
前記マグネトロンに高電圧を印加させる高電圧発生回路
と、フラッシュランプ点灯回路とを有することを特徴と
する。
無電極発光装置は、内部に発光材料が封入された無電極
発光管と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空胴
を構成するマイクロ波空洞器と、マイクロ波を発生させ
るマグネトロンと、該マグネトロンにより発生したマイ
クロ波の導波管と、該導波管により導かれたマイクロ波
をマイクロ波空洞に結合させる結合手段を具備し、前記
無電極発光管を照射する位置に設けられ紫外線を含む光
を放出するフラッシュランプとを備え、かつ点灯スイッ
チを介して主電源に接続されるように並列に設けられた
前記マグネトロンに高電圧を印加させる高電圧発生回路
と、フラッシュランプ点灯回路とを有することを特徴と
する。
上記構成にかかる本考案のマイクロ波励起型無電極発光
装置は、フラッシュランプから放射される紫外線により
無電極発光管内の発光材料が電離され、マイクロ波の結
合により励起されて発光が開始する。特に、マグネトロ
ンに高電圧を印加させる高電圧発生回路とフラッシュラ
ンプ点灯回路とが並列に設けられているので、マグネト
ロンへの高電圧の印加とほぼ同時にフラッシュランプか
らの紫外線を無電極発光管に照射することが容易であっ
て、点灯時の短時間のみタイミングよく紫外線を照射さ
せることが可能となり効率的となる。
装置は、フラッシュランプから放射される紫外線により
無電極発光管内の発光材料が電離され、マイクロ波の結
合により励起されて発光が開始する。特に、マグネトロ
ンに高電圧を印加させる高電圧発生回路とフラッシュラ
ンプ点灯回路とが並列に設けられているので、マグネト
ロンへの高電圧の印加とほぼ同時にフラッシュランプか
らの紫外線を無電極発光管に照射することが容易であっ
て、点灯時の短時間のみタイミングよく紫外線を照射さ
せることが可能となり効率的となる。
以下、本考案の実施例を説明する。
第１図は、本考案の実施例のマイクロ波励起型無電極発
光装置の点灯回路の概略説明図であり、第２図は、第１
図の点灯回路が用いられるマイクロ波励起型無電極発光
装置の概略図である。第１図及び第２図において、１は
主電源、SW1はスタンバイスイッチ、SW2は点灯スイッ
チ、２はヒーター電源回路、３は高電圧発生回路、41,4
2はマグネトロン、５はフラッシュランプ、51は直流電
源回路、52はフラッシュランプ点灯回路、６は導波管、
７はマイクロ波空洞を構成するマイクロ波空洞器、71は
マイクロ波結合手段としてのスロット、72は冷却用の
孔、８は無電極発光管、９はマイクロ波封止用メッシ
ュ、10は冷却用の送風ブロアを示す。
光装置の点灯回路の概略説明図であり、第２図は、第１
図の点灯回路が用いられるマイクロ波励起型無電極発光
装置の概略図である。第１図及び第２図において、１は
主電源、SW1はスタンバイスイッチ、SW2は点灯スイッ
チ、２はヒーター電源回路、３は高電圧発生回路、41,4
2はマグネトロン、５はフラッシュランプ、51は直流電
源回路、52はフラッシュランプ点灯回路、６は導波管、
７はマイクロ波空洞を構成するマイクロ波空洞器、71は
マイクロ波結合手段としてのスロット、72は冷却用の
孔、８は無電極発光管、９はマイクロ波封止用メッシ
ュ、10は冷却用の送風ブロアを示す。
第１図及び第２図において、まずスタンバイスイッチSW
1がオンされるとヒーター電源回路２が通電状態にな
り、マグネトロン41,42のヒーターが給電されスタンバ
イ状態となる。同時に直流電源回路51にも給電がされ、
フラッシュランプ点灯回路52もスタンバイ状態となる。
この状態で点灯スイッチSW2がオンされると、高電圧発
生回路３が通電状態となりマグネトロン41,42に高電圧
が印加され、周知の電界と磁界との作用によりマイクロ
波が発生する。発生したマイクロ波は導波管６で導か
れ、スロット71によってマイクロ波空洞器７により構成
されるマイクロ波空洞に結合する。マイクロ波空洞器７
内のマイクロ波は、無電極放電管８を加熱し発光材料と
して封入した水銀を瞬時のうちに気化させる。一方、SW
2のオンによって直流電源回路51によりスタンバイ状態
となっていたフラッシュランプ点灯回路52が働き、トリ
ガー53によってフラッシュランプ５がフラッシュ点灯す
る。フラッシュランプ５からの光は、マイクロ波空洞器
７に設けられた冷却用の孔72を通して無電極放電管８を
照射する。従って、マイクロ波の結合により無電極放電
管８内の水銀原子を励起させるとともにフラッシュラン
プ５からの光に含まれる紫外線によって水銀原子に絶縁
破壊を生じさせ、放電を生ぜしめる。放電により無電極
発光管はプラズマ状態となり、発光始動する。
1がオンされるとヒーター電源回路２が通電状態にな
り、マグネトロン41,42のヒーターが給電されスタンバ
イ状態となる。同時に直流電源回路51にも給電がされ、
フラッシュランプ点灯回路52もスタンバイ状態となる。
この状態で点灯スイッチSW2がオンされると、高電圧発
生回路３が通電状態となりマグネトロン41,42に高電圧
が印加され、周知の電界と磁界との作用によりマイクロ
波が発生する。発生したマイクロ波は導波管６で導か
れ、スロット71によってマイクロ波空洞器７により構成
されるマイクロ波空洞に結合する。マイクロ波空洞器７
内のマイクロ波は、無電極放電管８を加熱し発光材料と
して封入した水銀を瞬時のうちに気化させる。一方、SW
2のオンによって直流電源回路51によりスタンバイ状態
となっていたフラッシュランプ点灯回路52が働き、トリ
ガー53によってフラッシュランプ５がフラッシュ点灯す
る。フラッシュランプ５からの光は、マイクロ波空洞器
７に設けられた冷却用の孔72を通して無電極放電管８を
照射する。従って、マイクロ波の結合により無電極放電
管８内の水銀原子を励起させるとともにフラッシュラン
プ５からの光に含まれる紫外線によって水銀原子に絶縁
破壊を生じさせ、放電を生ぜしめる。放電により無電極
発光管はプラズマ状態となり、発光始動する。
本実施例では、絶縁破壊を生じさせる手段としてフラッ
シュランプを用いているので、安定器を用いた水銀灯が
点灯スイッチONから点灯安定までに120〜180secの時間
を必要とするのに対し、僅か50〜100msecで安定し瞬時
点灯の点で優れている。
シュランプを用いているので、安定器を用いた水銀灯が
点灯スイッチONから点灯安定までに120〜180secの時間
を必要とするのに対し、僅か50〜100msecで安定し瞬時
点灯の点で優れている。
フラッシュランプ５としては、点灯電圧が400〜500V,周
波数が19Hz程度のものを用いている。本実施例のフラッ
シュランプ点灯回路52は、フラッシュランプ５を10秒間
発光点滅させた後５秒休止し、不図示の検知機構により
無電極発光管８が未だ始動発光していないこと検知した
場合には、さらに10秒間点滅させる回路となっている。
但し、実験により一回のフラッシュ点灯でも充分無電極
発光管８を始動発光させることができることが確認され
ている。
波数が19Hz程度のものを用いている。本実施例のフラッ
シュランプ点灯回路52は、フラッシュランプ５を10秒間
発光点滅させた後５秒休止し、不図示の検知機構により
無電極発光管８が未だ始動発光していないこと検知した
場合には、さらに10秒間点滅させる回路となっている。
但し、実験により一回のフラッシュ点灯でも充分無電極
発光管８を始動発光させることができることが確認され
ている。
本実施例の無電極発光管８は、前記の通り発光材料とし
て水銀が封入されているが、その他ハライド化した鉄な
どの金属を封入しても良い。
て水銀が封入されているが、その他ハライド化した鉄な
どの金属を封入しても良い。
以上説明した通り、本考案のマイクロ波励起型無電極発
光装置は、内部に発光材料が封入された無電極発光管
と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空胴を構成
するマイクロ波空洞器と、マイクロ波を発生させるマグ
ネトロンと、該マグネトロンにより発生したマイクロ波
に導波管と、該導波管により導かれたマイクロ波をマイ
クロ波空洞の結合させる結合手段を具備し、前記無電極
発光管を照射する位置に設けられ紫外線を含む光を放出
するフラッシュランプとを備え、かつ点灯スイッチを介
して主電源に接続されるように並列に設けられた前記マ
グネトロンに高電圧を印加させる高電圧発生回路と、フ
ラッシュランプ点灯回路とを有することを特徴とするの
で、フラッシュランプから放射される紫外線により無電
極発光管内の発光材料が電離され、マイクロ波の結合に
より励起されて発光が開始する。
光装置は、内部に発光材料が封入された無電極発光管
と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空胴を構成
するマイクロ波空洞器と、マイクロ波を発生させるマグ
ネトロンと、該マグネトロンにより発生したマイクロ波
に導波管と、該導波管により導かれたマイクロ波をマイ
クロ波空洞の結合させる結合手段を具備し、前記無電極
発光管を照射する位置に設けられ紫外線を含む光を放出
するフラッシュランプとを備え、かつ点灯スイッチを介
して主電源に接続されるように並列に設けられた前記マ
グネトロンに高電圧を印加させる高電圧発生回路と、フ
ラッシュランプ点灯回路とを有することを特徴とするの
で、フラッシュランプから放射される紫外線により無電
極発光管内の発光材料が電離され、マイクロ波の結合に
より励起されて発光が開始する。
特に、マグネトロンに高電圧を印加させる高電圧発生回
路とフラッシュランプ点灯回路とが並列に設けられてい
るので、マグネトロンへの高電圧の印加とほぼ同時にフ
ラッシュランプからの紫外線を無電極発光管に照射する
ことが容易であって、点灯時の短時間のみタイミングよ
く紫外線を照射させることが可能となり効率的である。
路とフラッシュランプ点灯回路とが並列に設けられてい
るので、マグネトロンへの高電圧の印加とほぼ同時にフ
ラッシュランプからの紫外線を無電極発光管に照射する
ことが容易であって、点灯時の短時間のみタイミングよ
く紫外線を照射させることが可能となり効率的である。
また、無電極発光管に紫外線を照射する光源としてフラ
ッシュランプを採用しているので、瞬時点灯性に優れ、
ランプが安定して紫外線を放出するまで待機する必要が
ない。
ッシュランプを採用しているので、瞬時点灯性に優れ、
ランプが安定して紫外線を放出するまで待機する必要が
ない。
第１図は、本考案の実施例のマイクロ波励起型無電極発
光装置の点灯回路の概略説明図で、第２図は、第１図の
点灯回路が用いられるマイクロ波励起型無電極発光装置
の概略図である。 図中、 １……主電源 SW1……スタンバイスイッチ SW2……点灯スイッチ ２……ヒーター電源回路 ３……高電圧発生回路 41,42……マグネトロン ５……フラッシュランプ 51……直流電源回路 52……フラッシュランプ点灯回路 ６……導波管 ７……マイクロ波空洞器 71……マイクロ波結合手段としてのスロット 72……冷却用の孔 ８……無電極発光管 ９……マイクロ波封止用メッシュ を示す。
光装置の点灯回路の概略説明図で、第２図は、第１図の
点灯回路が用いられるマイクロ波励起型無電極発光装置
の概略図である。 図中、 １……主電源 SW1……スタンバイスイッチ SW2……点灯スイッチ ２……ヒーター電源回路 ３……高電圧発生回路 41,42……マグネトロン ５……フラッシュランプ 51……直流電源回路 52……フラッシュランプ点灯回路 ６……導波管 ７……マイクロ波空洞器 71……マイクロ波結合手段としてのスロット 72……冷却用の孔 ８……無電極発光管 ９……マイクロ波封止用メッシュ を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】内部に発光材料が封入された無電極発光管
と、該無電極発光管が配置されるマイクロ波空胴を構成
するマイクロ波空洞器と、マイクロ波を発生させるマグ
ネトロンと、該マグネトロンにより発生したマイクロ波
の導波管と、該導波管により導かれたマイクロ波をマイ
クロ波空洞に結合させる結合手段を具備し、前記無電極
発光管を照射する位置に設けられ紫外線を含む光を放出
するフラッシュランプとを備え、かつ点灯スイッチを介
して主電源に接続されるように並列に設けられた前記マ
グネトロンに高電圧を印加させる高電圧発生回路と、フ
ラッシュランプ点灯回路とを有することを特徴とするマ
イクロ波励起型無電極発光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989074446U JPH0754956Y2 (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989074446U JPH0754956Y2 (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0313699U JPH0313699U (ja) | 1991-02-12 |
| JPH0754956Y2 true JPH0754956Y2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=31614143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989074446U Expired - Lifetime JPH0754956Y2 (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 | マイクロ波励起型無電極発光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754956Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61176766U (ja) * | 1985-04-23 | 1986-11-04 |
-
1989
- 1989-06-27 JP JP1989074446U patent/JPH0754956Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0313699U (ja) | 1991-02-12 |
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