JPH07507855A - フロスト濃縮装置を有する低温ポンプおよび低温パネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 フロスト濃縮装置を有する低温ポンプおよび低温パネル発明の背景 現在入手可能な低温ポンプは、開いたまたは閉じた極低温（ｃｒｙ。

ｇｅｎｉｃ）サイクルにより冷却するかどうかにかかわらず、一般に同一の設計 の概念に従う。低温の第２段階の配列は、通常４〜２５にの範囲において作動し 、−次ポンピング表面である。この表面は通常７０〜１３０にの温度範囲で作動 する高温シリンダーにより取り囲まれており、このようなシリンダーはより低い 温度の配列に対して輻射シールドを提供する。輻射シールドは一般にハウジング からなり、このようなハウジングは一次ポンピング表面と排気すべきチャンバー との間に位置する前の配列を除外して閉じている。このより高い温度、第１段階 、前の配列はより高い沸点のガス、例えば、水蒸気のためのポンピング部位とし て働く。

操作において、より高い沸点のガス、例えば、水蒸気は前の配列上に凝縮する。

より低い沸点のガスはその配列を通過し、そして輻射シールド内の体積の中に入 り、そして第２段階の配列上に凝縮する。第２段階の配列の温度またはそれ重下 において働（、吸着剤、例えば、炭または点のガスを除去するために、この体積 内に設けられている。吸着剤の過負荷を防止するために、吸着剤は一般に第２段 階の凝縮配列により保護され表面上に準備されている。ガスはこうしてポンピン グ表面上に凝縮または吸着されるので、真空のみが仕事チャンバーの中に残る。

発明の要約 輻射シールドが低温パネルの配列の回りに密接に適合する低温ポンプにおいて、 輻射シールドと低温パネルの配列との間に制限される空間が存在する。この設計 の低温ポンプにおいて、低温ボンピングするガスが通過する開口に密接する低温 パネルの配列の表面上により低い沸点のガスが高度に凝縮する傾向が存在する。

これが起こったとき、これらの凝縮するガスからのフロストは輻射シールドと低 温パネルの配列との間のギャップを有意に狭くし、開口から遠く離れた低温パネ ルの配列上の凝縮表面に、あるいは吸着物質でコーティングされた表面に、他の ガスが到達する能力を制限する。輻射シールドと低温パネルの配列との間のギャ ップが有意に狭い場合、低温ポンプのポンピング速度は太き（減少する。

本発明は、凝縮するガスにより生ずるフロスト（ｆｒｏｓｔ）が、とくに低温ポ ンピングされるガスが通過する開口に密接する区域において、密接に適合する輻 射シールドと低温パネルの配列との間のギャップを有意に狭くするのを防止し、 これにより低温ポンプをいっそう効率よくかつより高い速度で作動し続けるよう にする。

本発明は、密接に適合する低温パネルの配列と輻射シールドとの間の空容器内に 、極低温に冷却されそしてガスを吸着する吸着剤を支持する低温パネルが存在す る。極低温に冷却される凝縮低温パネルは真空容器中の開口に面し、そして開口 を通過する凝縮するガスから吸着低温パネルをシールドするそらせ装置として作 用する。凝縮するガスのためのフロスト・コンセントレイター（ｆｒｏｓｔ　ｃ ｏｎｃｅｎｔｒａｔｏｒ）の表面は、凝縮低温パネルに添付されそして凝縮低温 パネルから真空容器中の開口に向かって延びている。真空容器中の開口に密接し て近接する凝縮低温パネルの外表面に、フロスト・コンセントレイターは添付さ れるか、あるいはそれから形成されている。

真空容器中の開口を通して低温ボンピングされるガスの一部分は延びた表面上に 凝縮し、こうしてフロストを表面のその領域に濃縮する。コンセントレイターは 表面上のフロストの通常の分布を変更し、輻射シールドと凝縮低温パネルとの間 のギャップにおけるフロストの蓄積の量を減少する。この方法において、輻射シ ールドと凝縮低温パネルとの間のギャップは有意に開いた状態に保持され、これ により他のガスはギャップを通過し、そして真空容器中の開口から遠く離れた凝 縮低温パネルの表面上に凝縮することができるか、あるいは吸着物質により吸着 されることができる。さらに、フロスト・コンセントレイターはガスの非常に効 率よい凝縮装置であるので、吸着剤をシールドする凝縮低温パネルの能力を緩和 することができる。

本発明の好ましいフロスト・コンセントレイターは真空容器の開口の縮低温パネ ルの上部または側面に添付することができる。

本発明の凝縮低温パネルの１つの形態はある数の開口を有する中空シリンダーで あり、対応する数のルーバーは外壁から突起している。凝縮低温パネルは金属材 料の板から作られており、そして吸着物質、好ましくは炭を支持する低温パネル を実質的に取り囲む。この系列のそらせ板および開口は非常に低い沸点のガスを 凝縮低温パネルの内部にアクセスさせるすると同時に凝縮低温パネル内の吸着剤 をより高い沸点のガスから実質的にシールドする。凝縮低温パネル内に取り囲ま れた吸着剤を支持する低温パネルは、長方形の断面を有する中空構造であること ができ、ここで炭の粒子はこの構造の外表面に接着されている。

あるいは、本発明の凝縮低温パネルは、半径方向に食い違った外壁を有する金属 材料の板から作られた中空構造であることができ、ある数の開口が壁の間に存在 する。半径方向に食い違った壁は、非常に低い沸点のガスを凝縮低温パネルの内 部にアクセスさせるすると同時に、凝縮低温パネル内の吸着剤をより高い沸点の ガスから実質的にシールドする。

図面の簡単な説明 本発明の以上の目的および他の目的、特徴および利点は図面の好ましい態様のい っそう特定した説明から明らかとなるであろう。図面において、同様な数字は異 なる図面を通じて同」の部分を意味する。図面は必ずしも一定の割合で表されて いす、その代わり本発明の原理を例示するとき強調されている。

第１図は、上部に開口を有する低温ポンプのための本発明の好ましい態様の断面 平面図である。この図面は輻射シールドの中に取り囲まれた第２図は、第１図に 示す本発明の同一態様の断面側面図である。

第３図は、上部に開口を有する低温ポンプのための本発明の別の態様の断面平面 図であり、輻射シールドの中に取り囲まれた多角形の凝縮低温パネルの上部に添 付された、フロスト・コンセントレイターを示す。

第４図は、第３図に示す本発明の同一態様の断面側面図である。

第５図は、ガスを低温ボンピングするための開口が凝縮低温パネルの軸に対して 垂直であるとときの、本発明の好ましい態様の断面平面図である。この態様にお いて、フロスト・コンセントレイターはシリンダー状凝縮低温パネルの側面に添 付されている。

第６図は、フロスト・コンセントレイターを見る方向から見た第５図に示す、本 発明の態様の断面側面図を示す。

第７図は、ガスを低温ボンピングするための開口が凝縮低温パネルの軸に対して 垂直であるとときの、本発明の別の断面平面図である。この態様において、フロ スト・コンセントレイターは多角形の凝縮低温パネルの側面に添付されている。

第８図は、フロスト・コンセントレイターを見る方向から見た第７図に示す、本 発明の態様の断面側面図を示す。

第９図は、輻射シールドの中に取り囲まれた普通の凝縮低温パネルのそらせ装置 の上部に添付された、フロスト・コンセントレイターを示す、本発明の別の態様 の断面平面図である。

第１０図は、コールド・フィンガーをさらに示す第９図に示す本発明の断面側面 図である。

第１２図は、吸着性物質が外表面のいくつかに接着されている低温パネルの斜視 図である。

第１３図は、外表面に接着した吸着性物質を有する低温パネル、吸着性物質の低 温パネルを実質的に取り囲むシリンダー状凝縮低温パネル、およびフランジと低 温パネルとの間の通路をつ（るフランジを有する輻射シールドを示す本発明の断 面側面図である。

第１４図＋；ｔ、７０スト・コンセントレイターの別の態様の斜視図である。

第１５図は、フロスト・コンセントレイターの他の別の態様の平面図である。

第１６図は、フロスト・コンセントレイターの追加の態様の平面図である。

第１７図は、フロスト・コンセントレイターの利益をもたない凝縮低温パネルの 上表面上にフロストの沈着を有する低温ポンプの断面側面図である。

第１８図は、フロストの沈着に関してフロスト・コンセントレイターを使用する 利点を示す本発明の断面側面図である。

好ましい態様の詳細な説明 第１図および第２図は、低温ポンプの中にガスを低温ポンピングするための開口 を上部に有する低温ポンプについての本発明の好まい）態様１３０Ｋｌこ冷却さ れ、そしてより高い沸点のガス、例えば、水蒸気を凝縮する。より低い沸点のガ ス、例えば、水素およびアルゴンは前の配列１４を通過し、そして輻射ノールド １８の内部に入る。輻射シールド１８は低温ポンプ１０の真空容器の壁１６によ り実質的に取り囲まれている。輻射シールド１８は一般に７０〜１３０にの温度 に冷却され、そしてシリンダー状低温パネル２０のための輻射シールドを提供す る。

第１７図は、本発明のフロスト・コンセントレイターをもたないとき起こりうる 問題を図解する。シリンダー状低温パネル２０の外部上で凝縮するガス、例えば 、開口１２を通して低温ポンプ１６０の輻射シールド１８の内部の中に入るアル ゴンは、凝縮低温パネル１６４の上表面１６６上で高度に凝縮する傾向がある。

それ自体示されていないが、配列１６４は開いていてそらせ板とともに、ガスを 配列内の吸収剤へ流れさせる。凝縮するガスは、凝縮低温パネル１６４と輻射シ ールド１８との間のギヤング２８を有意に狭くするフロストのブランケット１６ ２を凝縮低温パネル１６４の上表面１６６上に形成する。その結果、ガスは凝縮 低温パネル１６４のより低い表に対して制限されアクセスを有し、これによりボ ンピング速度および低温ポンプ１６０の効率を減少する。本発明は、配列と輻射 シールドとの間のギャップから離れる方向にフロストを集めるためにフロスト・ コンセントレイターを使用することによって、フロストの沈着により引き起こさ れる問題を処理する。

第１図、第２図および第１８図に示すように、輻射シールド１８の内部の中に入 るより低い沸点のガスの一部分はフロスト・コンセントレイター２６上で凝縮す る。了ｐ低い沸点のガス、例えば、アルゴンが輻射ノールド１８の内部の中に位 置するシリンダー状低温パネル２０の上表面３４に到達できる前に、フロスト・ コンセントレイター２６はそれらのガスをフィン３２上に凝縮させる。凝縮する ガスはフロスト・コンセントレイター２６の表面上に７０ストのブランケット１ ７０を形成する。

これらのガスが上表面３４上で凝縮するのを防止することによって、シリンダー 状低温パネル２０と輻射シールド１８との間のギャップ２８は凝縮するガスによ り有意に狭くならない。その結果、他のガスはシリンダー状低温パネル２０の下 表面およびシリンダー状低温パネル２０内に収容された炭箱１３０（第１２図） に対してよりすぐれたアクセスを有する。ギャップ２８が有意に狭くなるのを防 止することによって、ボンピング速度および低温ポンプ１０の効率は改良される 。

フロスト・コンセントレイター２６は種々の設計の形態を取ることができる。第 １４図〜第１６図に示すフロスト・コンセントレイター２６の別の態様は、形状 を除外する各設計は低温ポンプ１０の開口に向かって延びる複数の表面を有する ことにおいて、互いに共通する。第１４図は、中点において交差してアスタリス ク形構造を形成する複数の半径方向のフィン４４および放射フィン４４を取り囲 みかつそれらに接触する円形壁４２を有する。フィン４４および円形壁４２をプ レート３３上に取り付けられている。第１５図は、直角で互いに交差してグリッ プ形構造体を形成する、プレート３３に取り付けらだ複数のフィン５２を有する フロスト・コンセントレイク−５０の平面図を示す。第１５図に見られる態様は 互いに直角で交差するわずかに４枚のフィン５２を示すが、任意の数のフィン５ ２または角度を使用することができる。第１６図はセントレイター６０の平面図 を示し、これらのフィン６２はそれらの配置が円形であるように、互いに対して 平行でありかつ変化する長さをもつ。フィン６２の数は変化することができ、そ して平面図は長方形または任意の他の形状であることができる。

第１図および第２図の好ましい態様において、フロスト・コンセントレイク−２ ６はガスを低温ポンピングする開口の実質的な部分をスノくンし、そして４〜２ ５にの範囲の温度に冷却する。フロスト・コンセントレイター２６は、中点にお いて交差してアスタリスク形構造を形成する複数の金属の放射フィン３２から構 成されている。このアスタリスク形構造はプレート３３上に取り付けられている 。プレート３３はシリンダー状低温パネル２０へのフロスト・コンセントレイタ ー２６の取り付けを促進する。あるいは、フィン３２はすぐれた熱伝導体である 非金属材料から作られている。一般に、フィン３２の高さは約１インチであるが 、この高さは変化させることができる。

シリンダー状低温パネル２０は炭箱１３０（第１２図）をより高い沸点のガスか らシールドすると同時に吸着のための炭箱１３０への低沸点ガスのアクセスを可 能とする。シリンダー状低温ノ（ネル２０は一般に４〜２５にの範囲の温度に冷 却され、そしてその表面上により低い沸点のガス、例えば、アルゴンを凝縮させ る。シリンダー状低温）くネル２０は金属材料の板から製作される。シリンダー 状低温（ネル２０の壁から打抜かれ複数のそらせ板２２が、たシリンダー状低温 ）（ネル２０から外方に放射している。そらせ板は平らな金属板に切断し、次い でこの金属板好ましい態様において、そらせ板２２を４５°の角度で外方に角度 をもたせるが、種々の角度を使用できる。さらに、好ましい態様において、そら せ板２２は直線であるが、別の態様において、そらせ板２２は曲がりを組み込む ことができる。複数のそらせ板の間口２４はそらせ板２２の形成から生じ、そし てそらせ板の間口２４の数はそらせ板２２の数に相当する。輻射シールド１８の 表面に対して垂直の方向から来るより高い沸点のガスから、そらせ板の間口２４ の実質的な部分がシールドされるように、そらせ板２２に角度をもたせる。これ はより高い沸点のガスがシリンダー状低温パネル２０の内部に入るのを防止する とき有効である。なぜなら、より高い沸点のガスは一般に輻射シールド１８から はね返るからである。

あるいは、非常に低い沸点のガスがシリンダー状低温パネル２ｏの内部に入るよ うに、そらせ板２２に角度をもたせる。非常に低い沸点のガスはそらせ板の開口 ２４に直接入るか、あるいはまずそらせ板２２からはね返ることによって入る。

したがって、シリンダー状低温パネル２０はその中に収容された成端１３０をよ り高い沸点のガスからシールドして、ガスが炊上に凝縮するのを防止する。そら せ板の開口２４は非常に低い沸点のガス、例えば、水素がシリンダー状低温パネ ル２ｏの内部に入ることができるようにし、ここでそれらのガスはシリンダー状 低温パネル２０内に収容された成端１３ｏ（第１２図）により吸着される。

前の配列１４および輻射シールド１８はコールド・フィンガー３０に３１により 冷却される。両者のコールド・フィンガー３０および３１は冷凍ユニット１５０ により冷却される。

第３図および第４図は、第１図および第２図に示す低温ポンプ１ｏに類似する本 発明の態様である低温ポンプ７ｏを示す。低温ポンプ７ｏは低温ポンプ１０（第 １図および第２図）同一方法で作動し、唯一の差は輻射シールド１８の内部を占 有する多角形の低温パネル７２を有する。

多角形の低温パネル７２は４つの面７８および４つの面７９を有し、これらの面 は半径方向に食い違っており、面７８は面７９より大きい半径を有する。各面７ ８は面７９の次に存在し、スリット７６がそれらの間に存在する。スリット７６ は輻射シールド１８から垂直に見たとき小さく、そして輻射シールド１８から垂 直以外の角度で見たときより大きいように、スリット７６はある角度で配向され ている。この方法において、輻射シールド１８から垂直にはね返る、り高い沸点 のガスは多角形の低温パネル７２に入るのを実質的に防止されるが、輻射シール ド１８から垂直以外の角度ではね返る非常に低い沸点のガスの一部分は多角形の 低温パネル７２の内部に入ることができる。別の態様において、任意の数の面７ ８、面７９またはスリット７６が存在することができる。成端１３０（第１２図 ）は多角形の低温パネル７２内に収容されており、そして多角形の低温パネル７ ２の壁中のスリット７６は低沸点ガス、例えば、水素の成端１３０（第１２図） へのアクセスを可能とする。面７８および面７９の半径方向の食い違いは多角形 の低温パネル７２の低沸点ガスの通過を可能とするが、輻射シールド１８に対し て垂直に動き、第１１図は、３次元の構造に折り畳む前の多角形の低温パネル７ ２を示す。好ましい態様において、多角形の低温パネル７２は高い熱伝導性の材 料、例えば、銅の板から作られる。あるいは、多角形の低温パネル７２はすぐれ た導体である板材料から作ることができる。面７８および面７９を折り畳み、そ してタブ８０を基部内の対応するスロットの中に挿入して多角形の低温パネル７ ２の構造を安定化する。ウィング８２を隣接する面７８と出会うまで内方に折り 畳む。ウィング８２の目的は、スリット７６（第４図）が多角形の低温パネル７ ２の上部に到達するのを停止することである。フロスト・コンセントレイター２ ６（第４図）上に凝縮しないガスは、多角形の低温パネル７２の上表面７４（第 ４図）上に凝縮する可能性が最も強い。したがって、多角形の低温パネル７２の 上端におけるスリット７６（第４図）を閉じると、成端１３０（第１２図）への 非凝縮性ガス（低沸点ガス）のアクセスを有意に遅延しないで、多角形の低温パ ネル７２上にガスが凝縮する確率を有意に増加することが保証される。さらに、 多角形の低温パネル７２の上部にスリット７６を到達させないことによって、多 角形の低温パネル７２の上表面７４上に凝縮する過剰のガスが、多角形の低温パ ネル７２内に収容された成端１３０（第１２図）上に凝縮するのが防止される。

フロスト・コンセントレイク−２６（第４図）は、多角形の低温パネル７２の上 部８４（第３図および第１１図）に添付される。

第５図および第６図は、低温ポンピングすべきガスのための開口９２がシリンダ ー状低温パネル９４の軸に対して垂直に位置する場合のためンダー状低温パネル ９４の側面にフロスト・コンセントレイク−９６を添付するために、フラット９ ８がシリンダー状低温パネル９４の側面に配置されている。フロスト・コンセン トレイク−９６は開口９２に面するように位置する。これはガスが開口９２を通 して低温ポンピングされてフロスト・コンセントレイク−９６上に凝縮するのを 可能とし、これにより過剰のガスが開口９２に最も近いシリンダー状低温パネル ９４の表面１０６上に凝縮するのを防止される。過剰のガスが表面１０６上に凝 縮するのを防止することによって、輻射シールド９０とシリンダー状低温パネル ９４との間のギャップ１０４は有意に狭くならない。これにより、ガスは開口９ ２の反対側のシリンダー状低温パネル９４の表面に容易にアクセスすることがで きるか、あるいは成端１３０（第１２図）上に凝縮するためにそらせ板の開口２ ４に入ることができる。

第７図および第８図は、低温ポンピングすべきガスのための開口９２が多角形の 低温パネル７２の軸に対して垂直に位置する場合のための、低温ポンプ１１０を 示す。多角形の低温パネル７２は多角形の低温パネル７２（第３図および第４図 ）に類似するが、ただしフロスト・コンセントレイク−９６は多角形の低温パネ ル７２の側面に面７８で添付されている。

低温ポンプ１１０は第５図および第６図に描写されている低温ポンプ１００のそ れと同様な方法で作動する。フロスト・コンセントレイター９６は開口９２に面 するように位置する。これにより、ガスは開口９２を通して低温ポンピングされ てフロスト・コンセントレイター９６上に凝縮することができ、過剰のガスは開 口９２に最も近い多角形の低温パネル７２の表面１１２上に凝縮するのを防止さ れる。過剰のガスが表面い。これにより、ガスは開口９２の反対側のシリンダー 状低温パネル７２の表面に容易にアクセスすることができるか、あるいは成端１ ３０（第１２図）上に凝縮するためにスリット７６に入ることができる。

第９図および第１０図は、輻射シールド１８の内部を占有する普通の低温パネル １２２を有する低温ポンプ１２０を示す。フロスト・コンセントレイク−２６は 普通の低温パネル１２２の上部に添付されている。

開口１２を通して低温ポンピングされそして輻射シールド１８の内部に入るガス の一部分はフロスト・コンセントレイク−２６上に凝縮する。

これにより、過剰のガスは普通の低温パネル１２２の上表面１２４上に凝縮する のを防止され、これにより凝縮するガスが輻射シールド１８と普通の低温パネル １２２との間のギャップ１２６が有意に狭くするのを防止される。

第１２図は、低温パネル２０．７２および９４（第１図〜第７図に示す）内に収 容される炭粒１３０を示す。炭粒１３０の本体は長方形の断面を有する中空の箱 であるが、ノリンダーであるか、あるいは他の形態であることができる。炭粒１ ３０の基部１３６は、開いた下部をもつ中空のディスクの構造を有する。炭の粒 子１３２は４つの面１３４に接着剤により接着されている。炭粒１３０が４〜２ ５にの範囲の温度に冷却されたとき、炭の粒子１３２は低沸点ガス、例えば、水 素を吸着する。

他の吸着性物質を炭の代わりに使用することができる。

第１３図は、シリンダー状低温パネル２０内に取り囲まれた炭粒１３０を示す。

第１３図に描写されている態様において、シリンダー状低温パネル２０は炭粒１ ３　ｏ、Ｆ基部１３６上に静止する。別の態様において、シリンダー状低温パネ ル２０は炭粒１３０の基部１３６の上に適合する。

フランジ１４０は輻射ノールド１８の下部から突起し、そしてフランジ１４０と 基部１３６との間のギャップ１４２をもって基部１３６を取り囲む。フランジ１ ４０の目的は、米国特許出願第０７／６４７．８４８号、１９９１年１月３０日 提出に開示されているような、冷却されたコールド・フィンガー上に凝縮するガ スの量を制限する狭い通路を提供することである。

本発明をその好ましい態様を参照してとくに示しかつ説明したが、理解されるよ うに、本発明の精神および範囲から逸脱しないで種々の変化および変更が可能で ある。

ＦＩＧ、　２ ＦＩＧ、　３ ＦＩＧ、　４ ＦＩＧ、　５ ＦＩＧ、　６ ＦＩＧ、　７ ＦＩＧ、　８ ＦＩＧ、　９ ＦＩＧ、　ＩＯ ＦＩＧ、１ｌ ＦＩＧ、　１２ ＦＩＧ、　１３ ＦＩＧ、　１４ ＦＩＧ、　１５ ＦＩＧ、　１６ ＦＩＧ、　１７ ＦＩＧ、旧 国際調査報告 フロントページの続き （７２）発明者　ゲラ、アンソニー・エムアメリカ合衆国マサチュセツツ州０２ ０６６シテユエイト・ファーストパリツシュロード（７２）発明者　トプソン、 ディル・エイアメリカ合衆国マサチュセツツ州０２０７２スト−トン・スト−ト ンストリート２５７（７２）発明者　メロスキ、ポール アメリカ合衆国マサチュセツツ州０２１７６メルローズ・モーガンストリート４ ５ （７２）発明者　スチーブンス、トーマス・エフアメリカ合衆国マサチュセツツ 州０１５８１ウェストポロ・バイアードレイン３

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. １．低温ポンピングされるガスが通過する開口を有する真空容器、真空容器の中 に存在し、極低温に冷却されそしてガスを吸着する吸着剤を支持する低温パネル 、および 極低温に冷却され、真空容器中の開口に面しそして前記開口を通過するガスから 吸着剤をシールドする凝縮低温パネルを具備し、前記凝縮低温パネルはそれから 前記開口に向かって延び、ガスを凝縮する表面を有する ことを特徴とする低温ポンプ。
2. ２．凝縮低温パネルが多角形の断面を有する中空構造からなり、前記中空構造は その中にキャビティおよび外壁を有し、前記外壁は食い達っていて、それらの間 に複数の開口を形成する、請求の範囲１の低温ポンプ。
3. ３．凝縮低温パネルがシートからローリングされて外壁内にキャビティを有する 管を形成しており、前記外壁は前記菅から曲げられた複数のルーバーを有して、 その中に形成された開口を残している、請求の範囲１の低温ポンプ。
4. ４．凝縮低温パネルから離れる方向に延びる表面が複数のフィンからなり、前記 フィンはそれらが中点において交差するように配置されている、請求の範囲１、 ２または３の低温ポンプ。
5. ５．凝縮低温パネルから離れる方向に延びる表面が複数のフィンからなり、前記 フィンは開口の実質的な部分をスパンするプレートから開口に向かって延びてい る、請求の範囲１〜４のいずれかの低温ポンプ。
6. ６．凝縮低温パネルを実質的に取り囲む輻射シールドをさらに含み、前記輻射シ ールドと前記凝縮低温パネルとの間に空間が存在し、前記凝縮低温パネルから延 びる表面は前記空間内で過剰のガスが凝縮するのを防止する、請求の範囲１〜５ のいずれかの低温ポンプ。
7. ７．低温ポンピングされるガスが通過する開口に面する、極低温に冷却すべきそ らせ装置、および 前記開口に向かって延びる複数の表面を有する、極低温に冷却すべきフロスト・ コンセントレイターを具備し、前記フロスト・コンセントレイターは前記開口に 密接に近接して存在する前記そらせ装置の外表面に添付されている ことを特徴とする低温パネルの配列。
8. ８．フロスト・コンセントレイターが複数のフィンからなり、前記フィンはそれ らが中点において交差するように配置されている、請求の範囲７の低温パネルの 配列。
9. ９．前記低温パネルの配列は輻射シールドにより実質的に取り囲まれており、前 記輻射シールドと前記低温パネルの配列との間に空間が存在し、フロスト・コン セントレイターは前記空間内で過剰のガスが凝縮するのを防止する、請求の範囲 ７または８の低温パネルの配列。
10. １０．そらせ装置がその中にキャビティおよび外壁を有する中空シリ〆 ンダーからなり、前記外壁が複数の開口をその中の有し、対応する複数のルーバ ーが前記外壁から突起している、請求の範囲７、８または９の低温パネルの配列 。
11. １１．そらせ装置が支持構造体に付着した吸着物質を実質的に取り囲んでいる、 請求の範囲７、８、９または１０の低温パネルの配列。
12. １２．極低温に冷却された第１段階の低温パネルでガスを除去し、前記第１段階 の低温パネルは複数のそらせ装置をもつ表面を有し、極低温に冷却されたフロス ト・コンセントレイターでガスをさらに除去し、前記フロスト・コンセントレイ ターは仕事チャンバーへの開口に向かって延びる表面を有し、 極低温に冷却された第２段階の低温パネルでガスをなおさらに除去し、前記フロ スト・コンセントレイターは前記第２段階の低温パネルに添付されており、 極低温に冷却された吸着剤で追加のガスを除去することを含むことを特徴とする ガスを低温ポンピングする方法。
13. １３．輻射シールドが第２段階の低温パネルを実質的に取り囲み、前記輻射シー ルドと前記第２段階の低塩パネルとの間に空間が存在し、前記凝縮低温パネルか ら延びる表面は過剰のガスが前記空間内で凝縮するのを防止する、請求の範囲１ ２の方法。
14. １４．シート材料から曲げられた部分がルーバー材料により残された開口に隣接 してレバーを形成するように、そらせ装置のシート材料を切断しかつ曲げられて いることを特徴とする、吸着物質を取り囲むシート材料のそらせ装置からなる低 温パネルの配列。
15. １５．そらせ装置がシートからローリングされて外壁内にキャビティを有する管 を形成しており、前記外壁は前記管から曲げられた複数のルーバーを有して、そ の中に形成された開口を残している、請求の範囲１４の低温パネルの配列。