JPH07504536A - 基板をクリーンルームに移す装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 基板をクリーンルームに移す装置 本発明は、基板を含むカセットを収容するための箱と、箱を密閉する箱底とを備 え、この箱底が箱底内で鎖錠機構によって鎖錠および解錠可能であり、鎖錠機構 が箱底に回転可能に支承された揺動円板を備え、この揺動円板が特に送り棒を介 して鎖錠要素を駆動し、この鎖錠要素が箱の鎖錠スリットに係合し、揺動円板が 保合穴を備え、この係合穴に、スルースゲート内に設けられた回転円板の鎖錠ピ ンが係合し、この回転円板が装置の駆動装置によって駆動されて、箱内での箱底 の鎖錠および解錠を開始する揺動運動を行い、更に、箱を正しい姿勢に配向する ための収容フレームと、箱を収容フレームに錠止するための錠止機構を備えてい る、基板をクリーンルームに移すための装置に関する。

専門的な名称“標準機械的インターフェース（ＳＭＩＦ）”と呼ばれるこの種の 装置は、米国特許第４．９９５，４３０号明細書によって知られている。この装 置の重大な欠点は、鎖錠機構と錠止機構が互いに完全に分離されて形成されてい ることである。そのため、次のような複雑な電子監視装置および電子制御装置を 設けなければならない。すなわち、箱が収容フレームに錠止されているときに初 めて、箱内での箱底の鎖錠を解除し、収容フレーム内での箱の錠止が解除される 前に箱底を箱内で鎖錠する複雑な電子監視装置および電子制御装置を設けなけれ ばならない。

この公知の装置の他の欠点は、規格に従って設けられた回転円板を用いて箱内で 箱底を鎖錠および解錠するための駆動装置が、スルースゲートの下方に設けられ ていることにある。そのため、この公知の装置はクリーンルーム設備に統合する ことができない。それどころか、このＳＭＩＦはクリーンルーム設備にドツキン グしなければならない。そして、スルースゲートを降ろすために、別個の昇降装 置が必要である。更に、公知の装置の基板−カセットを、降ろされたスルースゲ ートからクリーンルーム設備の昇降装置まで搬送するための別個の搬送装置が必 要である。クリーンルーム設備では、基板を収容したカセットが更に取扱操作さ れる。公知のＳＭＩＦ装置の場合に必要である別個の昇降装置と、ＳＭＩＦの昇 降装置からクリーンルーム設備の昇降装置へ基板−カセットを移動させる搬送装 置は、公知のＳＭＩＦ装置を高価にし、その構造を複雑にするという欠点がある 。

他の欠点は、鎖錠機構の複雑な構造にある。箱内での箱底の鎖錠工程の終わりに 鎖錠要素を傾動させるために、送り欅を揺動円板に枢着するビンが、揺動円板の カム溝内を案内され、送り棒の枢着点を上昇させることによって鎖錠要素の傾動 運動が達成される。このような構造的解決策は複雑であり、従ってカム溝を含め た揺動円板の製作コストが高くつく。この構造的解決策は更に、箱底の必要な構 造高さが高くなるという欠点がある。更に、このような構造は、鎖錠要素の傾動 時に発生する、ビンやカム溝の大きな材料負荷に基づいて、これらの部品の過大 な摩耗をもたらす。

公知の装置の他の欠点は、クリーンルーム設備できわめて敏感な基板の汚染を防 止するために必要である空気技術的な見地からの考慮が欠けている。

公知の装置の場合には、場合によってクリーンルームに侵入する浮遊物質を基板 から遠ざけるための装置が設けられていない。公知装置のこの欠点はきわめて重 要である。なぜなら、クリーンルーム内に設けられスルースゲートを降ろす昇降 装置自体が、このような浮遊物質をクリーンルームに搬入するからである。すな わち、昇降装置の摩擦個所に摩耗粒子が発生し、この摩耗粒子が公知装置では基 板を収容するクリーンルーム部分に達するという欠点がある。

本発明の課題は、上記欠点が除去されるように、冒頭に述べた種類の装置を改良 することである。

この課題は、錠止機構か回転円板に機械的に連結され、それによって箱内での箱 底の鎖錠を開始する回転円板の揺動運動が、収容フレーム内での箱の錠止を解除 し、箱内での箱底の解錠を開始する回転円板の揺動運動が、収容フレーム内での 箱の錠止を行うことによって解決される。

本発明による手段によって、箱内での箱底の強制鎖錠または収容フレーム内での 箱の強制鎖錠がきわめて有利に達成される。従って、箱が収容フレーム内でまだ 錠止されていないときに箱底を解錠しないようにし、箱底を前もって箱に錠止し ないで収容フレーム内での箱の錠止を解除するために、高価な電子監視装置や電 子制御装置がもはや不要である。従って、本発明によって提案された手段は、基 板の汚染を確実に防止するので有利である。

本発明の有利な実施態様では、カム円板がスルース底の回転円板に固定連結され るように、錠止機構と鎖錠機構の連結が行われる。カム円板は切換カムを備え、 この切換カムの中を各々１本のビンが案内され、このビンがそれぞれ他の送り棒 に連結されている。それによって、回転円板の回転運動は、他の送り棒の直線的 な摺動運動に変換される。この送り棒によって、箱の肩部に当てられる錠止要素 の揺動運動を制御することができる。箱内での箱底の鎖錠または解錠と、収容フ レーム内での箱の錠止とを上記のように機械的に結合させることにより、構造が 簡単になるという利点がある。

他の有利な実施態様では、錠止要素の揺動運動の制御がカム円板の切換カムを介 して行われる。この切換カムは第１の範囲にわたって一定の半径を有し、それに 続く第２の範囲において大きな半径を有する。他の送り棒に連結されたビンがカ ム円板の切換カムのこの第２の範囲を通過すると、切換カムの大きな半径が他の 送り棒を非常に有利に直線的に摺動運動させる。そして、他の送り棒はビンを介 して錠止要素に連結された揺動レバーを付勢する。それによって、錠止要素は揺 動ばねの力に抗してその錠止位置から収容フレーム内のその収容位置へ移動する 。錠止要素のこのような制御は、その構造が簡単であるという利点のほかに、錠 止要素の揺動運動を確実に開始および制御するために、少ない部品しか必要とし ないという利点がある。それによって、この種の錠止機構はきわめて簡単にカリ 低価格で製作可能である。

本発明の他の有利な実施態様では、錠止機構と鎖錠機構を駆動する駆動装置が完 全にスルースゲートの内室の中に設けられている。この手段は、本発明による装 置をクリーンルーム設備にきわめて簡単に統合することができるという利点があ る。なぜなら、この場合、クリーンルームの昇降装置をスルースゲートに直接装 着することができるからである。それによって、本発明による装置の場合には、 箱底とこの箱底に載せられる基板−カセットとを含むスルースゲートの下降が、 クリーンルームの昇降装置によって行われる。

従って、公知の設備の場合のように、装置をクリーンルームにドツキングし、ス ルースゲートを下降させるための別個の昇降装置と、装置の昇降装置からクリー ンルームの昇降装置へカセットを搬送するための別個の搬送装置を設ける必要が ない。それによって、この本発明による手段により、一方では本発明の装置の使 用範囲が公知の装置の使用範囲に比べて拡大するという利点がある。なぜなら、 本発明による装置はクリーンルーム設備に統合可能であるからである。他方では 、別個の昇降装置と別個の搬送装置がもはや不要であるという利点がある。それ によって、この種のクリーンルーム設備の製作コストがかなり安くなる。

スルースゲートの内室の中に全体を配置した駆動装置が、回転点に枢着支承され た湾曲部材と、この湾曲部材内に収容されたモータによって形成されると有利で ある。このモータの軸にはねじスピンドルがフランジ止めされ、このねじスピン ドルは二叉部材のねじに係合し、この二叉部材は第２の枢着点を介してスルース ゲートの回転円板に固定連結されたカム円板を枢着している。本発明による装置 の駆動装置は構造が簡単であり、非常にコンパクトであるという利点がある。そ れによって、スルースゲートの内室の中に駆動装置を有利にかつきわめて簡単に 配置することができる。

本発明の他の有利な実施態様は、錠止機構と鎖錠機構のための前述の共通の駆動 装置の代替的な実施形である。この場合、この駆動装置が減速歯車装置付モータ を備え、このモータの軸にウオームがフランジ止めされている。

このウオームはウオームホイールにかみ合い、ウオームホイールはビニオンに固 定連結されている。ビニオンは平歯車として形成されたカム円板にかみ合ってい る。この手段により、減速歯車装置付モータをスルースゲート内に水平に組み込 むことができる。それによって、本発明のよる駆動装置は非常にコンパクトな構 造となり、それによってこの駆動装置を収容するスルースゲートを省スペース的 に形成することができるという利点がある。

本発明の他の有利な実施態様では、鎖錠機構の鎖錠要素が少な（とも一つの滑り 材を備え、この滑り材が箱底のケーシングの下面上を滑り、ケーシングのストッ パーと協働する。このストッパーは、送り棒によって開始される、箱の鎖錠スリ ットの方への鎖錠要素の直線的な摺動運動を制限し、送り棒が更に移動するとき に、鎖錠要素の傾動をきわめて簡単にかつ材料にやさしく達成するという利点が ある。本発明に従って更に、各々１個のヒンジを介して箱底の揺動円板に回転可 能に固定された送り棒は、箱底の鎖錠を行う揺動円板の揺動運動時、こ、ヒンジ の死点を越えて移動させられる。この手段により、箱内での箱底の鎖錠が、ひと りでに開放しないよう確実に行われるという利点かある。

本発明の他の有利な実施態様は、上記の鎖錠機構の代替的な実施態様では、本発 明に従って、鎖錠機構の錠止要素は少なくとも１個のスライダを備え、このスラ イダは案内要素上で摺動可能に案内されている。スライダには回転可能に支承さ れた閂が枢着され、この閂は、特にトグルレバーとして作用する送り棒によって 開始される、箱の鎖錠スリットの方への錠止要素の直線的な摺動運動を、閂の特 にくちばし状端部の回転運動に変換し、この回転運動によって箱底か箱内て確実 に鎖錠される。この本発明による手段により、箱と箱底の間にきわめて大きな鎖 錠力が生じる。この鎖錠力は箱と箱底の間に設けられたシールに対してきわめて 大きな力を作用させることになる。

本発明の他の有利な実施態様では、クリーンルームのための通気装置が設けられ 、この通気装置によって、クリーンルーム内に収容された基板の周りを流れる清 浄空気流れがクリーンルームに供給される。クリーンルームのための本発明に従 って設けられた通気装置により、この種のクリーンルーム設備か空気技術的な観 点から有利に考慮される。供給された清浄空気流れは基板を有利に洗浄する。清 浄空気流れによって生じる押しのけ流れは、汚染した空気がきわめて敏感な基板 に流入しないようにする。従って、場合によってはクリーンルーム内に存在する 浮遊粒子によって基板が汚れることが防止される。

この場合、清浄空気は好ましくは基板の表面に対して平行に流れ、クリーンルー ム内で乱流を生じないように流れる。

本発明の有利な実施態様では、格子要素がクリーンルーム内に設けられ、クリー ンルームを流過する清浄空気流れを有利に安定化する。この場合、この格子要素 は特に、清浄空気流れの流れ方向に見て、クリーンルーム内に統合配置された昇 降装置の手前に設けられている。この本発明による構造により、格子要素はその 空気案内技術的な作用のほかに、昇降装置を収容するクリーンルーム部分の機械 的な遮蔽作用を行う。従って、昇降装置の昇降運動時に生じる摩耗粒子は、基板 を収容するクリーンルーム部分に直接達しないという利点がある。

本発明の他の実施態様では、清浄空気流れが、基板を収容するクリーンルーム部 分を流過した後で、クリーンルームに統合された昇降装置へ案内される。このよ うに清浄空気が本発明に従って昇降装置を流れることにより、昇降装置の摩耗部 分で発生する摩耗粒子が、基板を収容するクリーンルーム部分から遠ざけられ、 清浄空気流れによって有利に搬出され、それによってクリーンルームから取り除 かれる。本発明によるこの手段により、この種のクリーンルーム設備の空気技術 的な特性が大幅に向上する。

本発明の他の有利な実施態様では、箱内に基板固定装置が設けられ、この基板固 定装置か箱底と協働する鋏状伸縮格子を備え、この鋏状伸縮格子によって、箱底 の持上げ運動が、鋏状伸縮格子に連結された押しっけ帯片の、カセット内に収容 された基板に対する押しっけ運動に変換される。この本発明の手段により、基板 が取り出し工程または搬送工程時に、カセット内で確実に固定される。

有利な他の実施態様は請求の範囲の従属請求項から明らかである。

他の有利な実施態様は請求の範囲の従属請求項に記載されている。

本発明の他の詳細は実施例から明らかである。次に、図に基づいて実施例を説明 する。

図１は第１実施例の断面図、 図２は図１の分解図、 図３は第１実施例の箱の底の断面図、 図４は図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った箱の底の断面図、図５は第１実施例の収容フ レームの断面図、図６は図２の■方向から見た収容フレームの平面図、図７と図 ８は実施例の錠止装置の一部を示す図、図９は第１実施例の底板なしスルースゲ ートの底面図、図１０．１１は第２の実施例の断面図、図１２は図１０のｘｉ− ｘｉ線に沿った第２の実施例の断面図、図１３は第２の実施例の箱底の断面図、 図１４は図１３のＸＩＶ−ＸＩＶ線に沿った箱底の断面図、図１５はカセットな しの図１０のＹ部分を、図１４のｘｖ−ｘｖ線に沿って切断した拡大断面図、 図１６は第２の実施例の底板なしスルースゲートの底面図、図１７は図１６のＸ 部分を、図１６のｘｖｕ−ｘｖｕ線に沿って切断した拡大断面図である。

図１．２に示した、クリーンルーム内に基板を移すための装置の第１の実施例は 、箱ｌ、箱底２、収容フレーム３およびスルースゲート４を備えている。箱ｌと 箱底２によって取り囲まれた空間は公知のごとく、図１．　２に示していない基 板を有するカセットを収容するために役立つ。スルースゲート４の下方にある図 示していないクリーンルーム内にこの基板を搬入する。

箱１は箱底２の側面２′に接するその下側範囲１０に、二つの鎖錠スリット１１ ａ、１１ｂを備えている。この鎖錠スリットにはそれぞれ、箱底２の鎖錠機構の 各々一つの鎖錠要素２１ａ、２１ｂが係合する。これについては図３，４も参照 されたし。この図３．４にはそれぞれ、対称に形成された鎖錠機構の左側半分だ けが示しである。箱底２のケーシング２２によって取り囲まれた中空室２ａ内に 配置された鎖錠機構は、揺動円板２５を備えている。

この揺動円板はケーシングのビン２７の回りに揺動可能である。揺動円板２５の 上面には（図４から判るように）ヒンジ２１２ａ、２１２ｂを介して送り棒２４ ａ、２４ｂの一端がそれぞれ枢着されている。送り棒の他端は他のヒンジ２１０ ａ、２１０ｂを介して、閂として形成された鎖錠要素２１　ａ。

２１ｂに連結されている。各々の鎖錠要素２１ａ及び２１ｂはそれぞれ滑り材２ ９ａ及び２９ｂを２個ずつ備えている。この滑り材は揺動円板２５の側の鎖錠要 素２＋ａ、２１ｂの後端に設けられ、箱底２のケーシング２２の下面２３上を滑 動する。鎖錠要素２１ａ、２１ｂの後側範囲に設けられた凹部には、それぞれ１ 個の圧縮ばね２１１　（図３参照）が装着されている。この圧縮はねは付設され た送り棒２４ａ、２４ｂに支持され、それによって鎖錠要素２１ａ、２１ｂは揺 動円板２５の回転運動によって起動され送り棒２４ａ、２４ｂによって伝達され たその摺動運動時に、ケーシング２２の下面２３上で傾動することがない。更に 、ケーシング２２は各鎖錠要素２１ａ、２１ｂの滑り材２９ａ、２９ｂと協働す る各々２個のストッパー２８ａ、２８ｂを備えている。このストッパーはケーシ ング２２の案内要素２０（図４）によって案内される、鎖錠スリットｌｌａ、ｌ ｌｂの方への鎖錠要素２１　ａ。

２１ｂの直線的な摺動運動を制限する。

送り捧２４ａ、２４ｂによる鎖錠要素２１ａ、２１ｂの上記の駆動方法は、唯一 の構造的方法ではない。揺動円板２５の運動を鎖錠要素２１ａ、２１ｂの鎖錠運 動および解錠運動に変換するために、どのような代替方法を採用することができ るかについて、当業者は上記説明から容易に判る。例えば第２の実施例の後述の 説明および特に図１５．１６を参照されたし。

箱１への箱底２の鎖錠は次のように行われる。揺動円板２５が矢印Ｐの方向に揺 動すると、送り捧２４ａ、２４ｂはそれに付設された鎖錠要素２１ａ。

２１ｂを外方へ動かす。鎖錠要素は先ず最初に直線的な運動を行い、その際箱ｌ の鎖錠スリットｌｌａ、ｌｌｂに係合する。滑り材２９ａまたは２９ｂかストッ パー２８ａまたは２８ｂに当接するや否や、鎖錠要素２１ａ、２１ｂが傾動する 。それによって、箱１に、箱底２の全周に沿って延びるシール２１４が押しつけ られる。この場合、鎖錠要素２１ａ、２１ｂの傾動時に発生する、送り欅２４ａ 、２４ｂのトグルレバー効果により、箱底２のシール２＋４に対してきわめて大 きな力が有利に作用する。従って、シールは箱１に対してしっかりと押しつけら れる。箱ｌとこの箱に鎖錠された箱底２とによって画成された空間をこのように 密閉することにより、この空間内に収容されたカセットを基板と共に、クリーン でない空間を通って安全に搬送することができる。

揺動円板２５の揺動運動時に送り棒２４ａ、２４ｂがヒンジ２１２ａ、２１２ｂ の死点を越えて移動することがきわめて有利に行われる。このスナップ動作によ って、鎖錠機構が自己ロックするので、箱ｌにおける箱底２の鎖錠か確実であり 、独りでに開放しないよう確実に保持される。

ケーシング２２の下面２３が開口２３′を備えているので、箱底２の下方に設け られたスルースゲート４の回転円板４５の鎖錠ビン４１ａ、４１ｂを、揺動円板 ２５の下面に設けられた係合穴２６ａ、２６ｂに挿入することができる。更に、 箱底２のケーシング２２の下面２３には、複数、特に３個の位置合わせ穴２０９ ａ、２０９ｂ　（図２参照）が設けられている。この位置合わせ穴はスルースゲ ート４の位置合わせ突起４０９ａ、４０９ｂ　（図２参照）と協働し、収容フレ ーム３と共に、箱底２と箱ｌを正しい位置に配向する。

錠止要素３１ａまたは３１ｂが収容フレーム３に箱ｌを係止するために役立つ。

この錠止要素は箱１の半径方向外向きの肩部１２ａまたは１２ｂ（図２参照）に 作用する。錠止要素３１ａ、３１ｂは対称に形成された錠止機構の一部である。

この錠止機構の左側半分は図５〜８に詳細に示しである。収容フレーム３には２ 個の凹部３９（図６〜８参照）が設けられている。この凹部は図１．２に示した 錠止位置から収容位置へ錠止要素３１ａ、３１ｂを揺動させて戻すことを可能に する。この収容位置では錠止要素は収容フレーム３の内部に位置決めされ、従っ て箱ｌを収容フレーム３内に容易に挿入することができる。各々の錠止要素３１ ａ、３１ｂは、図７から最もよく判るように、ビン３５ａ、３５ｂに装着されて いる。このビンはその下端は、各々１本の揺動レバー３２ａ、３２ｂを備えてい る。（図１．　２．　５参照）。

この揺動レバーはスルースゲート４の内室４′から突出する各々１本の他の送り 棒４４ａ、４４ｂと協働する。スルースゲート４のガイド４８ａ、４８ｂ内を案 内され他の送り棒４４ａ、４４ｂによって揺動レバー３２ａ、３２ｂを付勢する と、錠止要素３１ａ、３１ｂは、ビン３５ａ、３５ｂと同軸に設けられた各々一 つの揺動ばね３７（図７参照）のばね力に抗して、箱ｌの肩部１２ａ、１２ｂに 接触し箱を収容フレーム３内に錠止するその錠止位置から、収容フレーム３のス リット３１０を通って、収容フレーム３の凹部３９内でのその収容位置へ揺動す る。

この場合、各々一つの揺動ばね３７の第１の端部が半径方向内方へ延びる、錠止 要素３１ａ、３１ｂの突起３８に作用する。この突起は同時に、収容フレーム３ のケーシング３３に対して支持されかつ錠止要素３］ａ、３１ｂの揺動角度を制 限する（図８）ストッパーとしての働きをする。揺動ばねの第２の端部は収容フ レーム３に支持されている。

他の送り棒４４ａ、４４ｂは図１．　２．　９から最もよく判るように、揺動レ バー３２ａ、３２ｂと反対側のその端部に、各々一つの二叉部４９ａ、４９ｂを 備えている。この二叉部は各々１本のビン５０ａ、５０ｂを介して、回転円板４ ５に固定連結されたカム円板４３の切換カム５１ａ、５１ｂに係合している。こ れについては図２または図９を参照されたし。カム円板４３の切換カム５１ａ、 ５１ｂは、第１の範囲５１ａ’、５１ｂ’の範囲に一定の半径を有するように形 成されている。その際、この半径は次のように採寸されている。すなわち、ビン ５０ａ、５０ｂがカム円板４３の切換カム５１ａ、５１ｂの第１の範囲５１ａ’ 、５１ｂ’内を移動するときに、他の送り棒４４ａ、４４ｂが揺動レバー３２ａ 、３２ｂを付勢しないようにあるいは特にスルースゲート４の内室４′内へ後退 しないように採寸されている。

この第１の範囲５１ａ’、５１ｂ’に続く第２の範囲５１ａ’、５１ｂ’では、 切換カム５１ａ、５１ｂの半径が大きくなっているので、カム円板４３を矢印Ｐ 方向に更に揺動させると、ビン５１ａ、５１ｂを介してカム円板４３に連結され た他の切換棒４４ａ、４４ｂは半径方向外方へ手動し、揺動レバー３２ａ、３２ ｂを付勢する。それによって開始される揺動レバー３２ａ、３２ｂのこの揺動運 動は、ビン３５ａ、３５ｂを介して錠止要素３１ａ。

３１ｂに伝達される。それによって、錠止要素は箱ｌの肩部１２ａ、１２ｂから 収容フレーム３の凹部３９ａ、３９ｂ内に後退し、箱ｌを解放する。

カム円板４３のこの揺動運動は図９に示した駆動装置によって行われる。

この駆動装置は好ましくはスルースゲート４の内室４′の中に設けられている。

この手段により、クリーンルームの昇降装置５（図１）をスルースゲート４に直 接当てることができる。それによって、上記のスルース装置はクリーンルームの 統合された構成部分として形成可能である。従って、公知の装置の場合のように 装置をクリーンルームにドツキングさせる必要がなく、かつ箱底２と共にスルー スゲート４を降ろすための別個の昇降装置を設ける必要がない。というのは、ス ルースゲート４の外方に設けられた邪魔になる錠止機構用駆動装置が不要である からである。

錠止機構および鎖錠機構のための共通の駆動装置は、回転点５７で枢着支承され た湾曲部材５６を備えている。この湾曲部材５６内には減速歯車付モータ５８が 収容されている。モータ５８の軸にはねじスピンドル５４がフランジ止めされて いる。このねじスピンドルは二叉部材５３のねじにねじ込まれている。二叉部材 ５３は第２の枢着点５２を介してカム円板４３に枢着されている。

上記の装置の構造について最後に付言すると、この“標準機械的インターフェー ス”の採寸および特別な寸法は、ＳＥＭＩ−Ｎｏｒｍ　（半導体機器および材料 インターナショナル）の文書第１８７２号に記載されている。従って、この文書 を参照されたし。この文書に記載されていない寸法については、専門家にとって 上記説明から明らかであるので、これについての明確なリストアツブは省略する 。

箱ｌ内に密閉収容された、基板を充填したカセットの挿入時の作用は次のように 行われる。

基板をクリーンルームに入れるための装置の閉鎖状態では、スルースゲート４は クリーンルーム装置の昇降装置５によって収容フレーム３のカバーフレーム３６ にしっかりと押しつけられている。従って、スルースゲート４の下方にあるクリ ーンルームは密閉されている。スルースゲート４の他の送り捧４４ａ、４４ｂは 外へ繰り出し、箱１用錠止機構の揺動レバー３２ａ、３２ｂを付勢している。ビ ン３５ａ、３５ｂを介して揺動レバー３２ａ、３２ｂに連結された錠止要素３１ ａ、３１ｂは、収容フレーム３の凹部３９ａ。

３９ｂ内に後退している。従って、箱１は、ｗ１錠機構の鎖錠要素２１ａ、２１ ｂによって箱に鎖錠された箱底２と共に、収容フレーム３に挿入可能である。ス ルースゲート４の回転円板４５の鎖錠ビン４１ａ、４１ｂはその収容位置にある ので、箱ｌを収容フレーム３に挿入する際に、箱底２の揺動円板２５の係合穴２ ６ａ、２６ｂに挿入可能である。

箱を装着した後で、湾曲部材５６内に収容されたモータ５８を作動させる。

このモータはねしスピンドル５４と二叉部材５３に設けられたねじを介して、カ ム円板４３を矢印Ｐの方向に動かす。カム円板４３のこの揺動運動によって、ビ ン５０ａ、５０ｂは切換カム５１ａ、５１ｂの第２のカム範囲５１ａ“、５１ｂ ’に沿って第１のカム範囲５１ａ’、５１ｂ’の方へ移動し、それによって他の 送り捧４４ａ、４４ｂが後退する。揺動ばね３７のばね力が収容フレーム３のス リット３１０を通って錠止要素３１ａ、３１ｂをその収容位置から錠止位置へ押 すので、錠止要素は外方へ突出する箱ｌの肩部１２ａ、１２ｂに作用し、箱ｌを 収容フレーム内に錠止する。

カム円板４３の揺動運動はカム円板４３に固定連結された回転円板４５の鎖錠ビ ン４１ａ、４１ｂを介して、揺動円板２５に伝達される。これにより、送り捧２ ４ａ、２４ｂが後退し、それによって箱底２の鎖錠要素２１ａ、２１ｂが引っ込 んで箱底２のケーシング２２の内部に後退する。従って、箱底２の鎖錠は、錠止 要素３１ａ、３１ｂによって収容フレーム３内で固定保持された箱ｌから解除さ れ、箱底２は解放される。

そして、昇降装置５によって、スルースゲート４が箱底２およびそれに載置され た基板カセットと共に、設備のクリーンルーム内に降ろされる。

上記作用とは逆に、反対方向に（矢印Ｐの方向と反対に）行われるカム円板４３ の揺動運動は、鎖錠ビン４１ａ、４１ｂによって、先ず最初に回転円板２５の揺 動運動に変換される。それによって、送り捧２４ａ、２４ｂは鎖錠要素２１ａ、 ２１ｂを外方へ箱ｌの鎖錠スリット１１ａ、１１ｂに向かって移動させ、鎖錠要 素は最後には鎖錠スリット１１ａ、１１ｂに入り、上述のように、箱底２を密閉 して箱ｌに鎖錠する。カム円板４３を更に揺動させることにより、別の送り捧４ ４ａ、４４ｂがスルースゲート４のケーシングから出て、揺動レバー３２ａ、３ ２ｂを付勢する。それによって、揺動ばね３７の操作力に抗して、錠止要素３１ ａ、３１ｂが収容フレーム３のスリット３１０ａ、３１０ｂを通ってその凹部３ ９ａ、３９ｂ内に後退する。箱ｌはそれに鎖錠された箱底２と共に、収容フレー ム３内にもはや錠止されない。

従って、箱と箱底は収容フレーム３とスルースゲート４によって形成されたスル ース範囲から容易に取り出すことができる。

図１０．１１に示した第２の実施例は、前述の第１の実施例と充分に一致してい るので、同じ部品には同じ参照符号が用いである。従って、第２の実施例を手短 にかつ簡潔に説明するために、第１の実施例で詳細に説明した部品や要素につい ては次に、もはや新たに説明しない。

−見してわかる図１と図１０．１１との違いは、図１に図示しないで第１の実施 例の説明のときに文言だけで説明した、スルースゲート４の下方に設けられてい るクリーンルーム１００がこの図１０．１１に示しであることにある。図１０． Ｉ＋には更に、基板２を育するカセット１０１が示しである。

この場合、図１０には収容位置にあるカセット１０１が示してあり、図１１には クリーンルーム内に降ろしたカセット＋０１が示しである。

基板をクリーンルームに移す装置の第１と第２の実施例の違いは、箱ｌの側方に 固定された鋏状伸縮格子１０５にある。この鋏状伸縮格子は押圧帯片１０６を介 して基板１０２をカセット１０１内に固定する。これは、鋏状伸縮格子１０５の 押圧帯片１０６が装置の閉鎖状態で箱底２によって上方へ押圧されることによっ て行われる。その際、鋏状伸縮格子１０５が開き、押圧帯片１０６を基板１０２ の方へ摺動させ、それによってカセット１０１内で基板を固定する。箱底２を降 ろすと、押圧帯片１０６を備えた鋏状伸縮格子１０５が、その自重によって箱ｌ の壁１′によりかかり、カセット１０１を解放するので、このカセットはクリー ンルーム１００に簡単に入ることができる（図１１）。

鋏状伸縮格子１０５と押圧帯片１０６によって、箱ｌの基板固定装置が形成され る。この基板固定装置は、基板１０２をそのカセット１０１内で位置を固定して 錠止するので育利である。それによって、箱ｌはそれに収容され基板１０２を入 れたカセットと共に取り出して搬送することができる。取り出し過程および搬送 過程の際に発生する振動またはショックのために、基板＋０２がカセット１０１ から落下する恐れはない。それによって、収容フレーム３からの取り出し時また は搬送時に箱の簡単な取扱が保証される。なぜなら、箱ｌの取り出し姿勢または 搬送姿勢が水平でないときにも、基板１０２が損傷することがないからである。

クリーンルーム１００に統合された昇降装置５（図１２も参照されたし）は、電 動機で駆動されるねじスピンドル１６３を備えている。このねじスピンドルによ って、キャリッジ１６２が案内レール１６６に沿って昇降可能である。図１２か ら最もよく判るように、ねじスピンドル１６３の駆動は駆動モータ１６９によっ て行われる。この駆動モータはベルト１６８とプーリ１６７ａ、１６７ｂを介し て、矢印Ｚ方向に行われるキャリッジ１６２の昇降運動を行う。キャリッジ１６ ２に固定された支持アーム１６４は、水平化ビン１６５ａ、１６５ｂを介してス ルースゲート４を支持している。

クリーンルーム１００内に通風装置２００を統合することが重要である。

そのために、クリーンルーム１００の側壁１００’は開口２０１を備えている。

この開口を通って清浄空気をクリーンルーム１００内に供給可能である。

図１０〜１２には、クリーンルーム１００に流入する清浄空気が矢印ＲＬで示し である。供給された清浄空気ＲＬはクリーンルーム１００を通って流れ、クリー ンルーム１００に統合された昇降装置の機構や駆動装置を被包する多孔板２０３ を通過し、そしてクリーンルーム１００のケーシング底２０４の開口２０５を経 て装置の通風機ケーシング２２０内に案内される。この通風機ケーシング底には 通風機ユニット２２２が設けられている。

清浄空気ＲＬをクリーンルーム１００に供給することにより、基板をクリーンル ーム内に入れるためのこの種の装置の空気技術的な観点が有利に考慮される。特 に基板＋０２と平行に流入する清浄空気ＲＬは、カセット１０１内に収容された 基板１０２を有利に洗浄し、場合によってクリーンルーム１００内に存在する浮 遊物質で汚染された空気がカセット１０１内に収容された基板１０２に達するこ とを防止する。すなわち、供給された清浄空気ＲＬは、基板１０２から浮遊物質 を遠ざける押しのけ流れを形成する。その際、クリーンルーム１００の多孔板２ ０３は、クリーンルーム１００の開口２０１を経て清浄空気ＲＬを均一に吸込む 。すなわち、清浄空気流れが安定化する。多孔板は更に、クリーンルーム１００ の底２０４の開口２０５から通風機ケーシング２２０への清浄空気ＲＬの均一な 排出を保証する。

この場合、通風機ユニット２２２が調節可能に形成されていると有利である。そ れにより、清浄空気ＲＬによって形成され基板１０２を洗浄する押しのけ流れの 速度は、その都度の外的条件に、すなわち実質的に流入する空気と流出する空気 の間の圧力降下に適合可能である。これにより、上記装置の通気装置２００を運 転者の個々の設定値に適合させることができる。

クリーンルーム１００内に設けられた多孔板２０３により、クリーンルーム１０ ０内での清浄空気ＲＬの均一な空気流れが達成されるだけでな（、更に昇降装置 ５の摩擦を生じる要素に発生する摩耗粒子が基板を入れたカセット１０１を収容 するクリーンルーム１００の部分１００ａに直接達することがない。摩耗粒子に よるクリーンルーム部分１００ａの汚染の危険は更に、清浄空気ＲＬの前記空気 案内によって取り除かれる。なぜなら、この清浄空気が基板１０２を収容するク リーンルーム１００の部分１００ａのほかに昇降装置５を流れるので、例えば案 内レール１６６に沿ってキャリッジ１６２が移動するときに発生するような摩耗 粒子が、クリーンルーム１００のケーシング底２０４の開口２０５を通って直ち に通風機ケーシング２２０に排出されるからである。すなわち、矢印ＡＬによっ て象徴的に示したクリーンルームｌＯＯの排気は、通風機ユニット２２２から通 風機ケーシング２２０を経て排出される。

勿論、第２の実施例のクリーンルーム１００の通風装置２００を、第１の実施例 による、基板を移す装置の場合にも使用可能である。

第１の実施例の図３．４に対応する図１３．１４と図１５は、箱底２のケーシン グ２２内に設けた、箱ｌに箱底２を固定するための鎖錠機構の第２の実施態様を 示している。揺動円板２５の上面には、図１４から最もよく判るように、各々一 つのヒンジ３１２ａ、３１２ｂを介して、送り棒３２４ａ。

３２４ｂの一端がそれぞれ枢着されている。この送り棒の他端は他のヒンジ３１ ０ａ、３１０ｂを介して鎖錠要素３２１ａ、３２１ｂに連結されている。

各々の鎖錠要素３２１ａまたは３２１ｂは二つのスライダ３３１ａ、３３１ｂを 備えている。このスライダは各々一つの案内要素３３１ａ’、３３１ｂ′内で箱 底２の下面２３に対して平行に案内され、ヨーク３３２ａ、３３２ｂを介して連 結されている。箱外面側のスライダ３３１ａ、３３１ｂの端部には、回転点３３ ４に回転可能に支承された各々一つの閂３３３ａ、３３３ｂが他のヒンジ３３５ を介して連結されている。

揺動円板２５が矢印Ｐ方向に揺動すると、送り捧３２４ａ、３２４ｂはそれに付 設された鎖錠要素３２１ａ、３２１ｂを外方へ移動させ、それによってくちばし 状に形成された閂３３３ａ、３３３ｂはその回転点３３４回りに回転させられる 。この場合、閂３３３ａ、３３３ｂのくちばし状の端部３３３ａ’、３３３ｂ’ は、図１５から最もよく判るように、箱底２のケーシング２２から出て、箱１の 鎖錠スリットＩｌａ、ｌｌｂに挿入される。この鎖錠スリットは箱底２の側面２ ′に接触する箱ｌの下側範囲ｌＯに設けられている。この手段により、箱ｌ内で の箱底２の確実な鎖錠が達成される。

揺動円板２５の揺動時に、送り捧３２４ａ、３２４ｂはヒンジ３１２ａ。

３１２ｂの死点を越えて有利に移動する。トグルレバーとして形成された送り棒 ３２４ａ、３２４ｂはその移動の終わりにその死点を越えてスナップ動作し、従 って独りで開放しないように有利に鎖錠される。閂３３３ａ、３３３ｂの鎖錠運 動時に発生する、送り棒３２４ａ、３２４ｂのこのトグルレバー効果により、非 常に大きな力が箱底２のシール２１４に作用する。それによって、シールは箱１ に対してしっかりと押しつけられる。このトグルレバー効果によって生じた、箱 １と箱底２の間の非常に大きな鎖錠力は、申し分のないソールを生しる。従って 、箱１とその中で鎖錠された箱底２によって密閉された空間内に収容されたカセ ット１０１は、その中にある基板１０２と共に、汚染雰囲気を通って安全に搬送 することができる。

第２の実施例は、箱１とその中に挿入された箱底２を収容フレーム３に錠止する 錠止機構の回転円板４５のための駆動方式についても、第１の実施例と異なって いる。これに関しては図１６．１７を参照されたし。この図１６゜１７には、第 ２の実施例で用いられる、図９に示した第１実施例の錠止機構の代替的な実施態 様が示しである。図９のカム円板４３に対応するカム円板１４３は、組み合わせ られたウオーム−平歯車−装置によって駆動される。

回転円板４５に固定連結されたカム円板１４３は、平歯車として形成されている 。この平歯車にはビニオン１４９がかみ合っている。このビニオン１４９と、そ れに固定連結されたウオームホイール１４７は、箱底２の下面２分に対して垂直 な軸１４８に支承されている。この軸に対して垂直に、ウオーム１４４が減速歯 車付モータ１４１のモータ軸１４１′に設けられている。

この場合、減速歯車付モータ１４１とそのモータ軸は二つの側壁１４２．１４３ に支承されている。

錠止機構と鎖錠機構のためのこの共通の駆動装置の上記構造は、減速歯車付モー タ１４１をスルースゲート４に水平に組み込むことができるので、スルースゲー トのコンパクトな構造がきわめて簡単に得られるという利点がある。

−Ｊ　し− Ｆｉｇ、１ 亀 Ｆｉｇ、２ 補正書の翻訳文提出書（特許法第１８４条の８）−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．基板（１０２）を含むカセット（１０１）を収容するための箱（１）と、箱 （１）を密閉する箱庭（２）とを備え、この箱庭が箱底（１）内で鎖錠機構によ って鎖錠および解錠可能であり、鎖錠機構が箱底（２）に回転可能に支承された 揺動円板（２５）を備え、この揺動円板が特に送り棒（２４ａ，２４ｂ；３２４ ａ，３２４ｂ）を介して鎖錠要素（２１ａ，２１ｂ；３２１ａ，３２１ｂ）を駆 動し、この鎖錠要素が箱（１）の鎖錠スリット（１１ａ，１１ｂ）に係合し、揺 動円板（２５）が係合穴（２６ａ，２６ｂ）を備え、この係合穴に、スルースゲ ート（４）内に設けられた回転円板（４５）の鎖錠ピン（４１ａ，４１ｂ）が係 合し、この回転円板が装置の駆動装置によって駆動されて、箱（１）内での箱底 （２）の鎖錠および解錠を開始する揺動運動を行い、更に、箱（１）を正しい姿 勢に配向するための収容フレーム（３）と、箱（１）を収容フレーム（３）に錠 止するための錠止機構を備えている、基板をクリーンルーム（１００）に移すた めの装置において、錠止機構（３１ａ，３１ｂ；４３；４４ａ，４４ｂ；４９ａ ，４９ｂ；５０ａ，５０ｂ：１４１，１４４，１４７，１４８，１４９）が回転 円板（４５）に機械的に連結され、それによって箱（１）内での箱底（２）の鎖 錠を開始する揺動円板（２５）の揺動運動が、収容フレーム（３）内での箱（１ ）の錠止を解除し、箱（１）内での箱底（２）の解錠を開始する回転円板（４５ ）の揺動運動が、収容フレーム（３）内での箱（１）の錠止を行うことを特徴と する装置。 ２．カム円板（４３；１４３）を回転円板（４５）に固定連結することにより、 錠止機構（３１ａ，３１ｂ；４３；４４ａ，４４ｂ；４９ａ，４９ｂ；５０ａ， ５０ｂ；１４１，１４４，１４７，１４８，１４９）と鎖錠機構（２１ａ，２１ ｂ；２４ａ，２４ｂ；２５；２９ａ，２９ｂ；２０９ａ，２０９ｂ；２１０ａ， ２１０ｂ；２１２ａ，２１２ｂ；３１０ａ，３１０ｂ；３１２ａ，３１２ｂ；３ ２１ａ，３２１ｂ；３２４ａ，３２４ｂ；３３１ａ，３３１ｂ；３３１ａ′，３ ３１ｂ′；３３２ａ，３３２ｂ；３３３ａ，３３３ｂ；３３４，３３５）の連結 が行われ、カム円板（４３；１４３）が切換カム（５１ａ，５１ｂ）を備え、こ の切換カムの中を各々１本のピン（５０ａ，５０ｂ）が案内され、このピンがそ れぞれ他の送り棒（４４ａ，４４ｂ）に連結され、この送り棒が回転円板（４５ ）の回転運動を、箱（１）の肩部（１２ａ，１２ｂ）に当てられる錠止要素（３ １ａ，３１ｂ）の揺動運動に変換することを特徴とする請求の範囲第１項の装置 。 ３．錠止要素（３１ａ，３１ｂ）がピン（３５ａ，３５ｂ）の一端に設けられ、 このピンの他端が揺動レバー（３２ａ，３２ｂ）を備え、この揺動レバーが他の 送り棒（４４ａ，４４ｂ）によって付勢され、各々のピン（３５ａ，３５ｂ９と 同軸に揺動ばね（３７）が設けられ、この揺動レバーの第１の端部がピン（３５ ａ，３５ｂ）に連結され、第２の端部が収容フレーム（３）に支持され、それに よって他の送り棒（４４ａ，４４ｂ）を引っ込めたときに錠止要素（３１ａ，３ １ｂ）が揺動ばね（３７）のばね力によって収容フレーム（３）の凹部（３９） からその錠止位置へ揺動させられることを特徴とする請求の範囲第２項の装置。 ４．カム円板（４３；１４３）の切換カム（５１ａ，５１ｂ）が第１の範囲（５ １ａ′，５１ｂ′）にわたって一定の半径を有し、切換カム（５１ａ，５１ｂ） がそれに続く第２の範囲（５１ａ′′，５１ｂ′′）を備え、この第２の範囲に おいて切換カム（５１ａ，５１ｂ）の半径が大きくなり、それによってこの第２ の範囲をピン（５０ａ，５０ｂ）が通過することにより、他の送り棒（４４ａ， ４４ｂ）が摺動運動し、従って錠止要素（３１ａ，３１ｂ）が揺動することを特 徴とする請求の範囲第２項の装置。 ５．錠止機構（３１ａ，３１ｂ；４３；４４ａ，４４ｂ；４９ａ，４９ｂ；５０ ａ，５０ｂ；１４１，１４４，１４７，１４８，１４９）と鎖錠機構（２１ａ， ２１ｂ；２４ａ，２４ｂ；２５；２９ａ，２９ｂ；２０９ａ，２０９ｂ；２１０ ａ，２１０ｂ；２１２ａ，２１２ｂ；３１０ａ，３１０ｂ；３１２ａ，３１２ｂ ；３２１ａ，３２１ｂ；３２４ａ，３２４ｂ；３３１ａ，３３１ｂ；３３１ａ′ ，３３１ｂ′；３３２ａ，３３２ｂ；３３３ａ，３３３ｂ；３３４，３３５）を 駆動する駆動装置（５２，５３，５４，５６，５７，５８；１４１，１４４，１ ４７，１４８，１４９）が完全にスルースゲート（４）の内室（４′）の中に設 けられていることを特徴とする請求の範囲第１〜４項のいずれか一つの装置。 ６．駆動装置が回転点（５７）に枢着支承された湾曲部材（５６）を備え、この 湾曲部材内に、減速歯車装置を備えたモータ（５８）が収容され、モータ軸にね じスピンドル（５４）がフランジ止めされ、このねじスピンドルが二叉部材（５ ３）のねじに係合し、この二叉部材が第２の枢着点（５２）を介して回転円板（ ４５）に固定連結されたカム円板（４３）を枢着していることを特徴とする請求 の範囲第５項の装置。 ７．駆動装置が減速歯車装置付モータ（１４１）を備え、このモータの軸（１４ １′）にウォーム（１４４）がフランジ止めされ、このウォームがウォームホイ ール（１４７）にかみ合い、ウォームホイールがピニオン（１４９）に固定連結 され、ピニオン（１４９）が平歯車として形成されたカム円板（１４３）にかみ 合っていることを特徴とする請求の範囲第５項の装置。 ８．鎖錠要素（２１ａ；２１ｂ）が少なくとも一つの滑り材（２９ａ；２９ｂ） を備え、この滑り材が箱底（２）のケーシング（２２）の下面（２３）上を滑り 、滑り材（２９ａ，２９ｂ）と協働するストッパー（２８ａ，２８ｂ）が設けら れ、このストッパーが特にトグルレバーとして作用する送り棒（２４ａ，２４ｂ ）によって開始される、箱（１）の鎖錠スリット（１１ａ，１１ｂ）の方への鎖 錠要素（２１ａ，２１ｂ）の直線的な摺動運動を制限し、送り棒（２４ａ，２４ ｂ）がこの摺動方向に更に移動するときに、鎖錠要素（２１ａ，２１ｂ）の傾動 を生じることを特徴とする請求の範囲第１項の装置。 ９．錠止要素（３２１ａ，３２１ｂ）が少なくとも１個のスライダ（３３１ａ， ３３１ｂ）を備え、このスライダが案内要素（３３１ａ，３３１ｂ′）上で摺動 可能に案内され、少なくとも一方のスライダ（３３１ａ，３３１ｂ）が回転可能 に支承された閂（３３３ａ，３３３ｂ）に枢着され、この閂が、特にトグルレバ ーとして作用する送り棒（３２４ａ，３２４ｂ）によって開始される、箱（１） の鎖錠スリット（１１ａ，１１ｂ）の方への錠止要素（３２１ａ，３２１ｂ）の 直線的な摺動運動を、回転点（３０４）の回りに行われる、閂（３３３ａ，３３ ３ｂ）の特にくちばし状端部（３３３ａ′，３３３ｂ′）の回転運動に変換し、 この回転運動によって箱底（２）が箱（１）内で鎖錠されることを特徴とする請 求の範囲第１項の装置。 １０．各々１個のヒンジ（２１２ａ，２１２ｂ；３１２ａ，３１２ｂ）を介して 揺動円板（２５）に枢着された送り棒（２４ａ，２４ｂ；３２４ａ，３２４ｂ） が、箱（１）内での箱庭（２）の鎖錠を行うその運動時に、ヒンジ（２１２ａ， ２１２ｂ；３１２ａ，３１２ｂ）の死点を越えて移動させられることを特徴とす る請求の範囲第８項または第９項の装置。 １１．クリーンルーム（１００）のための通気装置（２００）が設けられ、この 通気装置によって、クリーンルーム（１００）内に収容された基板（１０２）の 周りを流れる清浄空気流れ（ＲＬ）がクリーンルームに供給可能であり、この清 浄空気（ＲＬ）がクリーンルーム（１００）に収容された少なくとも一つの基板 （１０２）を流過した後でクリーンルーム（１００）から排出可能であることを 特徴とする請求の範囲第１項の装置。 １２．クリーンルーム（１００）に統合された通気装置（２００）が、クリーン ルーム（１００）を流過する清浄空気流れ（ＲＬ）を排出するための通気ユニッ ト（２１２）を備えていることを特徴とする請求の範囲第１１項の装置。 １３．クリーンルーム（１００）を流過する清浄空気流れ（ＲＬ）を安定化する ための格子要素（２０３）がクリーンルーム（１００）内に設けられていること を特徴とする請求の範囲第１１項の装置。 １４．清浄空気流れ（ＲＬ）の方向が、周りを清浄空気が流れる基板（１０２） の表面に対して平行であることを特徴とする請求の範囲第１１項の装置。 １５．清浄空気流れ（ＲＬ）が、基板（１０２）を収容するクリーンルーム（１ ００）の部分（１００ａ）を流過した後で、クリーンルーム（１００）に統合さ れた昇降装置（５）へ案内されることを特徴とする請求の範囲第１１項の装置。 １６．クリーンルーム（１００）の格子要素（２０３）が、清浄空気流れ（ＲＬ ）の流れ方向において昇降装置（５）の手前に配置されていることを特徴とする 請求の範囲第１３項および第１５項の装置。 １７．スルースゲート（４）を降ろす昇降装置が、駆動されるねじスピンドル（ １６３）によって昇降方向（Ｚ）に移動可能なキャリッジ（１６２）を備え、こ のキャリッジの支持アーム（１６４）がスルースゲート（４）に作用しているこ とを特徴とする請求の範囲第１５項の装置。 １８．基板固定装置（１０５，１０６）が箱（１）の中に設けられていることを 特徴とする請求の範囲第１項の装置。 １９．基板固定装置が箱底（２）と協働する鋏状伸縮格子（１０５）を備え、こ の鋏状伸縮格子によって、箱底（２）の持上げ運動が、鋏状伸縮格子（１０５） に連結された押しつけ帯片（１０６）の、カセット（１０１）内に収容された基 板（１０２）に対する押しつけ運動に変換されることを特徴とする請求の範囲第 １８項の装置。 ２０．基板を含むカセット（１０１）を収容するための箱（１）を備えた、クリ ーンルーム（１００）に基板を移すための装置において、クリーンルーム（１０ ０）用の通気装置（２００）が設けられ、この通気装置によって、クリーンルー ム（１００）内に収容された基板（１０２）の周りを流れる清浄空気流れ（ＲＬ ）がクリーンルームに供給可能であり、この清浄空気（ＲＬ）がクリーンルーム （１００）に収容された少なくとも一つの基板（１０２）を流過した後でクリー ンルーム（１００）から排出可能であることを特徴とする装置。 ２１．クリーンルーム（１００）に統合された通気装置（２００）が、クリーン ルーム（１００）を流過する清浄空気流れ（ＲＬ）を排出するための通気ユニッ ト（２１２）を備えていることを特徴とする請求の範囲第２０項の装置。 ２２．クリーンルーム（１００）を流過する清浄空気流れ（ＲＬ）を安定化する ための格子要素（２０３）がクリーンルーム（１００）内に設けられていること を特徴とする請求の範囲第２１項の装置。 ２３．清浄空気流れ（ＲＬ）の方向が、周りを清浄空気が流れる基板（１０２） の表面に対して平行であることを特徴とする請求の範囲第２２項の装置。 ２４．清浄空気流れ（ＲＬ）が、基板（１０２）を収容するクリーンルーム（１ ００）の部分（１００ａ）を流過した後で、クリーンルーム（１００）に統合さ れた昇降装置（５）へ案内されることを特徴とする請求の範囲第２０項の装置。 ２５．クリーンルーム（１００）の格子要素（２０３）が、清浄空気流れ（ＲＬ ）の流れ方向において昇降装置（５）の手前に配置されていることを特徴とする 請求の範囲第２４項の装置。