JPH07503B2 - 表面に高精度の凹溝を有するセラミック部材の製造方法 - Google Patents
表面に高精度の凹溝を有するセラミック部材の製造方法Info
- Publication number
- JPH07503B2 JPH07503B2 JP3242516A JP24251691A JPH07503B2 JP H07503 B2 JPH07503 B2 JP H07503B2 JP 3242516 A JP3242516 A JP 3242516A JP 24251691 A JP24251691 A JP 24251691A JP H07503 B2 JPH07503 B2 JP H07503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- cutting sheet
- ceramic member
- concave groove
- dynamic pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/53—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone involving the removal of at least part of the materials of the treated article, e.g. etching, drying of hardened concrete
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、動圧流体軸受のジャー
ナルや非接触動圧型メカニカルシールの動圧発生用密封
環等のように表面に高精度の凹溝を有するセラミック部
材の製造方法に関するものである。
ナルや非接触動圧型メカニカルシールの動圧発生用密封
環等のように表面に高精度の凹溝を有するセラミック部
材の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、動圧流体軸受にあっては、表面
に動圧発生溝を形成したセラミックス製のジャーナルが
使用されることがあるが、このように表面に凹溝を有す
るセラミック部材の製造方法として、ショットブラスト
法がよく知られている。
に動圧発生溝を形成したセラミックス製のジャーナルが
使用されることがあるが、このように表面に凹溝を有す
るセラミック部材の製造方法として、ショットブラスト
法がよく知られている。
【０００３】すなわち、所定形状に成形，焼結されたセ
ラミックス製の被加工材の表面に、所望する凹溝形成部
分を除いてマスキングをした上、ショットブラスト処理
を施すことによって、マスキングされていない部分に凹
溝を形成するのである。
ラミックス製の被加工材の表面に、所望する凹溝形成部
分を除いてマスキングをした上、ショットブラスト処理
を施すことによって、マスキングされていない部分に凹
溝を形成するのである。
【０００４】而して、従来のショットブラスト法にあっ
ては、一般に、マスキング手段として露光硬化形又は印
刷形の樹脂マスクやゴム被覆の金属マスクが使用されて
いる。
ては、一般に、マスキング手段として露光硬化形又は印
刷形の樹脂マスクやゴム被覆の金属マスクが使用されて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、樹脂マスク
は、マスク厚さが極めて薄く（最大で２０〜３０μ
ｍ）、またマスク樹脂中に気泡等によるピンホールが生
じ易いものであることから、長時間のショットブラスト
に耐え得ない。したがって、樹脂マスクを使用する場合
には、ショットブラスト時間が短く（１〜３分程度）、
比較的浅い凹溝を形成できるに止まる。しかも、超硬質
材であるセラミックスの表面に短時間で凹溝を形成する
以上、ブラストノズルを被加工材の表面に近接させてお
く必要があり、均一且つ高精度の凹溝を形成し難い。さ
らに、このような樹脂マスクによるマスキングでは、マ
スクへの凹溝パターンの形成作業やブラスト処理後のマ
スク除去作業が極めて煩雑であり、セラミック部材の製
造を効率良く行い得ない。
は、マスク厚さが極めて薄く（最大で２０〜３０μ
ｍ）、またマスク樹脂中に気泡等によるピンホールが生
じ易いものであることから、長時間のショットブラスト
に耐え得ない。したがって、樹脂マスクを使用する場合
には、ショットブラスト時間が短く（１〜３分程度）、
比較的浅い凹溝を形成できるに止まる。しかも、超硬質
材であるセラミックスの表面に短時間で凹溝を形成する
以上、ブラストノズルを被加工材の表面に近接させてお
く必要があり、均一且つ高精度の凹溝を形成し難い。さ
らに、このような樹脂マスクによるマスキングでは、マ
スクへの凹溝パターンの形成作業やブラスト処理後のマ
スク除去作業が極めて煩雑であり、セラミック部材の製
造を効率良く行い得ない。
【０００６】一方、金属マスクを使用したショットブラ
スト処理にあっては、このような問題はないが、マスク
厚さを薄くできないこと、及びマスクを被加工材に嵌合
保持させるにすぎないため被加工材表面へのマスク密着
度が低いことから、正確な凹溝を形成し得ず且つ凹溝の
縁部をシャープに形成できない。したがって、金属マス
クは、上記動圧発生溝のような高精度の凹溝を形成する
場合には到底使用できない。
スト処理にあっては、このような問題はないが、マスク
厚さを薄くできないこと、及びマスクを被加工材に嵌合
保持させるにすぎないため被加工材表面へのマスク密着
度が低いことから、正確な凹溝を形成し得ず且つ凹溝の
縁部をシャープに形成できない。したがって、金属マス
クは、上記動圧発生溝のような高精度の凹溝を形成する
場合には到底使用できない。
【０００７】本発明は、かかる点に鑑みてなされたもの
で、深い凹溝であっても均一且つ高精度に形成すること
ができ、動圧流体軸受用ジャーナル等の精密加工溝を必
要とするセラミック部材を効率良く製造しうる方法を提
供することを目的とするものである。
で、深い凹溝であっても均一且つ高精度に形成すること
ができ、動圧流体軸受用ジャーナル等の精密加工溝を必
要とするセラミック部材を効率良く製造しうる方法を提
供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明の方法は、特に、セラミックスからなる被加工材の表
面に、切り抜き部を形成せるカッティングシートを貼着
した状態でショットブラスト処理を施して、切り抜き部
に対応する凹溝を形成し、その後、カッティングシート
を剥離するようにしたものである。カッティングシート
は、公知のものであり、例えば、片面に粘着剤層を形成
した塩化ビニル製フィルムである。カッティングシート
の厚みは、５０〜１２０μｍの範囲で、カッティングシ
ートの材質やショットブラストの処理時間等に応じて適
宜に設定される。ここに、カッティングシートの厚みを
５０〜１２０μｍとするのは、本発明者が実験，研究の
結果知得したところによる。すなわち、カッティングシ
ートの材質等に拘わらず、シート厚さが５０μｍ未満で
は、前記した樹脂マスクと同様に、長時間のショットブ
ラストに耐え得ず、動圧流体軸受のジャーナルや非接触
動圧型メカニカルシールの動圧発生用密封環等に動圧を
発生させるに必要且つ充分な深さの動圧発生溝を形成し
難い。逆に、シート厚さが１２０μｍを超えると、凹溝
の縁部をシャープに形成できず、高精度が要求される上
記動圧発生溝のような凹溝を形成することができない。
明の方法は、特に、セラミックスからなる被加工材の表
面に、切り抜き部を形成せるカッティングシートを貼着
した状態でショットブラスト処理を施して、切り抜き部
に対応する凹溝を形成し、その後、カッティングシート
を剥離するようにしたものである。カッティングシート
は、公知のものであり、例えば、片面に粘着剤層を形成
した塩化ビニル製フィルムである。カッティングシート
の厚みは、５０〜１２０μｍの範囲で、カッティングシ
ートの材質やショットブラストの処理時間等に応じて適
宜に設定される。ここに、カッティングシートの厚みを
５０〜１２０μｍとするのは、本発明者が実験，研究の
結果知得したところによる。すなわち、カッティングシ
ートの材質等に拘わらず、シート厚さが５０μｍ未満で
は、前記した樹脂マスクと同様に、長時間のショットブ
ラストに耐え得ず、動圧流体軸受のジャーナルや非接触
動圧型メカニカルシールの動圧発生用密封環等に動圧を
発生させるに必要且つ充分な深さの動圧発生溝を形成し
難い。逆に、シート厚さが１２０μｍを超えると、凹溝
の縁部をシャープに形成できず、高精度が要求される上
記動圧発生溝のような凹溝を形成することができない。
【０００９】
【作用】カッティングシートは、冒頭の樹脂マスクのよ
うに極薄のものでなく、また金属マスクのような厚みあ
るものではないから、長時間のショットブラストに充分
に耐え得ると共に、凹溝の加工精度を損なうようなこと
がない。また、カッティングシートは被加工材の表面に
密着させておくことができるから、凹溝の縁部をシャー
プに加工させ得る。
うに極薄のものでなく、また金属マスクのような厚みあ
るものではないから、長時間のショットブラストに充分
に耐え得ると共に、凹溝の加工精度を損なうようなこと
がない。また、カッティングシートは被加工材の表面に
密着させておくことができるから、凹溝の縁部をシャー
プに加工させ得る。
【００１０】したがって、ブラストノズルから被加工材
の表面までの距離を充分にとって、時間をかけて徐々に
ショットブラスト処理を施していくことができ、このよ
うにすることによって、深い凹溝でも均一且つ高精度に
加工することができる。
の表面までの距離を充分にとって、時間をかけて徐々に
ショットブラスト処理を施していくことができ、このよ
うにすることによって、深い凹溝でも均一且つ高精度に
加工することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の方法を図１〜図４に示す実施
例に基づいて具体的に説明する。この実施例は、本発明
を図４に示す動圧流体軸受のジャーナル１を製造する場
合に適用したものである。この動圧流体軸受は、セラミ
ックス製のジャーナル１の外周面に形成した動圧発生溝
１ａにより、ジャーナル１とラジアル軸受筒２との対向
面間に動圧を発生させ、両者１，２を高速且つ円滑に相
対回転させるうるように構成されている。
例に基づいて具体的に説明する。この実施例は、本発明
を図４に示す動圧流体軸受のジャーナル１を製造する場
合に適用したものである。この動圧流体軸受は、セラミ
ックス製のジャーナル１の外周面に形成した動圧発生溝
１ａにより、ジャーナル１とラジアル軸受筒２との対向
面間に動圧を発生させ、両者１，２を高速且つ円滑に相
対回転させるうるように構成されている。
【００１２】まず、ＳｉＣ，ＷＣ，ＴｉＣ，Ｂ4 Ｃ等の
炭化物セラミックスや超硬合金等の粉末材料（適宜の成
形助剤を含む）を加圧成形した上、これを焼成して、ジ
ャーナル１の形状に対応する中実軸形状の被加工材１´
を得る。
炭化物セラミックスや超硬合金等の粉末材料（適宜の成
形助剤を含む）を加圧成形した上、これを焼成して、ジ
ャーナル１の形状に対応する中実軸形状の被加工材１´
を得る。
【００１３】また、予め、被加工材１´の表面をマスキ
ングするカッティングシート３を用意しておく。カッテ
ィングシート３としては、例えば図２及び図３に示す如
く、下面に粘着剤層を形成した塩化ビニル製フィルム
（厚さ５０〜１２０μｍ）で、下面粘着剤層を離型紙４
により保護した公知のものが使用される。而して、この
カッティングシート３には、これをＮＣ切断機等により
部分的に切り抜くことによって、動圧発生溝１ａに一致
する形状の切り抜きマスクパターンたる切り抜き部３ａ
が形成されている。ところで、カッティングシート３は
薄いものであるから、離型紙４を剥離して、そのまま被
加工材１´に貼りつけると、シート３が歪んで精密なマ
スクパターンを形成し難い。そこで、この実施例では、
図２及び図３に鎖線図示する如く、低度の粘着剤を塗布
した樹脂フィルムからなるアプリケータ５をカッティン
グシート３の上面に貼着させた三層構造物３，４，５と
なし、カッティングシート３をアプリケータ５で補強し
た状態で被加工材１´に貼着させるようにしている。
ングするカッティングシート３を用意しておく。カッテ
ィングシート３としては、例えば図２及び図３に示す如
く、下面に粘着剤層を形成した塩化ビニル製フィルム
（厚さ５０〜１２０μｍ）で、下面粘着剤層を離型紙４
により保護した公知のものが使用される。而して、この
カッティングシート３には、これをＮＣ切断機等により
部分的に切り抜くことによって、動圧発生溝１ａに一致
する形状の切り抜きマスクパターンたる切り抜き部３ａ
が形成されている。ところで、カッティングシート３は
薄いものであるから、離型紙４を剥離して、そのまま被
加工材１´に貼りつけると、シート３が歪んで精密なマ
スクパターンを形成し難い。そこで、この実施例では、
図２及び図３に鎖線図示する如く、低度の粘着剤を塗布
した樹脂フィルムからなるアプリケータ５をカッティン
グシート３の上面に貼着させた三層構造物３，４，５と
なし、カッティングシート３をアプリケータ５で補強し
た状態で被加工材１´に貼着させるようにしている。
【００１４】そして、このような三層構造物３，４，５
から離型紙４を剥離して、カッティングシート３の下面
を被加工材１´の表面に貼着させていき（図１
（Ａ））、カッティングシート３を被加工材１´の全周
に亘って貼着させた上、アプリケータ５を除去する（同
図（Ｂ））。このようなマスキング作業及び上記のマス
クパターンの形成作業は、冒頭で述べた樹脂マスクにお
ける作業に比して、極めて容易に行うことができる。
から離型紙４を剥離して、カッティングシート３の下面
を被加工材１´の表面に貼着させていき（図１
（Ａ））、カッティングシート３を被加工材１´の全周
に亘って貼着させた上、アプリケータ５を除去する（同
図（Ｂ））。このようなマスキング作業及び上記のマス
クパターンの形成作業は、冒頭で述べた樹脂マスクにお
ける作業に比して、極めて容易に行うことができる。
【００１５】次に、カッティングシート３でマスキング
された被加工材１´の表面にショットブラスト処理を施
し、切り抜き部３ａに対応する凹溝たる動圧発生溝１ａ
を形成する（図１（Ｃ））。
された被加工材１´の表面にショットブラスト処理を施
し、切り抜き部３ａに対応する凹溝たる動圧発生溝１ａ
を形成する（図１（Ｃ））。
【００１６】かかるショットブラスト処理は、ブラスト
ノズル（図示せず）から被加工材１´の表面に向けて炭
化珪素，アルミナ，酸化珪素等の硬質粒子を噴射させる
ことにより行われるが、均一且つ高精度の凹溝１ａを形
成するために、ブラストノズルから被加工材１´の表面
までのブラスト距離を充分長くとり、且つ時間をかけて
徐々に凹溝１ａを形成するようにする。ブラスト粒子の
材質，径及びブラスト距離，ブラスト時間は、被加工材
１´の材質，凹溝１ａの形状等の諸条件に応じて適宜に
設定される。例えば、被加工材１´が炭化珪素からな
り、凹溝１ａの深さが８〜１２μｍである場合において
は、ブラスト距離を１０〜２０ｃｍ程度とし、ブラスト
時間を５〜１２分程度としておくことが好ましい。
ノズル（図示せず）から被加工材１´の表面に向けて炭
化珪素，アルミナ，酸化珪素等の硬質粒子を噴射させる
ことにより行われるが、均一且つ高精度の凹溝１ａを形
成するために、ブラストノズルから被加工材１´の表面
までのブラスト距離を充分長くとり、且つ時間をかけて
徐々に凹溝１ａを形成するようにする。ブラスト粒子の
材質，径及びブラスト距離，ブラスト時間は、被加工材
１´の材質，凹溝１ａの形状等の諸条件に応じて適宜に
設定される。例えば、被加工材１´が炭化珪素からな
り、凹溝１ａの深さが８〜１２μｍである場合において
は、ブラスト距離を１０〜２０ｃｍ程度とし、ブラスト
時間を５〜１２分程度としておくことが好ましい。
【００１７】このように、充分なブラスト距離，ブラス
ト時間をもって被加工材１´の表面を徐々にショットブ
ラスト処理することから、動圧発生溝として良好に機能
しうる均一且つ高精度の凹溝１ａを形成することができ
る。ところで、カッティングシート３は、正確な凹溝１
ａを形成させるに充分な薄さではあるが、冒頭の樹脂マ
スクのように極薄のものではないから、ピンホールが生
じるようなものでもないことと相俟って、長時間のショ
ットブラストに充分耐え得るものである。また、カッテ
ィングシート３は、被加工材１´の表面に充分密着して
いるから、凹溝１ａの縁部をシャープに加工させること
ができる。
ト時間をもって被加工材１´の表面を徐々にショットブ
ラスト処理することから、動圧発生溝として良好に機能
しうる均一且つ高精度の凹溝１ａを形成することができ
る。ところで、カッティングシート３は、正確な凹溝１
ａを形成させるに充分な薄さではあるが、冒頭の樹脂マ
スクのように極薄のものではないから、ピンホールが生
じるようなものでもないことと相俟って、長時間のショ
ットブラストに充分耐え得るものである。また、カッテ
ィングシート３は、被加工材１´の表面に充分密着して
いるから、凹溝１ａの縁部をシャープに加工させること
ができる。
【００１８】そして、ショットブラスト処理後、カッテ
ィングシート３を被加工材１´の表面から剥離する。か
かる剥離作業は、冒頭の樹脂マスクに比して極めて容易
に行うことができる。
ィングシート３を被加工材１´の表面から剥離する。か
かる剥離作業は、冒頭の樹脂マスクに比して極めて容易
に行うことができる。
【００１９】かくして、図１（Ｄ）及び図４に示す如き
外周面に動圧発生溝１ａが形成されたセラミック部材た
るジャーナル１が得られるのである。
外周面に動圧発生溝１ａが形成されたセラミック部材た
るジャーナル１が得られるのである。
【００２０】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲におい
て適宜に改良・変更することができる。例えば、本発明
は、ジャーナルの下端面に対向するスラスト軸受板に螺
旋状の動圧発生溝を形成して、ジャーナルのスラスト荷
重を受けるように構成された動圧流体軸受における上記
スラスト軸受板や、非接触型メカニカルシールにおける
動圧発生溝付シールリング等のセラミック部材を製造す
る場合においても、上記実施例同様に好適に適用するこ
とができる。特に、従来のショットブラスト法によって
は加工できないような深い凹溝をも形成できることか
ら、その適用範囲は極めて広範である。
のではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲におい
て適宜に改良・変更することができる。例えば、本発明
は、ジャーナルの下端面に対向するスラスト軸受板に螺
旋状の動圧発生溝を形成して、ジャーナルのスラスト荷
重を受けるように構成された動圧流体軸受における上記
スラスト軸受板や、非接触型メカニカルシールにおける
動圧発生溝付シールリング等のセラミック部材を製造す
る場合においても、上記実施例同様に好適に適用するこ
とができる。特に、従来のショットブラスト法によって
は加工できないような深い凹溝をも形成できることか
ら、その適用範囲は極めて広範である。
【００２１】また、マスキング手段としては、上記実施
例の如き塩化ビニル製のカッティングシート３を使用す
る他、ポリエステルフィルム製のカッティングシート
等、あらゆる公知のカッティングシートを使用すること
ができ、ショットブラスト処理条件等に応じて適宜に選
択することができる。
例の如き塩化ビニル製のカッティングシート３を使用す
る他、ポリエステルフィルム製のカッティングシート
等、あらゆる公知のカッティングシートを使用すること
ができ、ショットブラスト処理条件等に応じて適宜に選
択することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明によれば、厚さ５０〜１２０μｍのカッティングシー
トを貼着することによりマスキングさせるようにしたか
ら、ショットブラスト処理を被加工面までのブラスト距
離を充分にとり、時間をかけて徐々に行うことができ
る。したがって、従来の方法では到底得ることのできな
い、深い凹溝や複雑な形状の凹溝を均一且つ高精度に形
成したセラミック部材を製造することができる。しか
も、マスキング作業（カッティングシートの貼着，除
去）を極めて簡単に行うことができるから、動圧流体軸
受のジャーナルや非接触動圧型メカニカルシールの動圧
発生用密封環等のような表面に高精度の凹溝を有するセ
ラミック部材の製造効率を大幅に向上させることがで
き、延いてはかかるセラミック部材を安価に提供するこ
とができる。
明によれば、厚さ５０〜１２０μｍのカッティングシー
トを貼着することによりマスキングさせるようにしたか
ら、ショットブラスト処理を被加工面までのブラスト距
離を充分にとり、時間をかけて徐々に行うことができ
る。したがって、従来の方法では到底得ることのできな
い、深い凹溝や複雑な形状の凹溝を均一且つ高精度に形
成したセラミック部材を製造することができる。しか
も、マスキング作業（カッティングシートの貼着，除
去）を極めて簡単に行うことができるから、動圧流体軸
受のジャーナルや非接触動圧型メカニカルシールの動圧
発生用密封環等のような表面に高精度の凹溝を有するセ
ラミック部材の製造効率を大幅に向上させることがで
き、延いてはかかるセラミック部材を安価に提供するこ
とができる。
【図１】本発明に係る製造方法の一実施例を示したもの
で、（Ａ）図は被加工材へのカッティングシート貼着工
程の開始状態を、（Ｂ）図はカッティングシート貼着工
程の完了状態を、（Ｃ）図はショットブラスト処理工程
の完了状態を、（Ｄ）図はカッティングシートの剥離工
程の完了状態を、夫々示す断面図である。
で、（Ａ）図は被加工材へのカッティングシート貼着工
程の開始状態を、（Ｂ）図はカッティングシート貼着工
程の完了状態を、（Ｃ）図はショットブラスト処理工程
の完了状態を、（Ｄ）図はカッティングシートの剥離工
程の完了状態を、夫々示す断面図である。
【図２】カッティングシートの平面図である。
【図３】カッティングシートの断面図である。
【図４】本発明の方法により得られたセラミック部材を
使用した動圧流体軸受の断面図である。
使用した動圧流体軸受の断面図である。
１…ジャーナル（セラミック部材）、１ａ……動圧発生
溝（凹溝）、１´…被加工材、３…カッティングシー
ト、３ａ…切り抜き部。
溝（凹溝）、１´…被加工材、３…カッティングシー
ト、３ａ…切り抜き部。
Claims (1)
- 【請求項１】 セラミックスからなる被加工材の表面
に、切り抜き部を形成せる厚さ５０〜１２０μｍのカッ
ティングシートを貼着した状態でショットブラスト処理
を施して、切り抜き部に対応する凹溝を形成し、その
後、カッティングシートを剥離するようにしたことを特
徴とする、表面に高精度の凹溝を有するセラミック部材
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3242516A JPH07503B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 表面に高精度の凹溝を有するセラミック部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3242516A JPH07503B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 表面に高精度の凹溝を有するセラミック部材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0558765A JPH0558765A (ja) | 1993-03-09 |
| JPH07503B2 true JPH07503B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=17090272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3242516A Expired - Lifetime JPH07503B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 表面に高精度の凹溝を有するセラミック部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07503B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3580577B2 (ja) * | 1994-07-29 | 2004-10-27 | 京セラ株式会社 | セラミック製動圧軸受及びその製造方法 |
| PT2543653E (pt) * | 2011-07-04 | 2014-07-25 | Comadur Sa | Método para o fabrico de uma cerâmica mate que não marca |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5654286A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-14 | Satoru Gotou | Porcelain decoration |
| JPS58202774A (ja) * | 1982-05-14 | 1983-11-26 | Noritake Co Ltd | サンドプラスト用の転写紙 |
| JPS60171285A (ja) * | 1984-02-16 | 1985-09-04 | 坂井 浩 | 螢手磁器の製造方法並びにその方法により製造された螢手磁器 |
-
1991
- 1991-08-27 JP JP3242516A patent/JPH07503B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0558765A (ja) | 1993-03-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5001821A (en) | Pitted roll for an offset litho printing press | |
| ATE151327T1 (de) | Schleifblatt und verfahren zu seiner herstellung | |
| MY131776A (en) | Process for manufacturing optical data storage disk stamper | |
| US5776408A (en) | Method of engraving green ceramic articles | |
| JPH07503B2 (ja) | 表面に高精度の凹溝を有するセラミック部材の製造方法 | |
| JPS55129472A (en) | Method of adhesion | |
| EP1278241A3 (en) | Method for planarizing deposited film | |
| EP0825355A2 (en) | Air lubricated hydrodynamic ceramic bearings | |
| JP3580577B2 (ja) | セラミック製動圧軸受及びその製造方法 | |
| JPH07107687A (ja) | 回転子 | |
| US5823033A (en) | Method for producing a damper plate having substantially polygon patterns | |
| Mizobuchi et al. | Miniature drilling of chemically strengthened glass plate using electroplated diamond tool | |
| JPH0524021A (ja) | 凹凸表面を有するセラミツク部材及びその製造方法 | |
| JPH0712763Y2 (ja) | ガスシール | |
| JPH0213169B2 (ja) | ||
| JP3042053B2 (ja) | 切削工具及びその製造方法 | |
| JP2997040B2 (ja) | ブレード又はベーンのリムを有するリング又はディスクの製作方法 | |
| JPS6176273A (ja) | 研削砥石 | |
| JPH047400Y2 (ja) | ||
| JPH01164563A (ja) | マルチ刃砥石の製造方法 | |
| JP3441129B2 (ja) | 電鋳マスクを用いた噴射加工方法 | |
| JPS64501A (en) | Production of reflecting mirror | |
| JP2000120696A (ja) | 流体軸受スピンドルモータ用の軸受溝の加工方法 | |
| JPS6246314B2 (ja) | ||
| JPS562872A (en) | Processing method of fluorine contained resin |