JPH0748003A - 荷物保管装置 - Google Patents
荷物保管装置Info
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- JPH0748003A JPH0748003A JP5195019A JP19501993A JPH0748003A JP H0748003 A JPH0748003 A JP H0748003A JP 5195019 A JP5195019 A JP 5195019A JP 19501993 A JP19501993 A JP 19501993A JP H0748003 A JPH0748003 A JP H0748003A
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
- B01D46/0013—Modules
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/56—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition
- B01D46/58—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with multiple filtering elements, characterised by their mutual disposition connected in parallel
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
- B01D46/52—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filters embodying folded corrugated or wound sheet material
- B01D46/521—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filters embodying folded corrugated or wound sheet material using folded, pleated material
-
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K13/0084—Containers and magazines for components, e.g. tube-like magazines
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 荷物の収納空間４の背面側に配置されるフィ
ルタ装置11を、支持枠６側に着脱自在な取付枠部材13
と、この取付枠部材13の開口部に対応する位置に設けら
れるフィルタ16と、このフィルタ16の外面を覆うカバー
体19とから構成するとともに、このカバー体19の上面に
空気取入口20を形成したものである。 【効果】 フィルタ装置を支持枠側に、取付枠部材を介
して取り付けるようにしたので、フィルタの実際の取付
状態での性能テストを行う際に、単に、取付枠部材にフ
ィルタ装置を固定するだけで性能テストを行うことがで
き、したがって例えば、フィルタ、カバー体などを、直
接、支持枠に取り付けて性能テストを行う場合に比べ
て、そのテストを非常に簡単に行うことができる。
ルタ装置11を、支持枠６側に着脱自在な取付枠部材13
と、この取付枠部材13の開口部に対応する位置に設けら
れるフィルタ16と、このフィルタ16の外面を覆うカバー
体19とから構成するとともに、このカバー体19の上面に
空気取入口20を形成したものである。 【効果】 フィルタ装置を支持枠側に、取付枠部材を介
して取り付けるようにしたので、フィルタの実際の取付
状態での性能テストを行う際に、単に、取付枠部材にフ
ィルタ装置を固定するだけで性能テストを行うことがで
き、したがって例えば、フィルタ、カバー体などを、直
接、支持枠に取り付けて性能テストを行う場合に比べ
て、そのテストを非常に簡単に行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体部品など
のように、塵埃を極度にきらうような荷物を保管する荷
物保管装置に関するものである。
のように、塵埃を極度にきらうような荷物を保管する荷
物保管装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の荷物保管装置としては、
特開平３−１５２００４号公報に開示されたものがあ
る。
特開平３−１５２００４号公報に開示されたものがあ
る。
【０００３】この荷物保管装置は、本体外板内の中央部
に形成された通路の両側に荷物の収納空間が設けられる
とともに、この収納空間内には、荷物載置用の収納棚
が、保管装置本体を構成する支持枠の内側にかつ上下複
数段に設けられている。そして、収納棚が取り付けられ
た支持枠の外面には、フィルタが取り付けられており、
さらにその外側位置でかつ本体外板との間の位置におい
て、隔壁が本体側の構成部材に取り付けられて、この隔
壁とフィルタとの間の空間部が空気供給通路とされてい
る。
に形成された通路の両側に荷物の収納空間が設けられる
とともに、この収納空間内には、荷物載置用の収納棚
が、保管装置本体を構成する支持枠の内側にかつ上下複
数段に設けられている。そして、収納棚が取り付けられ
た支持枠の外面には、フィルタが取り付けられており、
さらにその外側位置でかつ本体外板との間の位置におい
て、隔壁が本体側の構成部材に取り付けられて、この隔
壁とフィルタとの間の空間部が空気供給通路とされてい
る。
【０００４】したがって、この空気供給通路に供給され
た空気は、フィルタで塵埃が除去されて高度に清浄化さ
れ、収納空間内に導入される。なお、この収納空間内に
導入された空気は、再度、送風機により、上記空気供給
通路側に循環される。
た空気は、フィルタで塵埃が除去されて高度に清浄化さ
れ、収納空間内に導入される。なお、この収納空間内に
導入された空気は、再度、送風機により、上記空気供給
通路側に循環される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の荷物保管装
置の構成によると、フィルタは本体を構成する支持枠に
直接取り付けられており、例えばフィルタの性能を確か
める場合、実際の取付条件で行う必要がある。したがっ
て、性能テストのために、フィルタを実際に本体に取り
付けなければならず、非常に面倒であるという問題があ
った。
置の構成によると、フィルタは本体を構成する支持枠に
直接取り付けられており、例えばフィルタの性能を確か
める場合、実際の取付条件で行う必要がある。したがっ
て、性能テストのために、フィルタを実際に本体に取り
付けなければならず、非常に面倒であるという問題があ
った。
【０００６】そこで、本発明は上記問題を解消し得る荷
物保管装置を提供することを目的とする。
物保管装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第１の手段は、荷物収納部の背面側に配置
されるフィルタ装置を有する荷物保管装置であって、上
記フィルタ装置を、本体側に着脱自在な取付枠部と、こ
の取付枠部の開口部に対応する位置に設けられるフィル
タと、このフィルタの外面を所定の隙間を有するように
覆うカバー体とから構成するとともに、このカバー体の
所定部分に空気取入口を形成した荷物保管装置である。
め、本発明の第１の手段は、荷物収納部の背面側に配置
されるフィルタ装置を有する荷物保管装置であって、上
記フィルタ装置を、本体側に着脱自在な取付枠部と、こ
の取付枠部の開口部に対応する位置に設けられるフィル
タと、このフィルタの外面を所定の隙間を有するように
覆うカバー体とから構成するとともに、このカバー体の
所定部分に空気取入口を形成した荷物保管装置である。
【０００８】また、上記課題を解決するため、本発明の
第２の手段は、上記第１の手段において、フィルタおよ
びカバー体をそれぞれ複数個に分割するとともに、分割
されたフィルタをそれぞれカバー体に一体的に取り付け
てモジュール化した荷物保管装置である。
第２の手段は、上記第１の手段において、フィルタおよ
びカバー体をそれぞれ複数個に分割するとともに、分割
されたフィルタをそれぞれカバー体に一体的に取り付け
てモジュール化した荷物保管装置である。
【０００９】
【作用】上記の構成によると、フィルタ装置を、装置本
体側に取付枠部を介して取り付けるようにしたので、フ
ィルタの実際の取付状態での性能テストを行う際に、単
に、フィルタ装置を取付枠部に固定するだけで性能テス
トを行うことができる。また、フィルタおよびカバー体
を複数個に分割してモジュール化したので、その製作お
よび取り扱いが容易となる。
体側に取付枠部を介して取り付けるようにしたので、フ
ィルタの実際の取付状態での性能テストを行う際に、単
に、フィルタ装置を取付枠部に固定するだけで性能テス
トを行うことができる。また、フィルタおよびカバー体
を複数個に分割してモジュール化したので、その製作お
よび取り扱いが容易となる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１〜図３に基づ
き説明する。図１および図３において、１は例えば半導
体部品などのように、塵埃を極度にきらうような荷物を
保管する荷物保管装置で、装置本体２内の中央部に形成
された通路３の両側に荷物の収納空間４が設けられると
ともに、この収納空間４内には、荷物載置用の収納棚５
が、装置本体２を構成する支持枠６の内側にかつ上下複
数段に設けられている。
き説明する。図１および図３において、１は例えば半導
体部品などのように、塵埃を極度にきらうような荷物を
保管する荷物保管装置で、装置本体２内の中央部に形成
された通路３の両側に荷物の収納空間４が設けられると
ともに、この収納空間４内には、荷物載置用の収納棚５
が、装置本体２を構成する支持枠６の内側にかつ上下複
数段に設けられている。
【００１１】そして、収納棚５が取り付けられた支持枠
６の外面には、フィルタ装置１１が取り付けられてい
る。このフィルタ装置１１は、図１および図２に示すよ
うに、支持枠６の支柱部６ａ外面に取付用ボルト１２な
どを介して着脱自在に設けられるとともに支持枠６の一
区画に対応するような矩形状に形成された取付枠部材
（取付枠部）１３と、この取付枠部材１３に形成された
開口部１３ａに対応する位置で、固定用ボルト１４を介
して取外し可能に固定されるとともに、内面に溝部１５
ａが形成された保持部材１５と、この保持部材１５の溝
部１５ａ内に挿入保持されたフィルタ１６と、上記保持
部材１５の外面に取り付けられた多孔板（例えば、パン
チングメタルなどが使用される）１７と、同じく保持部
材１５の外側に上記固定用ボルト１４を介して取り付け
られて、フィルタ（正確には、多孔板）１６との間に空
気通路（隙間）１８を形成するためのカバー体１９とか
ら構成されている。また、これらカバー体１９の上面に
は、空気取入口２０が形成されている。なお、図２にお
いては、フィルター装置１１が並列に取り付けられた状
態を示している。
６の外面には、フィルタ装置１１が取り付けられてい
る。このフィルタ装置１１は、図１および図２に示すよ
うに、支持枠６の支柱部６ａ外面に取付用ボルト１２な
どを介して着脱自在に設けられるとともに支持枠６の一
区画に対応するような矩形状に形成された取付枠部材
（取付枠部）１３と、この取付枠部材１３に形成された
開口部１３ａに対応する位置で、固定用ボルト１４を介
して取外し可能に固定されるとともに、内面に溝部１５
ａが形成された保持部材１５と、この保持部材１５の溝
部１５ａ内に挿入保持されたフィルタ１６と、上記保持
部材１５の外面に取り付けられた多孔板（例えば、パン
チングメタルなどが使用される）１７と、同じく保持部
材１５の外側に上記固定用ボルト１４を介して取り付け
られて、フィルタ（正確には、多孔板）１６との間に空
気通路（隙間）１８を形成するためのカバー体１９とか
ら構成されている。また、これらカバー体１９の上面に
は、空気取入口２０が形成されている。なお、図２にお
いては、フィルター装置１１が並列に取り付けられた状
態を示している。
【００１２】さらに、図１に示すように、上記フィルタ
１６およびカバー体１９は、上下において、複数個（例
えば、図１においては、上方の３個）に分割されて、モ
ジュール化されている。
１６およびカバー体１９は、上下において、複数個（例
えば、図１においては、上方の３個）に分割されて、モ
ジュール化されている。
【００１３】すなわち、保持部材１５、フィルタ１６、
多孔板１７およびカバー体１９が、それぞれ所定の高さ
（ｈ）でもって分割されるとともに一体化されてモジュ
ール化されている。以下、このモジュール化された部分
をフィルタ部材１１Ａという。なお、最下部の部分につ
いては、収納棚５に対応する箇所でないため、フィルタ
１６は設けられず、少なくともカバー体１９だけが設け
られたカバー部材１１Ｂが固定されることになる。ま
た、フィルタ部材１１Ａの内、少なくとも下方に別のフ
ィルタ部材１１Ａが接続される場合には、図３に示すよ
うに、上方のフィルタ部材１１Ａの底面には、空気取出
口２１が形成される。
多孔板１７およびカバー体１９が、それぞれ所定の高さ
（ｈ）でもって分割されるとともに一体化されてモジュ
ール化されている。以下、このモジュール化された部分
をフィルタ部材１１Ａという。なお、最下部の部分につ
いては、収納棚５に対応する箇所でないため、フィルタ
１６は設けられず、少なくともカバー体１９だけが設け
られたカバー部材１１Ｂが固定されることになる。ま
た、フィルタ部材１１Ａの内、少なくとも下方に別のフ
ィルタ部材１１Ａが接続される場合には、図３に示すよ
うに、上方のフィルタ部材１１Ａの底面には、空気取出
口２１が形成される。
【００１４】そして、図１に示すように、これらモジュ
ール化された各フィルタ部材１１Ａが、取付枠部材１３
に、固定用ボルト１４を介して順次固定され、さらに、
図２に示すように、これら複数個のフィルタ部材１１Ａ
（カバー部材１１Ｂも含む）が固定されてなるフィルタ
装置１１が、取付枠部材１３を介して、支持枠６の支柱
部６ａに取付用ボルト１２により取り付けられる。
ール化された各フィルタ部材１１Ａが、取付枠部材１３
に、固定用ボルト１４を介して順次固定され、さらに、
図２に示すように、これら複数個のフィルタ部材１１Ａ
（カバー部材１１Ｂも含む）が固定されてなるフィルタ
装置１１が、取付枠部材１３を介して、支持枠６の支柱
部６ａに取付用ボルト１２により取り付けられる。
【００１５】図３は荷物保管装置１の全体断面図を示し
ており、収納空間４の上方には、天井壁部７が配置され
ており、この天井壁部７内には、空気取入ダクト８に連
通する空気導入室９が形成されるとともに、この空気導
入室９からの空気が、通路３と、両側の各カバー体１９
の内側の空気通路１８内に導かれるようにされている。
なお、通路３の上部には、上部フィルタ３１が配置され
ている。
ており、収納空間４の上方には、天井壁部７が配置され
ており、この天井壁部７内には、空気取入ダクト８に連
通する空気導入室９が形成されるとともに、この空気導
入室９からの空気が、通路３と、両側の各カバー体１９
の内側の空気通路１８内に導かれるようにされている。
なお、通路３の上部には、上部フィルタ３１が配置され
ている。
【００１６】このように、フィルタ装置１１を支持枠６
側に、取付枠部材１３を介して取り付けるようにしたの
で、フィルタ１６の実際の取付状態での性能テストを行
う場合、単に、フィルタ装置11を取付枠部材１３に取り
付けるだけで性能テストを行うことができ、したがって
従来のように、フィルタ、カバー体などを、直接、支持
枠に取り付けて、性能テストを行う場合に比べて、その
テストを非常に簡単に行うことができる。
側に、取付枠部材１３を介して取り付けるようにしたの
で、フィルタ１６の実際の取付状態での性能テストを行
う場合、単に、フィルタ装置11を取付枠部材１３に取り
付けるだけで性能テストを行うことができ、したがって
従来のように、フィルタ、カバー体などを、直接、支持
枠に取り付けて、性能テストを行う場合に比べて、その
テストを非常に簡単に行うことができる。
【００１７】また、フィルタ装置１１を、一定の寸法で
複数個に分割してモジュール化したので、その製作およ
び取り扱いが極めて容易となる。ところで、上記実施例
においては、フィルタ部材１１Ａにおけるカバー体１９
の上下の開口部を利用して空気を各フィルタに導入する
ようにしたが、例えば図４に示すように、カバー体１９
の上下面に所定形状の開口部、すなわち空気取入口２０
を形成するとともに、この空気取入口２０の周囲を少し
立ち上げて、フランジ部１９ａを形成することにより、
例えば上下のフィルタ部材１１Ａの組み立ての容易化を
図ることができる。
複数個に分割してモジュール化したので、その製作およ
び取り扱いが極めて容易となる。ところで、上記実施例
においては、フィルタ部材１１Ａにおけるカバー体１９
の上下の開口部を利用して空気を各フィルタに導入する
ようにしたが、例えば図４に示すように、カバー体１９
の上下面に所定形状の開口部、すなわち空気取入口２０
を形成するとともに、この空気取入口２０の周囲を少し
立ち上げて、フランジ部１９ａを形成することにより、
例えば上下のフィルタ部材１１Ａの組み立ての容易化を
図ることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明の構成によると、フ
ィルタ装置を、装置本体側に取付枠部を介して取り付け
るようにしたので、フィルタの実際の取付状態における
性能テストを行う際に、単に、フィルタ装置を取付枠部
に固定するだけで性能テストを行うことができ、したが
って従来のように、フィルタ、カバー体などを、直接、
装置本体側に取り付けて、性能テストを行う場合に比べ
て、そのテストを非常に簡単に行うことができる。
ィルタ装置を、装置本体側に取付枠部を介して取り付け
るようにしたので、フィルタの実際の取付状態における
性能テストを行う際に、単に、フィルタ装置を取付枠部
に固定するだけで性能テストを行うことができ、したが
って従来のように、フィルタ、カバー体などを、直接、
装置本体側に取り付けて、性能テストを行う場合に比べ
て、そのテストを非常に簡単に行うことができる。
【００１９】また、フィルタおよびカバー体を複数個に
分割してモジュール化したので、その製作および取り扱
いが容易となる。
分割してモジュール化したので、その製作および取り扱
いが容易となる。
【図１】本発明の一実施例における荷物保管装置の要部
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図２】同実施例におけるフィルタ装置の支持枠への取
付状態の要部を示す水平断面図である。
付状態の要部を示す水平断面図である。
【図３】同実施例における荷物保管装置の概略構成を示
す断面図である。
す断面図である。
【図４】同実施例のフィルタ装置の変形例を示す分解斜
視図である。
視図である。
１ 荷物保管装置 ２ 装置本体 ４ 収納空間 ５ 収納棚 ６ 支持枠 １１ フィルタ装置 １１Ａ フィルタ部材 １３ 取付枠部材 １５ 保持部材 １６ フィルタ １８ 空気通路 １９ カバー体 ２０ 空気取入口
Claims (2)
- 【請求項１】荷物収納部の背面側に配置されるフィルタ
装置を有する荷物保管装置であって、上記フィルタ装置
を、本体側に着脱自在な取付枠部と、この取付枠部の開
口部に対応する位置に設けられるフィルタと、このフィ
ルタの外面を所定の隙間を有するように覆うカバー体と
から構成するとともに、このカバー体の所定部分に空気
取入口を形成したことを特徴とする荷物保管装置。 - 【請求項２】フィルタおよびカバー体をそれぞれ複数個
に分割するとともに、分割されたフィルタをそれぞれカ
バー体に一体的に取り付けてモジュール化したことを特
徴とする請求項１記載の荷物保管装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5195019A JP2976755B2 (ja) | 1993-08-06 | 1993-08-06 | 荷物保管装置 |
| US08/236,263 US5500028A (en) | 1993-08-06 | 1994-05-02 | Removable filter device for article storing arrangement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5195019A JP2976755B2 (ja) | 1993-08-06 | 1993-08-06 | 荷物保管装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0748003A true JPH0748003A (ja) | 1995-02-21 |
| JP2976755B2 JP2976755B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=16334187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5195019A Expired - Fee Related JP2976755B2 (ja) | 1993-08-06 | 1993-08-06 | 荷物保管装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5500028A (ja) |
| JP (1) | JP2976755B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002338007A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-27 | Shinko Electric Co Ltd | ストッカ |
| JP2005231774A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Murata Mach Ltd | クリーンルーム用の自動倉庫 |
| JP2014216092A (ja) * | 2013-04-23 | 2014-11-17 | 三菱重工業株式会社 | 蓄電装置 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19812117A1 (de) * | 1998-03-19 | 1999-09-23 | Knuerr Mechanik Ag | Geräteschrank |
| DE29809169U1 (de) * | 1998-05-20 | 1998-08-20 | Siemens Nixdorf Informationssysteme AG, 33106 Paderborn | Lagereinrichtung zum Bereithalten elektronischer Bauelemente |
| JP3788296B2 (ja) | 2001-09-10 | 2006-06-21 | 株式会社ダイフク | クリーンルーム用の物品保管設備 |
| JP2005251252A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 回転円板形記憶装置 |
| KR20130066800A (ko) * | 2011-12-13 | 2013-06-21 | 삼성전기주식회사 | 하드 디스크 드라이브용 베이스 플레이트 및 이를 포함하는 하드 디스크 드라이브 |
| US9620937B1 (en) * | 2015-09-18 | 2017-04-11 | Eaton Corporation | Protective apparatus usable with a forced air cooling system and electrical enclosure |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3246456A (en) * | 1963-04-29 | 1966-04-19 | Farr Co | Air filter assembly with removable filter elements |
| US3266170A (en) * | 1964-02-06 | 1966-08-16 | Heinicke Instr Co | Hardware and shipping container |
| US3370404A (en) * | 1967-03-20 | 1968-02-27 | Leeper Charles Leroy | Air cleaner for attachment to paint booth doors |
| US3828530A (en) * | 1971-09-01 | 1974-08-13 | M Peters | Filter system |
| US4023529A (en) * | 1975-11-17 | 1977-05-17 | Landy Jerome J | Laminar flow system and removable animal rack |
| DE3500005A1 (de) * | 1985-01-02 | 1986-07-10 | ESB Elektrostatische Sprüh- und Beschichtungsanlagen G.F. Vöhringer GmbH, 7758 Meersburg | Beschichtungskabine zum ueberziehen der oberflaeche von werkstuecken mit beschichtungspulver |
| DE3637880C2 (de) * | 1986-11-06 | 1994-09-01 | Meissner & Wurst | Transportierbares Behältnis zur Handhabung von Halbleiterelementen während ihrer Herstellung sowie Verfahren zur partikelfreien Übergabe von Produkten |
| DE3805212A1 (de) * | 1988-02-19 | 1989-08-31 | Hahn Glasbau | Vitrine zur aufbewahrung und/oder zur zurschaustellung von gegenstaenden |
| JPH0790882B2 (ja) * | 1989-11-08 | 1995-10-04 | 株式会社ダイフク | クリーンルーム内の荷保管装置 |
| US5261935A (en) * | 1990-09-26 | 1993-11-16 | Tokyo Electron Sagami Limited | Clean air apparatus |
| US5219464A (en) * | 1990-10-09 | 1993-06-15 | Tokyo Electron Limited | Clean air apparatus |
| US5346518A (en) * | 1993-03-23 | 1994-09-13 | International Business Machines Corporation | Vapor drain system |
-
1993
- 1993-08-06 JP JP5195019A patent/JP2976755B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-02 US US08/236,263 patent/US5500028A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002338007A (ja) * | 2001-05-18 | 2002-11-27 | Shinko Electric Co Ltd | ストッカ |
| JP2005231774A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Murata Mach Ltd | クリーンルーム用の自動倉庫 |
| JP2014216092A (ja) * | 2013-04-23 | 2014-11-17 | 三菱重工業株式会社 | 蓄電装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US5500028A (en) | 1996-03-19 |
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