JPH0746077A - 表面弾性波フィルタとその製造方法 - Google Patents
表面弾性波フィルタとその製造方法Info
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- JPH0746077A JPH0746077A JP18425793A JP18425793A JPH0746077A JP H0746077 A JPH0746077 A JP H0746077A JP 18425793 A JP18425793 A JP 18425793A JP 18425793 A JP18425793 A JP 18425793A JP H0746077 A JPH0746077 A JP H0746077A
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Abstract
フィルタに関し、焦電効果に起因して電極が破壊される
のを防止する手段を具えた弾性表面波フィルタの提供を
目的とする。 【構成】 電極指を具えた励振用櫛形電極と受信用櫛形
電極を一方の電極指が他方の電極指間に入るよう組み合
わせ、該櫛形電極の両側に反射器を有する表面波共振器
が圧電性基板上に形成されてなる表面弾性波フィルタに
おいて、焦電効果による電極破壊を防止する手段として
励振用の櫛形電極31、受信用の櫛形電極32、または反射
器33と、導体を介して接続されたダミー電極38が圧電性
基板1上に形成されてなるように構成する。
Description
器(以下表面波共振器と称する)を有する共振器型の弾
性表面波フィルタに係り、特に製造工程において焦電効
果に起因し発生する電極の破壊を防止する手段を具えて
なる弾性表面波フィルタに関する。
デオ用のIFフィルタに代表される映像用フィルタに使
用されてきたが、近年、小型で安価である特長を生かし
て自動車電話や携帯電話等の移動通信用フィルタとして
需要が急速に増加している。
れた弾性表面波の励振用の櫛形電極と受信用の櫛形電極
とが対をなしており、従来は複数個の櫛形電極が多段に
接続されてなるトランスバーサル型の弾性表面波フィル
タが多く用いられていた。
反射器を具えた表面波共振器を利用して弾性表面波を共
振させることにより、挿入損失を大幅に改善すると共に
外部整合回路の付加を不要にした共振器型弾性表面波フ
ィルタが有望視されている。
1.5GHZ や 1.9GHZ の準マイクロ波帯で使用するこ
とが検討されており、周波数が高くなると更に微細化さ
れた励振用櫛形電極が圧電性結晶体に特有の焦電効果に
よって破壊されやすくなる。
れるのを防止する手段を具えた弾性表面波フィルタの開
発が要望されている。
タの一例を示す平面図、図7は焦電効果に起因する電極
破壊のメカニズムを示す図である。
は圧電性結晶体からなる基板1上に形成されてなる表面
波共振器2を有し、金属膜で形成された表面波共振器2
は対をなす励振用櫛形電極21および受信用櫛形電極22と
反射器23で構成されている。
の電極指24は一方の電極指24が他方の電極指24間に入る
よう組み合わされ、櫛形電極21、22の両側に開放型や短
絡型の櫛形電極、ストリップアレイ状の電極等からなる
反射器23が配置されている。
器型弾性表面波フィルタにおける電極指24は全てλ/4
なる導体幅を有し、電極指24によって挟まれた絶縁帯25
および櫛形電極21、22と反射器23の間に介在する絶縁帯
26もλ/4なる幅を有する。
装置に特有の現象として焦電効果に起因する導体パター
ンの破壊がある。以下、基板に圧電性結晶体を用いてな
る弾性表面波フィルタにおける電極破壊のメカニズムを
図7により詳細に説明する。
分極の大きさが変化するという特性があり基板表面に電
荷が発生するが、温度変化が比較的緩慢な場合は基板表
面に発生した電荷が大気中の電荷により徐々に中和され
障害を発生することはない。
電荷による中和が電荷の発生に追随できず基板表面に過
大な電荷が蓄積され、基板上に導体パターンが形成され
ている場合はそれぞれの導体パターンがその領域の電荷
量に対応した電位を有する。
部と周辺部とで温度差が生じやすく基板表面に蓄積され
る電荷量に差が生じ、図7(a) に示す如く基板1上の櫛
形電極21、22、および反射器23がそれぞれ異なった電位
Φ1 、Φ2 、Φ3 を有する。
23の電位Φ3 に比べ他方の櫛形電極22の電位Φ2 が著し
く異なる場合は、図7(b) に破線で示す如く櫛形電極21
および櫛形電極22の電極指24に挟まれた絶縁帯25に数多
くの等電位線27が存在する。
極指24と櫛形電極22の電極指24の間の絶縁帯25では反射
器23の影響を受け、全ての等電位線27が図示の如く櫛形
電極22の電極指24の方に偏りその他の絶縁帯25に比べ等
電位線27の間隔が密になる。
指24の間の電位勾配ΔΦ/ΔLが許容値内であれば絶縁
破壊が生じないが、等電位線27の間隔が密になって電位
勾配ΔΦ/ΔLが許容値を超えると絶縁が破れ櫛形電極
22の電極指24が破壊される。
面波フィルタは特性の安定化を図るため電極指の幅およ
び絶縁帯の幅をλ/4に固定している。しかし、使用帯
域が短波長化するに伴って絶縁帯の幅が益々小さくなり
焦電効果に起因する絶縁破壊が生じやすくなる。
電極指の導体幅が小さくなって基板に対する金属膜の密
着が益々低下する。その結果、焦電効果に起因する導体
間の電位差が小さくても電極指が破壊され歩留りを低下
させるという問題があった。
破壊されるのを防止する手段を具えた弾性表面波フィル
タを提供することにある。
弾性波フィルタを示す平面図である。なお全図を通し同
じ対象物は同一記号で表している。
と受信用櫛形電極を一方の電極指が他方の電極指間に入
るよう組み合わせ、該櫛形電極の両側に反射器を有する
表面波共振器が圧電性基板上に形成されてなる表面弾性
波フィルタにおいて、焦電効果による電極破壊を防止す
る手段として励振用の櫛形電極31、受信用の櫛形電極3
2、または反射器33と、導体を介して接続されたダミー
電極38が圧電性基板1上に形成されてなる本発明の表面
弾性波フィルタによって達成される。
形電極に導体を介して接続されたダミー電極を形成する
ことによって、櫛形電極の重心位置が周辺方向にずれて
焦電効果に起因し生じる導体パターン間の電位差をほぼ
0にすることができる。
位差で電極指が破壊され歩留りを低下させるという問題
が解決される。即ち、焦電効果に起因して電極が破壊さ
れるのを防止する手段を具えてなる弾性表面波フィルタ
を実現することができる。
明する。なお図2は本発明の他の実施例を示す平面図、
図3は前記実施例の変形例を示す平面図、図4は本発明
の別の実施例を示す平面図、図5は本発明になる製造方
法を示す斜視図である。
示す如く圧電性結晶体からなる基板1の上に表面波共振
器3が形成され、金属膜で形成された表面波共振器3は
対をなす励振用櫛形電極31および受信用櫛形電極32と反
射器33とで構成されている。
の電極指34は一方の電極指34が他方の電極指34間に入る
よう組み合わされ、櫛形電極31、32の両側に開放型や短
絡型の櫛形電極、ストリップアレイ状の電極等からなる
反射器33が配置されている。
して基板1の周縁に沿って少なくとも1個のダミー電極
38がが形成され、ダミー電極38は例えば反射器33との間
に電位差を生じやすい励振用櫛形電極31および受信用櫛
形電極32に接続されている。
櫛形電極に導体を介して接続されたダミー電極を形成す
ることによって、櫛形電極の重心位置が周辺方向にずれ
て焦電効果に起因して生じる導体パターン間の電位差を
ほぼ0にすることができる。
位差で電極指が破壊され歩留りを低下させるという問題
が解決される。即ち、焦電効果に起因して電極が破壊さ
れるのを防止する手段を具えてなる弾性表面波フィルタ
を実現することができる。
施例は図2に示す如く前記実施例において形成したダミ
ー電極38に代えて、焦電効果による電極破壊を防止する
手段として等電位線37が密な絶縁帯35に隣接した電極指
34の導体幅を広くしている。
する櫛形電極21の電極指24と櫛形電極22の電極指24の間
の絶縁帯25では、反射器23の影響で等電位線27が櫛形電
極22の電極指24の方に偏りその他の絶縁帯25に比べて等
電位線27の間隔が密になる。
し等電位線27に対する櫛形電極22の影響力を強めること
で偏りが補正され、等電位線27の間隔がその他の絶縁帯
25における間隔と同等になり焦電効果による電極破壊を
防止することが可能になる。
射器33に隣接した櫛形電極31の電極指34と対向する電極
指34の導体幅を、他の電極指34の導体幅に比べ広くする
ことによって反射器33の影響で偏った絶縁帯35における
等電位線37を補正している。
で等電位線37の偏りが組成され焦電効果による電極破壊
を防止できると共に、電極指34の基板1に対する密着力
も増大され電極破壊に結び付く電極指34の基板1からの
剥離を無くすことができる。
を介して反射器33に隣接した櫛形電極31の電極指34と対
向する電極指34を、2本に分割することにより前記実施
例と同様に反射器33の影響で偏った絶縁帯35の等電位線
37を補正することができる。
別の実施例は焦電効果による電極破壊を防止する手段と
して図4に示す如く、反射器33の近くに位置し等電位線
37が密になる絶縁帯35の幅を等電位線37が粗い他の絶縁
帯35に比べて広くしている。
幅を広くするとλ/4なる規格から外れた電極指34や絶
縁帯35ができる。しかし、櫛形電極31、32は数多くの電
極指34を有し外側の電極指34や絶縁帯35が規格から外れ
ても特性には影響しない。
図3に示す如く電極指34の分割時にλ/4なる規格に準
拠することにより、表面弾性波フィルタに要求される特
性に影響を及ぼすことなく焦電効果による電極破壊を防
止することが可能になる。
基板の温度が急激に変化したときに表面に過大な電荷が
蓄積され発生する。したがって、表面弾性波フィルタの
製造工程中における基板温度の変化を緩慢にすることで
防止することが可能である。
法は図5に示す如く圧電性結晶体からなるウェーハ4を
金属板5に貼着し、少なくとも櫛形電極31、32や反射器
33の形成から切断された個片6をそれぞれキャリア7に
搭載するまでの作業を行う。
燥時等に加熱すると急激に温度が変化し焦電効果により
電極が破壊される。かかる個片6を熱容量の大きい金属
板5に貼着しておくことで温度の急激な変化が無くなっ
て電極の破壊を防止できる。
因して電極が破壊されるのを防止する手段を具えてなる
弾性表面波フィルタを提供することができる。
図である。
示す平面図である。
示す図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 電極指を具えた励振用櫛形電極と受信用
櫛形電極を一方の電極指が他方の電極指間に入るよう組
み合わせ、該櫛形電極の両側に反射器を有する表面波共
振器が圧電性基板上に形成されてなる表面弾性波フィル
タにおいて、 焦電効果による電極破壊を防止する手段として励振用の
櫛形電極(31)、受信用の櫛形電極(32)、または反射器(3
3)と、導体を介して接続されたダミー電極(38)が圧電性
基板(1) 上に形成されてなることを特徴とする表面弾性
波フィルタ。 - 【請求項2】 電極指を具えた励振用櫛形電極と受信用
櫛形電極を一方の電極指が他方の電極指間に入るよう組
み合わせ、該櫛形電極の両側に反射器を有する表面波共
振器が圧電性基板上に形成されてなる表面弾性波フィル
タにおいて、 焦電効果による電極破壊を防止する手段として等電位線
(37)が密な絶縁帯(35)に隣接してなる電極指(34)の導体
幅を、等電位線(37)が粗い他の絶縁帯(35)に隣接した電
極指(34)に比べ広くしてなることを特徴とする表面弾性
波フィルタ。 - 【請求項3】 電極指を具えた励振用櫛形電極と受信用
櫛形電極を一方の電極指が他方の電極指間に入るよう組
み合わせ、該櫛形電極の両側に反射器を有する表面波共
振器が圧電性基板上に形成されてなる表面弾性波フィル
タにおいて、 焦電効果による電極破壊を防止する手段として電極指(3
4)によって挟まれた等電位線(37)が密な絶縁帯(35)の幅
を、電極指(34)によって挟まれた等電位線(37)が粗い絶
縁帯(35)に比べ広くしてなることを特徴とする表面弾性
波フィルタ。 - 【請求項4】 電極指を具えた励振用櫛形電極と受信用
櫛形電極を一方の電極指が他方の電極指間に入るよう組
み合わせ、該櫛形電極の両側に反射器を有する表面波共
振器が基板上に形成されてなる表面弾性波フィルタの製
造において、 圧電性結晶体からなるウェーハ(4) を金属板(5) に貼着
し少なくとも櫛形電極(31,32) や反射器(33)の形成工程
から、切断された個片(6) をキャリア(7) に搭載する工
程までの作業を行うことを特徴とする表面弾性波フィル
タの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18425793A JP3301168B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 表面弾性波フィルタとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18425793A JP3301168B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 表面弾性波フィルタとその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0746077A true JPH0746077A (ja) | 1995-02-14 |
JP3301168B2 JP3301168B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=16150151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18425793A Expired - Fee Related JP3301168B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 表面弾性波フィルタとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3301168B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6737942B2 (en) | 2000-04-16 | 2004-05-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave apparatus and communication apparatus |
US6750592B2 (en) | 2000-11-09 | 2004-06-15 | Nrs Technologies, Inc. | Surface acoustic wave filter and surface acoustic wave filter apparatus |
KR100437496B1 (ko) * | 2002-07-04 | 2004-06-25 | 주식회사 케이이씨 | 표면 탄성파 필터 |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP18425793A patent/JP3301168B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|---|---|---|
US6737942B2 (en) | 2000-04-16 | 2004-05-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd | Surface acoustic wave apparatus and communication apparatus |
US6750592B2 (en) | 2000-11-09 | 2004-06-15 | Nrs Technologies, Inc. | Surface acoustic wave filter and surface acoustic wave filter apparatus |
KR100437496B1 (ko) * | 2002-07-04 | 2004-06-25 | 주식회사 케이이씨 | 표면 탄성파 필터 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3301168B2 (ja) | 2002-07-15 |
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