JPH0745548A - ボート検知方法及び装置 - Google Patents

ボート検知方法及び装置

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JPH0745548A
JPH0745548A JP18845393A JP18845393A JPH0745548A JP H0745548 A JPH0745548 A JP H0745548A JP 18845393 A JP18845393 A JP 18845393A JP 18845393 A JP18845393 A JP 18845393A JP H0745548 A JPH0745548 A JP H0745548A
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JP
Japan
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boat
pillar
stored
storage device
detected
Prior art date
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Pending
Application number
JP18845393A
Other languages
English (en)
Inventor
Hitoshi Nakagawa
均 中川
Shinji Yashima
伸二 八島
Mitsuhiro Oshima
光洋 尾島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kokusai Electric Corp
Original Assignee
Kokusai Electric Corp
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Publication date
Application filed by Kokusai Electric Corp filed Critical Kokusai Electric Corp
Priority to JP18845393A priority Critical patent/JPH0745548A/ja
Publication of JPH0745548A publication Critical patent/JPH0745548A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ボートの位置ずれ、被処理物移載手段の移載
ずれ、被処理物のボートへの移載及び被処理物を移載し
たボートの搬送の各動作に関係する場所,径路を自動的
に記憶し、被処理物移載動作の基準を自動的に得る。 【構成】 ボート2の暫定センタから検知センサ4を一
方向に旋回させてボート2の第1柱31 を検知し、その
位置を第1記憶装置6に記憶させ,検知センサ4を他方
向に旋回させてボート2の第2柱32 を検知し、その位
置を第2記憶装置7に記憶させ、第1,第2記憶装置
6,7に記憶された第1,第2柱31 ,3 2 の位置から
任意の位置又はセンタCLの位置を演算することを特徴
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、IC,LSI等を製造
するための半導体製造装置において、被処理物であるシ
リコン等の半導体ウェーハを登載するボートの位置を正
確に検知し、ウェーハの半導体製造装置内での移載動作
等を確実に実施することができるボート検知方法及び装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】IC,LSI等を製造する半導体製造装
置は、加熱装置を有する反応室と、反応処理に要する反
応ガスの導入,排出手段と、半導体ウェーハを加熱装置
を有する反応室に移載するための移載手段を有するもの
である。特に、半導体製造装置の1つである縦型拡散・
CVD装置について説明する。この装置は、縦方向に置
かれた加熱装置を有する反応室と、ウェーハを処理中載
置するボートと、ボートを反応室に移動させるボート搬
送装置と、ウェーハをボートに移載するウェーハ移載装
置を備えている。
【0003】ウェーハのボートへの移載及びウェーハを
載置したボートの搬送の各動作は、あらかじめオペレー
タにより記憶した場所,径路を用いている。ここで特に
重要なのは、ボートにウェーハを移載する際の位置であ
る。ボートでは、例えば6.35mmの間隔でウェーハを
載置する。また、ボートを構成する4本の柱は、ウェー
ハの直径とほぼ同じである。したがって、ボートの少し
の傾きや、ウェーハ移載手段の移載ずれ等が生じても、
ボートにウェーハが正しく載置されないばかりではな
く、ウェーハ,ボート,ウェーハ移載手段の破損等が発
生する可能性もある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来、上記に示すよう
なボートの位置ずれ,ウェーハ移載手段の移載ずれ,各
動作に関係する場所,径路の記憶の作業はオペレータの
目視により行っていたため、オペレータは熟練が必要で
あり、かつ、作業に要する時間も多く、それでも事故が
生ずるおそれがあるという課題がある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明方法は上記の課題
を解決するため、図1に示すようにボート2の暫定セン
タから検知手段4を一方向に旋回させてボート2の第1
柱31 を検知し、その位置を第1記憶装置に記憶させ、
検知手段4を他方向に旋回させてボート2の第2柱32
を検知し、その位置を第2記憶装置に記憶させ、第1,
第2記憶装置に記憶された第1,第2柱31 ,32 の位
置から任意の位置又はセンタCLの位置を演算すること
を特徴とする。本発明装置は同じ課題を解決するため、
被処理物1を登載するボート2の柱3を検知する検知手
段4と、この検知手段4を旋回させる旋回装置5と、前
記検知手段4が前記旋回装置5により旋回した時に検知
したボート2の第1柱31 の位置を記憶する第1記憶装
置6と、前記検知手段4が前記旋回装置5により逆方向
に旋回した時に検知したボート2の第2柱32 の位置を
記憶する第2記憶装置7と、前記第1,第2記憶装置
6,7に記憶されたボート2の第1,第2柱31 ,32
の位置から任意の位置又はセンタCLの位置を演算する
演算装置8とよりなる。
【0006】
【作用】上記の構成において、被処理物1を登載するボ
ート2の暫定センタから検知手段4が旋回装置5により
一方向に旋回され、ボート2の第1柱31 が検知手段4
により検知され、その位置が第1記憶装置6に記憶され
る。又、検知手段4が旋回装置5により他方向に旋回さ
れ、ボート2の第2柱32 が検知手段4により検知さ
れ、その位置が第2記憶装置7に記憶される。第1,第
2記憶装置6,7に記憶されたボート2の第1,第2柱
1 ,32 の位置から演算装置8により任意の位置又は
センタCLの位置が演算されることになる。
【0007】
【実施例】図1は本発明方法の1実施例の構成を示す説
明図、図2は本発明装置の構成を示す説明図である。図
1,図2において2は被処理物であるウェーハ1を登載
するボート、4はボート2の柱3を検知する検知セン
サ、5はこの検知センサ4を旋回させる旋回装置、6は
検知センサ4が旋回装置5により旋回した時に検知した
ボート2の第1柱31 の位置を記憶する第1記憶装置で
ある。7は検知センサ4が旋回装置5により逆方向に旋
回した時に検知したボート2の第2柱32 の位置を記憶
する第2記憶装置、8は第1,第2記憶装置6,7に記
憶されたボート2の第1,第2柱31 ,32 の位置から
任意の位置又はセンタCLの位置を演算する演算装置で
ある。
【0008】上記の構成において検知センサ4は旋回装
置5により図1において左にボート2の第1柱31 を検
知するまで旋回する。ボート2の第1柱31 の内側の位
置を検知した検知センサ4はその位置を第1記憶装置6
に記憶する。検知センサ4は旋回装置5により図1にお
いて右にボート2の第2柱32 を検知するまで旋回す
る。ボート2の第2柱32 の内側の位置を検知した検知
センサ4はその位置を第2記憶装置7に記憶する。第
1,第2記憶装置6,7にボートの第1柱31 内側の位
置とボートの第2柱32 の内側の位置を記憶した後、演
算手段8によって第1記憶装置6の内容と第2記憶装置
7の内容より、ボート2の第1,第2柱31 ,32 のセ
ンタCLの位置、もしくは任意の位置を求める。上記に
より求めたボートの第1柱31 とボートの第2柱32
センタCLの位置、もしくは任意の位置を基準として、
ウェーハ1の移載動作に関係する場所,径路を決定する
ことができる。
【0009】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ボート2
の暫定センタから検知手段4を一方向に旋回させてボー
ト2の第1柱31 を検知し、その位置を第1記憶装置に
記憶させ、検知手段4を他方向に旋回させてボート2の
第2柱32 を検知し、その位置を第2記憶装置に記憶さ
せ、第1,第2記憶装置に記憶された第1,第2柱
1,32 の位置から任意の位置又はセンタCLの位置
を演算することを特徴とするので、被処理物移載動作の
基準を自動的に得たことにより、被処理物移載に関連す
る場所,径路を前記基準値より一義的に求めることが可
能であり、動作の設定に要する労力が著しく低減するこ
とができる。また、基準値が明確になることにより、ソ
フトウェアを用いた自動設定も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法の1実施例の構成を示す説明図であ
る。
【図2】本発明装置の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
1 ウェーハ 2 ボート 3 柱 31 第1柱 32 第2柱 4 検知手段(センサ) 5 旋回装置 6 第1記憶装置 7 第2記憶装置 8 演算装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 F

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ボート(2)の暫定センタから検知手段
    (4)を一方向に旋回させてボート(2)の第1柱(3
    1 )を検知し、その位置を第1記憶装置に記憶させ、検
    知手段(4)を他方向に旋回させてボート(2)の第2
    柱(32 )を検知し、その位置を第2記憶装置に記憶さ
    せ、第1,第2記憶装置に記憶された第1,第2柱(3
    1 ,32 )の位置から任意の位置又はセンタ(CL)の
    位置を演算することを特徴とするボート検知方法。
  2. 【請求項2】 被処理物(1)を登載するボート(2)
    の柱(3)を検知する検知手段(4)と、この検知手段
    (4)を旋回させる旋回装置(5)と、前記検知手段
    (4)が前記旋回装置(5)により旋回した時に検知し
    たボート(2)の第1柱(31 )の位置を記憶する第1
    記憶装置(6)と、前記検知手段(4)が前記旋回装置
    (5)により逆方向に旋回した時に検知したボート
    (2)の第2柱(32 )の位置を記憶する第2記憶装置
    (7)と、前記第1,第2記憶装置(6,7)に記憶さ
    れたボート(2)の第1,第2柱(31 ,32 )の位置
    から任意の位置又はセンタ(CL)の位置を演算する演
    算装置(8)とよりなるボート検知装置。
JP18845393A 1993-07-29 1993-07-29 ボート検知方法及び装置 Pending JPH0745548A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003037075A (ja) * 2001-07-26 2003-02-07 Tokyo Electron Ltd 移載装置の制御方法および熱処理方法並びに熱処理装置
US8491974B2 (en) 2007-08-27 2013-07-23 Greenfields B.V. Artificial turf and method and device for forming thereof
WO2019186653A1 (ja) * 2018-03-26 2019-10-03 株式会社Kokusai Electric 基板処理装置、反応管形状測定方法及び半導体装置の製造方法

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US11913116B2 (en) 2018-03-26 2024-02-27 Kokusai Electric Corporation Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

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