JPH0745548A - ボート検知方法及び装置 - Google Patents
ボート検知方法及び装置Info
- Publication number
- JPH0745548A JPH0745548A JP18845393A JP18845393A JPH0745548A JP H0745548 A JPH0745548 A JP H0745548A JP 18845393 A JP18845393 A JP 18845393A JP 18845393 A JP18845393 A JP 18845393A JP H0745548 A JPH0745548 A JP H0745548A
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- Japan
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- pillar
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ボートの位置ずれ、被処理物移載手段の移載
ずれ、被処理物のボートへの移載及び被処理物を移載し
たボートの搬送の各動作に関係する場所，径路を自動的
に記憶し、被処理物移載動作の基準を自動的に得る。 【構成】 ボート２の暫定センタから検知センサ４を一
方向に旋回させてボート２の第１柱３1 を検知し、その
位置を第１記憶装置６に記憶させ，検知センサ４を他方
向に旋回させてボート２の第２柱３2 を検知し、その位
置を第２記憶装置７に記憶させ、第１，第２記憶装置
６，７に記憶された第１，第２柱３1 ，３ 2 の位置から
任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算することを特徴
とする。
ずれ、被処理物のボートへの移載及び被処理物を移載し
たボートの搬送の各動作に関係する場所，径路を自動的
に記憶し、被処理物移載動作の基準を自動的に得る。 【構成】 ボート２の暫定センタから検知センサ４を一
方向に旋回させてボート２の第１柱３1 を検知し、その
位置を第１記憶装置６に記憶させ，検知センサ４を他方
向に旋回させてボート２の第２柱３2 を検知し、その位
置を第２記憶装置７に記憶させ、第１，第２記憶装置
６，７に記憶された第１，第２柱３1 ，３ 2 の位置から
任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算することを特徴
とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等を製造
するための半導体製造装置において、被処理物であるシ
リコン等の半導体ウェーハを登載するボートの位置を正
確に検知し、ウェーハの半導体製造装置内での移載動作
等を確実に実施することができるボート検知方法及び装
置に関する。
するための半導体製造装置において、被処理物であるシ
リコン等の半導体ウェーハを登載するボートの位置を正
確に検知し、ウェーハの半導体製造装置内での移載動作
等を確実に実施することができるボート検知方法及び装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ，ＬＳＩ等を製造する半導体製造装
置は、加熱装置を有する反応室と、反応処理に要する反
応ガスの導入，排出手段と、半導体ウェーハを加熱装置
を有する反応室に移載するための移載手段を有するもの
である。特に、半導体製造装置の１つである縦型拡散・
ＣＶＤ装置について説明する。この装置は、縦方向に置
かれた加熱装置を有する反応室と、ウェーハを処理中載
置するボートと、ボートを反応室に移動させるボート搬
送装置と、ウェーハをボートに移載するウェーハ移載装
置を備えている。
置は、加熱装置を有する反応室と、反応処理に要する反
応ガスの導入，排出手段と、半導体ウェーハを加熱装置
を有する反応室に移載するための移載手段を有するもの
である。特に、半導体製造装置の１つである縦型拡散・
ＣＶＤ装置について説明する。この装置は、縦方向に置
かれた加熱装置を有する反応室と、ウェーハを処理中載
置するボートと、ボートを反応室に移動させるボート搬
送装置と、ウェーハをボートに移載するウェーハ移載装
置を備えている。
【０００３】ウェーハのボートへの移載及びウェーハを
載置したボートの搬送の各動作は、あらかじめオペレー
タにより記憶した場所，径路を用いている。ここで特に
重要なのは、ボートにウェーハを移載する際の位置であ
る。ボートでは、例えば６．３５mmの間隔でウェーハを
載置する。また、ボートを構成する４本の柱は、ウェー
ハの直径とほぼ同じである。したがって、ボートの少し
の傾きや、ウェーハ移載手段の移載ずれ等が生じても、
ボートにウェーハが正しく載置されないばかりではな
く、ウェーハ，ボート，ウェーハ移載手段の破損等が発
生する可能性もある。
載置したボートの搬送の各動作は、あらかじめオペレー
タにより記憶した場所，径路を用いている。ここで特に
重要なのは、ボートにウェーハを移載する際の位置であ
る。ボートでは、例えば６．３５mmの間隔でウェーハを
載置する。また、ボートを構成する４本の柱は、ウェー
ハの直径とほぼ同じである。したがって、ボートの少し
の傾きや、ウェーハ移載手段の移載ずれ等が生じても、
ボートにウェーハが正しく載置されないばかりではな
く、ウェーハ，ボート，ウェーハ移載手段の破損等が発
生する可能性もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、上記に示すよう
なボートの位置ずれ，ウェーハ移載手段の移載ずれ，各
動作に関係する場所，径路の記憶の作業はオペレータの
目視により行っていたため、オペレータは熟練が必要で
あり、かつ、作業に要する時間も多く、それでも事故が
生ずるおそれがあるという課題がある。
なボートの位置ずれ，ウェーハ移載手段の移載ずれ，各
動作に関係する場所，径路の記憶の作業はオペレータの
目視により行っていたため、オペレータは熟練が必要で
あり、かつ、作業に要する時間も多く、それでも事故が
生ずるおそれがあるという課題がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明方法は上記の課題
を解決するため、図１に示すようにボート２の暫定セン
タから検知手段４を一方向に旋回させてボート２の第１
柱３1 を検知し、その位置を第１記憶装置に記憶させ、
検知手段４を他方向に旋回させてボート２の第２柱３2
を検知し、その位置を第２記憶装置に記憶させ、第１，
第２記憶装置に記憶された第１，第２柱３1 ，３2 の位
置から任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算すること
を特徴とする。本発明装置は同じ課題を解決するため、
被処理物１を登載するボート２の柱３を検知する検知手
段４と、この検知手段４を旋回させる旋回装置５と、前
記検知手段４が前記旋回装置５により旋回した時に検知
したボート２の第１柱３1 の位置を記憶する第１記憶装
置６と、前記検知手段４が前記旋回装置５により逆方向
に旋回した時に検知したボート２の第２柱３2 の位置を
記憶する第２記憶装置７と、前記第１，第２記憶装置
６，７に記憶されたボート２の第１，第２柱３1 ，３2
の位置から任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算する
演算装置８とよりなる。
を解決するため、図１に示すようにボート２の暫定セン
タから検知手段４を一方向に旋回させてボート２の第１
柱３1 を検知し、その位置を第１記憶装置に記憶させ、
検知手段４を他方向に旋回させてボート２の第２柱３2
を検知し、その位置を第２記憶装置に記憶させ、第１，
第２記憶装置に記憶された第１，第２柱３1 ，３2 の位
置から任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算すること
を特徴とする。本発明装置は同じ課題を解決するため、
被処理物１を登載するボート２の柱３を検知する検知手
段４と、この検知手段４を旋回させる旋回装置５と、前
記検知手段４が前記旋回装置５により旋回した時に検知
したボート２の第１柱３1 の位置を記憶する第１記憶装
置６と、前記検知手段４が前記旋回装置５により逆方向
に旋回した時に検知したボート２の第２柱３2 の位置を
記憶する第２記憶装置７と、前記第１，第２記憶装置
６，７に記憶されたボート２の第１，第２柱３1 ，３2
の位置から任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算する
演算装置８とよりなる。
【０００６】
【作用】上記の構成において、被処理物１を登載するボ
ート２の暫定センタから検知手段４が旋回装置５により
一方向に旋回され、ボート２の第１柱３1 が検知手段４
により検知され、その位置が第１記憶装置６に記憶され
る。又、検知手段４が旋回装置５により他方向に旋回さ
れ、ボート２の第２柱３2 が検知手段４により検知さ
れ、その位置が第２記憶装置７に記憶される。第１，第
２記憶装置６，７に記憶されたボート２の第１，第２柱
３1 ，３2 の位置から演算装置８により任意の位置又は
センタＣＬの位置が演算されることになる。
ート２の暫定センタから検知手段４が旋回装置５により
一方向に旋回され、ボート２の第１柱３1 が検知手段４
により検知され、その位置が第１記憶装置６に記憶され
る。又、検知手段４が旋回装置５により他方向に旋回さ
れ、ボート２の第２柱３2 が検知手段４により検知さ
れ、その位置が第２記憶装置７に記憶される。第１，第
２記憶装置６，７に記憶されたボート２の第１，第２柱
３1 ，３2 の位置から演算装置８により任意の位置又は
センタＣＬの位置が演算されることになる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明方法の１実施例の構成を示す説
明図、図２は本発明装置の構成を示す説明図である。図
１，図２において２は被処理物であるウェーハ１を登載
するボート、４はボート２の柱３を検知する検知セン
サ、５はこの検知センサ４を旋回させる旋回装置、６は
検知センサ４が旋回装置５により旋回した時に検知した
ボート２の第１柱３1 の位置を記憶する第１記憶装置で
ある。７は検知センサ４が旋回装置５により逆方向に旋
回した時に検知したボート２の第２柱３2 の位置を記憶
する第２記憶装置、８は第１，第２記憶装置６，７に記
憶されたボート２の第１，第２柱３1 ，３2 の位置から
任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算する演算装置で
ある。
明図、図２は本発明装置の構成を示す説明図である。図
１，図２において２は被処理物であるウェーハ１を登載
するボート、４はボート２の柱３を検知する検知セン
サ、５はこの検知センサ４を旋回させる旋回装置、６は
検知センサ４が旋回装置５により旋回した時に検知した
ボート２の第１柱３1 の位置を記憶する第１記憶装置で
ある。７は検知センサ４が旋回装置５により逆方向に旋
回した時に検知したボート２の第２柱３2 の位置を記憶
する第２記憶装置、８は第１，第２記憶装置６，７に記
憶されたボート２の第１，第２柱３1 ，３2 の位置から
任意の位置又はセンタＣＬの位置を演算する演算装置で
ある。
【０００８】上記の構成において検知センサ４は旋回装
置５により図１において左にボート２の第１柱３1 を検
知するまで旋回する。ボート２の第１柱３1 の内側の位
置を検知した検知センサ４はその位置を第１記憶装置６
に記憶する。検知センサ４は旋回装置５により図１にお
いて右にボート２の第２柱３2 を検知するまで旋回す
る。ボート２の第２柱３2 の内側の位置を検知した検知
センサ４はその位置を第２記憶装置７に記憶する。第
１，第２記憶装置６，７にボートの第１柱３1 内側の位
置とボートの第２柱３2 の内側の位置を記憶した後、演
算手段８によって第１記憶装置６の内容と第２記憶装置
７の内容より、ボート２の第１，第２柱３1 ，３2 のセ
ンタＣＬの位置、もしくは任意の位置を求める。上記に
より求めたボートの第１柱３1 とボートの第２柱３2 の
センタＣＬの位置、もしくは任意の位置を基準として、
ウェーハ１の移載動作に関係する場所，径路を決定する
ことができる。
置５により図１において左にボート２の第１柱３1 を検
知するまで旋回する。ボート２の第１柱３1 の内側の位
置を検知した検知センサ４はその位置を第１記憶装置６
に記憶する。検知センサ４は旋回装置５により図１にお
いて右にボート２の第２柱３2 を検知するまで旋回す
る。ボート２の第２柱３2 の内側の位置を検知した検知
センサ４はその位置を第２記憶装置７に記憶する。第
１，第２記憶装置６，７にボートの第１柱３1 内側の位
置とボートの第２柱３2 の内側の位置を記憶した後、演
算手段８によって第１記憶装置６の内容と第２記憶装置
７の内容より、ボート２の第１，第２柱３1 ，３2 のセ
ンタＣＬの位置、もしくは任意の位置を求める。上記に
より求めたボートの第１柱３1 とボートの第２柱３2 の
センタＣＬの位置、もしくは任意の位置を基準として、
ウェーハ１の移載動作に関係する場所，径路を決定する
ことができる。
【０００９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、ボート２
の暫定センタから検知手段４を一方向に旋回させてボー
ト２の第１柱３1 を検知し、その位置を第１記憶装置に
記憶させ、検知手段４を他方向に旋回させてボート２の
第２柱３2 を検知し、その位置を第２記憶装置に記憶さ
せ、第１，第２記憶装置に記憶された第１，第２柱
３1，３2 の位置から任意の位置又はセンタＣＬの位置
を演算することを特徴とするので、被処理物移載動作の
基準を自動的に得たことにより、被処理物移載に関連す
る場所，径路を前記基準値より一義的に求めることが可
能であり、動作の設定に要する労力が著しく低減するこ
とができる。また、基準値が明確になることにより、ソ
フトウェアを用いた自動設定も可能である。
の暫定センタから検知手段４を一方向に旋回させてボー
ト２の第１柱３1 を検知し、その位置を第１記憶装置に
記憶させ、検知手段４を他方向に旋回させてボート２の
第２柱３2 を検知し、その位置を第２記憶装置に記憶さ
せ、第１，第２記憶装置に記憶された第１，第２柱
３1，３2 の位置から任意の位置又はセンタＣＬの位置
を演算することを特徴とするので、被処理物移載動作の
基準を自動的に得たことにより、被処理物移載に関連す
る場所，径路を前記基準値より一義的に求めることが可
能であり、動作の設定に要する労力が著しく低減するこ
とができる。また、基準値が明確になることにより、ソ
フトウェアを用いた自動設定も可能である。
【図１】本発明方法の１実施例の構成を示す説明図であ
る。
る。
【図２】本発明装置の構成を示す説明図である。
１ ウェーハ ２ ボート ３ 柱 ３1 第１柱 ３2 第２柱 ４ 検知手段（センサ） ５ 旋回装置 ６ 第１記憶装置 ７ 第２記憶装置 ８ 演算装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｆ
Claims (2)
- 【請求項１】 ボート（２）の暫定センタから検知手段
（４）を一方向に旋回させてボート（２）の第１柱（３
1 ）を検知し、その位置を第１記憶装置に記憶させ、検
知手段（４）を他方向に旋回させてボート（２）の第２
柱（３2 ）を検知し、その位置を第２記憶装置に記憶さ
せ、第１，第２記憶装置に記憶された第１，第２柱（３
1 ，３2 ）の位置から任意の位置又はセンタ（ＣＬ）の
位置を演算することを特徴とするボート検知方法。 - 【請求項２】 被処理物（１）を登載するボート（２）
の柱（３）を検知する検知手段（４）と、この検知手段
（４）を旋回させる旋回装置（５）と、前記検知手段
（４）が前記旋回装置（５）により旋回した時に検知し
たボート（２）の第１柱（３1 ）の位置を記憶する第１
記憶装置（６）と、前記検知手段（４）が前記旋回装置
（５）により逆方向に旋回した時に検知したボート
（２）の第２柱（３2 ）の位置を記憶する第２記憶装置
（７）と、前記第１，第２記憶装置（６，７）に記憶さ
れたボート（２）の第１，第２柱（３1 ，３2 ）の位置
から任意の位置又はセンタ（ＣＬ）の位置を演算する演
算装置（８）とよりなるボート検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18845393A JPH0745548A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | ボート検知方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18845393A JPH0745548A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | ボート検知方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0745548A true JPH0745548A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16223970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18845393A Pending JPH0745548A (ja) | 1993-07-29 | 1993-07-29 | ボート検知方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0745548A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003037075A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-07 | Tokyo Electron Ltd | 移載装置の制御方法および熱処理方法並びに熱処理装置 |
| US8491974B2 (en) | 2007-08-27 | 2013-07-23 | Greenfields B.V. | Artificial turf and method and device for forming thereof |
| WO2019186653A1 (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置、反応管形状測定方法及び半導体装置の製造方法 |
-
1993
- 1993-07-29 JP JP18845393A patent/JPH0745548A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003037075A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-07 | Tokyo Electron Ltd | 移載装置の制御方法および熱処理方法並びに熱処理装置 |
| US8491974B2 (en) | 2007-08-27 | 2013-07-23 | Greenfields B.V. | Artificial turf and method and device for forming thereof |
| WO2019186653A1 (ja) * | 2018-03-26 | 2019-10-03 | 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ | 基板処理装置、反応管形状測定方法及び半導体装置の製造方法 |
| US11913116B2 (en) | 2018-03-26 | 2024-02-27 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
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