JPH0745029Y2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment

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JPH0745029Y2
JPH0745029Y2 JP12786987U JP12786987U JPH0745029Y2 JP H0745029 Y2 JPH0745029 Y2 JP H0745029Y2 JP 12786987 U JP12786987 U JP 12786987U JP 12786987 U JP12786987 U JP 12786987U JP H0745029 Y2 JPH0745029 Y2 JP H0745029Y2
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JP
Japan
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signal
output
input
output terminal
test
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寛 塚原
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Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は出力端子を具備したICの試験装置に関する。[Detailed Description of the Invention] "Industrial Application Field" The present invention relates to an IC test apparatus having an output terminal.

「従来の技術」 第2図に従来のIC試験装置を示す。図中1は被試験ICを
示す。この被試験IC1の端子1A,1B,…1Nはそれぞれ入力
兼出力端子であるものとする。以下この入力兼出力端子
をこの明細書では入出力端子と略称する。
"Prior Art" Fig. 2 shows a conventional IC tester. In the figure, 1 indicates the IC under test. The terminals 1A, 1B, ... 1N of this IC under test 1 are input / output terminals. Hereinafter, this input / output terminal is abbreviated as an input / output terminal in this specification.

2はパターン発生器、3は期待値パターン発生器をそれ
ぞれ示す。パターン発生器2から出力されるパターン信
号は波形制御器4A,4Bと駆動回路5A,5Bを通じて被試験IC
1の各入出力端子1A,1Bに与えられる。波形制御器4A(4
B)と駆動回路5A(5B)の各系路をそれぞれ試験パター
ン信号の信号供給系路と呼ぶことにする。尚この例では
被試験IC1の入出力端子1A,1Bについてだけ説明するが、
その他の入出力端子も同様の構成でパターン信号が与え
られる。
Reference numeral 2 is a pattern generator, and 3 is an expected value pattern generator. The pattern signal output from the pattern generator 2 is passed through the waveform controllers 4A, 4B and the drive circuits 5A, 5B to the IC under test.
1 is given to each input / output terminal 1A, 1B. Waveform controller 4A (4
Each path of B) and the drive circuit 5A (5B) will be called a signal supply path of a test pattern signal. In this example, only the input / output terminals 1A and 1B of the IC under test 1 will be described.
A pattern signal is given to the other input / output terminals with the same configuration.

入出力端子1A,1Bはコントロール信号によって入力モー
ドから出力モードに切換られ被試験IC1の応答信号を出
力する。この応答信号はレベル比較器6A,6Bに与えら
れ、正規のH論理レベル及びL論理レベルを出力したか
否かを判定する。
The input / output terminals 1A and 1B are switched from the input mode to the output mode by the control signal and output the response signal of the IC under test 1. This response signal is given to the level comparators 6A and 6B, and it is determined whether or not the normal H logic level and L logic level are output.

レベル判定の結果が良であれば、そのレベル判定出力は
ディジタル比較器7A,7Bに与えられ、このディジタル比
較器7A,7Bにおいて期待値パターンと比較される。レベ
ル比較器6A(6B)とディジタル比較器7A(7B)の各系路
を信号取込系路と呼ぶことにする。期待値パターン信号
に対して不一致が発生するとディジタル比較器7A,7Bの
それぞれから不良検出信号FAILが発生し、被試験IC1の
不良を表示する。
If the result of the level judgment is good, the level judgment output is given to the digital comparators 7A and 7B and compared with the expected value pattern in the digital comparators 7A and 7B. Each path of the level comparator 6A (6B) and the digital comparator 7A (7B) will be called a signal acquisition path. When a discrepancy occurs with the expected value pattern signal, a defect detection signal FAIL is generated from each of the digital comparators 7A and 7B and the defect of the IC under test 1 is displayed.

ここまでの説明は通常の動作説明である。次に高速試験
について説明する。
The description so far is a normal operation description. Next, the high speed test will be described.

被試験IC1の動作速度が速い場合はパターン信号の発生
速度を高速化すれば試験時間を短かくすることができ
る。しかしながらパターン発生器2のパターン発生速度
を高速化することはむずかしいため、従来より次のよう
な方法で高速素子の試験を行なっている。つまり波形制
御器4A,4Bから与えられる論理波形を切替回路8で切替
え、二つのパターン信号を例えば入出力端子1Aに重畳し
て与え、通常の速度の2倍の速度で変化するパターン信
号を入出力端子1Aに与える。
When the operation speed of the IC under test 1 is high, the test time can be shortened by increasing the generation speed of the pattern signal. However, since it is difficult to increase the pattern generation speed of the pattern generator 2, a high speed element has been tested by the following method conventionally. That is, the switching circuit 8 switches the logic waveforms given from the waveform controllers 4A and 4B, and two pattern signals are superimposed and given to the input / output terminal 1A, for example, and a pattern signal that changes at a speed twice the normal speed is inputted. Apply to output terminal 1A.

切替回路8はレジスタ8Aと、アンドゲート8Bと、オアゲ
ート8Cとによって構成され、レジスタ8AにH論理を設定
することによってアンドゲート8Bを開にし、波形制御器
4Bから出力される論理波形をオアゲート8Cに与え、オア
ゲート8Cで波形制御器4Aから与えられる論理波形に重畳
する。
The switching circuit 8 is composed of a register 8A, an AND gate 8B, and an OR gate 8C. The AND gate 8B is opened by setting the H logic in the register 8A to open the waveform controller.
The logical waveform output from 4B is given to the OR gate 8C, and the OR gate 8C superimposes it on the logical waveform given from the waveform controller 4A.

レジスタ8AにL論理を与えたときはアンドゲート8Bが閉
となるから波形制御器4Bから出力される論理波形信号が
入出力端子1Aに重畳されることはなく、この状態で低速
度の試験が行なわれる。
When the L logic is given to the register 8A, the AND gate 8B is closed, so that the logic waveform signal output from the waveform controller 4B is not superimposed on the input / output terminal 1A. Done.

一方レジスタ8AにH論理を入力した場合は、レベル比較
器6A,6Bとディジタル比較器7Bの間に設けたマルチプレ
クサ9を切替え、レベル比較器6Aの出力をディジタル比
較器7Bにも与え、ディジタル比較器7Aと7Bの双方から入
出力端子1Aの応答出力の判定結果を出力させる状態に切
替わる。
On the other hand, when the H logic is input to the register 8A, the multiplexer 9 provided between the level comparators 6A and 6B and the digital comparator 7B is switched, and the output of the level comparator 6A is also given to the digital comparator 7B to perform the digital comparison. The state is switched to a state in which the determination result of the response output of the input / output terminal 1A is output from both the devices 7A and 7B.

つまり、波形制御器5A側の信号供給系路をAチャンネ
ル、波形制御器5B側の信号供給系路をBチャンネルとす
れば、Aチャンネル側の試験パターン信号を入出力端子
1Aに与えてその応答信号をレベル比較器6Aで取り出した
場合は、そのレベル比較出力はディジタル比較器7AでA
チャンネル側の期待値パターンと比較する。これと共
に、Bチャンネル側の試験パターン信号を切替回路8を
通じて入出力端子1Aに与え、その応答出力信号をレベル
比較器6Aで取り出した場合は、その応答出力信号はマル
チプレクサ9を通じてディジタル比較器7Bに与え、Bチ
ャンネル側の期待値パターンと比較する。このようにし
て、AチャンネルとBチャンネルの試験パターンを利用
して入出力端子1Aを高速試験する。
That is, if the signal supply system path on the waveform controller 5A side is the A channel and the signal supply system path on the waveform controller 5B side is the B channel, the test pattern signal on the A channel side is the input / output terminal.
When the response signal is given to 1A and taken out by the level comparator 6A, the level comparison output is A by the digital comparator 7A.
Compare with the expected value pattern on the channel side. At the same time, when the test pattern signal on the B channel side is given to the input / output terminal 1A through the switching circuit 8 and the response output signal is taken out by the level comparator 6A, the response output signal is sent to the digital comparator 7B through the multiplexer 9. And the expected value pattern on the B channel side is compared. In this way, the input / output terminal 1A is tested at high speed by utilizing the test patterns of the A channel and the B channel.

「考案が解決しようとする課題」 上述したように、高速試験はAチャンネルとBチャンネ
ルの二つのチャンネルを利用して1つの入出力端子を試
験するから、全ての端子を一度に高速試験するには被試
験IC1の端子数の倍のチャンネル数が必要となる。この
結果、IC試験装置の回路規模が大きくなり、高価なもの
となる欠点がある。
"Problems to be solved by the invention" As described above, in the high-speed test, one input / output terminal is tested using two channels, A channel and B channel, so it is necessary to test all terminals at one time. Requires a number of channels that is twice the number of terminals of IC1 under test. As a result, there is a drawback that the circuit scale of the IC test apparatus becomes large and becomes expensive.

この考案の目的は回路規模を大きくすることなく、高速
試験を実施することができるIC試験装置を提供しようと
するものである。
An object of the present invention is to provide an IC test device that can carry out a high speed test without increasing the circuit scale.

「問題点を解決するための手段」 この考案では互に対を構成するパターン信号の信号路に
互に相互にパターン信号を重畳させることができる切替
回路を設けた構成としたものである。
"Means for Solving Problems" In the present invention, a switching circuit capable of superimposing pattern signals on each other is provided in the signal paths of pattern signals forming a pair.

この考案の構成によれば対を構成する波形制御器から出
力される一対の論理波形信号を相互に重畳させて二つの
入出力端子に与えることができる。切替回路の切替えだ
けで高速試験を行うべき端子の系路を切替えることがで
きる。よってチャンネル数を増すことなく被試験ICの全
端子を高速試験することができる。
According to the configuration of the present invention, a pair of logical waveform signals output from a pair of waveform controllers can be superimposed on each other and supplied to two input / output terminals. Only by switching the switching circuit, it is possible to switch the system path of the terminal to be subjected to the high speed test. Therefore, all terminals of the IC under test can be tested at high speed without increasing the number of channels.

「実施例」 第1図にこの考案の一実施例を示す。図中1は被試験I
C、2はパターン発生器、3は期待値パターン発生器、4
A,4Bは波形制御器、5A,5Bは駆動回路を示す点は第2図
と同じである。
"Embodiment" FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is the test I
C, 2 is a pattern generator, 3 is an expected value pattern generator, 4
A and 4B are waveform controllers, and 5A and 5B are drive circuits as in the case of FIG.

この考案においては波形制御器4A,4Bと駆動回路5A,5Bの
間に相互に信号を重畳させる切替回路11A,11Bを設け
る。
In this invention, switching circuits 11A and 11B for superimposing signals on each other are provided between the waveform controllers 4A and 4B and the drive circuits 5A and 5B.

各切替回路11A,11Bはそれぞれ先にも説明したようにレ
ジスタ8Aと、このレジスタ8Aの設定出力によって開閉制
御されるアンドゲート8Bと、オアゲート8Cとによって構
成される。
Each of the switching circuits 11A and 11B is composed of the register 8A, the AND gate 8B whose opening and closing is controlled by the set output of the register 8A, and the OR gate 8C, as described above.

このように構成することによって各切替回路11A,11Bの
レジスタ8AにH論理を入力し、アンドゲート8Bを開に制
御することによって波形制御器4A及び4Bから出力される
論理波形信号はオアゲート8Cにおいて互に重畳されて駆
動回路5Aと5Bに与えられ入出力端子1Aと1Bに入力され
る。
With such a configuration, by inputting H logic to the register 8A of each switching circuit 11A, 11B and controlling the AND gate 8B to open, the logic waveform signals output from the waveform controllers 4A and 4B are output in the OR gate 8C. The signals are superposed on each other and applied to the drive circuits 5A and 5B and input to the input / output terminals 1A and 1B.

各入出力端子1A,1Bの応答出力信号はレベル比較器6A,6B
でレベル判定され、そのレベル判定出力はこの例ではマ
ルチプレクサ9A,9Bを介してディジタル比較器7A,7Bに与
える構造とした場合を示す。
The response output signals of the input / output terminals 1A and 1B are level comparators 6A and 6B.
In this example, the level judgment is performed and the level judgment output is given to the digital comparators 7A and 7B via the multiplexers 9A and 9B.

つまりこの二つのマルチプレクサ9A,9Bは各別にレジス
タ12A,12Bを有し、レベル比較器6A,6Bの何れの出力でも
自由に選択し、ディジタル比較器7A,7Bに与えることが
できる構造とした場合を示す。
In other words, when these two multiplexers 9A and 9B have separate registers 12A and 12B, respectively, any of the outputs of the level comparators 6A and 6B can be freely selected and provided to the digital comparators 7A and 7B. Indicates.

このように構成したことによってレジスタ8Aの何れか一
方にH論理を入力すれば入出力端子1A又は1Bの何れか一
方に高速試験パターン信号を与えることができる。また
高速試験パターン信号を与える入出力端子を切替えるこ
ともできる。
With this configuration, if the H logic is input to either one of the registers 8A, the high speed test pattern signal can be applied to either one of the input / output terminals 1A or 1B. It is also possible to switch the input / output terminal that gives the high-speed test pattern signal.

更に各入出力端子1Aと1Bの応答出力はレベル比較器6A,6
Bでレベル比較され、そのレベル比較結果を二つのマル
チプレクサ9Aと9Bに与える構造としたからディジタル比
較器7Aに入出力端子1Aの応答出力を与えることも、入出
力端子1Bの応答出力を与えることも可能となる。
Furthermore, the response output of each input / output terminal 1A and 1B is the level comparator 6A, 6
Since the level is compared at B, and the level comparison result is given to the two multiplexers 9A and 9B, the response output from the input / output terminal 1A or the response output from the input / output terminal 1B can be given to the digital comparator 7A. Will also be possible.

よってディジタル比較器7A,7Bでは入出力端子1A,1Bの任
意の端子の良否判定結果を出力することができる。
Therefore, the digital comparators 7A and 7B can output the pass / fail judgment result of any of the input / output terminals 1A and 1B.

「考案の効果」 以上説明したようにこの考案によれば被試験ICの端子を
半分ずつ高速試験すれば低速試験と同じ規模の回路で高
速試験を行なうことができ、この点で性能のよいIC試験
装置を安価に提供することができる。
“Effect of device” As described above, according to this device, if the terminals of the IC under test are tested at a high speed by half, a high-speed test can be performed with a circuit of the same scale as the low-speed test. The test apparatus can be provided at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの考案の一実施例を示すブロック図、第2図
は従来の技術を説明するためのブロック図である。 1……被試験IC、2……パターン発生器、3……期待値
パターン発生器、4A,4B……波形制御器、5A,5B……駆動
回路、6A,6B……レベル比較器、7A,7B……ディジタル比
較器、8A……レジスタ、8B……アンドゲート、8C……オ
フゲート、9A,9B……マルチプレクサ、11A,11B……切替
回路、8A……切替回路を構成するレジスタ、8B……同様
のアンドゲート、8C……同様のオアゲート。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram for explaining a conventional technique. 1 ... IC under test, 2 ... Pattern generator, 3 ... Expected value pattern generator, 4A, 4B ... Waveform controller, 5A, 5B ... Drive circuit, 6A, 6B ... Level comparator, 7A , 7B ... Digital comparator, 8A ... Register, 8B ... And gate, 8C ... Off gate, 9A, 9B ... Multiplexer, 11A, 11B ... Switching circuit, 8A ... Register forming switching circuit, 8B …… Similar AND gate, 8C …… Similar OR gate.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】パターン発生器から出力されるパターン信
号を被試験ICの各入出力端子に与える実波形を持つ試験
パターン信号に変換する波形制御器と、この波形制御器
から出力される実波形を持つ試験パターン信号を被試験
ICの各入出力端子に与える駆動回路とによって構成され
る試験パターン信号の信号供給系路が被試験ICの各入出
力端子毎に設けられると共に、各入出力端子が出力端子
に切替えられるタイミングにおいて、各入出力端子に出
力される被試験ICの応答出力信号を取り出すレベル比較
器と、このレベル比較器で正規の論理レベルを持つと判
定された信号が入力されて期待値パターンと比較するデ
ィジタル比較器とによって構成される信号取込系路が被
試験ICの各入出力端子毎に設けられて構成されるIC試験
装置において、 二つの信号供給系路の相互において、互いに他方の信号
供給系路に自己の試験パターン信号を重畳させる状態と
重畳させない状態に切替える切替回路と、これら二つの
信号供給系路に接続された二つの信号取込系路に被試験
ICの上記一方の入出力端子から出力される応答出力信号
を二つのディジタル比較器に分配する状態と分配しない
状態に切替えるマルチプレクサとを設けたことを特徴と
するIC試験装置。
1. A waveform controller for converting a pattern signal output from a pattern generator into a test pattern signal having an actual waveform applied to each input / output terminal of an IC under test, and an actual waveform output from this waveform controller. Test pattern signal with
At the timing when a signal supply system path for the test pattern signal, which is composed of a drive circuit for each input / output terminal of the IC, is provided for each input / output terminal of the IC under test and each input / output terminal is switched to the output terminal. , A level comparator for extracting the response output signal of the IC under test output to each input / output terminal, and a digital signal for comparing the expected value pattern with the signal judged to have a normal logic level by this level comparator In an IC tester that is configured with a signal-acquisition path that is composed of a comparator for each input / output terminal of the IC under test, the two signal-supply paths are mutually opposite A switching circuit that switches between the state in which the test pattern signal of itself is superimposed on the line and the state in which it is not superimposed, and the two signal acquisition lines connected to these two signal supply lines are tested.
An IC test apparatus comprising: a multiplexer that switches a response output signal output from the one input / output terminal of the IC to a state in which it is distributed to two digital comparators and a state in which it is not distributed.
JP12786987U 1987-08-21 1987-08-21 IC test equipment Expired - Lifetime JPH0745029Y2 (en)

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JPS6433083U JPS6433083U (en) 1989-03-01
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