JPH0744211B2 - ウエハブレーク装置 - Google Patents
ウエハブレーク装置Info
- Publication number
- JPH0744211B2 JPH0744211B2 JP9394188A JP9394188A JPH0744211B2 JP H0744211 B2 JPH0744211 B2 JP H0744211B2 JP 9394188 A JP9394188 A JP 9394188A JP 9394188 A JP9394188 A JP 9394188A JP H0744211 B2 JPH0744211 B2 JP H0744211B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- roller
- break
- adhesive sheet
- frame ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ウエハ状態の半導体素子を素子単位に分離
するウエハブレーク装置に関するものである。
するウエハブレーク装置に関するものである。
〔従来の技術〕 第６図は、従来のウエハブレーク装置の例の構成図であ
る。
る。
図において、（１）はセミフルカットされたウエハ、
（２）は（１）のウエハを固定する粘着シート、（３）
は、この粘着シート（２）を支えるフレームリング、
（４）は、このフレームリング（３）を脱着自在に固定
できるテーブル、（５）は、ブレーク刃（６）は、この
ブレーク刃（５）を回転可能とする回転軸、（７）は、
ブレーク刃（５）回転軸（６）を固定する固定治具、で
ある。
（２）は（１）のウエハを固定する粘着シート、（３）
は、この粘着シート（２）を支えるフレームリング、
（４）は、このフレームリング（３）を脱着自在に固定
できるテーブル、（５）は、ブレーク刃（６）は、この
ブレーク刃（５）を回転可能とする回転軸、（７）は、
ブレーク刃（５）回転軸（６）を固定する固定治具、で
ある。
次に動作について説明する。上記の様な構成の従来ウエ
ハブレーク装置においては、ブレークしたいラインとブ
レーク刃（５）の進行方向とブレーク位置を合わせ、ブ
レーク刃（５）の位置を決定する。この際、ブレーク刃
（５）は、粘着シート（２）をわずかに突上げる高さに
設定する。次にウエハ（１）を固定する粘着シート
（２）を支えているフレームリング（３）を装着してい
るテーブル（４）とブレーク刃（５）を相対的に移動さ
せブレーク刃（５）を第８図の位置まで動かす。この移
動の際ブレーク刃（５）によりシート（２）と共にウエ
ハ（１）のセミフルカットされた下部が押し上げられ、
この部分のラインがブレークされる。第８図の状態で更
に新しくブレークしたいラインにブレーク刃（５）を移
動させ以上の動作を繰返す。横方向の全ラインをブレー
ク終了後フレームリング（３）を固定している、テーブ
ル（４）を90゜回転させ再度ブレーク刃（５）の進行方
向の全ラインをブレークしブレーク動作を終了する。
ハブレーク装置においては、ブレークしたいラインとブ
レーク刃（５）の進行方向とブレーク位置を合わせ、ブ
レーク刃（５）の位置を決定する。この際、ブレーク刃
（５）は、粘着シート（２）をわずかに突上げる高さに
設定する。次にウエハ（１）を固定する粘着シート
（２）を支えているフレームリング（３）を装着してい
るテーブル（４）とブレーク刃（５）を相対的に移動さ
せブレーク刃（５）を第８図の位置まで動かす。この移
動の際ブレーク刃（５）によりシート（２）と共にウエ
ハ（１）のセミフルカットされた下部が押し上げられ、
この部分のラインがブレークされる。第８図の状態で更
に新しくブレークしたいラインにブレーク刃（５）を移
動させ以上の動作を繰返す。横方向の全ラインをブレー
ク終了後フレームリング（３）を固定している、テーブ
ル（４）を90゜回転させ再度ブレーク刃（５）の進行方
向の全ラインをブレークしブレーク動作を終了する。
従来のウエハブレーク装置は、ブレーク刃（５）を用い
てダイシングラインを１ラインづつブレークしていくこ
とが必要でブレーク処理時間が長くなるという問題があ
った。
てダイシングラインを１ラインづつブレークしていくこ
とが必要でブレーク処理時間が長くなるという問題があ
った。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ダイシングライン数に関係がなく２回のス
トロークでブレークでき、ブレーク処理時間を短縮する
ことのできるウエハブレーク装置を得ることを目的とす
る。
れたもので、ダイシングライン数に関係がなく２回のス
トロークでブレークでき、ブレーク処理時間を短縮する
ことのできるウエハブレーク装置を得ることを目的とす
る。
この発明に係るウエハブレーク装置は、フレームリング
に貼付けられた粘着シート上に固着されたダイシング済
のウエハをウエハ表面パターンに接触する事なく、テー
プの裏側よりテープとウエハとの接着力と、フレームリ
ングとテープの接着力、及びフレームリングに接着され
たテープに裏面より荷重を掛けた時のテープの剛性を利
用してブレークを行う、其の時、テープの裏面より荷重
を掛けるためのローラーの形状を中央の径を大きく、両
端に行く程小径に構成し、ローラー移動に対し、フレー
ムリングと干渉しない様にすると共に中央部の径と両端
部の径をブレークするチップサイズにより選定するもの
である。
に貼付けられた粘着シート上に固着されたダイシング済
のウエハをウエハ表面パターンに接触する事なく、テー
プの裏側よりテープとウエハとの接着力と、フレームリ
ングとテープの接着力、及びフレームリングに接着され
たテープに裏面より荷重を掛けた時のテープの剛性を利
用してブレークを行う、其の時、テープの裏面より荷重
を掛けるためのローラーの形状を中央の径を大きく、両
端に行く程小径に構成し、ローラー移動に対し、フレー
ムリングと干渉しない様にすると共に中央部の径と両端
部の径をブレークするチップサイズにより選定するもの
である。
この発明におけるウエハブレーク装置は、フレームリン
グにより粘着シートを外周周辺で接着されているため、
テープ裏面から荷重を負荷した時テープの変形は境界条
件が周辺支持の薄肉内板と同様の変位を行うため、テー
プ面内には位置により全て異なる応力を発生すると共に
単純な荷重形態ではブレーク出来る曲率を得る事は出来
ない。そのため中央部と両端部の径を変えた中央部が大
きい両端部が小さい径のローラーでブレークする様にし
たものである。
グにより粘着シートを外周周辺で接着されているため、
テープ裏面から荷重を負荷した時テープの変形は境界条
件が周辺支持の薄肉内板と同様の変位を行うため、テー
プ面内には位置により全て異なる応力を発生すると共に
単純な荷重形態ではブレーク出来る曲率を得る事は出来
ない。そのため中央部と両端部の径を変えた中央部が大
きい両端部が小さい径のローラーでブレークする様にし
たものである。
以下この発明の一実施例を図について説明する。
第１図において（８）は、中央が最大の半径Ｒで両端部
半径がそれより小さい半径ｒで構成された中央部にふく
らみを持つローラー、（９）は、このローラー（８）を
回転可能にさせる回転軸である。第４図において（１）
はダイシングされたウエハ（２）は粘着シート（３）は
ウエハリング（４）はウエハリングを狭み込んで締付け
固定する様に構成した固定用テーブル、（８）は本発明
になるローラー（14）は此のローラーが回転出来るよう
にするための軸受（10）は、（９）軸及びローラー
（８）を支える軸受台（11）は軸受台（10）を上下出来
る様に設えた上下動機構、（12）はローラーをブレーク
線に沿って移動させるためのローラー移動機構のための
移動軸（13）はその移動機構を支持するためのガイド機
構の一部を示す。第２図はローラー（８）によりブレー
クを開始する時のローラー（８）とウエハ（１）粘着シ
ート（２）及びフレームリング（３）との関係を示す、
第３図はローラー（８）を移動しブレークを完了した時
のローラー（８）とウエハ（１）と粘着テープ（２）及
びフレームリング（３）と固定用テーブル（４）の関係
を示す。
半径がそれより小さい半径ｒで構成された中央部にふく
らみを持つローラー、（９）は、このローラー（８）を
回転可能にさせる回転軸である。第４図において（１）
はダイシングされたウエハ（２）は粘着シート（３）は
ウエハリング（４）はウエハリングを狭み込んで締付け
固定する様に構成した固定用テーブル、（８）は本発明
になるローラー（14）は此のローラーが回転出来るよう
にするための軸受（10）は、（９）軸及びローラー
（８）を支える軸受台（11）は軸受台（10）を上下出来
る様に設えた上下動機構、（12）はローラーをブレーク
線に沿って移動させるためのローラー移動機構のための
移動軸（13）はその移動機構を支持するためのガイド機
構の一部を示す。第２図はローラー（８）によりブレー
クを開始する時のローラー（８）とウエハ（１）粘着シ
ート（２）及びフレームリング（３）との関係を示す、
第３図はローラー（８）を移動しブレークを完了した時
のローラー（８）とウエハ（１）と粘着テープ（２）及
びフレームリング（３）と固定用テーブル（４）の関係
を示す。
上記のウエハブレーク装置についての作用動作説明を行
なう。
なう。
第２図において、ダイシングラインとローラー回転軸を
平行に合せてローラーの位置を決定する。この際ローラ
ーは、シート（２）をわずかに突き上げ所定の高さに第
４図（11）に示す上下動機構で調整する。
平行に合せてローラーの位置を決定する。この際ローラ
ーは、シート（２）をわずかに突き上げ所定の高さに第
４図（11）に示す上下動機構で調整する。
次にウエハ（１）を固定する粘着シート（２）を支えて
いるフレームリング（３）を装着するテーブル（４）と
ローラー（８）を相対的に移動させローラー（８）を第
３図の位置まで動かす。この時ローラー（８）の回転す
る方向は、ローラー回転軸（９）により、粘着シート
（２）との接触抵抗の大きい方へ向きローラー（８）の
曲率によりダイシングラインがブレークされ第３図に示
す位置までローラーが移動し１ストローク目のブレーク
を完了させた後、フレームリング（３）を固定してい
る、テーブル（４）を90゜回転させ上記一連の動作を行
ない２ストローク目のブレークでブレーク動作を終了す
る。ブレーク出来る曲率半径は粘着テープの接着力Ｐと
チップサイズ縦寸法ａと横寸法ｂ及びダイシングによる
切残し量t1とウエハと弾性率E1によりローラーの最大直
径を決め、ローラー両端部の直径は、粘着シートの外周
径寸法、すなわちフレームリング内周寸法とテープ厚
み、t2とテープの弾性係数E2で粘着テープの変位が決る
ためテープ中央部と、外周部の変位差を求めその差より
ローラーの中央部径と両端部の径の差が大きくなる様に
設計する。
いるフレームリング（３）を装着するテーブル（４）と
ローラー（８）を相対的に移動させローラー（８）を第
３図の位置まで動かす。この時ローラー（８）の回転す
る方向は、ローラー回転軸（９）により、粘着シート
（２）との接触抵抗の大きい方へ向きローラー（８）の
曲率によりダイシングラインがブレークされ第３図に示
す位置までローラーが移動し１ストローク目のブレーク
を完了させた後、フレームリング（３）を固定してい
る、テーブル（４）を90゜回転させ上記一連の動作を行
ない２ストローク目のブレークでブレーク動作を終了す
る。ブレーク出来る曲率半径は粘着テープの接着力Ｐと
チップサイズ縦寸法ａと横寸法ｂ及びダイシングによる
切残し量t1とウエハと弾性率E1によりローラーの最大直
径を決め、ローラー両端部の直径は、粘着シートの外周
径寸法、すなわちフレームリング内周寸法とテープ厚
み、t2とテープの弾性係数E2で粘着テープの変位が決る
ためテープ中央部と、外周部の変位差を求めその差より
ローラーの中央部径と両端部の径の差が大きくなる様に
設計する。
なお、上記図１の実施例では中央の最大径Ｒと、両端の
最小径ｒとの間を直線で構成したウエハ径より大きい長
さｌのローラーを示したが、前述した様に粘着テープの
変位は、フレームリング内径周囲形状と、フレームリン
グ内径周囲を支えるテーブルの支持方法で境界条件が変
わることからフレームリングの形状を変えたり、フレー
ムリングの支持方法を変えたりする事で種々に粘着テー
プの変位は変わるその場合Ｒとｒの差を変化する事で同
様の効果が得られる、フレームリングに粘着テープを貼
付けた状態で粘着テープに張力を持たせたものをテープ
の裏面より割る場合、最大径Ｒと最小径ｒを結ぶ線が直
線であっても図４に示したように他の曲線であっても同
様の効果を奏することは言うまでもない、 〔発明の効果〕 この発明はウエハ径と長さがほぼ同じのウエハブレーク
用ローラを、その中央に比し両端が小径のローラを用い
ることで、ローラとフレームリングとの干渉を防止する
ことが出来るだけでなく、２回のストロークで、ウエハ
全域のウエハブレークが行え、ブレーク処理時間短縮上
極めて有効である等の優れた効果を有するものである。
最小径ｒとの間を直線で構成したウエハ径より大きい長
さｌのローラーを示したが、前述した様に粘着テープの
変位は、フレームリング内径周囲形状と、フレームリン
グ内径周囲を支えるテーブルの支持方法で境界条件が変
わることからフレームリングの形状を変えたり、フレー
ムリングの支持方法を変えたりする事で種々に粘着テー
プの変位は変わるその場合Ｒとｒの差を変化する事で同
様の効果が得られる、フレームリングに粘着テープを貼
付けた状態で粘着テープに張力を持たせたものをテープ
の裏面より割る場合、最大径Ｒと最小径ｒを結ぶ線が直
線であっても図４に示したように他の曲線であっても同
様の効果を奏することは言うまでもない、 〔発明の効果〕 この発明はウエハ径と長さがほぼ同じのウエハブレーク
用ローラを、その中央に比し両端が小径のローラを用い
ることで、ローラとフレームリングとの干渉を防止する
ことが出来るだけでなく、２回のストロークで、ウエハ
全域のウエハブレークが行え、ブレーク処理時間短縮上
極めて有効である等の優れた効果を有するものである。
第１図は、この発明の一実施例によるローラーを示す斜
視図、第２、３、４図は、この発明が、およぼす作用及
び動作を示す正面図、第５、６、７、８図は、従のブレ
ーク装置の作用及び動作を示す正面図、（１）ウエハ、
（２）は、粘着シート、（３）は、フレームリング、
（４）はテーブル、（５）は、ブレーク刃、（６）はブ
レーク刃回転軸、（７）は、ブレーク刃固定治具、
（８）はローラー、（９）はローラー回転軸、（10）は
軸受台（11）は上下動機構、（12）はローラー移動機
構、（13）はガイド機構、（14）は軸受 なお図中、同一符号は、同一、又は相当部分を示す。
視図、第２、３、４図は、この発明が、およぼす作用及
び動作を示す正面図、第５、６、７、８図は、従のブレ
ーク装置の作用及び動作を示す正面図、（１）ウエハ、
（２）は、粘着シート、（３）は、フレームリング、
（４）はテーブル、（５）は、ブレーク刃、（６）はブ
レーク刃回転軸、（７）は、ブレーク刃固定治具、
（８）はローラー、（９）はローラー回転軸、（10）は
軸受台（11）は上下動機構、（12）はローラー移動機
構、（13）はガイド機構、（14）は軸受 なお図中、同一符号は、同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】フレームリングに貼付けられた粘着シート
とその粘着シートで固定されたダイシング済みウエハを
粘着シートの裏面から、前記ウエハ径と長さがほぼ同じ
のローラを用いてウエハ状態の半導体素子を素子単位に
切離するウエハブレーク装置において、中央を最大の半
径Ｒで、両端部がよれより小さい半径ｒになるようにし
た中央部にふくらみのあるローラと、そのローラが回転
出来る回転機構と、そのローラを直線上に移動出来る機
構とを備えたウエハブレーク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9394188A JPH0744211B2 (ja) | 1988-04-14 | 1988-04-14 | ウエハブレーク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9394188A JPH0744211B2 (ja) | 1988-04-14 | 1988-04-14 | ウエハブレーク装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01264236A JPH01264236A (ja) | 1989-10-20 |
| JPH0744211B2 true JPH0744211B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=14096459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9394188A Expired - Lifetime JPH0744211B2 (ja) | 1988-04-14 | 1988-04-14 | ウエハブレーク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744211B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100278137B1 (ko) | 1997-09-04 | 2001-01-15 | 가나이 쓰도무 | 반도체소자의 탑재방법 및 그 시스템, 반도체소자 분리장치 및ic카드의 제조방법 |
| JP3504543B2 (ja) | 1999-03-03 | 2004-03-08 | 株式会社日立製作所 | 半導体素子の分離方法およびその装置並びに半導体素子の搭載方法 |
| US6602736B1 (en) | 1999-03-03 | 2003-08-05 | Hitachi, Ltd. | Method and apparatus for separating semiconductor chips |
| CN1178829C (zh) * | 2000-06-30 | 2004-12-08 | 普乐士文具株式会社 | 薄膜转送工具和用于其转送头的小直径辊的制造方法 |
| JP5780446B2 (ja) * | 2011-02-02 | 2015-09-16 | 株式会社東京精密 | 半導体ウエーハブレーキング装置及び方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437954A (en) * | 1977-08-31 | 1979-03-20 | Toyo Rajieetaa Kk | Method of producing fin for bent core in heat exchanger |
-
1988
- 1988-04-14 JP JP9394188A patent/JPH0744211B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01264236A (ja) | 1989-10-20 |
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