JPH0744035Y2 - レーザ発振装置 - Google Patents
レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0744035Y2 JPH0744035Y2 JP1988128003U JP12800388U JPH0744035Y2 JP H0744035 Y2 JPH0744035 Y2 JP H0744035Y2 JP 1988128003 U JP1988128003 U JP 1988128003U JP 12800388 U JP12800388 U JP 12800388U JP H0744035 Y2 JPH0744035 Y2 JP H0744035Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- temperature
- head
- base
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案はレーザ発振装置，特に少なくともポンピング
ヘッドと共振器とをレーザベース上に配置したレーザ発
振ヘッドを含むレーザ発振装置に関するものである。
ヘッドと共振器とをレーザベース上に配置したレーザ発
振ヘッドを含むレーザ発振装置に関するものである。
従来，この種の発振装置はレーザベース上に主としてレ
ーザロッドと励起ランプと集光器から構成されるポンピ
ングヘッドとレーザ共振器ミラー等の光学部品とを固定
して構成されるいわゆるレーザ発振ヘッドと電源冷却器
から成り，レーザ発振ヘッドはレーザベンチ上に設置さ
れ使用されるのが通常である。
ーザロッドと励起ランプと集光器から構成されるポンピ
ングヘッドとレーザ共振器ミラー等の光学部品とを固定
して構成されるいわゆるレーザ発振ヘッドと電源冷却器
から成り，レーザ発振ヘッドはレーザベンチ上に設置さ
れ使用されるのが通常である。
このレーザ発振装置を安定動作させるための特に重要な
問題点は，レーザ発振装置の設置された環境温度が変化
したときに，主として光学部品を保持する機構部材が伸
縮変形する為，レーザ出力の低下を生じることである。
特にレーザベースとレーザベンチの材質が異なる場合な
ど，両者の熱膨張係数の違いから周囲温度の変化の影響
を受けるため長時間の安定性を欠いていた。
問題点は，レーザ発振装置の設置された環境温度が変化
したときに，主として光学部品を保持する機構部材が伸
縮変形する為，レーザ出力の低下を生じることである。
特にレーザベースとレーザベンチの材質が異なる場合な
ど，両者の熱膨張係数の違いから周囲温度の変化の影響
を受けるため長時間の安定性を欠いていた。
本考案は従来のこのような課題を解決し，周囲温度に対
する温度特性を向上し，長時間安定度の高いレーザ発振
装置を提供するものである。
する温度特性を向上し，長時間安定度の高いレーザ発振
装置を提供するものである。
本考案によれば，ポンピングヘッドと共振器とをレーザ
ベース上に配置したレーザ発振ヘッド，及び該レーザ発
振ヘッドを設置したレーザベンチを含むレーザ発振装置
において，レーザベースに設けられると共に，レーザ発
振ヘッドの温度を検出して温度検出信号を出力する温度
センサと，温度検出信号に応じて流量制御信号を出力す
る温度コントローラと，レーザベース及びレーザベンチ
の内部に配設された配管を含むと共に，該流量制御信号
に従って該配管内に冷却水を流量可変で供給する冷却装
置とを備えたレーザ発振装置が得られる。
ベース上に配置したレーザ発振ヘッド，及び該レーザ発
振ヘッドを設置したレーザベンチを含むレーザ発振装置
において，レーザベースに設けられると共に，レーザ発
振ヘッドの温度を検出して温度検出信号を出力する温度
センサと，温度検出信号に応じて流量制御信号を出力す
る温度コントローラと，レーザベース及びレーザベンチ
の内部に配設された配管を含むと共に，該流量制御信号
に従って該配管内に冷却水を流量可変で供給する冷却装
置とを備えたレーザ発振装置が得られる。
次に，本考案のレーザ発振装置について図面を参照して
説明する。
説明する。
第１図は本考案の一実施例の断面図である。
１はポンピングヘッドであり，レーザロッド，励起ラン
プ，集光器などにより構成される。２は全反射ミラーマ
ウント,3は出力ミラーマウントで，これら全反射ミラー
マウント２と出力ミラーマウント３とにより共振器が構
成される。４はこれら光学部品１〜３を配置固定するレ
ーザベースであり，カバー５を含め１〜５でレーザ発振
ヘッド６を構成する。７はレーザベンチであり，レーザ
発振ヘッド６を設置固定するためのものである。
プ，集光器などにより構成される。２は全反射ミラーマ
ウント,3は出力ミラーマウントで，これら全反射ミラー
マウント２と出力ミラーマウント３とにより共振器が構
成される。４はこれら光学部品１〜３を配置固定するレ
ーザベースであり，カバー５を含め１〜５でレーザ発振
ヘッド６を構成する。７はレーザベンチであり，レーザ
発振ヘッド６を設置固定するためのものである。
８は一定温度に制御した冷却水でレーザ発振ヘッド６と
レーザベンチ７を冷却するための冷却装置である。９は
温度制御された冷却水を送り出すためのポンプ,10は戻
ってきた冷却水を矢印で示す入口，出口よりそれぞれ流
入，流出される市水等の流体で冷却するための熱交換
器,11は冷却水タンクである。
レーザベンチ７を冷却するための冷却装置である。９は
温度制御された冷却水を送り出すためのポンプ,10は戻
ってきた冷却水を矢印で示す入口，出口よりそれぞれ流
入，流出される市水等の流体で冷却するための熱交換
器,11は冷却水タンクである。
冷却水タンク11内に設置された温度センサー12と温度コ
ントローラ13により，流量制御バルブ14を介して市水の
流量を制御することにより，冷却水の温度を一定に保つ
ことができる。
ントローラ13により，流量制御バルブ14を介して市水の
流量を制御することにより，冷却水の温度を一定に保つ
ことができる。
このようにして，一定温度に制御された冷却水をレーザ
ベース４及びレーザベンチ７の内部に配設された配管内
に流量可変で供給することにより，レーザベース４とレ
ーザベンチ７を外囲温度の影響をあまり受けずほぼ一定
の温度に保つことができ，安定なレーザ発振装置が得ら
れる。
ベース４及びレーザベンチ７の内部に配設された配管内
に流量可変で供給することにより，レーザベース４とレ
ーザベンチ７を外囲温度の影響をあまり受けずほぼ一定
の温度に保つことができ，安定なレーザ発振装置が得ら
れる。
第１図の実施例では温度センサー12を冷却水タンク11内
に設置し，冷却水温度を一定に制御したため，ポンピン
グヘッド11内の励起ランプやレーザロッドの冷却装置と
共用でき，安価に提供できる。ただレーザベース，レー
ザベンチの温度を一定に保つという面で充分とはいえな
い恐れがある。
に設置し，冷却水温度を一定に制御したため，ポンピン
グヘッド11内の励起ランプやレーザロッドの冷却装置と
共用でき，安価に提供できる。ただレーザベース，レー
ザベンチの温度を一定に保つという面で充分とはいえな
い恐れがある。
第２図は本考案の第２の実施例の断面図である。21はポ
ンピングヘッド,22は全反射ミラーマウント,23は出力ミ
ラーマウント,24はレーザベース,25はカバー,26はレー
ザ発振ヘッド,27はレーザベンチ,28は冷却装置,29はポ
ンプ,30は熱交換器,31は冷却水タンク,32は温度センサ
ー,33は温度コントローラ,34は流量制御バルブである。
ンピングヘッド,22は全反射ミラーマウント,23は出力ミ
ラーマウント,24はレーザベース,25はカバー,26はレー
ザ発振ヘッド,27はレーザベンチ,28は冷却装置,29はポ
ンプ,30は熱交換器,31は冷却水タンク,32は温度センサ
ー,33は温度コントローラ,34は流量制御バルブである。
ここでは，レーザベース24に設けられた温度センサ32が
レーザ発振ヘッド26の温度を検出して温度検出信号を出
力し，温度コントローラ33が温度検出信号に応じて流量
制御信号を出力すると，流量制御バルブ34が流量制御信
号に従って制御されて熱交換器30,冷却水タンク31,及び
ポンプ29を介してレーザベース24及びレーザベンチ27の
内部に配設された配管内に冷却水を流量可変で供給す
る。このため，レーザベース24及びレーザベンチ27の温
度を一定にすることができ，外囲温度の影響を受け難い
安定なレーザ発振装置が得られる。
レーザ発振ヘッド26の温度を検出して温度検出信号を出
力し，温度コントローラ33が温度検出信号に応じて流量
制御信号を出力すると，流量制御バルブ34が流量制御信
号に従って制御されて熱交換器30,冷却水タンク31,及び
ポンプ29を介してレーザベース24及びレーザベンチ27の
内部に配設された配管内に冷却水を流量可変で供給す
る。このため，レーザベース24及びレーザベンチ27の温
度を一定にすることができ，外囲温度の影響を受け難い
安定なレーザ発振装置が得られる。
以上に説明したように，本考案のレーザ発振装置によれ
ば，レーザベース及びレーザベンチの温度を一定にする
ことができるので，外囲温度の変化の影響を受けず，ま
た長時間安定度を高くできる効果がある。
ば，レーザベース及びレーザベンチの温度を一定にする
ことができるので，外囲温度の変化の影響を受けず，ま
た長時間安定度を高くできる効果がある。
第１図は本考案の第１の実施例の構成図，第２図は本考
案の第２の実施例の構成図である。 符号の説明:1,21はポンピングヘッド,2,22は全反射ミラ
ーマウント,3,23は出力ミラーマウント,4,24はレーザベ
ース,5,25はカバー,6,26はレーザ発振ヘッド,7,27はレ
ーザベンチ,8,28は冷却装置,9,29はポンプ,10,30は熱交
換器,11,31は冷却水タンク,12,32は温度センサ,13,33は
温度コントローラ、14,34は流量制御バルブである。
案の第２の実施例の構成図である。 符号の説明:1,21はポンピングヘッド,2,22は全反射ミラ
ーマウント,3,23は出力ミラーマウント,4,24はレーザベ
ース,5,25はカバー,6,26はレーザ発振ヘッド,7,27はレ
ーザベンチ,8,28は冷却装置,9,29はポンプ,10,30は熱交
換器,11,31は冷却水タンク,12,32は温度センサ,13,33は
温度コントローラ、14,34は流量制御バルブである。
Claims (1)
- 【請求項１】ポンピングヘッドと共振器とをレーザベー
ス上に配置したレーザ発振ヘッド，及び該レーザ発振ヘ
ッドを設置したレーザベンチを含むレーザ発振装置にお
いて，前記レーザベースに設けられると共に，前記レー
ザ発振ヘッドの温度を検出して温度検出信号を出力する
温度センサと，前記温度検出信号に応じて流量制御信号
を出力する温度コントローラと，前記レーザベース及び
前記レーザベンチの内部に配設された配管を含むと共
に，該流量制御信号に従って該配管内に冷却水を流量可
変で供給する冷却装置とを備えたことを特徴とするレー
ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988128003U JPH0744035Y2 (ja) | 1988-10-01 | 1988-10-01 | レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988128003U JPH0744035Y2 (ja) | 1988-10-01 | 1988-10-01 | レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252367U JPH0252367U (ja) | 1990-04-16 |
| JPH0744035Y2 true JPH0744035Y2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=31380935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988128003U Expired - Lifetime JPH0744035Y2 (ja) | 1988-10-01 | 1988-10-01 | レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744035Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001053361A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-23 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | レーザ装置用光学定盤 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5249344Y2 (ja) * | 1971-10-29 | 1977-11-09 | ||
| JPS59143057U (ja) * | 1983-03-15 | 1984-09-25 | ホ−ヤ株式会社 | レ−ザ発振器 |
| JPH0259602A (ja) * | 1988-08-26 | 1990-02-28 | Canon Inc | レーザーヘッドおよびレシーバー取付け方法 |
-
1988
- 1988-10-01 JP JP1988128003U patent/JPH0744035Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0252367U (ja) | 1990-04-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5641709B2 (ja) | デバイス製造装置およびデバイス製造方法 | |
| US8251091B2 (en) | Temperature insensitive mass flow controller | |
| CN101384805B (zh) | 用于调节内燃机温度的方法和设备 | |
| US6148909A (en) | Temperature control device and temperature control method | |
| JPH10317967A (ja) | 内燃機関の冷却制御装置 | |
| US6666033B1 (en) | Method and apparatus for fine tuning an orifice pulse tube refrigerator | |
| JPH0744035Y2 (ja) | レーザ発振装置 | |
| DE60230529D1 (de) | Flüssigkeitskühlsystem mit Blasensiedesensor | |
| JP2006153429A (ja) | 恒温流体供給システム | |
| JP2005251855A (ja) | レーザ装置 | |
| CN100529607C (zh) | 吸收式制冷机的控制方法和系统 | |
| JP2005220772A (ja) | エンジンの冷却装置 | |
| CN213182451U (zh) | 激光陀螺谐振腔恒温装置 | |
| JP2616170B2 (ja) | 多段ロッドカスケード励起レーザ発振器の冷却機構 | |
| JPH11163569A (ja) | 熱負荷冷却システム | |
| JPH08220406A (ja) | 恒温ホルダーおよびこれを用いた光学装置 | |
| RU2165028C1 (ru) | Устройство для регулирования температуры охлаждающей жидкости двигателя внутреннего сгорания | |
| Roblee | Precision temperature control for optics manufacturing | |
| JP2000012926A (ja) | レーザ発振器用冷却装置及びレーザ発振器の冷却方法 | |
| JPH0119407Y2 (ja) | ||
| JP2504917Y2 (ja) | レ―ザ装置用冷却器 | |
| JP3292763B2 (ja) | 吸収冷凍機の制御方法及び装置 | |
| JP3454886B2 (ja) | 流体の恒温方法及びその装置 | |
| SU1673873A1 (ru) | Устройство дл измерени высоких температур | |
| RU2052739C1 (ru) | Способ регулирования производительности компрессора холодильной машины |