JPH0259602A - レーザーヘッドおよびレシーバー取付け方法 - Google Patents
レーザーヘッドおよびレシーバー取付け方法Info
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- JPH0259602A JPH0259602A JP21081588A JP21081588A JPH0259602A JP H0259602 A JPH0259602 A JP H0259602A JP 21081588 A JP21081588 A JP 21081588A JP 21081588 A JP21081588 A JP 21081588A JP H0259602 A JPH0259602 A JP H0259602A
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- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 5
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Landscapes
- Lasers (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、真空内露光装置におけるレーザーヘッドおよ
びレシーバ−の取付は方法に関し、特に冷却効果のある
取付は手段に関するものである。
びレシーバ−の取付は方法に関し、特に冷却効果のある
取付は手段に関するものである。
［従来の技術］
半導体製造装置あるいは液晶パターン製造装置等で用い
られる真空内露光装置においては、レーザーヘッドおよ
びレシーバ−からなる測長器が備わる。従来、このよう
な測長器のレーザー光源であるレーザーヘッドおよびレ
シーバ−からの発熱に対する冷却手段は特に備えてなく
自然放熱にたよっていた。
られる真空内露光装置においては、レーザーヘッドおよ
びレシーバ−からなる測長器が備わる。従来、このよう
な測長器のレーザー光源であるレーザーヘッドおよびレ
シーバ−からの発熱に対する冷却手段は特に備えてなく
自然放熱にたよっていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来例ではレーザーヘッドおよびレ
シーバ−の発熱による熱がレーザーヘッド支持部材およ
び装置本体に伝わるため次のような欠点があフた。（１
）レーザーヘッド支持部材が熱による変形を生じ、光軸
のずれを起こすため、高精度の計測および制御ができな
い。（２）装置本体とレーザーヘッド支持部材の熱によ
る変形量の違いにより光軸のずれを起こすため、高精度
の計測および制御ができない。（３）装置本体がレーザ
ーヘッドおよびレシーバ−からの熱影響を受けるため、
高精度の位置決めができない。
シーバ−の発熱による熱がレーザーヘッド支持部材およ
び装置本体に伝わるため次のような欠点があフた。（１
）レーザーヘッド支持部材が熱による変形を生じ、光軸
のずれを起こすため、高精度の計測および制御ができな
い。（２）装置本体とレーザーヘッド支持部材の熱によ
る変形量の違いにより光軸のずれを起こすため、高精度
の計測および制御ができない。（３）装置本体がレーザ
ーヘッドおよびレシーバ−からの熱影響を受けるため、
高精度の位置決めができない。
［課題を解決するための手段および作用］本発明によれ
ば、測長器より発生する熱をその支持部材で吸収して装
置本体に伝わることを防止するものである。
ば、測長器より発生する熱をその支持部材で吸収して装
置本体に伝わることを防止するものである。
［実施例］
第１図から第４図までに本発明の一実施例を示す。第１
図は本発明を実施した測長器の全体構成図であり、第２
図、第３図および第４図は各々第１図のＡ−Ａ’ Ｂ
−Ｂ’ およびｃ−ｃ’の断面図である。図において、
１１はレーザー源であるレーザーヘッド、１２はレシー
バ−１３はレーザーヘッド１１の支持部材であるレーザ
ーヘッド取付脚、１４はレシーバ−１２の支持部材であ
るレシーバ−取付台、１５はレーザーを方向変換する反
射ミラー １６は反射ミラー１５を取付けるだめの反射
ミラー取付台、１７はレーザーヘッド１１およびレシー
バ−１２等を搭載固定するためのベース、１８は装置本
体２１を真空に保つための真空チャンバ、１９はベース
１７と装置本体２１とを連結するための連結脚、２０は
真空チャンバー１８内の真空とレーザーヘッド１１側の
大気との間のリークをなくすためのシール用の蓋、２１
は穆動する部材を有する装置本体、２２はレーザーヘッ
ド取付脚１３に冷却用流体を流すための出入口、２３は
レシーバ−取付台１４に冷却用流体を流すための出入口
、２４はベース１７に冷却用流体を流すための出入口を
示す。レーザーヘッド取付脚１３の内部には出入口２２
に通じる流体通路３０が形成されている。同様に、レシ
ーバ−取付台１４およびベース１７の内部には各々出入
口２３．２４に通じる流体通路４０．５０が形成されて
いる。
図は本発明を実施した測長器の全体構成図であり、第２
図、第３図および第４図は各々第１図のＡ−Ａ’ Ｂ
−Ｂ’ およびｃ−ｃ’の断面図である。図において、
１１はレーザー源であるレーザーヘッド、１２はレシー
バ−１３はレーザーヘッド１１の支持部材であるレーザ
ーヘッド取付脚、１４はレシーバ−１２の支持部材であ
るレシーバ−取付台、１５はレーザーを方向変換する反
射ミラー １６は反射ミラー１５を取付けるだめの反射
ミラー取付台、１７はレーザーヘッド１１およびレシー
バ−１２等を搭載固定するためのベース、１８は装置本
体２１を真空に保つための真空チャンバ、１９はベース
１７と装置本体２１とを連結するための連結脚、２０は
真空チャンバー１８内の真空とレーザーヘッド１１側の
大気との間のリークをなくすためのシール用の蓋、２１
は穆動する部材を有する装置本体、２２はレーザーヘッ
ド取付脚１３に冷却用流体を流すための出入口、２３は
レシーバ−取付台１４に冷却用流体を流すための出入口
、２４はベース１７に冷却用流体を流すための出入口を
示す。レーザーヘッド取付脚１３の内部には出入口２２
に通じる流体通路３０が形成されている。同様に、レシ
ーバ−取付台１４およびベース１７の内部には各々出入
口２３．２４に通じる流体通路４０．５０が形成されて
いる。
上記構成において、レーザーへラド１１から発する熱は
レーザーヘッド取付脚１３の内部に流体通路３０を通し
て冷却媒体（例えば温度制御された冷却水等の冷却用流
体）を流すことによりこの冷却媒体に吸収され装置外部
に放出される。同様にレシーバ−１２から発する熱はレ
シーバ−取付台１４の内部を流れる冷却媒体により吸収
される。またベース１７の内部に温度制御された冷却用
流体を流すことによりレーザーヘッド１１およヒレシー
バー１２の放出熱を吸収してベース１７の変形をなくし
光軸のずれを防止している。
レーザーヘッド取付脚１３の内部に流体通路３０を通し
て冷却媒体（例えば温度制御された冷却水等の冷却用流
体）を流すことによりこの冷却媒体に吸収され装置外部
に放出される。同様にレシーバ−１２から発する熱はレ
シーバ−取付台１４の内部を流れる冷却媒体により吸収
される。またベース１７の内部に温度制御された冷却用
流体を流すことによりレーザーヘッド１１およヒレシー
バー１２の放出熱を吸収してベース１７の変形をなくし
光軸のずれを防止している。
上記実施例においてはレーザーヘッドおよびレシーバ−
の支持部材の内部に冷却媒体を流すことにより熱を吸収
していたが、熱を吸収する手段はこの方法に限らず、レ
ーザーヘッドから真空チャンバまでおよびレシーバ−か
ら真空チャンバまでの光路を覆い内部に冷却空気を流し
てレーザーヘッドおよびレシーバ−を冷却し熱を伝えな
いようにしてもよい。
の支持部材の内部に冷却媒体を流すことにより熱を吸収
していたが、熱を吸収する手段はこの方法に限らず、レ
ーザーヘッドから真空チャンバまでおよびレシーバ−か
ら真空チャンバまでの光路を覆い内部に冷却空気を流し
てレーザーヘッドおよびレシーバ−を冷却し熱を伝えな
いようにしてもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明においては冷却媒体を流し
てレーザーヘッドおよびレシーバ−の支持部材を冷却し
レーザーヘッドおよびレシーバ−からの発熱を吸収して
いるため熱による変形がなくなり光軸のずれが防止され
測定の信頼性が高まる。また、測長器から装置本体に熱
が伝わらないため、装置本体は熱影響を受けず高精度の
位置決めが達成される。
てレーザーヘッドおよびレシーバ−の支持部材を冷却し
レーザーヘッドおよびレシーバ−からの発熱を吸収して
いるため熱による変形がなくなり光軸のずれが防止され
測定の信頼性が高まる。また、測長器から装置本体に熱
が伝わらないため、装置本体は熱影響を受けず高精度の
位置決めが達成される。
第１図は本発明に係わる測長器の全体構成図、第２図は
第１図のＡ−Ａ’断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’断
面図、第４図は第１図のｃ−ｃ’断面図である。 １１：レーザーヘッド、 １２ニレシーバー １３：レーザーヘッド取付脚、 １４ニレシ一バー取付台、 １７：ベース、 １８：真空チャンバ、 ２１：装置本体、 ２２．２３．２４：出入口、 ３０．４０，５０：流体通路。 第 図 第 図 第 図
第１図のＡ−Ａ’断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’断
面図、第４図は第１図のｃ−ｃ’断面図である。 １１：レーザーヘッド、 １２ニレシーバー １３：レーザーヘッド取付脚、 １４ニレシ一バー取付台、 １７：ベース、 １８：真空チャンバ、 ２１：装置本体、 ２２．２３．２４：出入口、 ３０．４０，５０：流体通路。 第 図 第 図 第 図
Claims (3)
- （１）冷却媒体流通手段を具備した支持部材を介してレ
ーザーヘッドおよびレシーバーをベース上に設けること
を特徴とするレーザーヘッドおよびレシーバー取付け方
法。 - （２）前記冷却媒体流通手段は、レーザーヘッド支持部
材およびレシーバー支持部材の内部を通る流体通路から
なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレー
ザーヘッドおよびレシーバー取付け方法。 - （３）真空内で移動する部材を有する装置において、そ
の移動量を検出するレーザー測長器と装置本体とを一体
とし、レーザーヘッドおよびレシーバー支持部材に水管
を設けて冷却用流体を供給することを特徴とするレーザ
ーヘッドおよびレシーバー取付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21081588A JPH0259602A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | レーザーヘッドおよびレシーバー取付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21081588A JPH0259602A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | レーザーヘッドおよびレシーバー取付け方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0259602A true JPH0259602A (ja) | 1990-02-28 |
Family
ID=16595582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21081588A Pending JPH0259602A (ja) | 1988-08-26 | 1988-08-26 | レーザーヘッドおよびレシーバー取付け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0259602A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0252367U (ja) * | 1988-10-01 | 1990-04-16 |
-
1988
- 1988-08-26 JP JP21081588A patent/JPH0259602A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0252367U (ja) * | 1988-10-01 | 1990-04-16 |
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