JPH0742919U - 冷却板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】蓋と本体との間を、完全に密封状態として高圧
の冷却水の使用を可能とすること。 【構成】蓋および本体をアルミ材質により製作し、蓋の
周縁と係合する段部を本体の上面周縁部に形成し、本体
の突部の先端に係合部を形成し、蓋に本体の前記係合部
と係合する係合孔を形成し、蓋の周縁と本体の段部と、
および本体の係合部と蓋と係合孔とを、それぞれ係合状
態で電子ビーム溶接により固定して一体化する。、 【効果】内部空間を完全に密封状態として、高圧の冷却
水を冷却媒体として使用することを可能とし、冷却板の
運転コストおよび保守コストを低減する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、各種の部品、例えば半導体の製造に際して加熱処理後の基板、ウエ ハー等、の冷却に用いる冷却板（クールプレート）に関するものである。

【０００２】

【従来技術】

この種の冷却板として、図７に示すごとく、その上面を被冷却物を載置するた めの平面とし、周壁１３、凹部１４および突部１５を有し周壁１３および突部１ ５にねじ孔７を形成した本体１に蓋２を対向させ、ねじ孔７に挿入したビス８に より蓋２と本体１とを一体化し、凹部１４により内部空間Ｈを形成することによ り、内部空間Ｈに冷却媒体を充填し、冷却媒体を内部空間Ｈと熱交換部との間を 循環させ、冷却板を冷却し本体１の表面を低温を維持して本体１に載置した被冷 却物（例えば、高温の基板）Ｍを冷却するよう構成されている。

【０００３】

【従来技術の問題点】

上述の冷却板においては、本体の周壁１３および突起１５に形成したねじ孔７ に挿入したビス８により蓋２と本体１とを一体化している。蓋２と本体１との間 にシール部材９を介装しているが、蓋２と本体１との間の密封固定がビス８によ る締付けとシール部材９によるもであるため、内部空間Ｈに冷却媒体として高圧 の冷却水を充填した場合には漏水のおそれがあるため、冷却効果を高めるため高 価な冷却媒体を使用している。 本考案は、蓋２と本体１との間を、完全に密封状態として高圧の冷却水の使用 を可能とすることを課題とする。

【０００４】

【問題点を解決するための手段】

本考案は、蓋２および本体１をアルミ材質により製作し、蓋２の周縁２１と係 合する段部１１を、本体１の上面周縁部に形成し、本体１の突部１５の先端に係 合部１２を形成し、蓋２に本体１の前記係合部１２と係合する係合孔２２を形成 し、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、および本体１の係合部１２と蓋２と 係合孔２２とを、それぞれ係合状態で電子ビーム溶接により固定して一体化して 、高圧の冷却水を冷却媒体として使用するものである。

【０００５】

【実施例】

図面に示す実施例にもとづいて本考案を説明する。 図１および図２を参照して、その上面を被冷却物Ｍを載置するための平面とし た蓋２と、周壁１３、凹部１４および突部１５を有する本体１とを対向させて固 定して、蓋２と本体１とを一体化し凹部１４により内部空間Ｈを形成し、内部空 間Ｈに冷却媒体を充填し本体１の表面を低温を維持して本体１に載置した被冷却 物Ｍを冷却するよう構成することは、公知の冷却板と同様である。

【０００６】 蓋２および本体１をアルミ材質により製作し、蓋２の周縁２１と係合する段部 １１を、本体１の上面周縁部に形成し、本体１の突部１５の先端に係合部１２を 形成し、蓋２に本体１の前記係合部１２と係合する係合孔２２を形成する。 蓋２の中心部に流入口３を設け、蓋２の周辺隅部に流出口４を設け、流入口３ より冷却媒体（冷却水）を複数個の流出口４へ誘導して、本体１の表面を均一に 冷却すべく構成する。

【０００７】 本考案の冷却板の製作にあたっては、図１ないし図６を参照して、本体１の上 面に蓋２を置くことにより、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、および本体 １の係合部１２と蓋２と係合孔２２とを、それぞれ係合状態とする。 つぎに、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、および本体１の係合部１２と 蓋２と係合孔２２とを、電子ビーム溶接Ｗにより固定して一体化することにより 、密封状態の内部空間Ｈを形成して、冷却板を完成する。 なお、図１および図２を参照して、６は温度センサーである。

【０００８】 内部空間Ｈに、高圧の冷却水を冷却媒体として使用し、流入口３より高圧の冷 却水を内部空間Ｈに入れ、流出口４より流出することで、高圧の冷却水が内部空 間Ｈと熱交換機との間で循環することにより、冷却板を冷却し本体１の表面を低 温に維持して本体１に載置した被冷却物（例えば、高温の基板）Ｍを冷却する。

【０００９】 図５および図６を参照して、蓋２における流入口３の隣接部分２ａおよび流出 口４の隣接部分２ｂにワッシャー状の銅片を置き電子ビームを照射することで、 前記部分２ａ、２ｂを電子ビーム溶接で、銅合金とすると、流入口３、流出口４ を構成する銅製パイプと蓋２とを固定するためのネジ孔を隣接部分２ａ、隣接部 分２ｂに形成するにあたり、ネジ孔の耐久性を高め流入口３、流出口４を構成す る銅製パイプの交換を容易にするとともに、本体１の耐久性を高めることができ る。

【００１０】

【効果】

本考案は、蓋２の周縁２１と係合する段部１１を、本体１の上面周縁部に形成 し、本体１の突部１５の先端に係合部１２を形成し、蓋２に本体１の前記係合部 １２と係合する係合孔２２を形成し、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、お よび本体１の係合部１２と蓋２の係合孔２２とを、それぞれ係合状態で電子ビー ム溶接により固定して一体化することにより、内部空間を完全に密封状態として 、高圧の冷却水を冷却媒体として使用することを可能として、冷却板の運転コス トおよび保守コストを低減する効果を有する。

【提出日】平成５年１２月３１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】 【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本考案は、各種の部品、例えば半導体の製造に際して加熱処理後の基板、ウエ ハー等、の冷却に用いる冷却板（クールプレート）に関するものである。

【０００２】

【従来技術】

この種の冷却板として、図７に示すごとく、その上面を被冷却物を載置するた めの平面とし、周壁１３、凹部１４および突部１５を有し周壁１３および突部１ ５にねじ孔７を形成した本体１に蓋２を対向させ、ねじ孔７に挿入したビス８に より蓋２と本体１とを一体化し、凹部１４により内部空間Ｈを形成することによ り、内部空間Ｈに冷却媒体を充填し、冷却媒体を内部空間Ｈと熱交換部との間を 循環させ、冷却板を冷却し本体１の表面を低温を維持して本体１に載置した被冷 却物（例えば、高温の基板）Ｍを冷却するよう構成されている。

【０００３】

【従来技術の問題点】

上述の冷却板においては、本体の周壁１３および突起１５に形成したねじ孔７ に挿入したビス８により蓋２と本体１とを一体化している。蓋２と本体１との間 にシール部材９を介装しているが、蓋２と本体１との間の密封固定がビス８によ る締付けとシール部材９によるもであるため、内部空間Ｈに冷却媒体として高圧 の冷却水を充填した場合には漏水のおそれがあるため、冷却効果を高めるため高 価な冷却媒体を使用している。 本考案は、蓋２と本体１との間を、完全に密封状態として高圧の冷却水の使用 を可能とすることを課題とする。

【０００４】

【問題点を解決するための手段】

本考案は、蓋２および本体１をアルミ材質により製作し、蓋２の周縁２１と係 合する段部１１を、本体１の上面周縁部に形成し、本体１の突部１５の先端に係 合部１２を形成し、蓋２に本体１の前記係合部１２と係合する係合孔２２を形成 し、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、および本体１の係合部１２と蓋２と 係合孔２２とを、それぞれ係合状態で電子ビーム溶接により固定して一体化して 、高圧の冷却水を冷却媒体として使用するものである。

【０００５】

【実施例】

図面に示す実施例にもとづいて本考案を説明する。 図１および図２を参照して、その上面を被冷却物Ｍを載置するための平面とし た蓋２と、周壁１３、凹部１４および突部１５を有する本体１とを対向させて固 定して、蓋２と本体１とを一体化し凹部１４により内部空間Ｈを形成し、内部空 間Ｈに冷却媒体を充填し本体１の表面を低温を維持して本体１に載置した被冷却 物Ｍを冷却するよう構成することは、公知の冷却板と同様である。

【０００６】 蓋２および本体１をアルミ材質により製作し、蓋２の周縁２１と係合する段部 １１を、本体１の上面周縁部に形成し、本体１の突部１５の先端に係合部１２を 形成し、蓋２に本体１の前記係合部１２と係合する係合孔２２を形成する。 蓋２の中心部に流入口３を設け、蓋２の周辺隅部に流出口４を設け、流入口３ より冷却媒体（冷却水）を複数個の流出口４へ誘導して、本体１の表面を均一に 冷却すべく構成する。

【０００７】 本考案の冷却板の製作にあたっては、図１ないし図６を参照して、本体１の上 面に蓋２を置くことにより、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、および本体 １の係合部１２と蓋２と係合孔２２とを、それぞれ係合状態とする。 つぎに、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、および本体１の係合部１２と 蓋２と係合孔２２とを、電子ビーム溶接Ｗにより固定して一体化することにより 、密封状態の内部空間Ｈを形成して、冷却板を完成する。 なお、図１および図２を参照して、６は温度センサーである。

【０００８】 内部空間Ｈに、高圧の冷却水を冷却媒体として使用し、流入口３より高圧の冷 却水を内部空間Ｈに入れ、流出口４より流出することで、高圧の冷却水が内部空 間Ｈと熱交換機との間で循環することにより、冷却板を冷却し本体１の表面を低 温に維持して本体１に載置した被冷却物（例えば、高温の基板）Ｍを冷却する。

【０００９】 図５および図６を参照して、蓋２における流入口３の隣接部分２ａおよび流出 口４の隣接部分２ｂにワッシャー状の銅片を置き電子ビームを照射することで、 前記部分２ａ、２ｂを電子ビーム溶接で、銅合金とすると、流入口３、流出口４ を構成する銅製パイプと蓋２とを固定するためのネジ孔を隣接部分２ａ、隣接部 分２ｂに形成するにあたり、ネジ孔の耐久性を高め流入口３、流出口４を構成す る銅製パイプの交換を容易にするとともに、本体１の耐久性を高めることができ る。

【００１０】

【効果】

本考案は、蓋２の周縁２１と係合する段部１１を、本体１の上面周縁部に形成 し、本体１の突部１５の先端に係合部１２を形成し、蓋２に本体１の前記係合部 １２と係合する係合孔２２を形成し、蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、お よび本体１の係合部１２と蓋２の係合孔２２とを、それぞれ係合状態で電子ビー ム溶接により固定して一体化することにより、内部空間を完全に密封状態として 、高圧の冷却水を冷却媒体として使用することを可能として、冷却板の運転コス トおよび保守コストを低減する効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す冷却板の平面図。

【図２】同じく縦断面図。

【図３】冷却板の本体の平面図。

【図４】同じく縦断面図。

【図５】冷却板の蓋の平面図。

【図６】同じく縦断面図。

【図７】従来技術の冷却板の縦断面図。

【符号の説明】

１ 本体 ２ 蓋 １１ 段部 １２ 係合部 Ｈ 空間Ｈ Ｗ 電子ビーム溶接

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【手続補正書】

【提出日】平成５年１２月３１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【考案の名称】 冷却板

【実用新案登録請求の範囲】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す冷却板の平面図。

【図２】同じく縦断面図。

【図３】冷却板の本体の平面図。

【図４】同じく縦断面図。

【図５】冷却板の蓋の平面図。

【図６】同じく縦断面図。

【図７】従来技術の冷却板の縦断面図。

【符号の説明】 １ 本体 ２ 蓋 １１ 段部 １２ 係合部 Ｈ 空間Ｈ Ｗ 電子ビーム溶接

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】その上面を被冷却物を載置するための平面
   とし、周壁１３、凹部１４および突部１５を有する本体
   １に、蓋２を対向させて固定し、蓋２と本体１とを一体
   化し凹部１４により内部空間Ｈを形成し、内部空間Ｈに
   冷却媒体を充填し本体１の表面を低温を維持して本体１
   に載置した被冷却物Ｍを冷却するよう構成されたた冷却
   板において、 蓋２および本体１をアルミ材質により製作し、 蓋２の周縁２１と係合する段部１１を、本体１の上面周
   縁部に形成し、 本体１の突部１５の先端に係合部１２を形成し、 蓋２に本体１の前記係合部１２と係合する係合孔２２を
   形成し、 蓋２の周縁２１と本体１の段部１１と、および本体１の
   係合部１２と蓋２と係合孔２２とを、それぞれ係合状態
   で電子ビーム溶接により固定して一体化して、 高圧の冷却水を冷却媒体として使用可能とすることを特
   徴とする冷却板。
2. 【請求項２】蓋２における流入口３の隣接部分２ａおよ
   び流出口４の隣接部分２ｂを銅合金とたことを特徴とす
   る請求項１に記載する冷却板。