JPH0740535A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振動板が個別電極に衝突しないようにして長
時間使用しても破壊等の不具合を生ぜず信頼性が高く、
低駆動電圧で効率良く駆動することができるインクジェ
ットヘッドを提供する。 【構成】 ノズルと、ノズルに連通するインク流路と、
流路の一部に設けられた振動板と、振動板に対向して設
けられた個別電極とを有し、振動板に取り付けらた共通
電極と個別電極間に電圧を印加し、振動板を静電気力に
より変形させ、ノズルからインク液滴を吐出するインク
ジェットヘッドにおいて、振動板と個別電極とによって
形成されるアクチュエータに付加コンデンサを直列に挿
入した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は静電気を利用したインク
ジェットヘッド、特にそのアクチュエータを構成する振
動板と個別電極との接触の回避に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリンタは、記録時の騒
音が極めて小さいこと、高速印字が可能であること、イ
ンクの自由度が高く安価な普通紙を使用できることなど
多くの利点を有する。この中でも記録の必要な時にのみ
インク液滴を吐出する、いわゆるインク・オン・デマン
ド方式が、記録に不要なインク液滴の回収を必要としな
いため、現在主流となっている。

【０００３】従来のインク・オン・デマンド方式の駆動
方法には例えば特公平２−２４２１８号公報に開示され
ている駆動方法がある。この駆動方法においては、イン
ク噴射圧力を発生する圧力室の容積を変化させる圧電素
子を備え、圧電素子には待機状態で圧電素子の分極電圧
と同方向のパルス電圧が印加され、圧電素子を充電して
圧力室の容積を減少させておき、インク噴射時には圧電
素子を徐々に放電させて圧力室の容積を増大させた後
に、再び圧電素子にパルス電圧を印加して圧電素子を急
速に充電させ、圧力室の容積を減少させることによりノ
ズルからインク液滴を噴射させている。そして、この駆
動方法においては、インク液滴を低電圧で最も効率良く
噴射させるために、圧力室へのインクの吸入時に起きる
インク系の減衰振動の極大値近傍で、圧電素子に再び電
圧を印加し急速に圧力室の容積を減少させている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来のインクジ
ェットヘッドの駆動方法はアクチュエータに圧電素子を
用いたものには最適な方法の一つである。しかし、流路
の一部に設けられた振動板と、振動板に対向して設けら
れた個別電極間にパルス電圧を印加し、振動板を静電気
により変形させ、ノズルからインク液滴を吐出させるも
の、即ちアクチュエータに静電気を用いたインクジェッ
トヘッドが開発されてきており、このようなインクジェ
ットヘッドの駆動方法に、上述の圧電素子によるものの
駆動方法を単純に適用したのでは、以下に述べるような
問題を生じ、実用化が困難であった。

【０００５】アクチュエータに静電気を用いたインクジ
ェットヘッドは、圧電素子を用いたものと異なり、振動
板と個別電極間に発生する静電気による引力が強すぎる
と、即ち振動板と電極間に印加するパルス電圧の電圧値
が高すぎるか通電幅が長すぎると、振動板と個別電極と
が接触、短絡し、ヘッドが破壊するという静電気を用い
たインクジェットヘッド特有の問題があった。この問題
を回避するには、振動板と個別電極間の距離を充分に確
保すればよいが、振動板と電極間の距離を必要以上にと
ると、振動板と個別電極間に発生する静電気力はそのキ
ャップ長の２乗に反比例するので、プリンタとして用い
られる標準的な電圧では、インクを吐出又は流路内のイ
ンクを吸引するだけの圧力を発生させることができな
い。

【０００６】ここで、アクチュエータに静電気を用いた
インクジェットヘッドの動作を更に詳細に説明する。振
動板は外部からの電圧の印加による静電気力により吸引
されて撓んだ状態となり、一方で、振動板は撓んだ状態
で復元力を生ずる。従って、アクチュエータに電圧を印
加した時の振動板の撓み量（振動板の変位量）は、静電
気力と振動板の復元力とが釣りあった位置となる。振動
板の復元力Ｐと変位量ｘは振動板のコンプライアンスを
Ｃとすると、 Ｐ＝ｘ／Ｃ …（１） で表される。また、静電気力は、実行電圧をＶａ、ギャ
ップ量をδ、誘電率をεとすると、 Ｐ＝ε／２｛Ｖａ／（δ−ｘ）｝ …（２） で表される。この式（１）及び式（２）から振動板の変
位の釣合の位置が決まる。

【０００７】図１０は振動板の変位量と静電気力及び振
動板の復元力との関係を上式から求めた特性図である。
横軸に振動板変位量ｘを、縦軸は静電気力及び振動復元
力による発生圧力を示してある。計算に使用したパラメ
ータは実際の実験に使ったものであり、それは以下の通
りである。 Ｃ＝５×１０^-13 ［ｍ² ／Ｎ］，δ＝０．２５［μ
ｍ］，ε＝８．８５［ｐＦ／ｍ］ 静電気力は印加電圧ごとに計算されており、図中の曲線
でそれぞれ示されている。これらの曲線と振動板復元力
とを示す直線との交点が釣合の位置であり、この交点は
各印加電圧における振動板の撓み量（変位量）を示して
いる。また、振動板の復元力と静電気力が交わらない印
加電圧（例えば３５Ｖ）では（１）式と（２）式を満足
する正の実数解が存在しないため、変位は無限大とな
る。実際には対抗電極（個別電極）があるため、振動板
は対抗電極（個別電極）まで変位する。即ち振動板は対
抗電極（個別電極）に接触、短絡することになる。

【０００８】また、振動板と個別電極に絶縁性の高い保
護膜を形成して短絡を防止しても、振動板と個別電極と
が保護膜を介して接触し、保護膜に極めて大きな電圧が
かかり、また、前述のように振動板と電極間の距離を必
要以上に大きくとれないので保護膜自体も非常に薄く形
成しなければならないため、ヘッドが破壊しやすく、実
用上の充分な寿命は得られない。

【０００９】このようなことから振動板と個別電極間の
ギャップ長さを適切にとり、かつ振動板を個別電極に接
触しない範囲でぎりぎりまで撓ませてインクを吐出する
ことが望まれるが、振動板が個別電極に近接したギャッ
プ長が短い領域においては、駆動電圧に対する振動板の
撓み量が大きく、振動板の撓み量の制御が難しいという
問題点があった。

【００１０】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたものであり、振動板が個別電極に接触する
のを回避して長時間使用しても破壊等の不具合を生ぜず
信頼性が高く、かつ低い駆動電圧で効率よく駆動するこ
とができるインクジェットヘッドを提供することを目的
とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、ノズルと、ノズルに連通するインク流路と、
流路の一部に設けられた振動板と、振動板に対向して設
けられた個別電極とを有し、振動板に取り付けらた共通
電極と個別電極間に駆動電圧を印加し、振動板を静電気
力により変形させ、ノズルからインク液滴を吐出するイ
ンクジェットヘッドにおいて、振動板と個別電極とによ
って形成されるアクチュエータに直列に接続された付加
コンデサを有する。この付加コンデンサは、例えば共通
電極と振動板との間に挿入された誘電体によって形成さ
れる。或いは、この付加コンデンサは、個別電極と、個
別電極に繋る端子部との間に挿入された誘電体によって
形成される。

【００１２】

【作用】図１１は振動板の変位量とアクチュエータの静
電容量の関係とを数値計算により求めたものの特性図で
ある。振動板が変位すると、個別電極との距離が縮ま
り、振動板の変位により振動板と個別電極により構成さ
れるアクチュエータの静電容量は大きくなる。横軸に振
動板の変位量を、縦軸に静電容量を示してある。静電容
量は振動板の変位に対してこの場合には約３７０［ｐ
Ｆ］〜１０００［ｐＦ］まで増加することが分かる。

【００１３】図１２は図１０で求めた振動板の駆動電圧
に対する変位量を計算した結果を示した特性図である。
横軸に端子電圧を、縦軸に振動板の変位量を示してあ
る。ここで、端子電圧に対する振動板の変位について説
明する。駆動電圧Ｖａをアクチュエータに実際に印加す
る電圧、Ｖｈを端子電圧とすると、振動板の変位は駆動
Ｖａにより一義的に決まる。また、付加コンデンサを付
けた場合に、付加コンデンサの容量をＣｏ、アクチュエ
ータの容量をＣａ（ｘ）とすると、駆動電圧は、 Ｖａ＝Ｃｏ／｛Ｃｏ＋Ｃａ（ｘ）｝×Ｖｈ …（３） となる。Ｃａ（ｘ）は図１１で計算された値により求め
られるので、付加コンデンサが有る場合の端子電圧に対
する振動板の変位はこれにより求められる。付加コンデ
ンサＣｏが無い場合はＶａ＝Ｖｈとなる。このため、振
動板の変位量は図１２に示されるように、付加容量なし
の曲線となる。この場合は端子電圧＝駆動電圧であり、
端子電圧に対する振動板の変位量の感度は敏感になって
いることが分かる。この場合例えば０．０４〜０．０８
［μｍ］の変位を制御するためには、端子電圧を３０〜
３３Ｖの間で制御する必要がある。振動板を対抗電極
（個別電極）に衝突させずにかつ最も効率のよい変位量
を確保する為には、端子電圧を非常に狭い範囲で高精度
に制御する必要がある。

【００１４】本発明においては、アクチュエータに付加
コンデンサを付加して駆動電圧Ｖａを制御しており、図
中の各付加容量に対応する曲線が得られている。付加容
量が小さくなるほど、付加容量が無い場合に比べて端子
電圧に対する振動板の変位量の感度は鈍くなることが分
かる。例えば０．５［ｎＦ］の付加コンデンサを設けた
場合には、０．０４〜０．０８［μｍ］の変位を制御す
るための端子電圧は４５〜６５［Ｖ］でよいことにな
る。実際には端子電圧が高電圧にならずにかつ、制御性
が良くなるように付加コンデンサの容量を決める。な
お、図１０〜図１２は本発明の作用を効果的に説明する
ために記載したものであり、これらの図において記載さ
れている各種の数値は本発明を限定するものではない。

【００１５】

【実施例】図１は本発明の一実施例におけるインクジェ
ットヘッドの分解斜視図であり、一部断面図で示してあ
る。本実施例はインク液滴を基板の端部に設けたノズル
孔から吐出させるエッジエジェクトインクジェットタイ
プの例を示すものであるが、基板の上面部に設けたノズ
ル孔からインク液滴を吐出させるフェイスエジェクトタ
イプでもよい。図２は組み立てられたインクジェットヘ
ッド全体の断面側面図、図３は図２のＡ−Ａ線矢視図で
ある。本実施例のインクジェットヘッド１０は次に詳述
する構造を持つ３枚の基板１、２、３を重ねて接合した
積層構造となっている。

【００１６】中間の第１の基板１は、シリコン基板であ
り、複数のノズル孔４を構成するように、基板１の表面
に一端より平行に等間隔で形成された複数のノズル溝１
１と、各々のノズル溝１１に連通し、底壁を振動板５と
する吐出室６を構成することになる凹部１２と、凹部１
２の後部に設けられたオリフィス７を構成することにな
るインク流入口のための細溝１３と、各々の吐出室６に
インクを供給するための共通のインクキャビティ８を構
成することになる凹部１４とを有する。また、振動板５
の下部には後述する電極を装着するため振動室９を構成
することになる凹部１５が設けられている。

【００１７】本実施例においては、振動板５とこれに対
向して配置される個別電極との対向間隔、即ちギャップ
部１６の長さＧ（図３参照、以下「ギャップ長」と記
す。）が、凹部１５の深さと電極の厚さとの差になるよ
うに、間隔保持手段を第１の基板１の下面に形成した振
動室用の凹部１５により構成されている。また、別の例
として凹部の形成は第２の基板２の上面でもよい。ここ
では、凹部１５の深さをエッチングにより０．６μｍと
している。なお、ノズル溝１１のピッチは０．７２ｍｍ
であり、その幅は７０μｍである。

【００１８】また、第１の基板１への共通電極１７の付
与については、半導体及び電極である金属の材料による
仕事関数の大小が重要であり、本実施例では共通電極材
料にはチタンを下付けとし白金、またはクロムを下付け
とし金を使用しているが、本実施例に限定されるもので
はなく、半導体及び電極材料の特性により別の組合わせ
でもよい。

【００１９】第１の基板１の下面に接合される下側の第
２の基板にはホウ珪酸系ガラスを使用し、この第２の基
板２の接合によって振動室９を構成するとともに、第２
の基板２上の振動板５に対応する各々の位置に、金を
０．１μｍスパッタし、振動板５とほぼ同じ形状に金パ
ターンを形成して個別電極２１としている。個別電極２
１はリード部２２及び端子部２３を持つ。更に、電極端
子部２３を除きパイレックススパッタ膜を全面に０．２
μｍ被覆して絶縁層２４を形成し、インクジェットヘッ
ド駆動時の絶縁破壊、ショート等を防止するための膜を
形成している。第１の基板１の上面に接合される上側の
第３の基板３は、第２の基板２と同じくホウ珪酸系ガラ
スを用いている。この第３の基板３の接合によって、ノ
ズル孔４、吐出室６、オリフィス７及びインクキャビテ
ィ８が構成される。そして、第３の基板３にはインクキ
ャビティ８に連通するインク供給口３１が設けられる。
インク供給口３１は接続パイプ３２及びチューブ３３を
介して図示しないインクタンクに接続される。

【００２０】次に、第１の基板１と第２の基板２を温度
３００〜５００℃、電圧５００〜８００Ｖの印加で陽極
接合し、また同条件で第１の基板１と第３の基板３を接
合し、図３のようにインクジェットヘッドを組み立て
る。陽極の接合後に、振動板５と第２の基板２上の個別
電極２１との間に形成されるギャップ長さＧは、凹部１
５の深さと個別電極２１の厚さとの差であり、本実施例
では０．５μｍにしてある。また、振動板５と個別電極
２１上の絶縁層２４との空隙間隔Ｇ１は０．３μｍとな
っている。

【００２１】上記のようにインクジェットヘッドを組み
立てた後は、共通電極１７と個別電極２１の端子部２３
間にそれぞれ配線１０１により駆動回路１０２を接続
し、インクジェットプリンタを構成する。インク１０３
は、図示しないインクタンクよりインク供給口３１を経
て第１の基板１の内部に供給され、インクキャビティ
８、吐出室６等を満たしている。そして、吐出室６のイ
ンクは、図３に示されるように、インクジェットヘッド
１０の駆動時にノズル孔４よりインク液滴１０４となっ
て吐出され、記録紙１０５に印字される。

【００２２】ところで、本実施例において、共通電極１
７は図１に示されるように２つの層１７ａ，１７ｂから
なっており、その下方の層１７ａと第１の基板１の上面
との間には、例えばＳｉＯ₂ からなる誘電体３５が積層
されており、これはコンデサＣｏを形成し、後述するよ
うに、振動板５と個別電極２１とによって形成されるア
クチュエータに直列に接続される。

【００２３】次に、上記のように構成されたインクジェ
ットヘッドの電気的接続について説明する。電極部分に
おける半導体と金属の接触において、印加電圧の極性に
より電流の値に大きな差がある場合と差のない場合とが
生ずるが、これは空間電荷層（空乏層ともいう）の影響
による現象として知られている。基板材質である半導体
がＰ形シリコンの場合は、基板電極側にマイナス電界を
かけた時（プラス極性とした時）は導体とみなせるが、
プラス電界をかけた時（マイナス極性とした時）は空間
電荷層の存在により導体とはみなせずに容量を持つこと
が分かっている。

【００２４】図４は本実施例における振動板と個別電極
の部分詳細模式図であり、電荷の様子を模式化して示し
たものである。ここでは、第１の基板１にＰ形シリコン
を用い、第１の基板１（振動板５）側、すなわち共通電
極１７をプラス極性、個別電極２１側をマイナス極性に
し、共通電極１７と個別電極２１に駆動回路１０２によ
りパルス電圧を印加した場合について図示されている。
なお、この図においては説明を簡単にするため図１の誘
電体３５を省略している。Ｐ形シリコンはボロンをドー
プしており、電子がドープ量だけ不足するので、ドープ
量と等しい正孔を持っていることが知られている。Ｐ形
シリコン中の正孔１９は共通電極１７のプラス電界によ
り、振動板５の絶縁層２６側へ反発させられる。この正
孔１９の移動により生じたボロンのマイナス電荷は、基
板電極１７から電荷の供給を受けるので、第１の基板１
はプラス電界となり、空間電荷層を発生せず導体とみな
すこができる。また、個別電極２１側はマイナス電界で
あり、この結果、印加したパルス電圧が振動板５を撓ま
せるに充分な静電気による吸引力を発生する。従って、
振動板５は個別電極２１側へ撓むことになる。

【００２５】図５は図４に示された振動板５と個別電極
２１とによって形成されたアクチュエータ（以下その機
能に着目してコンデンサという）Ｃａと、図１の誘電体
３５によって形成されたコンデンサＣｏとの関係を示し
た回路図である。これらのコンデンサＣａ，Ｃｏは直列
に接続されており、端子電圧Ｖｈが印加されときのコン
デンサＣａの駆動電圧Ｖａは次式により表される。

【００２６】

【数１】

【００２７】このコンデンサＣａは振動板５の撓み量に
応じて変化し、上述の図１１に示されるように変位量が
大きくなるに従って、即ち個別電極２１に近接するに従
ってその容量は大きくなる。そして、駆動電圧Ｖａはコ
ンデンサＣａとＣｏとの比に応じて変化し、その詳細は
図１２において述べたとおりであり、付加コンデンサＣ
ｏの容量が小さくなるほど端子電圧Ｖｈに対する振動板
の変位の感度は鈍くなっており、端子電圧Ｖｈが設定が
容易になっている。

【００２８】図６はインクジェットヘッド１０の駆動回
路の構成を示した図である。この駆動回路１０２は図示
のようにトランジスタ４１，４２，４４，４５等から構
成されている。待機状態においてトランジスタ４２、４
５はともにオフしており、コンデンサＣｏ，Ｃａには端
子電圧Ｖｈは印加されておらず、従って振動板５−個別
電極２１には駆動電圧は印加されていない。このため、
振動板５は変位せず、吐出室６のインクには全く圧力を
与えない状態にある。次に、充電信号５１がオンになる
と、その信号の立ち上がりでトランジスタ４１がオン
し、トランジスタ４２もオンするので、コンデンサＣ
ｏ，Ｃａには端子電圧Ｖｈが印加され、これにより振動
板５−個別電極２１間に上記（４）式により表される駆
動電圧Ｖａが印加される。従って、矢印Ａ方向に電流が
流れ、上述のように振動板５−個別電極２１間に充電さ
れた電荷によって両者の間に働く静電気力により振動板
５は個別電極２１側に引き付けられて撓む。その結果、
吐出室６の容積が増大してインクを吸引する。このとき
の振動板５の撓み量は、図１２に示するように付加コン
デンサＣｏと端子電圧Ｖｈに依存しており、図示のよう
に端子電圧Ｖｈに対する変化は小さいので、その撓みが
最大許容歪みｄより小さくかつその近傍になるように端
子電圧Ｖｈを設定することができ、効率の良い駆動がで
きるようになっている。

【００２９】次に、充電信号５１がオフになり放電信号
５２がオンになると、トランジスタ４１，４２はオフに
なるのでコンデンサＣｏ，Ｃａの充電は停止し、これに
より振動板５−個別電極２１間の充電は停止する。一
方、トランジスタ４４がオフになりそれによりトランジ
スタ４５もオンになる。トランジスタ４５のオンによ
り、コンデンサＣｏ，Ｃａ（振動板５−個別電極２１
間）に蓄積された電荷は抵抗４６を介して矢印Ｂ方向に
放電される。図において、抵抗４６は抵抗４３に比べて
かなり小さく設定され、放電時の時定数は小さいので、
充電時間に比べて十分短い時間で放電される。この時、
振動板５は静電気力から一気に解放され、振動板５自体
の剛性により待機位置に戻り、急激に吐出室６を押圧
し、吐出室６に発生した圧力によりインク液滴１０４を
ノズル孔４から吐出する。なお、本実施例においてはＰ
形半導体基板を基板として用いたが、Ｎ形半導体基板を
基板として用いた場合には、駆動回路１０２とインクジ
ェットヘッド１０との接続配線はＰ形半導体の場合とは
逆とする必要がある。

【００３０】図７は上述のインクジェットヘッド１０を
搭載したプリンタの概要図である。３００は記録紙１０
５を搬送するプラテン、３０１は内部にインクを貯蔵す
るインクタンクであり、インク供給チューブ３０６を介
してインクジェットヘッド１０にインクを供給する。３
０２はキャリッジであり、インクジェットヘッド１０を
記録紙１０５の搬送方向と直行する方向に移動させる。
３０３はポンプであり、インクジェットヘッド１０のイ
ンク吐出不良等の場合、キャップ３０４、廃インク回収
チューブ３０８を介してインクを吸引し、排インク溜３
０５に回収する機能を果たしている。

【００３１】図８は振動板５と個別電極２１によって構
成されたコンデンサＣａに直列に接続される付加コンデ
ンサＣｏの他の構成例を示す図である。図示のように、
個別電極２１と端子部２３とはリード部２２ａ，２２ｂ
を介して接続され、リード部２２ａの先端部とリード部
２２ｂの先端部との間には、ガラス等をスパッタリング
して形成された誘電体３６が設けられており、この誘電
体３６により上述のコンデンサＣｏが形成されている。

【００３２】図９は上述のコンデンサＣｏの更に他の構
成例を示す図である。図示のように、個別電極２１リー
ド部２２ａからは線状のリード線部３７ａが延びてお
り、また、端子部２３とはリード部２２ｂからも線状の
リード線部３７ｂが延びている。これらのリード線部３
７ａ，３７ｂは対向しながら渦巻き状に形成されてお
り、上述の付加コンデンサＣｏを形成している。

【００３３】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、振動
板と個別電極とによって形成されるアクチュエータ（コ
ンデンサ）に付加コンデンサを直列に挿入するようにし
たので、端子電圧に対する振動板の変位についての感度
が鈍くなり、制御性が安定し、ばらつきの少ない液吐出
が得られ、印字が良好なインクジェットプリンタが得ら
れる。更に、制御性が安定したことにより振動板と個別
電極との衝突を容易に回避することができるので、ヘッ
ドの寿命を延ばして、壊れ難い、信頼性の高いヘッドを
得ることができる。更に、振動板と個別電極との衝突を
容易に回避することができるので、振動板と個別電極間
のギャップ長を最大限利用して制御することができ、こ
れによりギャップ長を小さくとることができる。従っ
て、低い駆動電圧で効率良く駆動することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るインクジェットプリン
タの分解斜視図である。

【図２】前記実施例のインクジェットヘッドの断面側面
図である。

【図３】図２のＡ−Ａ線矢視図である。

【図４】前記実施例の振動板と個別電極の部分詳細模式
図である。

【図５】図４の振動板と個別電極とによって形成された
アクチュエータ（コンデンサ）と付加コンデンサとの関
係を示した回路図である。

【図６】前記実施例のインクジェットヘッドの駆動制御
回路の構成を示した図である。

【図７】前記実施例のインクジェットヘッドを搭載した
プリンタの概要図である。

【図８】付加コンデンサの他の構成例を示した図であ
る。

【図９】付加コンデンサの更に他の構成例を示した図で
ある。

【図１０】振動板の変位量と静電吸引力及び振動板の復
元力との関係を示した特性図である。

【図１１】振動板の変位量とアクチュエータの静電容量
との関係を示した特性図である。

【図１２】振動板の端子電圧とにその変位量との関係を
示した特性図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズルと、該ノズルに連通するインク流
   路と、該流路の一部に設けられた振動板と、該振動板に
   対向して設けられた個別電極とを有し、前記振動板に取
   り付けらた共通電極と前記個別電極間に駆動電圧を印加
   し、前記振動板を静電気力により変形させ、前記ノズル
   からインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおい
   て、 前記振動板と前記個別電極とによって形成されるアクチ
   ュエータに直列に接続された付加コンデンサを有するこ
   とを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 前記付加コンデンサは、前記共通電極と
   前記振動板との間に挿入された誘電体によって形成され
   ることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッ
   ド。
3. 【請求項３】 前記付加コンデンサは、前記個別電極
   と、該個別電極に繋る端子部との間に挿入された誘電体
   によって形成されることを特徴とする請求項１記載のイ
   ンクジェットヘッド。